JP4207268B2 - 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出装置、並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電荷転送装置や固体撮像装置には、電荷転送部によって転送されてきた信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出装置が設けられている。この電荷検出装置として、電源電圧の広範囲な変化に対しても、常にリセットトランジスタの動作点を保証可能な構成のものが本出願人により提案されている(特開平10−214961号公報参照)。この従来例に係る電荷検出装置の構成を図3に示す。
【0003】
図3において、例えばCCD固体撮像装置の水平転送レジスタ(図中、Hレジと記す)101の転送先側の端部には、この水平転送レジスタ101によって転送されてきた信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョン(浮遊容量)領域(以下、FD領域と称する)102が設けられている。このFD領域102に蓄積された信号電荷は、電荷検出回路103によって検出され、電気信号に変換されて出力端子104から外部へ出力される。
【0004】
また、FD領域102の電位を所定電位にリセットするためのリセットトランジスタ105が設けられている。このリセットトランジスタ105のソース電極はFD領域102に、ゲート電極はリセット端子106にそれぞれ接続されている。リセット端子106には、チップ107外に設けられた外部容量108を介してリセットゲートパルスφRGが印加される。
【0005】
チップ107上にはさらに、リセットトランジスタ105のゲート電極にバイアス電圧Vrgを与えるリセットゲートバイアス回路110と、リセットトランジスタ105のドレイン電極にバイアス電圧Vrdを与えるリセットドレインバイアス回路120とが設けられている。
【0006】
リセットゲートバイアス回路110は、ドレイン電極が電源端子109に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリ効果を持つドライブトランジスタ(メモリトランジスタ)111と、このドライブトランジスタ111のゲート電極とドレイン電極との間に接続された抵抗112と、ドライブトランジスタ111のソース電極とグランドとの間に接続された抵抗113とからなるソースフォロワ回路構成となっており、ドライブトランジスタ111のソース電極がリセットトランジスタ105のゲート電極に接続されて当該ゲート電極にバイアス電圧Vrgを与える。
【0007】
リセットドレインバイアス回路120も、リセットゲートバイアス回路110と同様の回路構成となっている。すなわち、ドレイン電極が電源端子109に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリ効果を持つドライブトランジスタ121と、このドライブトランジスタ121のゲート電極とドレイン電極との間に接続された抵抗122と、ドライブトランジスタ121のソース電極とグランドとの間に接続された抵抗123とからなるソースフォロワ回路構成となっており、ドライブトランジスタ121のソース電極がリセットトランジスタ105のドレイン電極に接続されて当該ドレイン電極にバイアス電圧Vrdを与える構成となっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の従来例に係る電荷検出装置では、リセットゲートバイアス回路110のメモリ効果を持つドライブトランジスタ(ソースフォロワトランジスタ)111を空乏化構造とし、リセットドレインバイアス回路120のメモリ効果を持つドライブトランジスタ(ソースフォロワトランジスタ)121をニュートラル構造とすることで、ゲインマッチングをとっている。
【0009】
ところが、リセットゲートバイアス回路110の空乏化構造により、例えばCCD固体撮像装置において、画素の信号電荷を半導体基板に掃き捨てる電子シャッター動作を行う際に、リセットゲートバイアス回路110が当該基板に印加されるシャッターパルスの影響、即ちドライブトランジスタ111のバックゲート効果を受けるため、デカップリングのための外部容量108の容量値が大きくなり、この外部容量108の内蔵化(オンチップ化)が困難になるという課題がある。
【0010】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電源電圧の変動があっても常に良好なリセット動作ができるようにゲインマッチングをとるとともに、デカップリングのための外部容量の小容量化を可能とした電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明では、信号電荷を蓄積するFD領域と、このFD領域に蓄えられた信号電荷を検出する検出回路と、FD領域の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、このリセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路と、リセットトランジスタのドレイン電極にバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路とを具備する電荷検出装置において、リセットドレインバイアス回路が、リセットゲートバイアス回路と同等のゲインを有する一方のソースフォロワ回路と、リセットトランジスタのゲート電極と同等のゲインを有する他方のソースフォロワ回路の2段のソースフォロワ構成となっている。
【0012】
上記構成の電荷検出装置において、リセットドレインバイアス回路の一方のソースフォロワ回路をリセットゲートバイアス回路と同等ゲインとし、他方のソースフォロワ回路をリセットトランジスタのゲート電極と同等ゲインとすることで、リセットゲートバイアス回路を空乏化構造としなくても、ゲインマッチングをとることができる。これにより、リセットゲートバイアス回路が基板印加時のシャッターパルスの影響、即ちドライブトランジスタのバックゲート効果を受けなくなるため、デカップリング用の容量を小容量化できる。そして、この電荷検出装置は、固体撮像装置の電荷検出部や電荷転送装置の電荷検出部として用いられる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、例えばCCD固体撮像装置に搭載された本発明の一実施形態に係る電荷検出装置の構成を示す回路図である。
【0014】
図1において、CCD固体撮像装置の水平転送レジスタ(図中、Hレジと記す)11の転送先側の端部には、この水平転送レジスタ11によって転送されてきた信号電荷を蓄積するFD(フローティングディフュージョン;浮遊容量)領域12が設けられている。このFD領域12に蓄積された信号電荷は、電荷検出回路13によって電気信号に変換され、出力端子14から外部へ出力される。
【0015】
また、FD領域12の電位を所定電位にリセットするためのリセットトランジスタ15が設けられている。このリセットトランジスタ15のソース電極はFD領域12に、ゲート電極は容量17を介してリセット端子18にそれぞれ接続されている。リセット端子18には、チップ19の外部からリセットゲートパルスφRGが印加される。
【0016】
チップ19上にはさらに、リセットトランジスタ15のゲート電極にバイアス電圧Vrgを与えるリセットゲートバイアス回路20と、リセットトランジスタ15のドレイン電極にバイアス電圧Vrdを与えるリセットドレインバイアス回路30が設けられている。
【0017】
リセットゲートバイアス回路20は、ドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリ効果を持つドライブトランジスタ(メモリトランジスタ)21と、このドライブトランジスタ21のゲート電極と電源端子16との間に接続された抵抗22と、ドライブトランジスタ21のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗23とからなるソースフォロワ回路構成となっており、ドライブトランジスタ21のソース電極がリセットトランジスタ15のゲート電極に接続されて当該ゲート電極にバイアス電圧Vrgを与える。
【0018】
このリセットゲートバイアス回路20のメモリ効果を持つドライブトランジスタ21としては、ゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜(SiO2 )、シリコン窒化膜(SiN)およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor) 構造のものが用いられる。また、このリセットゲートバイアス回路20は、ダイオード特性を示すロークランプ回路として働き、そのクランプ電位はドライブトランジスタ21の出力電圧である。
【0019】
一方、リセットドレインバイアス回路30は、2段のソースフォロワ回路構成となっている。そして、このリセットドレインバイアス回路30において、1段目のソースフォロワ回路は、リセットゲートバイアス回路20と同じ回路構成、即ちドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリ効果を持つドライブトランジスタ31と、このドライブトランジスタ31のゲート電極と電源端子16との間に接続された抵抗32と、ドライブトランジスタ31のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗33とから構成されている。
【0020】
また、2段目のソースフォロワ回路は、ドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート電極が1段目のドライブトランジスタ31のソース電極に接続されたドライブトランジスタ34と、このドライブトランジスタ34のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗35とから構成されている。そして、2段目のドライブトランジスタ34のソース電極がリセットトランジスタ15のドレイン電極に接続され、当該ドレイン電極にバイアス電圧Vrdを与える。
【0021】
このリセットドレインバイアス回路30の1段目のソースフォロワ回路のメモリ効果を持つドライブトランジスタ31としても、リセットゲートバイアス回路20のドライブトランジスタ21と同様に、ゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS構造のものが用いられる。
【0022】
ところで、リセットゲートバイアス回路20とリセットドレインバイアス回路30とを持つ電荷検出装置において、リセットドレインバイアス回路30のゲインは、リセットゲートバイアス回路20とリセットトランジスタ15のゲート電極の各ゲインの積になるのが理想である。したがって、ゲインをかなり低く作る必要がある。また、リセットゲートバイアス回路20やリセットトランジスタ15のゲート電極の各ポテンシャルばらつきを考えると、リセットドレインバイアス回路30に両者と同様なばらつきを持つ回路を使うことが望まれる。
【0023】
そこで、本実施形態に係る電荷検出回路では、リセットドレインバイアス回路30を上述したようにソースフォロワの2段構成とする。そして、このリセットドレインバイアス回路30において、1段目のソースフォロワ回路をリセットゲートバイアス回路20と同等の回路構成としてゲインやばらつきのマッチングをとり、2段目のソースフォロワ回路をリセットトランジスタ15と同等の構成としてゲインやばらつきのマッチングをとっている。
【0024】
具体的には、リセットゲートバイアス回路20として、上述したようにMONOS構造のメモリ式バイアス回路を用いた場合、リセットドレインバイアス回路30の1段目のソースフォロワ回路にも同構造のバイアス回路を使う。ここで、両者の違いは、多少のVth(閾値電圧)合わせ込み程度とする。これにより、ゲインやばらつきのマッチングが完全にとれる。したがって、両者のバイアス回路20,30のドライブトランジスタ21,31をニュートラル構造としてゲインを落としても全く問題はない。
【0025】
このように、リセットゲートバイアス回路20のドライブトランジスタ21およびリセットドレインバイアス回路30の1段目のドライブトランジスタ31をニュートラル構造とすることにより、CCD固体撮像装置において、画素の信号電荷を半導体基板に掃き捨てる電子シャッター動作を行う際に、リセットゲートバイアス回路20が当該基板に印加されるシャッターパルスの影響、即ちドライブトランジスタ21のバックゲート効果を受けなくなるため、デカップリングのための容量17の容量値が小さくて済む。その結果、容量17のチップ19への内蔵化、即ちオンチップ化が可能となる。
【0026】
また、リセットドレインバイアス回路30において、2段目のソースフォロワ回路のドライブトランジスタ34として、リセットトランジスタ15と同等構造のトランジスタを使う。ここで、両者の違いは、多少のVth合わせ込みとトランジスタサイズ(チャネル幅W/チャネル長L)とする。リセットトランジスタ15は、電荷電圧変換部であるFD領域12の寄生容量を減らすために、一般に小さなサイズで作られる。これに伴って、リセットドレインバイアス回路30の2段目のソースフォロワ回路のドライブトランジスタ34のサイズを小さくしても良い。
【0027】
ところが、両者共ドレイン対ソース間電圧差Vdsがほぼ一定な動作であり、ショートチャネル効果が現れにくく、リセットトランジスタ15の小さいサイズに対して、リセットドレインバイアス回路30のドライブトランジスタ34を大きなサイズとしてもゲインのマッチングを良好にとることができる。もしもゲインにズレがある場合は、意図的に、トランジスタのサイズ、プロファイルあるいはゲート酸化膜の膜厚などを調整しても良い。
【0028】
例えば、リセットトランジスタ15のサイズが極端に小さい場合は、ナローチャネル効果でゲインが落ちることがある。この場合は、リセットトランジスタ15を空乏化構造とし、リセットドレインバイアス回路30の2段目のソースフォロワ回路のドライブトランジスタ34をニュートラル構造としてゲインマッチングをとる。すると、リセットドレインバイアス回路30はシャッターパルスの影響を受けず、リセットトランジスタ15はゲインが向上してFD領域12のダイナミックレンジをとりやすくなる(もしくは、リセットゲートパルスφRGの振幅を低減できる)。ここで、空乏化構造とは、リセットトランジスタ15のウエルが電位的に空乏化状態にあることを言い、ニュートラル構造とは、ウエルが電位的にニュートラル状態にあることを言う。
【0029】
また、リセットトランジスタ15の動作点のばらつき調整に関しては、リセットゲートバイアス回路20の調整や、リセットドレインバイアス回路30の1段目のソースフォロワ回路の調整にてマッチングをとることができる。
【0030】
すなわち、例えばリセットトランジスタ15のゲート電極のポテンシャルが正電位方向にシフトした場合には、リセットゲートバイアス回路20を調整してゲート電極のバイアス電圧Vrgの値を負電位方向に下げれば良く、またリセットトランジスタ15のゲート電極のポテンシャルが負電位方向にシフトした場合には、リセットドレインバイアス回路30の1段目のソースフォロワ回路を調整してドレイン電極のバイアス電圧Vrdの値を負電位方向に下げることで、リセットトランジスタ15の動作点を保証できる。
【0031】
なお、本実施形態では、リセットドレインバイアス回路30において1段目のソースフォロワ回路がリセットゲートバイアス回路20と同等のゲインを有し、2段目のソースフォロワ回路がリセットトランジスタ15のゲート電極と同等のゲインを有する構成としたが、リセットトランジスタ15のバラツキが調整不要な場合、もしくは正電位方向にしかシフトしない場合は、リセットドレインバイアス回路30での調整は不要なため、1段目のソースフォロワ回路と2段目のソースフォロワ回路を入れ換えても良い。
【0032】
また、リセットゲートバイアス回路20およびリセットドレインバイアス回路30の1段目のソースフォロワ回路の消費電流は、ロークランプ回路の逆バイアス時のアイドリング電流のみで微小なものである。したがって、同じ消費電流のバイアス回路を例えば抵抗分割回路で実現しようとすると、高抵抗の抵抗素子を必要とするため回路の占有面積が極めて大きなものとなるが、ソースフォロワ回路構成を採ることで、回路の占有面積を小さくできる。
【0033】
以上説明した本実施形態に係る電荷検出装置は、例えば図2に示す如きインターライン転送方式のCCDエリアセンサにおいて、その水平転送レジスタの後段に設けられる電荷検出部として用いられる。なお、CCDエリアセンサの転送方式は、インターライン転送方式に限られるものではない。
【0034】
図2において、行(垂直)方向および列(水平)方向にマトリクス状に配列され、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積する複数のセンサ部(画素)41と、これらセンサ部41の垂直列ごとに設けられ、各センサ部41から読み出しゲート部(図示せず)を介して読み出された信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直転送レジスタ42とによって撮像エリア43が構成されている。
【0035】
この撮像エリア43において、センサ部41は例えばPN接合のフォトダイオードから構成されている。垂直転送レジスタ42は、例えば4相の垂直転送パルスφV1〜φV4によって転送駆動され、各センサ部41から読み出された信号電荷を水平ブランキング期間の一部にて1走査線(1ライン)に相当する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
【0036】
撮像エリア43の図面上の下側には、水平転送レジスタ44が配されている。この水平転送レジスタ44には、複数本の垂直転送レジスタ42の各々から1ライン(1走査線)に相当する信号電荷が順次転送される。水平転送レジスタ44は、例えば2相の水平転送クロックφH1,φH2によって転送駆動され、複数本の垂直転送レジスタ42から移された1ライン分の信号電荷を、水平ブランキング期間後の水平走査期間において順次水平方向に転送する。
【0037】
水平転送レジスタ44の転送先側の端部には、フローティングディフュージョンアンプ構成の電荷検出部45が設けられている。この電荷検出部45として、先述した実施形態に係る電荷検出装置が用いられる。これによれば、当該電荷検出装置が電源電圧VDDの広範囲な変化に対して、常にリセットトランジスタ15の動作点を保証できることから、デバイスの小型化、低消費電力化の流れで、電源電圧VDDが15Vから12Vに変わる過渡期でも、15Vと12Vの両方で正常に動作可能なCCDエリアセンサを実現できる。
【0038】
なお、本適用例では、CCDエリアセンサの電荷検出部に適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、CCDリニアセンサなど信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出部を備えた固体撮像装置全般に適用可能であり、さらに固体撮像装置の電荷検出部のみならず、CCD遅延素子の電荷検出部など、電荷転送装置の電荷検出部にも適用可能である。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、リセットドレインバイアス回路を2段のソースフォロワ回路構成とするとともに、一方のソースフォロワ回路をリセットゲートバイアス回路と同等ゲインとし、他方のソースフォロワ回路をリセットトランジスタのゲート電極と同等ゲインとしたことにより、電源変動があっても常に良好なリセット動作ができるとともに、リセットゲートバイアス回路を空乏化構造としなくてもゲインマッチングをとることができる。したがって、リセットゲートバイアス回路が基板印加時のシャッターパルスの影響を受けなくなるため、デカップリング用容量の小容量化が図れ、これに伴って当該容量のオンチップ化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電荷検出装置の構成を示す回路図である。
【図2】本発明に係るCCDエリアセンサを示す概略構成図である。
【図3】従来例を示す回路図である。
【符号の説明】
11…水平転送レジスタ、12…FD(フローティングディフュージョン)領域、13…電荷検出回路、15…リセットトランジスタ、20…リセットゲートバイアス回路、21,31…メモリ効果を持つドライブトランジスタ、23,33,35…負荷抵抗、30…リセットドレインバイアス回路
Claims (7)
- 信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量に蓄えられた信号電荷を検出する検出回路と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路と、前記リセットトランジスタのドレイン電極にバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路とを具備する電荷検出装置であって、
前記リセットドレインバイアス回路は、2段のソースフォロワ回路からなり、そのうちの一方のソースフォロワ回路が前記リセットゲートバイアス回路と同等のゲインを有し、他方のソースフォロワ回路が前記リセットトランジスタのゲート電極と同等のゲインを有する
電荷検出装置。 - 前記2段のソースフォロワ回路のうち、1段目のソースフォロワ回路が前記リセットゲートバイアス回路と同等のゲインを有し、2段目のソースフォロワ回路が前記リセットトランジスタのゲート電極と同等のゲインを有する
請求項1記載の電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路はソースフォロワ回路構成であり、前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路の各ソースフォロワトランジスタはウエルが電位的にニュートラル状態にあるニュートラル構造となっている
請求項1記載の電荷検出装置。 - 前記リセットトランジスタはウエルが電位的に空乏化状態にある空乏化構造となっている
請求項3記載の電荷検出装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、少なくとも1段目のソースフォロワ回路にメモリ効果を持ったトランジスタを使用した
請求項1記載の電荷検出装置。 - 信号電荷を転送する電荷転送部と、前記電荷転送部によって転送された信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路と、前記リセットトランジスタのドレイン電極にバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路とを具備する電荷転送装置であって、
前記リセットドレインバイアス回路は、2段のソースフォロワ回路からなり、1段目のソースフォロワ回路が前記リセットゲートバイアス回路と同等のゲインを有し、2段目のソースフォロワ回路が前記リセットトランジスタのゲート電極と同等のゲインを有する
電荷転送装置。 - 複数の画素と、前記画素で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、前記電荷転送部によって転送された信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路と、前記リセットトランジスタのドレイン電極にバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路とを具備する固体撮像装置であって、
前記リセットドレインバイアス回路は、2段のソースフォロワ回路からなり、1段目のソースフォロワ回路が前記リセットゲートバイアス回路と同等のゲインを有し、2段目のソースフォロワ回路が前記リセットトランジスタのゲート電極と同等のゲインを有する
固体撮像装置。
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