JP4069475B2 - 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 - Google Patents
電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4069475B2 JP4069475B2 JP01538797A JP1538797A JP4069475B2 JP 4069475 B2 JP4069475 B2 JP 4069475B2 JP 01538797 A JP01538797 A JP 01538797A JP 1538797 A JP1538797 A JP 1538797A JP 4069475 B2 JP4069475 B2 JP 4069475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reset
- bias circuit
- transistor
- circuit
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出装置、並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電荷転送装置や固体撮像装置には、電荷転送部によって転送された信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出装置が設けられている。この電荷検出装置の従来例を図9に示す。図9において、例えば固体撮像装置の水平転送レジスタ101の転送先の端部には、この水平転送レジスタ101によって転送された信号電荷を蓄積するフローティング・ディフュージョン(浮遊容量)領域(以下、FD領域と称する)102が設けられている。このFD領域102に蓄積された信号電荷は、電荷検出回路103によって検出され、電気信号に変換されて出力端子104から外部へ出力される。
【0003】
また、FD領域102の電位を所定電位にリセットするためのリセットトランジスタ105が設けられている。このリセットトランジスタ105のソース電極はFD領域102に、ドレイン電極は電源端子106に、ゲート電極はリセット端子107にそれぞれ接続されている。電源端子106には、電源電圧VDDが印加される。リセット端子107には、チップ108外に設けられた外部容量109を介してリセットゲートパルスφRGが印加される。
【0004】
チップ108上にはさらに、リセットトランジスタ105のゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路110が設けられている。このリセットゲートバイアス回路110は、ドレイン電極が電源端子106に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリトランジスタ111と、このメモリトランジスタ111のゲート電極とドレイン電極との間に接続された抵抗112と、メモリトランジスタ111のソース電極とグランドとの間に接続された抵抗113とからなるソースフォロワ回路構成となっており、メモリトランジスタ111のソース電極がリセットトランジスタ105のゲート電極に接続され、当該ゲート電極にバイアス電圧Vrgを与える。
【0005】
上記構成の電荷検出回路において、リセットゲートバイアス回路110は、ダイオード特性を示すロークランプ回路として働き、そのクランプ電位はメモリトランジスタ111の出力電圧である。メモリトランジスタ111のゲート電極が抵抗112を介して電源端子106に接続されていることから、電源電圧VDDが変動したときは、約0.95程度のゲインで追従する。一方、リセットトランジスタ105のドレイン電極は電源端子106に直結となっていることから、電源電圧VDDの変動がそのまま加わる(ゲイン1.0)。
【0006】
その変動が通常の電源電圧バラツキの範囲であれば、リセットトランジスタ105およびメモリトランジスタ111のゲインが近いため、バイアスのズレはほとんど問題にならず、±5%程度の電源電圧VDDの変動に対しては追従性が良く、リセット不良を発生することはない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、固体撮像装置などのデバイスの小型化、低消費電力化の流れで、例えば固体撮像装置の電源電圧も15Vから12Vに低電圧化しつつある。この過渡期では、15Vと12Vの両方で正常に動作し得る電荷検出装置が望まれる。しかしながら、上述した従来の電荷検出装置では、12V〜15Vの広範囲の電源電圧VDDの変動を保証しようとすると、リセットトランジスタ105およびメモリトランジスタ111のゲインの差とリセットトランジスタ105のゲート電極のゲイン(約0.9)が問題となってくる。この場合、3×(1−0.95×0.9)=0.435Vのズレを生ずる。
【0008】
例えば、図10に示すように、リセットトランジスタ105のゲート下のポテンシャルが、VDD=12Vのとき12.2Vで、リセットドレイン電圧(=VDD)よりも高いのに対し、VDD=15Vのとき14.77(=12.2+3×0.95×0.9)Vで、リセットドレイン電圧よりも低くなる。その結果、リセット不良やダイナミックレンジ不足の原因となったり、またこれを保証するためにリセットゲートパルスφRGの振幅を大きくしなければならなくなる。
【0009】
また、リセットゲートバイアス回路110において、メモリトランジスタ111がデプレッションでオン(導通)している状態であれば、バイアス電圧Vrgは電源電圧VDDとなる。そして、メモリトランジスタ111のゲート下のポテンシャルをエンハンスメント方向に調整していくにしたがってバイアス電圧Vrgは下がる。すなわち、このリセットゲートバイアス回路110を備えた従来の電荷検出装置では、リセットゲートバイアス回路110による調整方向がバイアス電圧Vrgを下げる方向のみであったため、最大バラツキ時に必要な調整量が多くなっていた。
【0010】
このときの問題点は次の通りである。すなわち、メモリトランジスタ111のゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜(SiO2 )、シリコン窒化膜(SiN)およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS(metal oxide nitride oxide semiconductor) 構造で、シリコン窒化膜に電荷を注入することによりメモリトランジスタ111のゲート下のポテンシャルを調整する場合、シリコン窒化膜に注入された電荷が、熱や電界が印加されたときに運動エネルギーが高くなり、放出してしまうことがある。これが、いわゆる保持力(Retention)と呼ばれる問題である。調整量が多いほど、その放出量も指数関数的に増加し、調整後の変動が著しくなる。
【0011】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電源電圧の広範囲な変化に対しても、常にリセットトランジスタの動作点を保証可能な電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明では、信号電荷を蓄積するFD領域と、このFD領域に蓄えられた信号電荷を検出する検出回路と、FD領域の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、このリセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路とを具備する電荷検出装置においてさらに、電源電圧が与えられる電源端子にドレイン電極が接続されたトランジスタと、当該トランジスタのソース電極に接続された負荷回路とによって構成され、1.0よりも小なるゲインを有し、リセットトランジスタのドレイン電極に前記電源電圧に基づくバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路を備えた構成となっている。
【0013】
上記構成の電荷検出装置において、リセットトランジスタのドレイン電極に、ゲインが1.0よりも小なるリセットドレインバイアス回路を付加することで、電源電圧が変動した際に、このリセットドレインバイアス回路は、リセットトランジスタのドレイン電圧の変動を、電源電圧の変動分よりも小さく抑える。その結果、電源電圧が広範囲に変化しても、リセットトランジスタのドレイン電圧とゲート電圧が追従するようになる。そして、この電荷検出装置は、固体撮像装置の電荷検出部や電荷転送装置の電荷検出部として用いられる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、例えばCCD固体撮像装置に適用された本発明の第1実施形態を示す回路図である。図1において、固体撮像装置の水平転送レジスタ11の転送先の端部には、この水平転送レジスタ11によって転送された信号電荷を蓄積するFD領域12が設けられている。このFD領域12に蓄積された信号電荷は、電荷検出回路13によって電気信号に変換され、出力端子14から外部へ出力される。
【0015】
また、FD領域12の電位を所定電位にリセットするためのリセットトランジスタ15が設けられている。このリセットトランジスタ15のソース電極はFD領域12に、ゲート電極はリセット端子17にそれぞれ接続されている。リセット端子17には、チップ18外に設けられた外部容量19を介してリセットゲートパルスφRGが印加される。
【0016】
チップ18上にはさらに、リセットトランジスタ15のゲート電極(以下、リセットゲートと称する)にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路20と、リセットトランジスタ15のドレイン電極(以下、リセットドレインと称する)にバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路30が設けられている。
【0017】
リセットゲートバイアス回路20は、ドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリトランジスタ21と、このメモリトランジスタ21のゲート電極と電源端子16との間に接続された抵抗22と、メモリトランジスタ21のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗23とからなるソースフォロワ回路構成となっており、メモリトランジスタ21のソース電極がリセットゲートに接続され、当該リセットゲートにバイアス電圧Vrgを与える。
【0018】
このリセットゲートバイアス回路20のメモリトランジスタ21としては、ゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜(SiO2 )、シリコン窒化膜(SiN)およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS構造のものが用いられる。
【0019】
リセットドレインバイアス回路30も、リセットゲートバイアス回路20と同様の回路構成となっている。すなわち、ドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリトランジスタ31と、このメモリトランジスタ31のゲート電極と電源端子16との間に接続された抵抗32と、メモリトランジスタ31のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗33とからなるソースフォロワ回路構成となっており、メモリトランジスタ31のソース電極がリセットドレインに接続され、当該リセットドレインにバイアス電圧Vrdを与える。
【0020】
このリセットドレインバイアス回路30のメモリトランジスタ31としても、リセットゲートバイアス回路20の場合と同様に、ゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS構造のものが用いられる。
【0021】
このように、リセットゲートバイアス回路20とリセットドレインバイアス回路30とを同一のソースフォロワ回路構成とし、特にその負荷回路(負荷抵抗23,33)として同一の回路構成のものを有することで、両バイアス回路20,30間のプロセスバラツキを吸収することができる。
【0022】
上記構成の電荷検出装置において、リセットドレインバイアス回路30は、そのゲインがリセットゲートバイアス回路20の電源電圧変動に対する追従性、即ちゲイン(≒0.95)とリセットゲートのゲイン(≒0.9)を掛け合わせた値(0.95×0.9=0.855)になるように設定される。
【0023】
このゲインマッチングの取り方としては、トランジスタサイズを異ならせることによる取り方やその他色々あるが、その一例として、リセットゲートバイアス回路20のメモリトランジスタ(ソースフォロワトランジスタ)21を空乏化させてゲインを高くする一方、リセットドレインバイアス回路30のメモリトランジスタ(ソースフォロワトランジスタ)31をニュートラル構造にしてゲインを下げる方法を採るものとする。
【0024】
これにより、リセットドレインバイアス回路30はニュートラルになるため、例えばN型基板のCCD固体撮像装置に搭載された場合には、画素の信号電荷をN型基板に掃き捨てる電子シャッタ動作を行う際に当該N型基板に印加されるシャッタクロックの影響を受けない。一方、リセットゲートバイアス回路20は、空乏化でシャッタクロックの影響を受けるものの、外付けの外部容量19でデカップリングされるので問題にならない。
【0025】
このように、リセットゲートバイアス回路20のゲインとリセットゲートのゲインを掛け合わせたゲインを持つリセットドレインバイアス回路30をリセットトドレインに付加することで、電源電圧VDDが広範囲で変化しても、完全にリセットドレイン電圧とリセットゲート電圧が追従するようにできる。
【0026】
例えば、図2に示すように、リセットトランジスタ15のゲート下のポテンシャルが、リセットドレイン電圧が11Vのとき11.2Vであり、リセットドレイン電圧が13.57(=11+3×0.855)Vのとき13.77(=11.2+3×0.95×0.9)Vで、いずれの場合にもリセットドレイン電圧よりも高くなり、確実にリセット動作を行えることになる。
【0027】
また、リセットゲートバイアス回路20がメモリトランジスタ21によるメモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路であるのと同様に、リセットドレインバイアス回路30をもメモリトランジスタ31によるメモリ効果を利用したバイアス回路構成としたことで、メモリトランジスタ21,31のメモリ調整量が少なく、保持力(Retention)に優れたものとなる。
【0028】
すなわち、例えばリセットゲートのポテンシャルが+(正)電位方向にシフトした場合は、リセットゲートバイアス回路20を調整してリセットゲートのバイアス値を−(負)電位方向に下げれば良く、またリセットゲートのポテンシャルが−電位方向にシフトした場合には、リセットドレインバイアス回路30を調整してリセットドレインのバイアス値を−電位方向に下げることで、リセットトランジスタ15の動作点を保証できる。その結果、1つのバイアス回路での最大調整量が従来技術の1/2で済み、信頼性を飛躍的に向上できる。
【0029】
しかも、リセットゲートバイアス回路20を調整するときは、リセットドレインバイアス回路30は調整せず、リセットドレインバイアス回路30を調整するときは、リセットゲートバイアス回路20は調整しないため、従来技術の場合と同様に調整回数は1回であることに変わりはなく、検査費用の上昇を招くこともない。
【0030】
図3は、本発明の第2実施形態を示す回路図である。本実施形態においては、リセットドレインバイアス回路40の回路構成が第1実施形態のそれと異なるのみであり、それ以外は第1実施形態の構成と同じであるため、同等部分には同一符号を付して示し、その説明については重複するので省略する。
【0031】
図3において、本実施形態に係るリセットドレインバイアス回路40は、ドレイン電極が電源端子16に接続されかつゲート絶縁膜中に電荷を蓄積可能なメモリトランジスタ41と、このメモリトランジスタ41のゲート電極と電源端子16との間に接続された抵抗32と、メモリトランジスタ41のソース電極とグランドとの間に接続された負荷抵抗43と、メモリトランジスタ41のゲート電極とグランドとの間に接続された抵抗44とからなるソースフォロワ回路構成となっており、メモリトランジスタ41のソース電極がリセットドレインに接続され、当該リセットドレインにバイアス電圧Vrdを与える。
【0032】
このリセットドレインバイアス回路40のメモリトランジスタ41としても、リセットゲートバイアス回路20の場合と同様に、ゲート絶縁膜が例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜およびシリコン酸化膜を順に積層してなるMONOS構造のものが用いられる。
【0033】
第1実施形態に係るリセットドレインバイアス回路30では、メモリトランジスタ31のゲート電極に抵抗32を介して電源電圧VDDをバイアス電圧として与えることによってゲインマッチングを取っているのに対し、本実施形態に係るリセットドレインバイアス回路40では、電源端子16とグランドの間に直列に接続された抵抗42,44の分割比(例えば、1:9)によって電源電圧VDDを分割して得られる電圧をバイアス電圧として与えることによってゲインマッチングを取っている。
【0034】
この第2実施形態に係る電荷検出装置においても、第1実施形態の場合と同様に、リセットドレインバイアス回路40は、そのゲインがリセットゲートバイアス回路20のゲイン(≒0.95)とリセットゲートのゲイン(≒0.9)を掛け合わせた値(0.95×0.9=0.855)になるように設定されることで、図4に示すように、電源電圧VDDが広範囲で変化しても、完全にリセットドレイン電圧とリセットゲート電圧が追従するようにでき、しかもリセットドレインバイアス回路40がメモリトランジスタ41によるメモリ効果を利用したバイアス回路構成であることから、メモリトランジスタ21,41のメモリ調整量が少なく、保持力に優れたものとなる。
【0035】
また、メモリトランジスタ41のゲート電極に、電源電圧VDDを抵抗分割して得られる電圧をバイアス電圧として与えるようにしたことで、リセットドレインバイアス回路40のメモリトランジスタ41とリセットゲートバイアス回路20のメモリトランジスタ21の構造やサイズを変える必要がなく(多少のしきい値電圧Vth程度の調整で済む)、両者で回路特性の相関を強くできるため、初期バラツキが小さく、バラツキに強くなる。しかも、抵抗の分割比でゲインマッチングを取れるため、回路の最適化がし易くなる。
【0036】
図5は、本発明の第3実施形態を示す回路図である。本実施形態においては、リセットドレインバイアス回路50の回路構成が第1実施形態のそれと異なるのみであり、それ以外は第1実施形態の構成と同じであるため、同等部分には同一符号を付して示し、その説明については重複するので省略する。
【0037】
図5において、本実施形態に係るリセットドレインバイアス回路50は、電源端子16とグランドの間に直列に接続された抵抗51および抵抗52からなる抵抗分割式のバイアス回路構成となっており、この抵抗51,52の共通接続点53がリセットドレインに接続され、当該リセットドレインに抵抗51,52の分割比によって分割して得られる電圧をバイアス電圧として与える。ここで、抵抗51,52の抵抗比を2.9:17.1に設定することで、約0.855(=17.1/20=0.95×0.9)の分割比が得られる。
【0038】
この第3実施形態に係る電荷検出装置においても、第1実施形態の場合と同様に、リセットゲートバイアス回路20のゲインとリセットゲートのゲインを掛け合わせた分割比(0.95×0.9=0.855)、即ちゲインを持つリセットドレインバイアス回路50をリセットトドレインに付加したことで、比較的シンプルな構成にて、電源電圧VDDの広範囲な変化に対して完全にリセットドレイン電圧とリセットゲート電圧が追従するようにできる。
【0039】
例えば、図6に示すように、リセットトランジスタ15のゲート下のポテンシャルが、リセットドレイン電圧が10.26(=12×17.1/20)Vのとき10.46Vであり、リセットドレイン電圧が12.825(=15×17.1/20)Vのとき13.025(=10.46+3×0.95×0.9)Vで、いずれの場合にもリセットドレイン電圧よりも高くなり、確実にリセット動作を行えることになる。
【0040】
以上説明した第1,第2又は第3実施形態に係る電荷検出装置は、例えば図7に示す如きインターライン転送方式のCCDエリアセンサにおいて、その水平転送レジスタの後段に設けられる電荷検出部として用いられる。
【0041】
図7において、行(垂直)方向および列(水平)方向にマトリクス状に配列され、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積する複数のセンサ部(画素)61と、これらセンサ部61の垂直列ごとに設けられ、各センサ部61から読み出しゲート部(図示せず)を介して読み出された信号電荷を垂直転送する複数本の垂直転送レジスタ62とによって撮像エリア63が構成されている。
【0042】
この撮像エリア63において、センサ部61は例えばPN接合のフォトダイオードから構成されている。垂直転送レジスタ62は、例えば4相の垂直転送パルスφV1〜φV4によって転送駆動され、各センサ部61から読み出された信号電荷を水平ブランキング期間の一部にて1走査線(1ライン)に相当する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
【0043】
撮像エリア63の図面上の下側には、水平転送レジスタ64が配されている。この水平転送レジスタ64には、複数本の垂直転送レジスタ62の各々から1ラインに相当する信号電荷が順次転送される。水平転送レジスタ64は、例えば2相の水平転送クロックφH1,φH2によって転送駆動され、複数本の垂直転送レジスタ62から移された1ライン分の信号電荷を、水平ブランキング期間後の水平走査期間において順次水平方向に転送する。
【0044】
水平転送レジスタ64の転送先側の端部には、フローティング・ディフュージョン・アンプ構成の電荷検出部65が設けられている。この電荷検出部65として、先述した第1,第2又は第3実施形態に係る電荷検出装置が用いられる。一例として、第1実施形態に係る電荷検出装置を用いた場合の電荷検出部65の周辺の構成を図8に示す。
【0045】
図8において、例えばN型の半導体基板71上のP型ウェル領域72の表面側に、水平転送レジスタ64および電荷検出部65が形成されている。すなわち、水平転送レジスタ64は、P型ウェル領域72上に形成されたN型の転送チャネル領域73の上方に、ゲート絶縁膜(図示せず)を介して形成された2層構造の第1,第2の転送電極74,75が、転送方向に沿って交互に複数配列されることによって構成されている。
【0046】
第2の転送電極75の各々の下の転送チャネル領域73には、P型の不純物領域76が例えばイオン注入によって形成されている。これにより、第1の転送電極74をストレージ電極とするストレージ部と、第2の転送電極75をトランスファ電極とするトランスファ部とを有する電荷転送部が形成される。そして、互いに隣り合う2つのストレージ電極74およびトランスファ電極75を対とし、1つおきの対と、他の1つおきの対にそれぞれ2相の水平転送パルスφH1,φH2が印加される。
【0047】
また、水平転送レジスタ64の最終段の転送部の後ろには、2層目のゲート電極77がゲート絶縁膜(図示せず)を介して形成されて水平出力ゲート部HOGを構成している。この水平出力ゲート部HOGのゲート電極77には固定のゲート電圧、例えばグランド電位が印加されている。この水平出力ゲート部HOGの後段に、電荷検出部65が配される。
【0048】
電荷検出部65は、水平出力ゲート部HOGに隣接して形成され、水平出力ゲート部HOGを介して注入される信号電荷を蓄積するFD領域(N+ 型不純物領域)78と、このFD領域78の信号電荷を掃き捨てるためのリセットドレイン領域(N+ 型不純物領域)79と、FD領域78とリセットドレイン領域79の間のチャネル領域の上方にゲート絶縁膜(図示せず)を介して形成されたリセットゲート電極80とを有する構造となっている。
【0049】
この電荷検出部65において、FD領域78が図1のFD領域12に相当し、リセットドレイン領域79およびリセットゲート電極80によって図1のリセットトランジスタ15が構成されている。そして、FD領域78に蓄積された信号電荷が、FD領域78に接続された電荷検出回路13によって電気信号に変換されて出力されるとともに、リセットゲート電極80にリセットゲートパルスφRGが印加されることで、画素単位でリセットされる。
【0050】
ここで、、リセットゲート電極80には、図1に示す回路構成のリセットゲートバイアス回路20によってバイアス電圧Vrgが印加される。また、リセットドレイン領域79には、図1の回路構成のリセットドレインバイアス回路30によってバイアス電圧Vrdが印加される。
【0051】
上述したように、第1実施形態に係る電荷検出装置を、例えばCCDエリアセンサにおける水平転送レジスタ64の後段の電荷検出部65として用いることにより、当該電荷検出装置が電源電圧VDDの広範囲な変化に対して、常にリセットトランジスタ15の動作点を保証できることから、デバイスの小型化、低消費電力化の流れで、電源電圧VDDが15Vから12Vに変わる過渡期でも、15Vと12Vの両方で正常に動作可能なCCDエリアセンサを実現できる。
【0052】
なお、本適用例では、CCDエリアセンサの電荷検出部に適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、CCDリニアセンサなど信号電荷を検出して電気信号に変換する電荷検出部を備えた固体撮像装置全般に適用可能であり、さらに固体撮像装置の電荷検出部のみならず、CCD遅延素子の電荷検出部など、電荷転送装置の電荷検出部にも適用可能である。また、第2,第3の実施形態についても、第1実施形態と同様に適用可能である。
【0053】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、信号電荷を蓄積するFD領域およびこのFD領域に蓄えられた信号電荷をリセットするリセットトランジスタを有する電荷検出装置において、リセットゲートバイアス回路に加えて、リセットトランジスタのドレイン電極に、ゲインが1.0よりも小なるリセットドレインバイアス回路を付加したことで、電源電圧が変動した際に、リセットトランジスタのドレイン電圧の変動を、電源電圧の変動よりも小さく抑えることができるため、電源電圧の広範囲な変化に対して、常にリセットトランジスタの動作点を保証できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態を示す回路図である。
【図2】第1実施形態に係る動作説明図である。
【図3】本発明の第2実施形態を示す回路図である。
【図4】第2実施形態に係る動作説明図である。
【図5】本発明の第3実施形態を示す回路図である。
【図6】第3実施形態に係る動作説明図である。
【図7】本発明に係るCCDエリアセンサを示す概略構成図である。
【図8】第1実施形態の適用例を示す概略構成図である。
【図9】従来例を示す回路図である。
【図10】従来例に係る動作説明図である。
【符号の説明】
12,78 フローティング・ディフュージョン(FD)領域
13 電荷検出回路 15 リセットトランジスタ 18 チップ
19 外部容量 20,30,40 リセットゲートバイアス回路
21,31,41 メモリトランジスタ 23,33,43 負荷抵抗
Claims (30)
- 信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量に蓄えられた信号電荷を検出する検出回路と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路とを具備する電荷検出装置であって、
電源電圧が与えられる電源端子にドレイン電極が接続されたトランジスタと、当該トランジスタのソース電極に接続された負荷回路とによって構成され、1.0よりも小なるゲインを有し、前記リセットトランジスタのドレイン電極に前記電源電圧に基づくバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路
を備えたことを特徴とする電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は共に、ゲート電極に電源電圧が与えられるソースフォロワ回路構成である
ことを特徴とする請求項1記載の電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、同一回路構成の負荷回路を有する
ことを特徴とする請求項2記載の電荷検出装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、そのゲインが前記リセットゲートバイアス回路のゲインと前記リセットトランジスタのゲート電極のゲインの積になるように設定されている
ことを特徴とする請求項1記載の電荷検出装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項4記載の電荷検出装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源とグランド間における抵抗分割によって得られる電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項4記載の電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路のソースフォロワトランジスタは空乏化構造となっており、前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタはニュートラル構造となっている
ことを特徴とする請求項5記載の電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、サイズが異なるソースフォロワトランジスタを有する
ことを特徴とする請求項5記載の電荷検出装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項1記載の電荷検出装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項1記載の電荷検出装置。 - 信号電荷を転送する電荷転送部と、前記電荷転送部によって転送された信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路とを具備する電荷転送装置であって、
電源電圧が与えられる電源端子にドレイン電極が接続されたトランジスタと、当該トランジスタのソース電極に接続された負荷回路とによって構成され、1.0よりも小なるゲインを有し、前記リセットトランジスタのドレイン電極に前記電源電圧に基づくバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路
を備えたことを特徴とする電荷転送装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は共に、ゲート電極に電源電圧が与えられるソースフォロワ回路構成である
ことを特徴とする請求項11記載の電荷転送装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、同一回路構成の負荷回路を有する
ことを特徴とする請求項12記載の電荷転送装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、そのゲインが前記リセットゲートバイアス回路のゲインと前記リセットトランジスタのゲート電極のゲインの積になるように設定されている
ことを特徴とする請求項11記載の電荷転送装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項14記載の電荷転送装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源とグランド間における抵抗分割によって得られる電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項14記載の電荷転送装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路のソースフォロワトランジスタは空乏化構造となっており、前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタはニュートラル構造となっている
ことを特徴とする請求項15記載の電荷転送装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、サイズが異なるソースフォロワトランジスタを有する
ことを特徴とする請求項15記載の電荷転送装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項11記載の電荷転送装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項11記載の電荷転送装置。 - 複数の画素と、前記画素で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、前記電荷転送部によって転送された信号電荷を蓄積する浮遊容量と、前記浮遊容量の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタと、前記リセットトランジスタのゲート電極にバイアス電圧を与えるリセットゲートバイアス回路とを具備する固体撮像装置であって、
電源電圧が与えられる電源端子にドレイン電極が接続されたトランジスタと、当該トランジスタのソース電極に接続された負荷回路とによって構成され、1.0よりも小なるゲインを有し、前記リセットトランジスタのドレイン電極に前記電源電圧に基づくバイアス電圧を与えるリセットドレインバイアス回路
を備えたことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は共に、ゲート電極に電源電圧が与えられるソースフォロワ回路構成である
ことを特徴とする請求項21記載の固体撮像装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、同一回路構成の負荷回路を有する
ことを特徴とする請求項22記載の固体撮像装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、そのゲインが前記リセットゲートバイアス回路のゲインと前記リセットトランジスタのゲート電極のゲインの積になるように設定されている
ことを特徴とする請求項21記載の固体撮像装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項24記載の固体撮像装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタは、そのゲート電極に電源とグランド間における抵抗分割によって得られる電圧がバイアス電圧として与えられる
ことを特徴とする請求項24記載の固体撮像装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路のソースフォロワトランジスタは空乏化構造となっており、前記リセットドレインバイアス回路のソースフォロワトランジスタはニュートラル構造となっている
ことを特徴とする請求項25記載の固体撮像装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、サイズが異なるソースフォロワトランジスタを有する
ことを特徴とする請求項25記載の固体撮像装置。 - 前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項21記載の固体撮像装置。 - 前記リセットゲートバイアス回路および前記リセットドレインバイアス回路は、メモリ効果を利用した調整可能なバイアス回路である
ことを特徴とする請求項21記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01538797A JP4069475B2 (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01538797A JP4069475B2 (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10214961A JPH10214961A (ja) | 1998-08-11 |
JP4069475B2 true JP4069475B2 (ja) | 2008-04-02 |
Family
ID=11887341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01538797A Expired - Lifetime JP4069475B2 (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4069475B2 (ja) |
-
1997
- 1997-01-29 JP JP01538797A patent/JP4069475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10214961A (ja) | 1998-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9602750B2 (en) | Image sensor pixels having built-in variable gain feedback amplifier circuitry | |
US7187052B2 (en) | Photoelectric conversion apparatus and image pick-up system using the photoelectric conversion apparatus | |
JP3635681B2 (ja) | バイアス回路の調整方法、電荷転送装置、及び電荷検出装置とその調整方法 | |
US6677656B2 (en) | High-capacitance photodiode | |
US6051447A (en) | Partially pinned photodiode for solid state image sensors | |
US6140630A (en) | Vcc pump for CMOS imagers | |
US7161130B2 (en) | Low voltage active CMOS pixel on an N-type substrate with complete reset | |
JP4397105B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
EP0905788A2 (en) | MOS type image sensing device | |
EP1850387B1 (en) | Solid-state image pickup device | |
US5164832A (en) | Clipped dynamic range compression image sensing apparatus | |
CN111491115A (zh) | 像素具有高动态范围、动态电荷溢流和全局快门扫描的背照式图像传感器 | |
TWI487097B (zh) | Solid state camera device | |
JP5026641B2 (ja) | 固体撮像センサ | |
JPH0548071A (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH05347318A (ja) | 電荷転送装置 | |
US7184083B2 (en) | Solid state image pickup apparatus of low power consumption and its driving method | |
JP3355781B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH09275201A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP4069475B2 (ja) | 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 | |
KR100790587B1 (ko) | 커플링 캐패시터를 사용하는 핀드 포토다이오드를 포함하는이미지 센서 픽셀 및 그의 신호 감지 방법 | |
JP4207268B2 (ja) | 電荷検出装置並びにこれを搭載した電荷転送装置および固体撮像装置 | |
JPH0775020A (ja) | 電荷結合装置 | |
KR100640949B1 (ko) | 시모스 이미지 센서의 단위화소 회로 | |
JPS62155559A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080107 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |