JP4167209B2 - レーザ装置 - Google Patents
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Description
となる。しかし、上記文献の手法では、レーザダイオードアレイは、ヒートシンクの冷却面側に配置され、その底面から冷却される。したがって、レーザダイオードアレイの前端面、すなわち光出力面を効率良く冷却することは難しい。光出力面の冷却が不十分だと、半導体レーザ素子の光出力の経時劣化が加速され、長期的な信頼性が低下するおそれがある。
図1〜図4を参照しながら、本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本実施形態のレーザ装置100を斜め前方から見た斜視図であり、図2は、レーザ装置100を斜め後方から見た斜視図である。図3は、レーザ装置100の分解斜視図であり、図4は、図2のA−A線に沿った断面図である。これらの図には、互いに垂直なX軸、Y軸およびZ軸も示されている。
以下では、図7〜図11を参照しながら、本発明の第2の実施形態を説明する。図7は、本実施形態のレーザ装置200を斜め前方から見た斜視図であり、図8は、レーザ装置200を斜め後方から見た斜視図である。図9は、レーザ装置200の分解斜視図であり、図10は、図8のA−A線に沿った断面図であり、図11は、図8のB−B線に沿った断面図である。これらの図には、互いに垂直なX軸、Y軸およびZ軸も示されている。
Claims (9)
- レーザ光を発する光出力面を有する半導体レーザ素子と、
冷媒を収容するための冷媒室、および前記冷媒室に連通し前記光出力面に対向する噴射口を有する冷媒噴射手段と、
前記半導体レーザ素子が載置されるレーザ搭載面を有するとともに、前記噴射口から噴射された冷媒が流入する第1の冷媒流路を有するヒートシンクと、
を備えるレーザ装置。 - 前記冷媒噴射手段は、前記光出力面に対向する主面を有し、前記レーザ光を透過させる中空の板であり、
前記冷媒室は前記板の中空部であり、
前記噴射口は前記主面に設けられている、
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記冷媒噴射手段は、前記光出力面に対向する第1のレンズ面と、前記第1のレンズ面よりも前記光出力面に対して遠くに配置された第2のレンズ面とを有する中空のコリメータレンズであり、
前記冷媒室は前記コリメータレンズの中空部であり、
前記噴射口は前記第1レンズ面に設けられている、
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記半導体レーザ素子は、前記光出力面上において一つの方向に沿って配列された複数の発光スポットを有しており、
前記冷媒噴射手段は、前記発光スポットが配列される方向に沿って並んだ複数の前記噴射口を有している、
請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記半導体レーザ素子は、前記光出力面上において一つの方向に沿って配列された複数の発光スポットを有しており、
前記噴射口は、前記発光スポットが配列される方向に沿って細長いスリットである、
請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記レーザ搭載面は、前記第1の冷媒流路に連通する冷媒吸込み口を有している、請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ装置。
- 前記第1の冷媒流路に連通する冷媒排出口を更に備える請求項1〜6のいずれかに記載のレーザ装置。
- 前記半導体レーザ素子および前記ヒートシンクを搭載し、第2の冷媒流路を有する支持部材と、
前記第1および第2の冷媒流路間に接続され、前記第1の冷媒流路から冷媒を吸入し、前記第2の冷媒流路に冷媒を排出するポンプと
を更に備え、
前記冷媒噴射手段は、前記冷媒室に連通する流入口を更に有しており、
前記冷媒噴射手段は、前記流入口を前記第2の冷媒流路に連通させた状態で前記支持部材に取り付けられている、
請求項1〜7のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記半導体レーザ素子は、前記光出力面上に配置された発光スポットを有しており、
前記噴射口は、前記光出力面において前記発光スポットの付近に冷媒を噴射するように配置されている、請求項1〜8のいずれかに記載のレーザ装置。
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