JP4167642B2 - レジストパターン形成方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係わる半導体装置の製造工程を図1及び図2を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係わる半導体装置の製造工程の手順を示すフローチャートである。図2は、本発明の第1の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図である。
繰り返しながら基板全面の露光を行う。
本実施形態に係わる半導体装置の製造工程を図7を参照して説明する。図7は、本発明の第2の実施形態に係わる半導体装置の製造工程の手順を示すフローチャートである。
本実施形態に係わる半導体装置の製造工程を図8及び図9を参照して説明する。図8は、本発明の第3の実施形態に係わる半導体装置の製造工程の手順を示すフローチャートである。図9は、本発明の第3の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図である。
Claims (10)
- 基板上にレジスト膜を形成する工程であって、前記レジスト膜と、超純水、超純水にI族又はII族のアルカリイオンを添加した液体、又は超純水に酸イオンを添加した液体からなる液浸溶液との接触角は第1の角度である工程と、
前記レジスト膜上に保護膜を形成する工程であって、前記保護膜の表面と前記液浸溶液との接触角は第1の角度より小さい第2の角度である工程と、
前記保護膜の表面を改質することによって高接触角層を形成する工程であって、前記高接触角層と前記液浸溶液との接触角は前記第2の角度より大きい第3の角度である工程と、
前記高接触角層の形成後、前記液浸溶液を用いた液浸型の露光により、前記レジスト膜中に潜像を形成する工程と、
前記潜像形成後、前記レジスト膜を加熱する工程と、
前記潜像形成後、前記高接触角層を除去する工程と、
前記高接触角層の除去後、前記保護膜を除去する工程と、
前記加熱後、且つ前記保護膜の除去後、レジストパターンを形成するために前記レジスト膜を現像する工程と
を含むことを特徴とするレジストパターン形成方法。 - 前記保護膜の表面を有機シラザン化合物もしくはフッ素化合物の液体または雰囲気に暴露させて前記高接触角層を形成することを特徴とする請求項1記載のレジストパターン形成方法。
- 前記有機シラザン化合物が、ヘキサメチルジシラザン、テトラメチルジシラザンまたはトリメチルジシラザンであることを特徴とする請求項2記載のレジストパターン形成方法。
- 前記高接触角層の除去は前記加熱の前に行われ、
前記高接触角層の除去後、且つ前記加熱の前に、前記保護膜の表面を改質することによって低接触角層を形成する工程であって、前記低接触角層と前記液浸溶液との接触角は第2の角度より小さい第4の角度である工程と、
前記低接触角層の形成後、且つ前記加熱前に、前記保護膜中に吸収された液浸溶液を除去する工程とをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のレジストパターン形成方法。 - 前記低接触角層の形成は、前記保護膜の表面をエッチングして新たな表面を露出させつつ行うことを特徴とする請求項4記載のレジストパターン形成方法。
- 基板上にレジスト膜を形成する工程であって、前記レジスト膜と、超純水、超純水にI族又はII族のアルカリイオンを添加した液体、又は超純水に酸イオンを添加した液体からなる液浸溶液との接触角は第1の角度である工程と、
前記レジスト膜上に保護膜を形成する工程であって、前記保護膜の表面と前記液浸溶液との接触角は第1の角度より大きい第2の角度である工程と、
前記液浸溶液を用いた液浸型の露光により、前記レジスト膜中に潜像を形成する工程と、
前記潜像の形成後、前記保護膜の表面を改質することによって低接触角層を形成する工程であって、前記低接触角層と前記液浸溶液との接触角は前記第2の角度より小さい第3の角度である工程と、
前記低接触角層の形成後、前記保護膜中に吸収された前記液浸溶液を除去する工程と、
前記液浸溶液の除去後、前記レジスト膜を加熱する工程と、
前記液浸溶液の除去後、前記保護膜を除去する工程と、
前記加熱後、且つ前記保護膜の除去後、レジストパターンを形成するために、前記レジスト膜を現像する工程と
を含むことを特徴とするレジストパターン形成方法。 - 基板上にレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜上に保護膜を形成する工程であって、前記保護膜の表面と、超純水、超純水にI族又はII族のアルカリイオンを添加した液体、又は超純水に酸イオンを添加した液体からなる液浸溶液との接触角は第1の角度である工程と、
前記液浸溶液を用いた液浸型の露光を行い、前記レジスト膜中に潜像を形成する工程と、
前記潜像の形成後、前記保護膜の表面をエッチングして新たな表面を露出させつつ、新たに露出する前記保護膜の表面を改質することによって低接触角層を形成する工程であって、前記低接触角層の表面と前記液浸溶液との接触角を第1の角度より小さくする工程と、
前記改質後、前記保護膜に吸着または吸収された液浸溶液を除去する工程と、
前記液浸溶液の除去後、前記レジスト膜を加熱処理する工程と、
前記加熱処理されたレジスト膜からレジストパターンを形成するために、前記レジスト膜を現像する工程と
を含むことを特徴とするレジストパターン形成方法。 - 前記液浸溶液の除去時に、前記レジスト膜に吸収された液浸溶液を除去することを特徴とする請求項4,6,7の何れかに記載のレジストパターン形成方法。
- 前記保護膜の表面をオゾンを含む液体または気体に暴露させて前記低接触角層を形成することを特徴とする請求項4、6,7の何れかに記載のレジストパターン形成方法。
- 半導体ウエハを用意する工程と、
請求項1〜9の何れかに記載のレジストパターン形成方法を用いて、前記半導体ウエハ上にレジストパターンを形成する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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