JPH088322A - 搬送装置および基板取り扱い方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 通箱である発泡性樹脂製の輸送用カセットか
ら液晶用ガラス基板を位置ずれなく確実に搬出すること
が可能な搬送装置を提供すること。 【構成】 この搬送装置は、液晶用のガラス基板５を発
泡性樹脂製の輸送用カセット６から取り出す吸着ハンド
４を備える。この吸着ハンド４は、その先端にスライド
ストッパ８４を備える。このスライドストッパ８４は、
吸着ハンド４にガラス基板５を支持した際にこのガラス
基板５に係合しこのガラス基板５が吸着ハンド４の先端
方向に移動するのを阻止する突起部８４ａを備える。こ
の結果、吸着ハンド４上に支持されたガラス基板５を吸
着ハンド４とともに搬送用カセット６から確実に引き出
すことができ、ガラス基板５の取り出しミスや位置ズレ
が生じない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶用ガラス基板、プ
リント基板等の精密電子機器用の基板の搬送装置および
基板取り扱い方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶用のガラス基板、プリント基
板等の基板を収納しているプロセスライン専用の堅い樹
脂製のカセットから基板を搬出してプロセスラインの始
点の処理部に搬送する際には、次のような方法によって
いた。まず、基板を収容したカセットを搬出作業用の台
上にセットする。この際、この台上に形成されたブロッ
クでプロセスライン専用のカセットを位置決めしてお
く。次に、搬送装置のハンドをカセット内の棚上の基板
直下に進入させた後、ハンドを上昇させつつハンドに設
けた真空チャックで基板を吸着し、ハンドを基板ととも
に後退させてカセット外に搬出していた。

【０００３】なお、カセットに基板を搬入する際にも、
上記と同様に、カセットを搬入作業用の台上に予め位置
決めした状態でセットし、搬送装置のハンドによって、
このハンド上に吸着した基板をカセット内に進入させ、
基板をカセット内の棚上に載置していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
方法を通箱用の発泡プラスチック製のカセットにそのま
ま適用すると、以下のような問題が生じる。すなわち、
通箱用のカセットは、輸送時の安全等のため、基板を保
持している溝と基板との隙間が、上記のようなプロセス
ライン専用のカセットに比較して狭くなっているので、
通常、基板をこの溝に対して擦りつつ摩擦力に抗して取
り出さざるを得ない。したがって、吸着力に限界がある
真空チャックでは取り出しミスが起こる虞がある。さら
に、首尾良く基板を取り出せても、取り出した基板がこ
のハンドに対する正規の位置からずれる可能性もあるの
で、次工程に位置決め機構が必要となる。

【０００５】さらに、通箱用の発泡プラスチック製のカ
セットは、プロセスラインで使用するカセットに比較し
て軽量であり、しかもその成形に際して歪みが生じてい
る場合が多いので、基板の搬出・搬入の際にこの基板の
引き出しまたは収納にともなってカセットが傾いてしま
い、搬出・搬入中の基板を破損するといった問題や、基
板の搬出・搬入の際にカセットごとブロックからはずれ
てしまう位置ズレが生じ、基板の搬出・搬入が不能な状
態となってしまうといった問題がある。

【０００６】そこで、この発明は、通箱用の発泡性樹脂
製のカセットから精密電子機器用の基板を位置ずれなく
確実に搬出することが可能な搬送装置を提供することを
目的とする。さらに、この発明は、通箱用の発泡性樹脂
製のカセットから精密電子機器用の基板を位置ずれなく
確実に搬出・搬入することが可能な基板取り扱い方法を
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明の請求項１の搬送装置は、精密電子機器用
の基板を保持可能なハンドを備え、発泡性樹脂で形成さ
れた基板輸送用のカセットから基板をハンドによって取
り出して搬送する装置であって、ハンドの先端に突起が
立設され、基板の端部のうちカセットの奥側の端部に突
起を係合させてカセットから基板を引き出すことを特徴
とする。

【０００８】また、請求項２の基板取り扱い方法は、発
泡性樹脂で形成された基板輸送用のカセットからの精密
電子機器用の基板の取り出し、またはカセットへの基板
の収納を行う方法において、あらかじめカセットの側面
に凹部を形成しておき、基板が収容された状態でカセッ
トを載置台上に載置し、載置台に連結されたカセット固
定用爪を凹部に嵌め込んでカセットを下方に押圧し、押
圧がなされた状態で、カセットからの基板の取り出しま
たはカセットへの基板の収納を行うことを特徴とする。

【０００９】

【作用】請求項１の搬送装置では、ハンドの先端に突起
が立設され、基板の端部のうちカセットの奥側の端部に
この突起を係合させてカセットから基板を引き出すの
で、カセットと基板との間に比較的大きな摩擦抵抗が生
じる場合にも、ハンド上に支持された基板をハンドとと
もに確実にカセットから引き出すことができ、基板の取
り出しミスや位置ズレが生じない。

【００１０】また、請求項２の基板取り扱い方法では、
載置台に連結されたカセット固定用爪をカセットの凹部
に嵌め込んでカセットを下方に押圧し、押圧がなされた
状態で、カセットからの基板の取り出しまたはカセット
への基板の収納を行う。したがって、カセットが確実に
固定されている安定した状態で、基板をカセットから確
実に引き出したりこれに収納することができ、基板の取
り出しミスや位置ズレ、破損等が生じにくい。さらに、
凹部に固定用爪を嵌め込んで凹部を台側の下方に押圧し
た状態とするので、カセットの下面を台の上面と一致さ
せて平坦なものとすることができ、カセットの成形時の
歪みが矯正され、基板の取り出し・収納がより円滑なも
のとなる。

【００１１】

【実施例】図１は、実施例の搬送装置であるローダの全
体を示す側面図である。ローダ２から延びる吸着ハンド
４は、液晶表示器用の角形のガラス基板５を収納した輸
送用カセット６内に進入し、ガラス基板５を保持し、こ
れを輸送用カセット６外に搬出し、プロセスライン用の
カセットやプロセスラインの処理部（図示を省略）など
に移載する。

【００１２】ここで、上記した輸送用カセット６は、ガ
ラス基板５の工場間での輸送等に用いられる一般に通箱
と呼ばれるもので、発泡性樹脂である発泡ポリプロピレ
ンなどから形成されている（図面では、ガラス基板５の
搬出のために、蓋側の部材が取り除かれた本体部分のみ
が示されている。）。また、上記したプロセスラインと
は、例えば成膜、洗浄、レジストコーティング等の各種
処理部からなる基板処理装置のことをいう。また、プロ
セスライン用のカセットとは、堅い樹脂等からなるカセ
ットをいい、ガラス基板５を収容した状態で工場外へ
（又は遠隔地へ）輸送することを目的としないものであ
り、ガラス基板５を保持している溝とガラス基板５との
隙間が、上記のような輸送用カセット６に比較して広く
なっている。

【００１３】吸着ハンド４は、ステージ７に設けられた
レール（図示せず）にガイドされていて、ステージ７上
を水平Ｘ方向に往復動する。吸着ハンド４の往復動は、
モータ７ａの回転をベルト７ｂを介して伝達することに
よって制御する。

【００１４】ステージ７は、基台８内に設けられたモー
タ８ａによって軸８ｂを中心としてθ方向に自在に回転
（旋回）する。また、ステージ７は、基台８内に設けら
れた別のモータ８ｃの回転を垂直往復動に変換する伝達
機構８ｄによって軸８ｂごと垂直Ｚ方向に上下動する。
この結果、吸着ハンド４は、円筒座標の任意の点に移動
することができる。吸着ハンド４の位置検出は、ステッ
ピングモータである各モータ７ａ、８ａ、８ｃの制御信
号をカウントすることによって行っている。コントロー
ラ９は、各モータ７ａ、８ａ、８ｃを駆動しつつその制
御信号をモニタし、吸着ハンド４を所望の位置に制御し
つつ移動させる。

【００１５】図２は、図１のローダ２の吸着ハンド４部
分を拡大した部分破断平面図である。また、図３は、図
２のハンド４の先端に形成したスライドストッパ８４の
構造を拡大して示す平面図及び側面図である。さらに、
図４は、後述する回転アーム４４とズレセンサＤＳの配
置関係を示した部分拡大図であり、図５は、ハンド本体
１４の側方部分断面図であって、回転アーム４４とズレ
センサＤＳの立体的位置関係を示す図となっている。

【００１６】図２に示されているように、ハンド本体１
４（金属製ハウジング）の上面には、ガラス基板５（点
線）を吸着する３つの真空チャック２４が設けられてお
り、図示しない真空装置からの負圧がこの真空チャック
２４に適宜与えられる。この真空チャック２４を動作さ
せることによって、ハンド本体１４上に支持されている
ガラス基板５がハンド本体１４上に固定されるので、吸
着ハンド４の旋回等の動作にともなってガラス基板５が
落下したり位置ズレすることを防止できる。ハンド本体
１４の先端部には、一対の樹脂製の突起部（好ましくは
フッ素樹脂製の突起部）８４ａを備えるスライドストッ
パ８４が形成されている。このスライドストッパ８４
は、搬送用カセット６内に進入させた吸着ハンド４を後
退させる際に、この吸着ハンド４上方にあるガラス基板
５の奥側の端部に引っ掛かって、このガラス基板５を輸
送用カセット６外に確実に引き出す。しかも、スライド
ストッパ８４がガラス基板５の奥側の端部に機械的に引
っ掛かった状態でこのガラス基板５の取り出しが行われ
るので、ガラス基板５が吸着ハンド４上で滑って位置ズ
レが生じることを確実に防止できる。ハンド本体１４の
中央部は中空となっていて、基板有無センサ３４と回転
アーム４４とズレセンサＤＳとが内蔵されている。これ
らのセンサ３４、ＤＳは、ケース６４内に収納されたセ
ンサ駆動回路その他の装置によって駆動される。これら
のセンサ３４、ＤＳの検出結果は、図１の制御装置９に
入力される。後に詳細を説明するが、この制御装置９か
らの制御によって、ガラス基板５と吸着ハンド４の相対
的位置が調整されるので、輸送用カセット６中のいずれ
かのガラス基板５に飛び出し等が生じている場合にも、
吸着ハンド４をこのガラス基板５直下の正規の位置に位
置合わせして進入させることができる。すなわち、輸送
用カセット６からのガラス基板５の飛び出しの有無に拘
らず、吸着ハンド４をそのスライドストッパ８４がガラ
ス基板５の奥側の端部に引っ掛かるように位置合わせす
ることができ、ガラス基板５を吸着ハンド４に対する正
規の載置位置からの位置ズレを補償した状態で輸送用カ
セット６外に搬出できる。

【００１７】図２のスライドストッパ８４は、図３
（ａ）及び図３（ｂ）に拡大して示すように、吸着ハン
ド４からその先端方向に水平に延びる第１の板状体８４
ｂと、この第１の板状体８４ｂの先端にこれと直交する
ように取り付けられている第２の板状体８４ｃと、この
第２の板状体８４ｃの両端に取り付けられた一対の円柱
状の突起部８４ａとを備える。各突起部８４ａは、ガラ
ス基板５（点線）を輸送用カセット６から搬出するに際
して、ガラス基板５の奥側の端部５ａに係合し、吸着ハ
ンド４上の正規の載置位置にあるガラス基板５が吸着ハ
ンド４の進入方向に滑動するという搬出動作中の位置ズ
レを防止する。すなわち、輸送用カセット６内にその成
形歪み等に起因して比較的強固に把持されているガラス
基板５を輸送用カセット６外に強制的に引き出すとき
に、真空チャック２４による吸着ではガラス基板５が吸
着ハンド４の進入方向に滑って位置ズレが生じる可能性
があるが、このような突起部８４ａを、正規の位置に支
持されているガラス基板５の端部５ａに対応する対称な
位置に固設しておくことで、この突起部８４ａがガラス
基板５の端部５ａを対称に支持するので、ガラス基板５
の搬出動作中の位置ズレの発生を防止しつつガラス基板
５を輸送用カセット６外に確実に取り出すことができ
る。

【００１８】図２の回転アーム４４は、図４に拡大して
示すように、ベアリングを内蔵する回転軸４４ａを中心
に水平面内でシーソー様に往復回転（旋回）する。この
回転アーム４４の一端には、水平面内で回転可能にベア
リングで軸支された樹脂製のローラ４４ｂ（好ましくは
フッ素樹脂製ローラ）が取り付けられている。図５に示
されているように、このローラ４４ｂは、ハンド本体１
４の上面から突出している。このローラ４４ｂは、ハン
ド本体１４が輸送用カセット６中に並ぶガラス基板５の
直下に近接して挿入された場合に、ガラス基板５の端部
に当接してこの基板５の端部によって図４の右方向に押
圧される。図４に仮想線で示すように、ローラ４４ｂへ
のこの押圧力によって回転アーム４４は水平面内で旋回
するが、この旋回につれてローラ４４ｂは回転軸４４ａ
を中心にして公転するとともに、基板５の端部上を相対
的に転がるような関係で自転する。すなわち、ガラス基
板５の端部が図４の一点鎖線Ａの位置にあるとき、ロー
ラ４４ｂは図示の位置にあるが、ガラス基板５の端部が
二点鎖線の位置Ｂに移動したとき、ローラ４４ｂはガラ
ス基板５の位置に応じて変位するとともにそれに応じた
角度だけ自転している。

【００１９】ズレセンサ本体５４は、回転アーム４４の
他端の動きを検出するフォトインタラプタ５４ａを備
え、ハンド本体１４の進入に際してのガラス基板５の正
規の載置位置からの位置ズレを電気的に検知し、制御装
置９に出力する。

【００２０】アーム本体４４ｃは、上下部材とこれらに
挟まれた中間部材からなる断面が「コ」の字状の材料か
ら形成され、その溝部分にバネ４４ｇを収容している。
このアーム本体４４ｃの一端に形成されたローラ４４ｂ
は、ハンド本体１４の上面に形成されている開口４４ｄ
を介してハンド本体１４上に突出している（図５）。ア
ーム本体４４ｃの他端に形成された遮光用の板状のセク
タ４４ｅは、ズレセンサ５４のフォトインタラプタ５４
ａの間に進出したり待避したりする（図５）。アーム本
体４４ｃは、ハンド本体１４側に固定されたピン４４ｆ
とこれに係止されたバネ４４ｇとによって、図４の時計
方向に向けて付勢されている。ただし、アーム本体４４
ｃは、ストッパ４４ｈによって、実線の位置以上の時計
方向の回転が禁止されている。

【００２１】ここで、ハンド本体１４が輸送用カセット
６中のいずれか１つのガラス基板５の直下に近接して挿
入された場合を考える。ガラス基板５の端部が図４の一
点鎖線Ａの位置にあるとき、回転アーム４４は図示実線
の位置にあり、フォトインタラプタ５４ａの出力はオフ
となっている。ガラス基板５の端部が二点鎖線Ｂの位置
にあるとき、回転アーム４４’は図示二点鎖線の位置に
あり、フォトインタラプタ５４ａの出力はオンとなって
いる。ガラス基板５がこの間を往復する間、ローラ４４
ｂは、ガラス基板５の端部に当接してガラス基板５とと
もに往復動する。この場合、ローラ４４ｂが滑らかに自
転する樹脂で出来ているので、ガラス基板５が図示のよ
うに変位しても、パーティクルは発生しない。

【００２２】なお、図２に示す吸着ハンド４の中央部に
設けられている基板有無センサ３４は、ガラス基板５の
存在の有無を補助的に検出するために用いるもので、発
光部３４ａ及び受光部３４ｂを備える。発光部３４ａか
らの検査光は、スリット１４ａをへてガラス基板５の下
面で通常反射され、再びスリット１４ａをへて受光部３
４ｂに入射する。ガラス基板５が図示の位置にない場
合、受光部３４ｂに検査光が入射しなくなるので、ガラ
ス基板５が吸着ハンド４の上方にないことを認識でき
る。この場合、吸着ハンド４は、ガラス基板５の搬出動
作を行わず、輸送用カセット６から迅速に後退して次の
動作にうつる。

【００２３】図６（ａ）及び（ｂ）は、図１に示す輸送
用カセット６の固定装置を示した平面図及び背面図であ
る。この固定装置１００によって輸送用カセット６を固
定することにより、輸送用カセット６内からのガラス基
板５の搬出がより確実なものとなる。この固定装置１０
０は、輸送用カセット６の下面を支持する台である一対
のベース板１１０と、輸送用カセット６の側面の四隅に
形成されている４個の凹部３６に嵌り込む４個の爪部材
１２０と、これらの爪部材１２０を回転軸１２２の回り
に回転駆動するエアシリンダ１２４とを備える。

【００２４】一対のベース板１１０は、それらの上面が
同一平面内に位置するように支柱上に固定されている。
各爪部材１２０は、水平方向に延びる回転軸１２２に固
定的に取り付けられ、この回転軸１２２の回転にともな
って回転する。一方の回転軸１２２に取り付けられてい
る一対の各爪部材１２０は、その面が互いに同一の回転
角になるように調節されて固定されている。他方の回転
軸１２２に取り付けられている一対の各爪部材１２０も
同様に、その面が互いに同一の回転角になるように調節
されて固定されている。エアシリンダ１２４は、圧縮空
気源（図示を省略）から伝達される空気圧に応じて動作
し、伝達機構１２６を介して、回転軸１２２を図面の時
計方向に回転させたり、反時計方向に回転させたりす
る。なお、回転軸１２２や伝達機構１２６は、ハウジン
グ１３０内に収容されている。

【００２５】参考のため、図６を参照しつつ輸送用カセ
ット６について簡単に説明しておく。この輸送用カセッ
ト６は、既に述べたように、一般に通箱と呼ばれるもの
で、発泡性樹脂である発泡ポリプロピレン等から形成さ
れている。図６では、ガラス基板５の搬出ために、蓋側
の部材が取り除かれている。

【００２６】輸送用カセット６の左右の内壁には、水平
方向に延びる複数の溝が垂直方向に等間隔で周期的に形
成されている。この溝内にガラス基板５の端部が差し込
まれ、輸送用カセット６内に保持される。輸送用カセッ
ト６の奥の内壁には、一対の縦方向に延びるダンパ２６
が形成されている。このダンパ２６は、フッ素系樹脂で
できており、輸送用カセット６の輸送に際して内部のガ
ラス基板５を支持する。輸送用カセット６外周の左右側
面に形成されている４個の凹部３６には、固定装置１０
０側の４個の爪部材１２０が進入自在となっている。各
凹部３６に進入した各爪部材１２０は、輸送用カセット
６の位置ずれを機械的に防止するとともに、各凹部３６
を固定装置１００のベース板１１０側に押し付けて、輸
送用カセット６の成形の際の歪みを矯正する。

【００２７】なお、各凹部３６を輸送用カセット６の下
側（固定装置１００のベース板１１０側）に形成してあ
るので、各爪部材１２０、回転軸１２２等をベース板１
１０に近い下側に配置することができ、パーティクルに
よってガラス基板５が汚染されることを極力防止でき
る。すなわち、プロセスラインや固定装置１００が設置
されるクリーンルームでは、ダウンフローによってパー
ティクルの浮遊が低減されるようになっているので、パ
ーティクルを発生する虞がある可動部はパスライン（パ
スラインとは、ワークすなわち実施例ではガラス基板５
が通る高さをいう。）より下方にあることが望ましい。
実施例の固定装置１００では、各凹部３６を輸送用カセ
ット６の側壁の下側、すなわち固定装置１００のベース
板１１０側に形成してあるので、各爪部材１２０と各凹
部３６の間、回転軸１２２自体から発生する可能性があ
るパーティクルによってガラス基板５が汚染されること
を極力防止することができる。

【００２８】図７は、輸送用カセット６の左右の内壁の
状態を模式的に示す平面図である。図示のように、輸送
用カセット６の左右の内壁の溝底１６ｂは、その開口に
向けてわずかな開き角を有している。この結果、内部空
間に収容されるガラス基板５は、左右内壁の下端、すな
わち輸送用カセット６の奥側の部分（図面下端）でセン
タリングされかつ固定される。その一方、輸送用カセッ
ト６の左右内壁に形成された溝頂１６ａが開き角を有し
ていないので、ガラス基板５は、輸送用カセット６の左
右内壁の上端において緩みのある状態で固定される。こ
の結果、輸送用カセット６の輸送時やガラス基板５の搬
出・搬入時および輸送時に、ガラス基板５と輸送用カセ
ット６の間での擦れによってパーティクルが発生するこ
とを効果的に防止できる。

【００２９】以下、図１のローダと図６の固定装置１０
０による搬出動作について説明する。

【００３０】予め、図６の固定装置１００によって、輸
送用カセット６を固定する工程について説明する。ま
ず、蓋を取った輸送用カセット６をベース板１１０上に
位置合わせして載置し、エアシリンダ１２４を伸長側に
動作させる。これにより、各爪部材１２０が回転して輸
送用カセット６の側壁の四隅の各凹部３６内に嵌まり、
各凹部３６を下方のベース板１１０側に押圧する。この
結果、ベース板１１０上の輸送用カセット６の位置決め
及び固定が達成され、輸送用カセット６が確実に固定さ
れている安定した状態でガラス基板５を搬送用カセット
６外に確実に引き出すことができ、ガラス基板５の取り
出しミスや位置ズレ、破損が生じにくい。さらにこの
際、輸送用カセット６の下面がベース板１１０上に押し
付けられ、この下面が平坦面となるので、輸送用カセッ
ト６の下面側の成形時における歪みが矯正され、輸送用
カセット６の全体の成形時における歪みもある程度矯正
される。よって、ガラス基板５の搬出時におけるガラス
基板５と輸送用カセット６と間の摩擦抵抗が減少し、ガ
ラス基板５の搬出動作が比較的円滑になるとともに、摩
擦によるパーティクルの発生を抑制することができる。

【００３１】なお、輸送用カセット６から全てのガラス
基板５を取り出した後は、図６の固定装置１００による
固定を解除して、輸送用カセット６を取り除く。すなわ
ち、エアシリンダ１２４を短縮側に動作させ、各爪部材
１２０を回転させて、輸送用カセット６の側壁の各凹部
３６内から待避させる。これにより、固定装置１００の
ベース板１１０上の輸送用カセット６は、固定が解除さ
れて次の輸送用カセットと交換可能な状態となる。

【００３２】次に、図１のローダ２によって、輸送用カ
セット６中のガラス基板５を取り出す工程について説明
する。図８は、ローダ２の吸着ハンド４を輸送用カセッ
ト６中の１つのガラス基板５直下にガラス基板５と接触
しないように進入させてガラス基板５を取り出す場合に
おける、制御装置９での処理フローの一部を示す。最初
のステップＳ１で、吸着ハンド４の前進を開始させる。
次のステップＳ２では、ズレセンサＤＳの出力のオン・
オフを判別する。ズレセンサＤＳがオフ、すなわちガラ
ス基板５の端部が図４の一点鎖線Ａの位置を超えていな
い場合には、次のステップＳ３で、吸着ハンド４が減速
位置に達したか否かを判別する。減速位置とは、ガラス
基板５が輸送用カセット６内に正確に収まっている場合
の吸着ハンド４の減速開始位置のことをいう。減速開始
位置に達している場合には、次のステップＳ４で、吸着
ハンド４の進入速度を減速させる。このような減速段階
を設けているのは、吸着ハンド４を迅速にガラス基板５
直下に進入させるとともに、吸着ハンド４の停止時にお
ける衝撃を緩和するためである。ステップＳ５では、吸
着ハンド４が停止位置に達したか否かを判別する。停止
位置とは、ガラス基板５が輸送用カセット６内に正確に
収まっている場合の吸着ハンド４の停止予定位置のこと
をいう。

【００３３】停止位置に達している場合には、次のステ
ップＳ６で、吸着ハンド４を完全に停止させる。ステッ
プＳ７では、再びズレセンサＤＳの出力のオン・オフを
判別する。ズレセンサＤＳがオフ、すなわちガラス基板
５の端部が一点鎖線Ａの位置を超えていない場合には、
吸着ハンド４が適正な位置まで進入してガラス基板５と
の位置合わせが完了したものとして、最後のステップＳ
８で吸着ハンド４の進入動作を終了させる。

【００３４】図９（ａ）は、上記のような吸着ハンド４
の動作を示した図である。この場合、ガラス基板５は、
輸送用カセット６内の正規の位置に収まっている。時刻
ｔ１で、ステップＳ３からステップＳ４に進み、吸着ハ
ンド４の減速を開始する。時刻ｔ３で、ステップＳ５か
らステップＳ６に進み、吸着ハンド４を停止させ、吸着
ハンド４の位置合わせを終了する（Ｓ８）。

【００３５】再び図８に戻って説明する。ステップＳ７
で、ズレセンサＤＳがオン、すなわちハンド４の進入過
程の途中においてガラス基板５の端部が一点鎖線Ａの位
置を超えた場合には、ガラス基板５が輸送用カセット６
の正規の位置に収まっておらず、輸送用カセット６の正
規位置から突出していることになる。このため、このと
きにはそのガラス基板５の実際の位置を基準にして考え
た場合には吸着ハンド４がオーバーランしたことにな
る。したがって、ステップＳ１５に進み、吸着ハンド４
をいったん停止させた後に比較的低速で後退させ始め
る。ステップＳ１６では、再びズレセンサＤＳの出力の
オン・オフを判別する。ズレセンサＤＳがオフ、すなわ
ちガラス基板５の端部が一点鎖線Ａの位置まで戻ってい
る場合には、吸着ハンド４とガラス基板５との位置合わ
せが完了したものとして、ステップＳ１７で吸着ハンド
４を停止させ、最後のステップＳ８で吸着ハンド４の進
入動作を終了させる。

【００３６】図９（ｂ）は、上記のような吸着ハンド４
の動作を示した図である。この場合、ガラス基板５は、
既述したように輸送用カセット６内の正規の位置からわ
ずかに飛び出している。時刻ｔ１で、ステップＳ３から
ステップＳ４に進み、図９（ａ）同様に吸着ハンド４の
減速を開始する。時刻ｔ２で、ズレセンサＤＳがオンと
なるが、減速を続ける。時刻ｔ３で、ステップＳ５から
ステップＳ６に進み、吸着ハンド４を停止させるが、ズ
レセンサＤＳがオンであるためステップＳ７からステッ
プＳ１５に進み、吸着ハンド４を後退させ始める。時刻
ｔ４で、ズレセンサＤＳがオフとなるため、ステップＳ
１６からステップＳ１７に進み、吸着ハンド４を停止さ
せ、吸着ハンド４の位置合わせを終了する（Ｓ８）。

【００３７】再び図８に戻って説明する。ステップＳ２
で、ズレセンサＤＳがオン、すなわち減速開始前にガラ
ス基板５の端部が一点鎖線Ａの位置を超えることになっ
た場合には、ガラス基板５が輸送用カセット６の正規の
位置からかなり飛び出しているため吸着ハンド４がオー
バーランしたものとしてステップＳ１０に進み、正規の
減速開始位置に至る前に吸着ハンド４を減速させ始め
る。吸着ハンド４が減速開始後所定距離だけ進んだ場合
には、ステップＳ１０からステップＳ１１に進み、吸着
ハンド４を停止させる。吸着ハンド４の停止後、ステッ
プＳ１１からステップＳ１５に進み、吸着ハンド４を比
較的低速で後退させ始める。以下は既述した図９（ｂ）
に対応する場合と同様であり、その詳細は省略する。

【００３８】図９（ｃ）は、上記のような場合の吸着ハ
ンド４の動作を示した図である。この場合、ガラス基板
５は、輸送用カセット６内の正規の位置からかなり飛び
出している。時刻ｔ０で、ズレセンサＤＳがオンとなる
ことから、ステップＳ２からステップＳ１０に進み、吸
着ハンド４の減速を開始する。時刻ｔ２’で、ステップ
Ｓ１０からステップＳ１１に進み、吸着ハンド４を停止
させて、さらにステップＳ１５に進み、吸着ハンド４を
後退させ始める。時刻ｔ５で、ズレセンサＤＳがオフと
なるため、ステップＳ１６からステップＳ１７に進み、
吸着ハンド４を停止させ、吸着ハンド４の位置合わせを
終了する（Ｓ８）。

【００３９】以上のような位置合わせの終了後、吸着ハ
ンド４を若干上昇させ、ガラス基板５を下方から支持す
る。図１０は、このときの吸着ハンド４、ガラス基板
５、及び輸送用カセット６の位置関係を示した図であ
る。その後、吸着ハンド４を後退させてガラス基板５を
輸送用カセット６から取り出す。この場合、吸着ハンド
４の先端に、吸着ハンド４上に支持されているガラス基
板５が摩擦で先端方向（吸着ハンド４の進入方向）にス
リップ移動するのを引っ掛けによって阻止する突起部８
４ａを設けているので、吸着ハンド４上に支持されてい
るガラス基板５を吸着ハンド４とともに搬送用カセット
６から確実に引き出すことができ、ガラス基板５の取り
出しミスや位置ズレが生じない。最後に、真空チャック
２４によって吸着ハンド４上のガラス基板５を吸着固定
して吸着ハンド４とともにガラス基板５を移送し、プロ
セスラインの処理部や、プロセスライン専用のカセット
等に移載する。

【００４０】なお、スライドストッパ８４の突起部８４
ａの頂部の高さ位置は、ズレセンサＤＳのローラ４４ｂ
の頂部の高さ位置より低くなっている。これは、吸着ハ
ンド４を輸送用カセット６内に支持されているガラス基
板５直下に挿入する動作に際して、突起部８４ａがガラ
ス基板５と干渉するという問題を避けつつ、ローラ４４
ｂがガラス基板５の端部に当接して吸着ハンド４とガラ
ス基板５の相対的位置合わせが可能になるようにしたも
のである。したがって、吸着ハンド４は、その突起部８
４ａの頂部とそのローラ４４ｂ頂部との間の高さにガラ
ス基板５の下端面が位置するように挿入される。

【００４１】以上、実施例に即して本発明を説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、実施例ではガラス基板５を保持するために吸着ハ
ンド４を用いたが、この代わりに機械的機構によって動
作するチャックその他の各種の保持機構を用いたハンド
を用い、このハンドにガラス基板５の位置ズレを防止す
るための、スライドストッパ８４、回転アーム４４、ズ
レセンサＤＳ等を取り付けることもできる。

【００４２】また、上記実施例では、ガラス基板５の取
り出しの際の位置ズレを防止するため、一対の円柱状の
突起部８４ａを備えるスライドストッパ８４を用いてい
るが、ガラス基板５を搬送用カセット６から引き出す際
にガラス基板５の端部に引っ掛かってスリップを防止し
得る限り、突起部８４ａの形状は任意のものとすること
ができる。

【００４３】また、上記実施例では、輸送用カセット６
からガラス基板５を取り出す場合について説明したが、
プロセスラインの終端からガラス基板５を取り出して輸
送用カセット６に収納する場合にも、実施例のローダ２
をアンローダとして用いることができ、実施例の固定装
置１００を輸送用カセット６の固定に用いることができ
る。この場合、プロセスラインの終端のカセット等でガ
ラス基板５が正規の位置に収まっていなくても、吸着ハ
ンド４とガラス基板５とを位置合わせして、ガラス基板
５を輸送用カセット６内に適宜収納することができる。

【００４４】また、上記実施例では、液晶表示器用のガ
ラス基板５の搬送について説明したが、液晶表示器用以
外の各種基板の搬送にも、実施例のローダ２と同一また
は類似の構成を用いることができる。例えば、プラズマ
ディスプレィ用ガラス基板の搬送、プリント配線基板の
搬送、太陽電池用の基板の搬送、半導体製造用のクロー
ムマスクの搬送等に実施例のローダ２及び固定装置１０
０を用いることができる。

【００４５】また、上記実施例では、基板の端部の位置
を検出するため、ガラス基板５端部に当接する回転アー
ム４４を用いているが、各種の往復機構を用いガラス基
板５端部に当接させつつ移動させて、ガラス基板５の位
置ズレを検出させることができる。ただし、実施例のよ
うにシーソー様の回転アーム４４を用いた場合、回転ア
ーム４４をガラス基板５端部の変位に応じて滑らかに回
転させることができるので、位置ズレの調整精度を高め
ることができ、またガラス基板５端部の変位を拡大する
こともできる。

【００４６】また、回転アーム４４の回転軸の方向は任
意であるが、実施例のように水平面内の回転ではなくた
とえば垂直面内で回転できるようにすることもできる
が、前者の場合には吸着ハンド４を厚くする必要がない
ため、輸送用カセット６からガラス基板５を取り出す場
合に好適である。

【００４７】

【発明の効果】以上説明のように、請求項１の搬送装置
では、ハンドの先端に突起が立設され、基板の端部のう
ちカセットの奥側の端部に突起を係合させてカセットか
ら基板を引き出すので、カセットと基板との間に比較的
大きな摩擦抵抗が生じる場合にも、ハンド上に支持され
た基板をハンドとともに確実にカセットから引き出すこ
とができ、基板の取り出しミスや位置ズレが生じない。
すなわち、簡易な構造によってカセットからの基板の取
り出しミスや位置ズレを防止できる。

【００４８】また、請求項２の基板取り扱い方法では、
載置台に連結されたカセット固定用爪をカセットの凹部
に嵌め込んでカセットを下方に押圧し、押圧がなされた
状態で、カセットからの基板の取り出しまたはカセット
への基板の収納を行う。したがって、カセットが確実に
固定されている安定した状態で、基板をカセットから確
実に引き出したりこれに収納することができ、基板の取
り出しミスや位置ズレ、破損等が生じにくい。さらに、
凹部に固定用爪を嵌め込んで凹部を台側の下方に押圧し
た状態とするので、カセットの下面を台の上面と一致さ
せて平坦なものとすることができ、カセットの成形時の
歪みが矯正され、基板の取り出し・収納がより円滑なも
のとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の搬送装置の構成を示した図である。

【図２】図１の搬送装置の吸着ハンドの平面図である。

【図３】図２の吸着ハンドの要部であるスライドストッ
パの拡大平面図及び側面図である。

【図４】図２の吸着ハンドの要部である回転アームの拡
大平面図である。

【図５】図４の回転アームの側方断面図である。

【図６】ガラス基板を収容する搬送用カセットとその固
定装置を示す平面図及び背面図である。

【図７】搬送用カセットの構造を模式的に説明する図で
ある。

【図８】図１の搬送装置の動作説明するフローチャート
である。

【図９】図１の搬送装置の動作説明するタイミングチャ
ートである。

【図１０】搬出動作時における吸着ハンド４、ガラス基
板５及び搬送用カセット６の位置関係を示す図である。

【符号の説明】

２ 搬送装置 ４ 吸着ハンド ５ ガラス基板 ６ 輸送用カセット ９ 制御装置 ４４ 回転アーム ８４ スライドストッパ ８４ａ 突起部 ＤＳ ズレセンサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 精密電子機器用の基板を保持可能なハン
   ドを備え、発泡性樹脂で形成された基板輸送用のカセッ
   トから前記基板を前記ハンドによって取り出して搬送す
   る装置であって、 前記ハンドの先端に突起が立設され、 前記基板の端部のうち前記カセットの奥側の端部に前記
   突起を係合させて前記カセットから前記基板を引き出す
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 発泡性樹脂で形成された基板輸送用のカ
   セットからの精密電子機器用の前記基板の取り出し、ま
   たは前記カセットへの前記基板の収納を行う方法におい
   て、 あらかじめ前記カセットの側面に凹部を形成しておき、 前記基板が収容された状態で前記カセットを載置台上に
   載置し、 前記載置台に連結されたカセット固定用爪を前記凹部に
   嵌め込んで前記カセットを下方に押圧し、 前記押圧がなされた状態で、前記カセットからの前記基
   板の取り出しまたは前記カセットへの前記基板の収納を
   行うことを特徴とする基板取り扱い方法。