JP4204972B2 - グリッド・ジェネレータの連続同調を伴う外部共振器レーザ - Google Patents

グリッド・ジェネレータの連続同調を伴う外部共振器レーザ Download PDF

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Description

本発明は、選択されたグリッド伝達チャネル間隔を提供するレーザ運転中のグリッド・ジェネレータの能動的同調のためのレーザ装置、および、システムおよび方法に関する。
テレコミュニケーション・トランスミッタ・レーザーは、高密度波長分割多重方式(DWDM)光通信システムの中で使用され、複数の異なるデータ・ストリームが単一の光ファイバ内に同時に存在し、各データ・ストリームの変調が異なるチャネル上に出現する。各データ・ストリームは、特定のチャネル波長で作動するトランスミッタ・レーザーに対応する出力ビームに変調され、半導体レーザからの変調出力が、それぞれのチャネルの送信のために単一の光ファイバに纏められる。国際電気通信連合(ITU)による良く知られた設定は、現在約0.4ナノメートル、即ち約50GHzのチャネルセパレーションを定めている。このチャネルセパレーションに依れば、現在利用可能なファイバおよびファイバ・アンプの帯域幅の範囲内において、単一の光ファイバによって少なくとも128のチャネルを伝搬する事が可能である。
なお、本出願に対応する外国の特許出願においては下記の文献が発見または提出されている。
EP 0951112 A2 WO 00/49689 A1 WO 01/08277 A1 PCT/US 02/21415 US 4,410,992 US 4,460,977 US 4,847,853 US 5,124,993 US 5,163,063 US 5,181,214 US 5,414,280 US 5,418,800 US 5,428,700 US 5,444,724 US 5,673,129 US 5,751,750 US 5,777,773 US 5,812,716 US 5,848,092 US 5,872,881 US 5,917,188 US 6,040,950 US 6,044,095 US 6,064,501 US 6,081,539 US 6,115,121 US 6,181,717 US 6,215,802 US 6,229,835 US 6,259,712 US 6,301,280 US 2002/0048297 A1 US 6,404,538 US 2002/0136104 A1 US 5,050,179 US 5,218,610 US 5,327,447 US 5,331,651 US 5,651,018 US 6,043,883 US 6,115,401 US 6,243,517 US 6,321,011 US 6,324,204 US 5,263,037 US 6,301,274 US 6,463,085 US 5,862,162 US 6,314,115 US 6,026,100 US 5,349,439 US 4,947,398 US 5,943,352 US 6,304,586 B1 WO 98/05105 WO 01/04999 A1 WO 02/078137 A1 WO 03/005500 A2 WO 03/005501 A2 WO 03/005512 A2 US 6,108,355 A US 6,282,215 B1 US 6,526,071 B1 US 6,205,159 B1 US 6,366,592 B1 US 6,366,689 B1 US 6,366,592 B1 US 6,018,535 A US 5,673,129 US 6,034,799 A US 6,205,159 B1 US 6,532,091 B1 US 6,249,365 B1 US 6,337,660 B1 US 6,441,933 B1 US 6,282,215 US 6,108,355 US 2002/0126345 US 6,366,689 WO 0049689 US 3,967,211 US 4,309,671 US 4,504,950 US 4,560,246 US 4,583,227 US 4,770,047 US 4,839,614 US 4,843,233 US 4,870,269 US 4,932,782 US 4,994,677 US 5,028,395 US 5,058,124 US 5,103,457 US 5,115,677 US 5,141,316 US 5,172,185 US 5,181,078 US 5,185,643 US 5,225,930 US 5,270,791 US 5,305,330 US 5,319,668 US 5,321,717 US 5,331,651 US 5,347,527 US 5,349,439 US 5,349,440 US 5,373,515 US 5,387,974 US 5,412,474 US 5,420,687 US 5,428,700 US 5,438,579 US 5,450,202 US 5,473,625 US 5,543,916 US 5,583,638 US 5,594,744 US 5,606,439 US 5,631,736 US 5,712,704 US 5,719,674 US 5,737,109 US 5,760,391 US 5,802,085 US 5,825,792 US 5,886,785 US 5,946,331 US 5,991,061 US 6,061,369 US 6,084,695 US 6,108,355 US 6,192,058 US 6,205,159 US 6,246,480 US 6,249,364 US 6,252,718 US 6,282,215 US 6,304,586 US 6,330,253 US 6,331,892 USRE 37,044 EP 0924628 WO 98/44424 KETELSEN,L.J.P.,"Simple Technique for Measuring Cavity Loss in Semiconductor Laser", Electronics Letters,(August 18,1994), Vol.30, No.17, pp.1422-1424 SHTENGEL, G.E.,et al.,"Internal Optical Loss Measurements in 1.3um InGaAsP Lasers,"Electoronic Letters,(July 6,1995),Vol.31,No.14,pp.1157-1159 Favre et al.,"External−Cavity Semiconductor Laser With 15 nm Continuous Tuning Range",Electronics Letters, June 19 1986 Macleod, H.A. in Thin Film Optical Filters 2nd Edition, McGraw-Hill, 1989, pgs 244-269 Mellis et al., "Miniature Packaged External-Cavity Semiconductor Laser With 50Ghz Continuous Electical Tuning Range", Electronics Letters, April 22, 1988 Rosenberg, K.P., et al., "Logarithmically Variable Infrared Etalon Filters", SPIE, Vol.2262/223, pgs. 223-232 Scobey M. and Stupik P., "Stable Ultra-Narrow Bandpass Filters"SPIE, Vol.2262, pgs. 37-46 Siegman A.E.,"An Introduction to Lasers and Masers", McGraw-Hill,Inc., 1971 Takahashi,H., "Temperature Stability of Thin-Film Narrow-Bandpass Filters Produced by Ion-Assisted Deposition Applied Optics" Vol.34, No.4, Feb 1 1995 Yoder, Optical Instrument Structural Design, pp.612-619 Zhang, X.X., "An Interference Filter Based External Cavity Laser For Dense Wavelength Division Multiplexing Applications" Corning OCA Corp, pgs 103-108
このようなテレコミュニケーション・トランスミッタ・レーザーは、通常はITUグリッド波長あるいは他の選択されたグリッドに対応する複数の選択可能な透過波長を画定するグリッド・ジェネレータを使用する。使用されるグリッド・ジェネレータは、通常は、均等に間隔が置かれた周波数において送信最大を有するファブリーペロー干渉フィルタである。グリッド・エタロンの慎重な製造、通過する光学のビームの運動量軸に関するグリッド・エタロンのアラインメントを通して、グリッド・エタロンによって決定された透過ピークの間隔は、ITUの基準によって定義されたグリッドのような選択された波長グリッドと合致させる事が可能である。熱の揺らぎによってグリッド透過ピークの変動が生じないようにするために、熱電コントローラがグリッド・エタロンに接続され得、レーザ運転中のグリッド・エタロンの慎重な熱制御によってグリッド・エタロンの温度が固定される。
光通信ネットワークが再配列可能なアーキテクチャへと発展するにつれて、より精巧なテレコミュニケーション・トランスミッタ・レーザーが必要になって来ている。特に、異なる通信グリッドの選択が出来る様にするために、グリッド透過ピークのレーザ運転中における能動的な同調または調節を提供するテレコミュニケーション・トランスミッタ・レーザーの必要性が生じている。
本発明は、選択されたグリッド伝達チャネル間隔を提供するレーザ運転中のグリッド・ジェネレータの能動的同調のためのレーザ装置、および、システムおよび方法を提供する。本発明の装置は、最も広義には、異なる通信グリッドの選択を可能にするためにレーザの運転中にグリッド透過ピークが変更または変動し得るように構成されるグリッド・ジェネレータを備えるレーザである。グリッド・ジェネレータは、少なくとも公称グリッド設定の周りの狭い範囲に関して同調可能である。より詳細には、グリッド・ジェネレータは初期あるいは公称グリッド設定範囲以上の範囲に渡って同調可能であり、グリッド・ジェネレータの適切な同調または調節によって任意の所望の波長が選択し得る。レーザは様々な構成を取ってよく、外部共振器中にチャネル・セレクタを備える同調可能な外部共振器レーザであっても良い。レーザは、グリッド・ジェネレータに操作可能なように接続され、選択可能な通信グリッドにグリッド・ジェネレータを適合させるために構成される同調器または同調アセンブリを更に備えて良い。
レーザは、第1および第2出力面を有するゲイン媒体を更に備えてよく、ゲイン媒体は、コヒーレントなビームを第1出力面から光路に沿って、光路中のエンドミラーまで放射する。エンドミラーおよび第2出力面が外部共振器を画定する。チャネル・セレクタが外部共振器に関して位置し、チャネル・セレクタ同調器に操作可能なように接続されて良い。チャネル・セレクタ同調器は、光路中のチャネル・セレクタを選択可能な通信グリッド中の透過帯域に対応する選択可能な透過波長に同調するために構成される。レーザは、外部共振器に操作可能なように接続され、外部共振器の光路長を調節するように構成される外部共振器光路長同調器を更に備えても良い。
グリッド・ジェネレータは、グリッド・エタロンの自由スペクトル領域(FSR)に応じて離間した複数の波長通過帯域あるいは透過帯域を画定するグリッド・エタロンの形をしていても良い。通過帯域の間隔は、例えばITUグリッド間隔に対応しても良い。レーザの一実施形態において、グリッド・ジェネレータ同調器は、光路中のグリッド・エタロンを回転によって調節するように構成される。グリッド・エタロンの光学厚さまたは経路長を変更するべくグリッド・エタロンを回転させるか傾けることによってグリッドを同調するために、グリッド・ジェネレータ同調アセンブリがグリッド・エタロンに操作可能なように接続され、これによって、選択された通信グリッド間隔を変更する。グリッド・ジェネレータ同調アセンブリは、異なる選択可能なグリッド用の調節データを格納したコントローラを更に備え、グリッド・エタロンは、選択された波長グリッドを提供するために調節される。
あるいは、または更に、他の実施形態において、グリッド・エタロンに操作可能なように接続され、選択されたグリッド間隔を提供するために選択的に加熱または冷却する事によってグリッド・エタロンの光学厚さを調節するように構成される熱電コントローラ(TEC)による熱制御によって、グリッド・ジェネレータ同調アセンブリがグリッド・エタロンを同調しても良い。加熱または冷却は、エタロンのギャップを制御するスペーサのサイズに影響する。他の実施形態において、エタロンは、ある物質によって充填される非真空ギャップを備えて良く、この材料の加熱または冷却が、エタロンのギャップを横断する光路長の変化に影響する。更に他の実施形態において、エタロンは電気光学材料を備え、電気光学材料の両端に電圧を印加する事によって調節可能な有効光路長を得て良い。
様々な他の同調メカニズムが、本発明におけるグリッド・エタロンまたはグリッド・ジェネレータの調節に際して使用可能である。例えば、このような同調が、気体によって充填されたエタロンの圧力同調、エタロン・ギャップの圧電的な同調、非線形光学効果による光学的な同調、電気光学エタロン材料の電圧同調、MEMSアクチュエータを用いた微小位置決め、あるいは他の形式による同調を含んで良い。
ルックアップテーブルに格納されたグリッド・エタロン調節パラメータに従ってグリッド・ジェネレータ・コントローラがグリッド・ジェネレータを制御しても良い。グリッド・エタロン調節パラメータは、波長の選択のための温度のリストと、リスチングされていない波長の温度用の補間のためのルールを含んで良い。周囲温度およびシステムの状態の情報に基づいて温度を調節するために、付加的なルールが提供されて良い。グリッド・エタロンの温度制御については、TECによって熱がポンピングされる領域に例えばサーミスタのような温度センサを設置することによって温度が制御されて良い。温度センサは、制御されるべきグリッドの場所の近傍にあることが望ましいが、必ずしもその必要があるというわけではない。その後、サーミスタで所望の温度を達成するために、制御メカニズムがTECへの電流を調節することが出来る。制御アルゴリズムはPIDループを含んで良い。もしくは、制御アルゴリズムは、状態推定器と、出力状態の制御のための制御法則を備えても良い。エタロンを横断する光路長が出力状態であり、入力状態は、熱がポンピングされる領域の温度センサ、周囲温度センサ、および他のセンサを含んで良い。
レーザは、レーザ出力を監視し、グリッド・エタロンの1つ以上の透過ピークの波長の位置を示す検出器出力を提供するように配置・構成された検出器を更に備えて良い。誤差信号をゼロ化すなわちヌル化するために、誤差信号が、検出器出力から導出されて、レーザ波長をグリッド透過ピークに関して調節するコントローラによって用いられて良い。グリッド・ジェネレータを透過するレーザを波長変調する事によって、または、レーザ波長を透過ピークから離して設定し、ビームの反射および透過する部分のバランスを取る事によって透過ピークの検出を可能にするべくグリッド・ジェネレータ透過スペクトルに波長変調を提供する事によって、誤差信号が得られ得る。
いくつかの実施形態において、グリッド・ジェネレータはレーザ共振器の内部にあって良い一方、他の実施形態においては、グリッド・ジェネレータがレーザ共振器の外部にあっても良い。レーザの出力エンドあるいはバックエンドのいずれかから放射される光の一部または全部がグリッド・ジェネレータへ導入されて良い。ある実施形態において、検出器は、ゲイン媒体12の両端の電圧変調を監視するように構成される検電器を備えて良い。他の実施形態において、検出器は、レーザからの光出力を監視するように構成された光検出器を備えて良い。
本発明の方法は、最も広義には、グリッド・ジェネレータを有するレーザを提供するステップと、選択されたグリッド間隔にグリッド・ジェネレータを調節するステップを備える。グリッド・ジェネレータは、少なくとも公称グリッド設定の周りの狭い範囲に関して同調可能であるか調節可能であるべきである。グリッド・ジェネレータを調節するステップは、初期あるいは公称グリッド設定以上の範囲に渡ってグリッド・ジェネレータを同調するステップを備えて良い。この調節範囲によって、任意の所望の波長グリッドが、グリッド・ジェネレータの適切な同調あるいは調節によって選択され得る。この調節は任意のメカニズムによって、つまり、熱による調節、回転による調節、電気光学的、または、他のあるいは様々な調節メカニズムの組み合わせによって実行されて良い。異なる選択可能なグリッド用に格納された調節データに応じて、グリッド・ジェネレータを調節または同調するステップがコントローラによって実行されて良い。もしくは、または更に、レーザ出力を検知するために配置・構成された検出器から導出された誤差信号に応じてグリッド・ジェネレータが同調されて良い。
一実施形態において、本発明の方法は、第1および第2出力面を有し、コヒーレントなビームを第1出力面から光路に沿ってエンドミラーまで放射するゲイン媒体を有する外部共振器レーザを提供するステップと、グリッド・ジェネレータの位置を光路に関して決定するステップと、選択されたグリッド間隔にグリッド・ジェネレータを同調するステップとを備える同調可能でコヒーレントな出力光を生成するための方法である。同調可能なグリッド・ジェネレータはグリッド・エタロンを備えて良く、調節するステップが、グリッド・エタロンを位置的または熱的に調節するステップを備えて良い。本方法は、外部共振器の光路中に位置するチャネル・セレクタを同調するステップを更に備えて良い。本方法は、エンドミラーおよび第2の出力面によって画定される外部共振器の光路長を調節するステップを更に備えて良い。
通信グリッドの透過ピークの能動的同調あるいは調節が、レーザ運転中に有用であるような多数の実例が存在する。例えば、能動的なグリッド同調によって、チャネル間のクロストークによって制限される所定のビット誤り率(BER)において最大容量を達成するために、伝達チャネルの間隔が連続的に最適化されることが可能になる。
本発明は、(波長フィルタを交換するのとは反対に)波長フィルタに一致するように通信グリッドを調節することにより、狭帯域波長フィルタのような所定の伝達チャネル内における他の光学コンポーネントにおける変化を修正するための便利で経済的な方法を更に提供する。グリッド・ジェネレータの能動的調節によって、グリッド・ジェネレータ自体の製造中に生じ得る誤差の補正を考慮に入れる事が出来る。さもなければ、意図されたグリッド間隔と対応させる事が妨げられる。このような誤差は、例えば、エタロンの厚さ、ビームに対しての配向角度または配置、ならびに波長に対しての光学厚さのばらつきを含み得る。
本発明によって、グリッド透過ピークに周波数変調またはディザを導入することが可能であり、クロストーク、フィルタ透過、または他のシステム・パラメータのイン・シトゥーな最適化を提供するのに使用可能である。この方式の周波数変調を使用することによって、グリッド・エタロンの調節または同調に使用できる誤差信号を生成する事が出来る。
グリッド・ジェネレータの調節性の範囲が十分に広い場合、本発明によって、任意の通信グリッドを実質的に「模倣する」、即ち再生成する単一のグリッド・ジェネレータが実現される。従って、例えば、50GHz間隔で初期設定されたグリッド・ジェネレータを、25GHz、33GHzあるいは他のグリッド間隔で同調する事も可能である。
図面をより詳細に参照して、説明の目的のために、本発明は図1〜図7に示される装置および方法によって実施される。本願明細書に開示されている基礎概念から逸脱する事無く、本装置が構成に関して、および部分の詳細について変化し得、本方法が、その詳細および動作の順序について変化し得ると言う事は言うまでもない。本発明は、外部共振器レーザと共に使用される例によって主に開示される。しかしながら、本発明が多くの種類のレーザ装置および光学系と共に使用されてもよい。本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によってのみ限定されるので、本願明細書に使用される用語は、特定の実施形態について記載するためだけに使用されており、制限する事を意図していないと言う事が更に理解されるべきである。
図1をここで参照して、本発明における外部共振器レーザ装置10が示される。レーザ装置10は、ゲイン媒体12と、エンド、即ち外部反射器、即ちエンドミラー14を備える。ゲイン媒体12は、従来のファブリーペロー型ダイオード・エミッタ・チップを備え、反射防止(AR)コーティングが施された表側出力面16および一部反射する裏側出力面18を有して良い。外部レーザ共振器は、裏面18およびエンドミラー14によって画定され、境界が定められる。ゲイン媒体12は、コヒーレントなビームを正面16から放射し、放射されたビームはレンズ20によってコリメートされ、外部共振器の光軸と同一直線上に整列される光路22に沿って整列される。同様に、ゲイン媒体12の正面16と裏面18は、外部共振器の光軸と心合する。外部共振器レーザ装置10の出力を光ファイバ(図示されず)へ接続するために、従来の出力カプラ光学系(図示されず)が裏面18に対応付けられる。
外部共振器レーザ装置10はグリッド・ジェネレータ部材を備え、これらは、光路22中のゲイン媒体12とエンドミラー14の間の位置するグリッド・エタロン24として図1において示される。グリッド・エタロン24は平行な反射面26、28を備え、干渉フィルタとして作用し、グリッド・エタロン24の屈折率、および、面26、28の間隔によって決められるグリッド・エタロン24の光学厚さによって、例えばITU(国際電気通信連合)グリッドの様な選択された波長グリッドの中央部分の波長と一致する(もしくは、屈折率のばらつきと製作公差を考慮すれば、ほぼ一致する)波長において、通信帯域内における複数の最大値および最小値が生じる。グリッド・エタロン24は、選択された通信グリッド線間の間隔に対応する自由スペクトル領域(FSR)を有する。従って、グリッド・エタロン24は波長グリッドのグリッドラインのそれぞれを中心とする複数の通過帯域または通信バンドを供給するように作動する。グリッド・エタロン24は、波長グリッドの各チャネル間の外部共振器レーザの隣接するモードを抑制するようなフィネス(自由スペクトル領域÷半値全幅(FWHM))を有する。
複数の選択可能な通信グリッドがグリッド・エタロンによって画定され得るように、グリッド・エタロン24が、グリッド・エタロン24を同調するために構成される同調器130に操作可能なように接続される。グリッド・エタロン24は固体の平行平板エタロン、液体または気体によって離間されたエタロンであって良く、温度制御による熱膨張と収縮により面26、28間の光学厚さの正確な寸法を決定することによって、および(または)面26、28の間の光学厚さを変化させるためにグリッド・エタロン24を傾斜させる事によって同調されて良い。インジウム酸化錫(ITO)あるいは他の透明な導電材料の透明電極(図示されない)を使用して面26、28の両端に同調器130によって電圧を選択的に印加することによってグリッド・エタロン24の有効光学厚さ(およびその結果として生じるグリッド間隔)を同調可能するために、グリッド・エタロン24は、電圧に依存する屈折率を有するニオブ酸リチウムのような電気光学材料で作られていて良い。
グリッド・エタロン同調器130は、コントローラ132に操作可能なように接続される。コントローラ132はデータ処理装置およびメモリ(示されない)を備え、複数の選択可能な通信グリッドに対応するグリッド・エタロン24用の同調調節パラメータが格納される。従って、外部共振器レーザ装置10の運転中に、コントローラ132は同調器130に信号を送り、格納された調節パラメータに従ってグリッド・エタロン24をある選択可能な通信グリッドから別のグリッドまで変更するように調節または同調させても良い。例えば、グリッド・エタロン24が傾斜あるいは枢動によって同調される場合、ルックアップテーブルは異なる選択可能なグリッド間隔に対応するグリッド・エタロン24用の複数の回転位置パラメータを含んでいて良い。後に詳述されるように、コントローラ132によるグリッド・エタロン24の調節も、検出器(図示されない)から導出される誤差信号によって実行されて良い。
図1に示される外部共振器レーザ装置10の様々なコンポーネント間の相対的な縮尺および距離は必ずしも等縮尺であるとは限らず、幾つかの例においては明瞭性を保つために誇張して示されている。外部共振器レーザ装置10は、焦点を合わせる要素およびコリメーション要素、外部共振器レーザ装置10の様々な要素に関係する偽フィードバックを除去するように構成される偏光光学系と言った追加の構成要素(図示されず)を備えても良い。レーザ装置10は、後述されるようなチャネル・セレクタを更に備えて良い。
図1と同様に図2および図3も参照して、選択された通信グリッドを提供するためのグリッド・エタロン24の同調が、グリッド・エタロン24の枢動的な調節の点から例証される。図2は、光路22中に位置するグリッド・エタロン24の3つの回転位置を示し、位置Aが実線で示され、位置Bが破線で示され、位置Cが点線で示される。3つの位置A〜Cは、グリッド・エタロン24の回転的な位置調節によって達成される。位置B(破線)は光路に最大光学的厚さを提供し、その一方で位置C(点線)は最短の光路を提供し、位置A(実線)は、位置BおよびCの中間のグリッド・エタロンの光学厚さに帰着する。
図2に示されるようなグリッド・エタロン24を位置Aに位置決めすることによって、図3の実線で示される通信グリッドAが得られる。図3において、縦軸は相対ゲインを示し、横軸は波長を示す。通信グリッドAは、位置Aにおけるエタロン24の光学厚さによって決定される自由スペクトル領域(FSR)に対応する周期的に離間した一連の最大値および最小値を有する。グリッド・エタロン24を図2に示される位置Bに同調することによって、図3の破線で示される通信グリッドBが得られる。通信グリッドBは、光学厚さの変化に対応する分だけ、通信グリッドAから変化する。グリッド・エタロン24を図2に示される位置Cに同調する事によって、図3の点線で示される通信グリッドCが得られる。通信グリッドC(点線)は、グリッドAとほぼ対応する通信グリッドに戻り、グリッドAの実線とグリッドCの点線は一致するように図示される。しかしながら、通信グリッドCは、オーバーラップしたピークと0の逆波長との間に1つの追加のピークが正確に存在するという点において、通信グリッドAとは異なっている。
外部共振器レーザ装置10の運転中において異なる通信グリッドA、B、Cを選択する事は、様々な理由のために望まれ得る。例えば、別々の企業のローカルエリアネットワークが、別々の伝達チャネルを備えた別々でかつ専用の波長グリッドを使用するテレコミュニケーションのために構成されて良い。本発明によって、レーザ装置10が、あるグリッドによる送信から別のグリッドまで切り替えられることが可能になる。他の例において、信号伝送の範囲の距離が増加または減少する場合、意図された距離のためにグリッド間隔を最適化するべく通信グリッドを再構成するが望まれ得る。
ここで図4を参照して、他の実施形態における外部共振器レーザ34が示される。同様の参照番号は同様の部品を示すために用いられる。レーザ34はチャネル・セレクタを備え、これはウェッジ・エタロン36として図4に示される。ウェッジ・エタロン36は干渉フィルタとして動作し、平行では無い反射面38、40によってテーパ状の形状を有する。図4に示されるウェッジ・エタロン36は、外部共振器レーザに関する本発明において使用され得るチャネル・セレクタの一例に過ぎず、ウェッジ・エタロン36はテーパ状の透明な基板、隣接する透明な基板の反射面の間のテーパ状エアギャップ、傾斜した薄膜干渉フィルタ、格子、電気光学同調器、バーニヤ付きの同調デバイスあるいは他のチャネルセレクター・デバイスを含んで良い。チャネル選択の際にエアギャップ・ウェッジ・エタロンを使用する例が米国特許第6108355号明細書に記載されており、該明細書中において、「ウェッジ」とは隣接した基板によって画定されるテーパ状のエアギャップである。格子の角度調節によって同調される枢動的に調節可能な格子装置をチャネル・セレクタとして使用する事、また、電圧を選択的に印加する事によって同調される電気光学的な同調チャネル・セレクタを外部共振器レーザに使用する事が、2001年3月21日に出願された発明者アンドリュー・ダイバーによる米国特許出願番号第09/814646号に記載されている。並進的に同調された傾斜した薄膜干渉フィルタをチャネル・セレクタとして使用する事が、米国特許出願番号第09/814646号、およびホプキンス等によって本願と共に出願された「傾斜した薄膜ウェッジ干渉フィルタ、およびレーザ同調に対して使用する際の方法」という名称の米国特許出願番号第09/990412号に記載される。前述の開示は、参照によって本願に援用される。
ウェッジ・エタロン36によって画定される通過帯域は、グリッド・エタロン24によって画定される通過帯域よりも実質的に広く、ウェッジ・エタロン36のより広い通過帯域が、グリッド・エタロン24によって画定される最短波長のチャネルと最長波長のチャネルの間の波長との差と実質的に対応する周期を有する。換言すれば、ウェッジ・エタロン36の自由スペクトル領域は、グリッド・エタロン24によって画定される波長グリッドの全ての波長領域と対応する。ウェッジ・エタロン36は、特定の選択されたチャネルに隣接するチャネルを抑制するようなフィネスを有する。
ウェッジ・エタロン36は、ウェッジ・エタロン36の面38、40間の光学厚さを変える事により、複数の通信チャネルの中から1つを選択するために使用される。これは、x軸に沿ってウェッジ・エタロン36を変位させることにより達成される。x軸は、ウェッジ・エタロン36のテーパの方向と略平行であり、光路22および外部共振器レーザ34の光軸に対して略垂直である。ウェッジ・エタロン36によって画定される通過帯域のそれぞれによってチャネルが選択可能となり、また、ウェッジ・エタロン36が光路22中に押し込まれる方向に変位するにつれて、光路22に沿って移動するビームはウェッジ・エタロン36のより厚い部分を貫通することになり、これによって、より長い波長チャネルにおける、相対する面38、40間の建設的干渉が得られる。ウェッジ・エタロン36が光路22から引き出される方向に変位するにつれて、ビームはウェッジ・エタロン36より薄い部分を貫通し、より短い波長チャネルに対応する通過帯域を光路22に露出する。上述したように、ウェッジ・エタロン36の自由スペクトル領域は、グリッド・エタロン24の完全な波長の範囲に対応している。その結果、全ての波長グリッドの領域において、通信帯域内の単一の損失最小に同調される事が可能である。グリッド・エタロン24およびウェッジ・エタロン36からゲイン媒体12への統合化されたフィードバックによって、選択されたチャネルの中心波長においてレーザ光線を発することを可能にする。全同調レンジに渡って、ウェッジ・エタロン36の自由スペクトル領域はグリッド・エタロン24の自由スペクトル領域より広い。
ウェッジ・エタロン36は、選択されたチャンネルに応じてウェッジ・エタロン36を調節可能に位置調節するように構成・構築された駆動部材または同調器42を含む同調装置により位置を変えられることによって同調され、続いて、選択されたチャネルは、上述されたように、グリッド・エタロン24の位置調節に由来する通信グリッドによって決定される。同調器42は、例えばウェッジ・エタロン36の精密並進運動に好適なハードウェアと共にステッパーモータを備えても良い。もしくは、同調器42は、直流サーボモーター、ソレノイド、ボイスコイル・アクチュエーター、圧電アクチュエータ、超音波ドライバ、形状記憶デバイス、または同様の往復アクチュエータのように、様々な種類のアクチュエータを含んでも良い。アクチュエータの種類は上記されてものに限定されない。ウェッジ・エタロン36以外の異なる種類のチャネル・セレクタが本発明に使用される場合、波長同調器42はチャネル・セレクタを同調するためにそれに応じて構成されるであろう。
ウェッジ・エタロン同調器42はコントローラ30に動作可能なように接続され、コントローラ30は、同調器42によるウェッジ・エタロン36の位置決めを制御する信号を供給する。コントローラ30はデータ処理装置およびメモリ(図示されない)を備えて良く、選択可能なチャネル波長に対応するウェッジ・エタロン36用の位置情報のルックアップテーブルが内部に保存される。上記述されるように、グリッド・エタロン24の制御に使用される同一のコントローラ30によってウェッジ・エタロン36が制御されるように図示されている。しかしながら、別のコントローラがウェッジ・エタロン36用に使用されても良い。
外部共振器レーザ34がグリッド・エタロン24によって決定された異なる通信チャネルに同調される時、コントローラ30はルックアップテーブル中の位置データに従って同調器42に信号を送り、同調器42はウェッジ・エタロン36を正確な位置まで平行移動させるか、さもなければ調節し、光路22中に位置するウェッジ・エタロン36の位置における光学厚さによって、選択されたチャネルのための建設的干渉が得られるようになされる。同調器42によってウェッジ・エタロン36を正確・確実に位置調節するために、直線エンコーダ44がウェッジ・エタロン36および同調器42に関して使用されてもよい。同調器32によるグリッド・エタロン24の正確な位置調節を保証するために、エンコーダ46がグリッド・エタロン同調器32に関してさらに含まれていても良い。
ウェッジ・エタロン36は、光学上検知可能で、ウェッジ・エタロン36が最長または最短のチャネル波長に位置決めされた際にウェッジ・エタロン36の位置を確認するために用いられる不透明領域48、50を、ウェッジ・エタロン36の両端に備えていても良い。不透明領域48、50によって、ウェッジ・エタロン36の位置決めにおいて使用可能なエンコーダ・メカニズムが付加的に提供される。不透明領域48、50のいずれかが光路22に進入するようにウェッジ・エタロン36が位置決めされる時、不透明領域48、50は、光路に沿ってビームを遮断するか減衰させる。以下詳細される通り、この光の減衰は、光学的に検知可能であるか、ゲイン媒体12の両端の電圧変調を監視することによって検知可能である。ウェッジ・エタロン36上の不透明領域48、50の位置は正確に決定され得るので、コントローラ30は不透明領域48、50が光路22に何時進入するかを予想する事が出来る。予想されたポイント以外に光路22中の不透明領域48、50が出現すると言う事は、エンコーダのエラーを表しており、また、コントローラ30は、光路22中の不透明領域48、50の検知された位置に基づいて、適切な補正を行う事が出来る。別の不透明領域(図示されない)が、ウェッジ・エタロン36の任意の他の位置に更に含まれていても良い。
外部共振器レーザ34の様々な光学コンポーネントの間の相対的なサイズ、形、および距離は、幾つかの例においては明瞭性を保つために誇張して示されている場合があり、必ずしも等縮尺であるとは限らない。外部共振器レーザ34は、焦点を合わせる要素およびコリメーション要素、外部共振器レーザ34の様々な要素に関連した偽フィードバックを除去するように構成される偏光光学系と言った追加の構成要素(図示されず)を備えても良い。
外部共振器レーザ34のグリッド・エタロン24、ウェッジ・エタロン36、および裏面18およびエンドミラー14によって画定される外部共振器の通過帯域の関係の一例を示すグラフが図5に示され、図5は、外部共振器通過帯域PB1、グリッド・エタロン通過帯域PB2およびウェッジ・エタロン通過帯域PB3を示す。相対ゲインが縦軸に、波長が横軸に示される。グリッド・エタロン通過帯域PB2は、例えば、図3に示される通信グリッドのうちの1つによって画定される通過帯域に相当して良い。図5は、典型的な0.5ナノメートル(nm)のグリッド間隔を示す。
図5から明らかなように、ウェッジ・エタロン36の自由スペクトル領域(FSRChannel Sel)は、グリッド・エタロン24の自由スペクトル領域(FSRGrid Gen)より大きく、グリッド・エタロン24の自由スペクトル領域(FSRGrid Gen)は、外部共振器の自由スペクトル領域(FSRCavity)より大きい。外部共振器通過帯域PB1のピークは、グリッド・エタロン24の波長グリッドによって画定された通過帯域PB2の中心波長と周期的に一致する。全ての波長グリッドの通過帯域PB2に渡って広がるウェッジ・エタロン36の通過帯域PB3のピークは1つである。図5に示される特定の例において、グリッド・エタロン24によって画定される波長グリッドは、0.5nm(62GHz)間隔で離間し、最短波長チャネルが1532nm、最長波長チャネルが1563.5nmであって、64個のチャネルに渡って延長している。この面間隔は、上記述されるようなグリッド・エタロン24を同調することにより、本発明によって同調され得る。
グリッド・エタロン24およびウェッジ・エタロン36のフィネスは、隣接しているモードまたはチャネルの減衰を決定する。上述されたように、フィネスは、自由スペクトル領域を半値全幅で割った値と等しい。即ち、フィネス=FSR/FWHMである。グリッド・エタロン通過帯域PB2の半値全幅が図5bに示され、ウェッジ・エタロン通過帯域PB3の半値全幅が図5cに示される。外部共振器内においてグリッド・エタロン24およびウェッジ・エタロン36の位置を調節する事によって、サイドモード抑圧比が向上する。
1549.5nmおよびそれに隣接する1550nmに中心が合わせられたチャネル間におけるウェッジ・エタロン36の通過帯域PB3の同調の例が、図6のグラフによって示される。また、グリッド・エタロン24によって為されたチャネルの選択と、隣接するチャネルまたはモードの減衰も示されている。図5に示される外部共振器の通過帯域PB1は、明瞭性を保つために図6においては省略される。グリッド・エタロン24は、グリッド・チャネル間隔に対応する外部共振器の周期的な縦モードを選択する一方で、隣接するモードは遮断する。ウェッジ・エタロン36は、該波長グリッド中の特定のチャネルを選択し、他の全てのチャネルを遮断する。選択されたチャネルあるいはレーザ光線のモードは、チャネル間隔のプラスマイナス約半分の範囲のフィルタ・オフセットにより、1つの特定のチャネルに固定される。チャネルのオフセットがより大きい場合、レーザ光線のモードは隣接するチャネルへとジャンプする。
図6aにおいて、ウェッジ・エタロン通過帯域PB3は、1549.5nmのグリッド・チャネルに合わせられている。1549.5nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインは高いが、その一方で隣接している1549.0nmおよび1550.0nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインレベルは、選択された1549.5nmのチャネルに比べて抑圧されている。1550.5nmおよび1548.5nmにおける通過帯域PB2に関するゲインは一層抑圧されている。1点鎖線は、ウェッジ・エタロン36によって抑圧されていない状態の通過帯域PB2の相対ゲインを示す。
図6bはウェッジ・エタロン通過帯域PB3が、チャネル切り替えの最中に1549.5nmおよび1550.0nmのチャネルの間に位置する状態を示す。1549.5nmおよび1550.0nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインは両方とも高く、どちらも抑制されていない。1549.0nmおよび1550.5nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインのレベルは、1549.5nmおよび1550.0nmのチャネルに比べれば抑圧されている。1点鎖線は、ウェッジ・エタロン36によって抑圧されていない状態の通過帯域PB2の相対ゲインを示す。
図6cは、ピークが1550.0nmのグリッド・チャネルに合わせられているウェッジ・エタロン通過帯域PB3を示し、1550.0nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインは高いが、その一方で隣接している1549.5nmおよび1550.5nmにおける通過帯域PB2に関する相対ゲインレベルは、選択された1520.0nmのチャネルに比べて抑圧されており、1551.0nmおよび1549.0nmにおける通過帯域PB2に関するゲインは更に抑圧されている。再び、1点鎖線は、ウェッジ・エタロン36によって抑圧されていない状態の通過帯域PB2の相対ゲインを示す。
図5および図6に示される0.5nmのグリッド間隔は、外部共振器レーザ34で使用可能な通信グリッドの1つを示しているのに過ぎない。前述されたように、グリッド・エタロン24は、通信グリッドを同調する為に、位置、熱、音響、光学、圧力、電圧調節のメカニズムあるいは他の制御メカニズムにより同調されて良い。0.25nm間隔で離間している2つのポジションの間で通信グリッドを同調する事により、図示された公称0.5nmのグリッドから0.25nmのグリッド間隔が達成され得る。偶数番目のチャネルから奇数番目のチャネルへの転移がある場合は常にグリッドの再同調が必要となる。他に選択されたグリッド間隔におけるウェッジ・エタロン36による外部共振器レーザ34の同調は、通常は上述されるのと同じ様態で行なわれる。
ここで図7を参照して、本発明における外部共振器レーザ装置52の他の実施形態が示される。同様の参照番号は同様の部品を示すために用いられる。レーザ装置52では、ゲイン媒体12は電極54、56と共に示され、電極54、56は、駆動電流源58からの電流をゲイン媒体12の両端に供給するように位置している。ゲイン媒体12の両端の電流レベルを選択的に制御可能にするために、駆動電流源58がコントローラ30に操作可能なように接続されて良い。電圧センサが電極54、56のうちの1つに操作可能なように接続され、レーザ運転中にゲイン媒体12の両端の電圧変調を監視するように構成される。同様に、電圧センサ60は、コントローラ30に操作可能なように接続される。
外部共振器同調器62は、コントローラ30およびエンドミラー14に操作可能なように接続される。同調器62は、例えば、ゲイン媒体12の出力面18とエンドミラー14との間の光共振器または経路長を制御するエンドミラー14の位置を決定するように構成されたステッパーモータあるいは他の往復型アクチュエーターデバイスを備えても良い。エンドミラー14の正確な位置決めを保証するために、エンコーダ64が外部共振器同調器62に関して含まれていても良い。あるいは、別のコントローラ(図示されない)が、外部共振器同調器62を制御するために使用されても良い。
ある実施形態において、外部共振器同調器62は、熱的に同調可能な補償器部材(図示されない)を備えても良く、熱的に同調可能な補償器部材は、コントローラ30から熱的に同調可能な補償器部材に接続される熱電コントローラ(図示されない)までの光共振器調節信号に従って熱的な補償器部材を加熱または冷却する事により、エンドミラー14の位置を決めるために構成される。外部共振器レーザ中のエンドミラーおよび他の光学コンポーネントを位置的に調節するための熱制御同調部材の使用もまた、2001年3月21日に出願された発明者アンドリュー・ダイバーによる米国特許出願番号第09/814646号、および、これと平行して出願された、発明者マーク・ライス等による「外部共振器の能動的温度同調を伴うレーザ装置」という名称の米国特許出願番号第09/900443号に記載され、参照により本願に援用される。
レーザ装置52の外部共振器光路長もまた、ゲイン媒体12の位置調節、つまり、出力面18がエンドミラー14に対して移動する事によって同調されて良い。外部共振器の調節もまた、外部共振器内に存在して外部共振器に光学的に結合している電気光学部材(図示されない)の電圧調節によって達成されて良く、外部共振器の有効光学厚さ、および従って外部共振器の光路長を、電気光学部材の両端に選択的に電圧を印加する事によって制御させる事が出来る。外部共振器の同調のために電気光学部材を使用する事もまた、発明者ダイバー等による「ゲイン媒体の両端の電圧によるレーザ損失の評価および調節」という名称の米国特許出願番号第09/990426号によって開示され、参照によって本願に援用される。
外部共振器レーザ装置52の運転において、ゲイン媒体12の両端の電圧は電圧センサ60によって監視され、コントローラ30に伝達される。グリッド・エタロン24、ウェッジ・エタロン36およびエンドミラーからの光学のフィードバックが出力面16を経由してゲイン媒体へ導入されるので、グリッド・エタロン24、ウェッジ・エタロン36およびエンドミラーに関する光損失は、センサ60によって監視されるのと同様に、ゲイン媒体12の両端の電圧によって検知可能である。損失が生じる場合、誤差信号はコントローラ30によって検知された電圧から導出され、誤差信号をヌル化するためのグリッド・エタロン24、ウェッジ・エタロン36またはエンドミラー14の調節の必要に応じて、グリッド・ジェネレータ同調器32、ウェッジ・エタロン同調器42、および(または)外部共振器同調器62に相応の補償信号を送信する。
ある実施形態において、周波数ディザの形を取る信号の変調が、エンドミラー14に接続されるか、さもなければレーザ装置52の外部共振器に関連するディザ部材(図示されず)によって、外部共振器レーザ装置52へ導入される。信号の変調は、例えば、約20kHzの周波数変調を含んで良く、エンドミラー14に適切に接続された圧電、電気光学、または音響光学デバイスによって生成されて良い。この方式によるレーザ外部共振器の光路長の変調によって、外部共振器からのゲイン媒体12へ光学のフィードバックにより電圧センサ60によって検知し得る外部共振器レーザ装置52の出力パワーにおける強度変化が生成される。これらの強度変化は、ウェッジ・エタロン36およびグリッド・エタロン24によって画定された通過帯域の中心波長における外部共振器モードのアラインメントに応じて、その振幅およびフェーズエラーが異なるであろう。換言すれば、変調信号における強度変化および移相によって、外部共振器の損失を評価し、かつ外部共振器光路長の調節用の対応する誤差信号を生成するための有効な方法が提供される。従って、コントローラ30は、周波数ディザによって導入された変調から誤差信号を導出し、コントローラ30に補償信号を伝え、これに対応して、外部共振器同調器62に命令を出し、エンドミラー14の位置を決めることによって外部共振器が調節されるようにする。誤差信号の決定および外部共振器の調節に関して変調信号の強度変化およびフェーズエラーを使用することもまた、発明者ダイバー等による「ゲイン媒体の両端の電圧によるレーザ損失の評価および調節」という名称の米国特許出願番号第09/990426号によって開示され、参照によって本願に援用される。
本発明は特定の実施例に関して記載された一方、本発明の真の精神と範囲から逸脱することなく、さまざまな修正がなされ得、均等物によって置換され得る事が当業者によって理解されるべきである。加えて、特定の状況、材料、組成物、プロセス、工程段階を、本発明の目的、精神および範囲に適応させるために、多くの変更が成され得る。この種の変更の全てが、添付の特許請求の範囲の範囲内であることが意図されている。
本発明における同調可能なグリッド・ジェネレータを備えた外部共振器レーザ装置の概略図である。 3つの選択可能な通信グリッドに対応する3つのグリッド・エタロンの3つの異なる位置を示す概略図である。 図2のグリッド・エタロンの位置に対応する3つの選択可能な通信グリッドを例示するグラフである。 本発明における他の実施形態の外部共振器レーザの概略図である。 波長グリッド中の選択されたチャネルに関してのウェッジ・エタロン、グリッド・エタロンおよび外部共振器に関する、図1に示される外部共振器レーザの通過帯域特性を示すグラフである。 波長グリッド中の複数のチャネルに関する、図1に示される外部共振器レーザの同調に対するゲインを示すグラフである。 他の実施形態における、同調可能なグリッド・ジェネレータを備える外部共振器レーザ装置の概略図である。

Claims (16)

  1. 外部共振器レーザ装置であって、
    第1出力面および第2出力面を有し、前記第1出力面からビームを光路に沿って放射する活性領域を有するゲイン媒体と、
    前記光路中に位置し、前記第2出力面と共に外部共振器を画定する反射器と、
    前記光路中に位置するグリッド・エタロンと、
    前記グリッド・エタロンに動作可能に接続され、前記外部共振器レーザの運転中に、前記グリッド・エタロンの自由スペクトル領域に対応する離間した複数の伝送帯を画定する、第1の通信グリッドから第2の通信グリッドへ、前記グリッド・エタロンを調節するグリッド・エタロン同調器と、
    選択可能な複数の通信グリッドに対応する前記グリッド・エタロン用の調節パラメータを保存しており、前記外部共振器レーザの運転中に、前記グリッド・エタロン同調器に信号を送り、前記調節パラメータに従って前記グリッド・エタロンを、前記第1の通信グリッドから前記第2の通信グリッドへ調節させるコントローラと、
    前記光路中に位置するウェッジ・エタロンと、
    前記ウェッジ・エタロンに動作可能に接続され、前記複数の伝送帯のうちの1つの伝送帯に前記ウェッジ・エタロンを同調させるチャネル・セレクタ同調器と、
    を備え、
    前記ウェッジ・エタロンは、前記ウェッジ・エタロンの位置を確認するために用いられる不透明領域を、前記ウェッジ・エタロンの両端に有し、
    前記不透明領域を利用して前記ウェッジ・エタロンの基準位置を決定する装置。
  2. 前記グリッド・エタロン同調器が、回転により前記光路中においてグリッド・エタロンを調節する、請求項1に記載の装置。
  3. 前記外部共振器に動作可能に接続され、前記外部共振器の光路長を調節する外部共振器光路長同調器を更に備える、請求項1又は請求項2に記載の装置。
  4. 同調可能でコヒーレントな光出力を生成する方法であって、
    第1出力面および第2出力面および活性領域を有する外部共振器レーザを提供し、
    光路に沿って、前記第1出力面の活性領域からコヒーレントなビームを放射し、
    エンドミラーが前記光路中に位置し、
    前記エンドミラーおよび前記第2出力面が外部共振器を画定し、
    グリッド・エタロンの前記光路に関する位置決めをし、
    前記外部共振器レーザの運転中に、選択可能な複数の通信グリッドに対応する前記グリッド・エタロン用の調節パラメータを保存しているコントローラから、グリッド・エタロン同調器に信号を送り、
    前記外部共振器レーザの運転中に、前記調節パラメータに従って、前記グリッド・エタロンの自由スペクトル領域に対応する離間した複数の波長通過帯域を画定する、第1の選択可能な通信グリッドから第2の選択可能な通信グリッドへ、前記グリッド・エタロンを変化させ、
    前記光路に関して位置するウェッジ・エタロンであって、前記ウェッジ・エタロンの位置を確認するために用いられる不透明領域を両端に有する前記ウェッジ・エタロンの基準位置を、前記不透明領域を利用して決定し、前記ウェッジ・エタロンを同調させ、
    前記ウェッジ・エタロンが同調可能な透過ピークを生成し、
    前記同調可能な透過ピークと前記複数の波長通過帯域のうちの1つの波長通過帯域とのアライメントを取ることによって、前記透過ピークを経由してチャネル選択を行う、方法。
  5. 前記変化させるステップが、前記グリッド・エタロンを回転して調節する、請求項4に記載の方法。
  6. 前記外部共振器の光路長を調節するステップを更に備える、請求項4又は請求項5に記載の方法。
  7. 前記グリッド・エタロンが、電圧に依存する屈折率を有する電気光学材料から製作され、
    前記グリッド・エタロン同調器が、前記グリッド・エタロンの前記屈折率を変更することにより、前記グリッド・エタロンの同調を行うべく、前記グリッド・エタロンに選択可能な電圧を供給するために制御可能である、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の装置。
  8. 装置であって、
    活性領域を有し、第1および第2出力面を有し、前記第1出力面の前記活性領域から光路に沿ってコヒーレントなビームを放射するゲイン媒体と、
    前記ゲイン媒体の前記第1出力面と相対して配置され、第2出力面とともに外部レーザ共振器を画定するエンドミラーと、
    前記光路中に位置するグリッド・ジェネレータと、
    前記装置の運転中に、それぞれの選択可能な通信グリッドによって画定されるチャネル間隔に応じて一定の波長間隔を有する複数の波長通過帯域を画定する、第1の通信グリッドから第2の通信グリッドへ、前記グリッド・ジェネレータを調節するために前記グリッド・ジェネレータに動作可能に接続されたグリッド・ジェネレータ同調器と、
    選択可能な複数の通信グリッドに対応する前記グリッド・ジェネレータ用の調節パラメータを保存しており、前記調節パラメータに従って前記第1の通信グリッドから前記第2の通信グリッドへ前記グリッド・ジェネレータを調節するべく、外部共振器レーザの運転中に、前記グリッド・ジェネレータ同調器に信号を供給するために、前記グリッド・ジェネレータ同調器に接続されるコントローラと、
    前記コントローラに動作可能なように接続され、複数の波長通過帯域のうちの1つの波長通過帯域と、生成する透過ピークとのアライメントを取るウェッジ・エタロンと、
    を備え、
    前記ウェッジ・エタロンは、前記ウェッジ・エタロンの位置を確認するために用いられる不透明領域を、前記ウェッジ・エタロンの両端に有し、
    前記不透明領域を利用して前記ウェッジ・エタロンの基準位置を決定する装置。
  9. 前記グリッド・ジェネレータがグリッド・エタロンを備え、
    前記グリッド・ジェネレータ同調器が、前記グリッド・ジェネレータを回転させることにより前記グリッド・ジェネレータを同調する、請求項8に記載の装置。
  10. 前記ゲイン媒体および前記コントローラに接続される駆動電流源を更に備え、
    前記駆動電流源が、前記ゲイン媒体に供給される電流レベルを選択的に制御する、請求項8又は請求項9に記載の装置。
  11. 前記ゲイン媒体と前記コントローラに接続される電圧センサを更に備え、
    前記電圧センサが、前記ゲイン媒体の両端の電位差に対応して、前記コントローラに電圧フィードバック信号を供給する、請求項8乃至請求項10のいずれかに記載の装置。
  12. 前記ウェッジ・エタロンが、前記光路中において前記ウェッジ・エタロンの位置を調節することによって同調される、請求項8に記載の装置。
  13. 前記エンドミラーと前記コントローラに接続される外部共振器同調器を更に備え、
    前記外部共振器同調器が、前記エンドミラーと前記ゲイン媒体との間の光路長を調節するために前記エンドミラーの位置を決める、請求項8乃至請求項12のいずれかに記載の装置。
  14. 前記外部共振器同調器が、往復型アクチュエーターデバイスを含む、請求項13に記載の装置。
  15. 前記外部共振器同調器が、熱により同調可能な補償器部材を含む、請求項14に記載の装置。
  16. 前記レーザの同調のためのフィードバック信号を生成するために検知可能である前記レーザの出力特性に変調を生じさせるディザ部材を更に備える、請求項8乃至請求項15のいずれかに記載の装置。
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