JP4192174B2 - ソフトモールドの製造方法 - Google Patents
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Description
モールド内に支持フィルムを挿入して構成することによって、モールドの耐久性を向上させ、モールドの変形を阻害して大量生産に適用可能である。
図2は、本発明によるソフトモールドの構造断面図である。
図2に示したように、厚さが均一なUV透過率の高い支持フィルム33と、前記支持フィルム33を全体的に取り囲み、一面に凹凸が形成された面を有して形成されたモールド35とで構成されている。
前記モールド35は、弾性重合体を硬化して製作でき、このような弾性重合体としては、代表的にPDMSが広く使われている。
前記PDMSの他にも、ポリウレタン、ポリイミドなどが使用できる。
そして、前記モールド35は、プレポリマーと硬化剤を10:1の比率で混合した混合溶液であるプレポリマー状態の弾性重合体溶液を硬化して形成されたものである。
図3Aないし図3Fは、本発明の実施の形態によるソフトモールドの製造方法を工程順に示した断面図である。
前記マスターモールドMは、基板(例えば、シリコン基板またはガラス基板)30の上に窒化シリコン(Si3N4)または酸化シリコン(SiO2)のような絶縁物質を蒸着して先行層を形成した後、フォトリソグラフィ工程を経て、前記先行層を所望の形状にパターン31化する工程により形成する。
この時、前記基板30の上部のパターン31は、窒化シリコンまたは酸化シリコンの他に、金属またはフォトレジストまたはワックスを使用して形成できる。
前記弾性重合体は、PDMSとポリウレタンとポリイミドのうち選択された1つで形成できる。
この時、プレポリマー状態の弾性重合体溶液は、プレポリマーと硬化剤を10:1の比率で混合した混合溶液を使用するが、その他の材料によって1:1、あるいは様々な配合比が可能である。
前記第1液状高分子前駆体32は、1mmの厚さに形成するのが望ましいが、好ましくは0.5mm〜3mm範囲の厚さに形成できる。
この時、支持フィルム33は、UV透過度が95%以上であるものを使用し、188μm厚さのPETフィルムを使用して形成したが、0.1〜1mm範囲の厚さを有するPETフィルムの他にUV透過度が95%以上である他のフィルムで構成することもできる。
そして、支持フィルム33を固定させる時、ゴムローラで押して密着性を向上させ、支持フィルム33と一部硬化された高分子32aとの間の気泡を除去する。
前記カップリングエージェント処理は、一部硬化された高分子32aと第2液状高分子前駆体34との間の接着力の向上及び支持フィルム33の固定のために行うものであって、汎用プライマーを使用して行い得る。
前記第2液状高分子前駆体34は、2mmの厚さに形成するのが望ましいが、1〜3mm範囲の厚さを有するように形成できる。
前記完全硬化工程は、25℃で7日間行うことが望ましいが、25℃で1〜10日、あるいは80℃で1時間行い得る。しかし、80℃で硬化させる場合は、常温硬化に比べてモールドが変形する恐れがある。
31 パターン
32 第1液状高分子前駆体
32a 一部硬化された高分子
33 支持フィルム
34 第2液状高分子前駆体
35 モールド
Claims (11)
- 基板上に任意のパターンが形成されたマスターモールドを形成する段階と、
前記マスターモールドの上部に第1液状高分子前駆体を形成する段階と、
前記第1液状高分子前駆体を一部硬化させる段階と、
前記の一部硬化された高分子の上部にUV透過率の高い支持フィルムを密着させる段階と、
前記支持フィルムと前記の一部硬化された高分子にカップリングエージェント処理をする段階と、
前記支持フィルムを含む前記の一部硬化された高分子の上部に第2液状高分子前駆体を形成する段階と、
前記第2液状高分子前駆体と前記の一部硬化された高分子を完全硬化させて、モールドを形成させる段階と、
前記支持フィルムが挿入された前記モールドを前記マスターモールドから取り外して、前記支持フィルムが挿入されており、一表面に所定の形状が陽刻または陰刻されたソフトモールドを形成する段階と
を含むソフトモールドの製造方法。 - 第1液状高分子前駆体は、プレポリマー状態の弾性重合体溶液、またはそれと同等な特性を有する高分子物質を注いで形成されることを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記弾性重合体溶液は、ポリジメチルシロキサンとポリウレタンとポリイミドのうち選択された1つで形成されることを特徴とする請求項2に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記プレポリマー状態の弾性重合体溶液は、プレポリマーと硬化剤を10:1の比率で混合した混合溶液を使用することを特徴とする請求項2に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記第1液状高分子前駆体は、0.5mm〜3mm範囲の厚さに形成することを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記第1液状高分子前駆体を一部硬化させる工程は25℃の温度で2時間〜2日行うことを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記支持フィルムは、UV透過度が95%以上であり、0.1mm〜1mm範囲の厚さを有するPETフィルムを使用して形成することを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記支持フィルムは、ゴムローラで押して密着させることを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記カップリングエージェント処理は、前記支持フィルムの外郭部と前記の一部硬化された高分子の縁の上部に汎用プライマーを使用して行うことを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記第2液状高分子前駆体は、1mm〜3mm範囲の厚さを有するように形成することを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記完全硬化工程は、25℃から1〜10日、あるいは80℃で1時間行うことを特徴とする請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050055192A KR101174771B1 (ko) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 소프트 몰드 및 이의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007001288A JP2007001288A (ja) | 2007-01-11 |
JP4192174B2 true JP4192174B2 (ja) | 2008-12-03 |
Family
ID=37566378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005368187A Expired - Fee Related JP4192174B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-12-21 | ソフトモールドの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8268214B2 (ja) |
JP (1) | JP4192174B2 (ja) |
KR (1) | KR101174771B1 (ja) |
CN (1) | CN100576082C (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101329079B1 (ko) * | 2007-04-09 | 2013-11-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그의 제조방법 |
KR101678057B1 (ko) * | 2010-10-04 | 2016-12-06 | 삼성전자 주식회사 | 패터닝 몰드 및 그 제조방법 |
JP5678728B2 (ja) * | 2011-03-03 | 2015-03-04 | 大日本印刷株式会社 | モールドおよびその製造方法 |
JP5953126B2 (ja) * | 2012-05-30 | 2016-07-20 | 東芝機械株式会社 | 型および型の製造方法 |
CN102854741B (zh) * | 2012-09-29 | 2014-07-16 | 青岛理工大学 | 用于非平整衬底晶圆级纳米压印的复合软模具及制造方法 |
JP6046505B2 (ja) | 2013-01-29 | 2016-12-14 | 株式会社ダイセル | シート状モールド及びその製造方法並びにその用途 |
KR102060831B1 (ko) | 2013-02-27 | 2019-12-30 | 삼성전자주식회사 | 플립 칩 패키징 방법, 그리고 상기 플립 칩 패키징 방법에 적용되는 플럭스 헤드 및 그 제조 방법 |
CN108162425B (zh) * | 2017-12-22 | 2020-08-28 | 青岛理工大学 | 一种大尺寸无拼接微纳软模具制造方法 |
US10987831B2 (en) * | 2019-05-24 | 2021-04-27 | The Boeing Company | Dies for forming a part and associated systems and methods |
CN112571687A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-03-30 | 上海建工四建集团有限公司 | 一种高开孔率复合硅胶模具 |
KR102400656B1 (ko) | 2021-02-17 | 2022-05-23 | (주)제이비필름디자인 | 다중패턴 필름 제조방법 및 이에 의해 제조된 다중패턴 필름 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11300838A (ja) | 1998-04-16 | 1999-11-02 | Jsr Corp | 立体形状物、樹脂製型および立体形状物の製造方法 |
JP2003322852A (ja) * | 2002-05-07 | 2003-11-14 | Nitto Denko Corp | 反射型液晶表示装置及び光学フィルム |
US7195732B2 (en) * | 2002-09-18 | 2007-03-27 | Ricoh Optical Industries Co., Ltd. | Method and mold for fabricating article having fine surface structure |
KR100568581B1 (ko) * | 2003-04-14 | 2006-04-07 | 주식회사 미뉴타텍 | 미세패턴 형성 몰드용 조성물 및 이로부터 제작된 몰드 |
JP2005066836A (ja) | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Three M Innovative Properties Co | 可とう性成形型及びその製造方法ならびに微細構造体の製造方法 |
US7632087B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-12-15 | Wd Media, Inc. | Composite stamper for imprint lithography |
US7194170B2 (en) | 2004-11-04 | 2007-03-20 | Palo Alto Research Center Incorporated | Elastic microchannel collimating arrays and method of fabrication |
-
2005
- 2005-06-24 KR KR1020050055192A patent/KR101174771B1/ko active IP Right Grant
- 2005-12-05 CN CN200510127522A patent/CN100576082C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-20 US US11/314,637 patent/US8268214B2/en active Active
- 2005-12-21 JP JP2005368187A patent/JP4192174B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-08-28 US US13/596,840 patent/US20120321739A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101174771B1 (ko) | 2012-08-17 |
CN1885168A (zh) | 2006-12-27 |
US20120321739A1 (en) | 2012-12-20 |
JP2007001288A (ja) | 2007-01-11 |
CN100576082C (zh) | 2009-12-30 |
US8268214B2 (en) | 2012-09-18 |
US20060290025A1 (en) | 2006-12-28 |
KR20060135305A (ko) | 2006-12-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080424 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080826 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080919 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120926 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130926 Year of fee payment: 5 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |