JP4166012B2 - 高誘電率材料用組成物 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高誘電率材料用組成物に関し、詳しくは比較的低い温度で焼成することができ、しかも高誘電率の焼結体を得ることができる組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高周波数において高い誘電率を有する材料を使用した回路部品が開発されてきている。従来、高誘電率材料用組成物はＢａＴｉＯ３等のフィラーの量が多く、そのフィラーとＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系等のガラスとを混合して焼成したり（特許第２８２９５１４号公報）、ＢａＴｉＯ３に希土類酸化物等を添加して焼結し、粉砕して高誘電率のフィラーを作製したものにガラスを混合する、つまりフィラーの作製に重点をおいた開発が圧倒的に多かった（特開平８−６９７１３号公報、特許第２８６９９００号公報、特許第３０８４９９２号公報、特許第３０６４５１８号公報、特許第３０６４５１９号公報、特許第３１８０４３９号公報）。
しかし近年、これらの高誘電率材料用組成物をシート状に成形し、それを積層してデバイスや基板を作製する時の電極や導電材料が、Ａｇ、Ｃｕ等の低融点の金属へ移行し、それに伴い、より低温で焼成が可能な高誘電率材料を得るための組成物が求められてきている。
このような情況の中で、特開平７−１１８０６０号公報、特開平８−５５５１６号公報ではＳｉＯ２系ガラスをベースとした開発が開示されているが、ガラスの軟化点が高いため、低温での焼成が難しいという問題がある。
またこれまでに開発されてきた組成物では、低温で焼成でき、しかも得られる焼結体の誘電率が５０以上となるようなものはなかった。
それ故、上記ＡｇやＣｕ等の低融点導電材料と同様の低温で焼成することが可能であり、且つ得られる焼結体が高誘電率である組成物の開発が強く望まれていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来の問題点を解消し、低温で焼成可能であり、且つ得られる焼結体が高誘電率となる組成物を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、低融点ガラス（鉛系、ビスマス系、リン酸塩系ガラス）でアルカリ土類成分が多く、結晶化が容易に起こるガラス粉末と誘電率が大きいセラミックスフィラーとを含有する組成物が上記課題を解決することを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
即ち、本発明の高誘電率材料用組成物は、重量％表示で、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種：１０〜５０％、ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種：２〜２０％、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種：１０〜５０％、ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種：１０〜３５％、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有の組成を有するガラス粉末２０〜８０重量％と、セラミックスフィラー８０〜２０重量％とからなり、９００℃以下で焼成した時に得られる焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率が１５以上であることを第１の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１の特徴に加えて、ガラス粉末が、重量％表示で、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種：２０〜４５％、ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種：１０〜１５％、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種：２０〜３５％、ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種：１５〜２５％、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有の組成を有することを第２の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１又は第２の特徴に加えて、ガラス粉末がＡｌ２Ｏ３を７重量％以下含有することを第３の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第３の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）及びＷＯ３の内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第４の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第４の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第５の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第５の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第６の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第６の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＦを５重量％以下含有することを第７の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第７の何れかの特徴に加えて、ガラスの軟化点が５５０〜７５０℃であることを第８の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第８の何れかの特徴に加えて、セラミックスフィラーがＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＴｉＯ４、ＢａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＭｇＺｒＯ３、ＺｒＯ２、ＢａＳｎＯ３、ＳｒＳｎＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＭｇＳｎＯ３、Ｂｉ２（ＳｎＯ３）３、アルミナ及びムライトの内の少なくとも１種であることを第９の特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の高誘電率材料用組成物の主要な構成要素であるガラス粉末の組成及び物性の限定理由を下記に説明する。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは、ＴｉＯ２或いはＺｒＯ２成分がガラス組成中に共存することにより焼結時にチタン酸塩結晶（ＢａＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３）或いはジルコン酸塩結晶（ＢａＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３）を析出する。そして更にＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２等のフィラーと反応して高誘電率の結晶を析出させる。このため前記ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは高誘電率の結晶を析出させるための必須成分である。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜５０重量％の範囲で含有させる。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯが合計で１０重量％未満の場合には、フィラー重量を組成物全体の８０重量％としても高誘電率材料が得られないおそれがある。またＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯが合計で５０重量％を超える場合には、ガラスが得られないか、又は軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯの含有量は、材料の高誘電率化、ガラス化又は軟化点等を考慮すると、合計で２０〜４５重量％であることがより好ましい。
【０００６】
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２はガラスを結晶化させる成分であって、それらの内の少なくとも１種を合計で２〜２０重量％の範囲で含有させる。
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２が合計で２重量％未満の場合には、軟化点から焼成温度の間の温度域で結晶化が起こらないおそれがある。また２０重量％を超える場合には、ガラスが得られないおそれがある。
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２の含有量は、ガラス化、軟化点から焼成温度までの間における結晶化等を考慮すると、合計で１０〜１５重量％であることがより好ましい。
【０００７】
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５は、本発明組成物のガラスの網目を形成する酸化物であり、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜５０重量％の範囲で含有させる。
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５が合計で１０重量％未満の場合には、ガラスが得られることはあるが、軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。また５０重量％を超える場合には、軟化点が低くなり過ぎ、フィラーを混合しても焼成時形状を保持できなくなるおそれがある。
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５の含有量は、軟化点等を考慮すると、合計で２０〜３５重量％であることがより好ましい。
なお焼結体の誘電率を高めるには、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３を含有させることが好ましい。
【０００８】
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３は熱膨張係数を下げ、ガラスの成形性を向上させ、またガラスの化学的耐久性を向上させる成分であり、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜３５重量％の範囲で含有させる。
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３が合計で１０重量％未満の場合には、熱膨張係数が大きくなり過ぎると共に、ガラスの成形性、化学的耐久性が向上しないおそれがある。また３５重量％超える場合には、軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３の含有量は、熱膨張係数、ガラスの成形性、化学的耐久性、軟化点等を考慮すると、合計で１５〜２５重量％であることがより好ましい。
【０００９】
また上記成分の他に、必要に応じてＡｌ２Ｏ３を７重量％以下含有させることができる。
上記範囲でＡｌ２Ｏ３を含有させることにより、熱膨張係数を下げ、ガラスの成形性を向上させることができる。７重量％を超えて含有させると、急激に軟化点が高くなるか、或いは原料が未溶融物として残るおそれがある。
Ａｌ２Ｏ３の含有量は、ガラスの軟化点、溶融性等を考慮すると、５重量％以下であることがより好ましい。
【００１０】
また上記成分の他に、必要に応じてＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）及びＷＯ３の内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。
上記範囲でＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）、ＷＯ３を含有させることにより、ガラスの軟化点をそれほど上昇させずに焼結体の誘電率を高めることができる。
【００１１】
また上記成分の他に、必要に応じてＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。上記範囲でＭｇＯ、ＺｎＯを含有させることにより、ガラスの成形性を向上させることができる。
【００１２】
また上記成分の他に、必要に応じてＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。上記範囲でＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏを含有させることにより、ガラスの軟化点を低下させることができる。
【００１３】
また上記成分の他に、本発明の必須成分として、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を５重量％以下含有させる。上記範囲でＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を含有させることにより、ガラスの安定性を向上させることができる。
【００１４】
また上記成分の他に、必要に応じてＦを５重量％以下含有させることができる。上記範囲でＦを含有させることにより、焼結体の誘電率を更に高くすることができる。
【００１５】
本発明の高誘電率材料用組成物において、ガラス粉末の量は、ガラスとセラミックスフィラーの総量に対して２０〜８０重量％の範囲とし、セラミックスフィラーは総量に対して８０〜２０重量％の範囲とすることが必須である。
セラミックスフィラーが２０重量％未満では、ガラスの比率が大きいため高誘電率材料が得られないおそれがある。また８０重量％を超えると、９００℃以下の低温での焼成が困難となる。
なお本発明の高誘電率材料用組成物は、近年この種の高誘電率材料の電極材料として用いられるＣｕ、Ａｇ等の導体と同時に焼成される場合には、当然ながら、これら導体の焼成温度である９００℃以下の温度で良好に焼成できることが必要である。またその９００℃以下の温度で焼成された焼結体が高誘電率を有することが必要である。
前記同時焼成の場合、焼成温度が９００℃を超えると、Ｃｕ、Ａｇ等の導体の印刷パターンが崩れるおそれがある。
焼結体の誘電率、焼成温度等を考慮すると、ガラス粉末の量は、ガラスとセラミックスフィラーの総量に対して５０〜７０重量％の範囲とし、セラミックスフィラーは総量に対して５０〜３０重量％の範囲とすることがより好ましい。
【００１６】
また本発明の高誘電率材料用組成物は、それを焼成して得られた焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率が１５以上であることを条件とする。誘電率が１５未満では、コンデンサー等としての特性が劣化する。コンデンサー等として用いる場合の特性を考慮すると、焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率は２０以上であることがより好ましい。なお本発明における誘電率とは、比誘電率を示す。
【００１７】
また本発明組成物に含有されるガラスの軟化点は、５５０〜７５０℃であることが好ましい。
軟化点が７５０℃を超えると、焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率を１５以上にすること、或いは９００℃以下で焼成することが困難になる。また軟化点が５５０℃未満では、Ｃｕ、Ａｇ等の導体の焼成が不可能になるおそれがある。
【００１８】
なお上記のガラスを得るための原料としては、上記ガラス中の酸化物成分或いはフッ化物成分になり得るような化合物であれば特に制限はない。
【００１９】
また本発明の高誘電率材料用組成物を構成するセラミックスフィラーとしては特に制限はないが、焼結体の誘電率、強度等を考慮すると、ＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＴｉＯ４、ＢａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＭｇＺｒＯ３、ＺｒＯ２、ＢａＳｎＯ３、ＳｒＳｎＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＭｇＳｎＯ３、Ｂｉ２（ＳｎＯ３）３、アルミナ、ムライト等を用いることが好ましい。
【００２０】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。ここで実施例１〜２２は、ＲＥＯ ｚ を含有しない本発明の参考例、実施例２３〜２６が本発明の実施例である。
なお実施例において使用した原料は、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＮＨ４Ｈ２ＰＯ４、ＳｉＯ２、Ｈ３ＢＯ３、Ａｌ（ＯＨ）３、ＳｎＯ２、ＷＯ３、Ｍｇ（ＯＨ）２、ＺｎＯ、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、ＫＮＯ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＦ２である。
【００２１】
実施例において、ガラスの軟化点（Ｔｓ）及び焼結体の誘電率は下記の方法により測定した。
（１）軟化点（Ｔｓ）
ガラスフレークを乳鉢で粉砕し、２００メッシュのふるいを通した粉末（粒径約４５〜７５μｍ）を白金セルに５０〜７０ｍｇ入れ、示差熱分析装置（ＤＴＡ理学電機製 ＴＧ８１２０）を用いて室温から２０Ｋ／ｍｉｎの昇温速度で９００℃まで温度を上昇させてＤＴＡ曲線を求め、第１吸熱ピークの終了温度を軟化点（Ｔｓ）とした。
（２）誘電率
ボールミルで粉砕したガラス粉末とセラミックスフィラーを所定の割合で混合し、８００〜９００℃の温度で焼成して得た焼結体を用い、インビーダンスアナライザー（横河ヒューレットパッカード製 ４１９２Ａ）を用いて１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定した。
【００２２】
実施例１
ガラス組成が重量％表示で、ＣａＯ：５％、ＳｒＯ：２０％、ＢａＯ：２０％、ＴｉＯ２：１０％、ＰｂＯ：２５％、ＳｉＯ２：１０％、Ｂ２Ｏ３：５％、Ａｌ２Ｏ３：５％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、７４２℃であった。またセラミックスフィラーとしてＰｂＴｉＯ３を選定し、総量に対してフィラーが３０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を上記方法に従って測定したところ、３７であった。
結果を表１に示す。
【００２３】
実施例２
ガラス組成が重量％表示で、ＢａＯ：２５％、ＴｉＯ２：５％，ＰｂＯ：４５％、ＳｉＯ２：１０％，Ｂ２Ｏ３：１５％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、５７２℃であった。またセラミックスフィラーとしてＰｂＴｉＯ３を選定し、総量に対してフィラーが７０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定したところ、８０であった。
結果を表１に示す。
【００２４】
実施例３
ガラス組成が重量％表示で、ＣａＯ：２０％、ＴｉＯ２：２０％、Ｐ２Ｏ５：４０％、ＳｉＯ２：１０％、Ｂ２Ｏ３：１０％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、５９０℃であった。またセラミックスフィラーとしてＢｉ２ＴｉＯ５を選定し、総量に対してフィラーが５０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定したところ、３０であった。
結果を表１に示す。
【００２５】
実施例４〜２６
表に示すガラス組成となるように各成分原料を調合し、１１００〜１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。これらのガラスの軟化点を上記方法に従って測定した。また各ガラス粉末と各セラミックスフィラーを表に示す割合で混合して圧紛体を作製し、８００〜９００℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、各焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定した。
結果を表１〜３に示す。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】
表１〜３から明らかなように、上記の実施例においては、組成物は９００℃以下の低温で焼成可能であり、且つその焼結体の誘電率が、１ＭＨｚの周波数において何れも２０以上であることがわかる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は以上の構成及び作用からなり、請求項１に記載の高誘電率材料用組成物によれば、低温で焼成が可能であり、即ちＡｇやＣｕ等の低融点材料からなる導体ペースト等との同時焼成が可能となり、且つ得られる焼結体の誘電率を高誘電率にすることができる。請求項１の組成物においては、セラミックスフィラーを適当に選択することで、得られる焼結体の１ＭＨｚ以上の周波数における誘電率を２０以上、少なくとも１５以上にすることが可能となる。
特に、ＲＥＯ ｚ （ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を５％以下含有させているので、ガラスの安定性を向上させることが可能となる。
また請求項２に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１に記載の構成による効果に加えて、ガラス粉末の成分を更に好ましい範囲に限定したので、セラミックスフィラーを適当に選択することで、ＡｇやＣｕ等の低融点材料からなる導体ペースト等との同時焼成が一層容易となる。
また請求項３に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１又は２に記載の構成による効果に加えて、ガラスの成形性を増すことができる。
また請求項４に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜３の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの軟化点をそれほど上昇させることなく焼結体の誘電率を高めることが可能となる。
また請求項５に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜４の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの成形性を向上させることができる。
また請求項６に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜５の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの軟化点を下げることができ、焼成温度を一層低下させることができる。
また請求項７に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜６の何れかに記載の構成による効果に加えて、焼結体の誘電率の向上を図ることができる。
また請求項８に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜７の何れかに記載の構成による効果に加えて、９００℃以下の温度でＡｇやＣｕ等の導体ペーストと同時焼成することが容易にでき、且つ得られる焼結体の１ＭＨｚの周波数での誘電率を容易に１５以上にすることができる。
また請求項９に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜８の何れかに記載の構成による効果に加えて、高強度で且つ高誘電率の焼結体を得ることが可能な組成物を提供することができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は高誘電率材料用組成物に関し、詳しくは比較的低い温度で焼成することができ、しかも高誘電率の焼結体を得ることができる組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高周波数において高い誘電率を有する材料を使用した回路部品が開発されてきている。従来、高誘電率材料用組成物はＢａＴｉＯ３等のフィラーの量が多く、そのフィラーとＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系等のガラスとを混合して焼成したり（特許第２８２９５１４号公報）、ＢａＴｉＯ３に希土類酸化物等を添加して焼結し、粉砕して高誘電率のフィラーを作製したものにガラスを混合する、つまりフィラーの作製に重点をおいた開発が圧倒的に多かった（特開平８−６９７１３号公報、特許第２８６９９００号公報、特許第３０８４９９２号公報、特許第３０６４５１８号公報、特許第３０６４５１９号公報、特許第３１８０４３９号公報）。
しかし近年、これらの高誘電率材料用組成物をシート状に成形し、それを積層してデバイスや基板を作製する時の電極や導電材料が、Ａｇ、Ｃｕ等の低融点の金属へ移行し、それに伴い、より低温で焼成が可能な高誘電率材料を得るための組成物が求められてきている。
このような情況の中で、特開平７−１１８０６０号公報、特開平８−５５５１６号公報ではＳｉＯ２系ガラスをベースとした開発が開示されているが、ガラスの軟化点が高いため、低温での焼成が難しいという問題がある。
またこれまでに開発されてきた組成物では、低温で焼成でき、しかも得られる焼結体の誘電率が５０以上となるようなものはなかった。
それ故、上記ＡｇやＣｕ等の低融点導電材料と同様の低温で焼成することが可能であり、且つ得られる焼結体が高誘電率である組成物の開発が強く望まれていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来の問題点を解消し、低温で焼成可能であり、且つ得られる焼結体が高誘電率となる組成物を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、低融点ガラス（鉛系、ビスマス系、リン酸塩系ガラス）でアルカリ土類成分が多く、結晶化が容易に起こるガラス粉末と誘電率が大きいセラミックスフィラーとを含有する組成物が上記課題を解決することを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
即ち、本発明の高誘電率材料用組成物は、重量％表示で、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種：１０〜５０％、ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種：２〜２０％、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種：１０〜５０％、ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種：１０〜３５％、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有の組成を有するガラス粉末２０〜８０重量％と、セラミックスフィラー８０〜２０重量％とからなり、９００℃以下で焼成した時に得られる焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率が１５以上であることを第１の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１の特徴に加えて、ガラス粉末が、重量％表示で、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種：２０〜４５％、ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種：１０〜１５％、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種：２０〜３５％、ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種：１５〜２５％、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有の組成を有することを第２の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１又は第２の特徴に加えて、ガラス粉末がＡｌ２Ｏ３を７重量％以下含有することを第３の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第３の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）及びＷＯ３の内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第４の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第４の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第５の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第５の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを第６の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第６の何れかの特徴に加えて、ガラス粉末がＦを５重量％以下含有することを第７の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第７の何れかの特徴に加えて、ガラスの軟化点が５５０〜７５０℃であることを第８の特徴としている。
また本発明の高誘電率材料用組成物は、上記第１〜第８の何れかの特徴に加えて、セラミックスフィラーがＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＴｉＯ４、ＢａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＭｇＺｒＯ３、ＺｒＯ２、ＢａＳｎＯ３、ＳｒＳｎＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＭｇＳｎＯ３、Ｂｉ２（ＳｎＯ３）３、アルミナ及びムライトの内の少なくとも１種であることを第９の特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の高誘電率材料用組成物の主要な構成要素であるガラス粉末の組成及び物性の限定理由を下記に説明する。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは、ＴｉＯ２或いはＺｒＯ２成分がガラス組成中に共存することにより焼結時にチタン酸塩結晶（ＢａＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３）或いはジルコン酸塩結晶（ＢａＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３）を析出する。そして更にＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２等のフィラーと反応して高誘電率の結晶を析出させる。このため前記ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは高誘電率の結晶を析出させるための必須成分である。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜５０重量％の範囲で含有させる。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯが合計で１０重量％未満の場合には、フィラー重量を組成物全体の８０重量％としても高誘電率材料が得られないおそれがある。またＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯが合計で５０重量％を超える場合には、ガラスが得られないか、又は軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯの含有量は、材料の高誘電率化、ガラス化又は軟化点等を考慮すると、合計で２０〜４５重量％であることがより好ましい。
【０００６】
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２はガラスを結晶化させる成分であって、それらの内の少なくとも１種を合計で２〜２０重量％の範囲で含有させる。
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２が合計で２重量％未満の場合には、軟化点から焼成温度の間の温度域で結晶化が起こらないおそれがある。また２０重量％を超える場合には、ガラスが得られないおそれがある。
ＴｉＯ２、ＺｒＯ２の含有量は、ガラス化、軟化点から焼成温度までの間における結晶化等を考慮すると、合計で１０〜１５重量％であることがより好ましい。
【０００７】
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５は、本発明組成物のガラスの網目を形成する酸化物であり、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜５０重量％の範囲で含有させる。
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５が合計で１０重量％未満の場合には、ガラスが得られることはあるが、軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。また５０重量％を超える場合には、軟化点が低くなり過ぎ、フィラーを混合しても焼成時形状を保持できなくなるおそれがある。
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５の含有量は、軟化点等を考慮すると、合計で２０〜３５重量％であることがより好ましい。
なお焼結体の誘電率を高めるには、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３を含有させることが好ましい。
【０００８】
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３は熱膨張係数を下げ、ガラスの成形性を向上させ、またガラスの化学的耐久性を向上させる成分であり、それらの内の少なくとも１種を合計で１０〜３５重量％の範囲で含有させる。
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３が合計で１０重量％未満の場合には、熱膨張係数が大きくなり過ぎると共に、ガラスの成形性、化学的耐久性が向上しないおそれがある。また３５重量％超える場合には、軟化点が高くなり過ぎるおそれがある。
ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３の含有量は、熱膨張係数、ガラスの成形性、化学的耐久性、軟化点等を考慮すると、合計で１５〜２５重量％であることがより好ましい。
【０００９】
また上記成分の他に、必要に応じてＡｌ２Ｏ３を７重量％以下含有させることができる。
上記範囲でＡｌ２Ｏ３を含有させることにより、熱膨張係数を下げ、ガラスの成形性を向上させることができる。７重量％を超えて含有させると、急激に軟化点が高くなるか、或いは原料が未溶融物として残るおそれがある。
Ａｌ２Ｏ３の含有量は、ガラスの軟化点、溶融性等を考慮すると、５重量％以下であることがより好ましい。
【００１０】
また上記成分の他に、必要に応じてＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）及びＷＯ３の内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。
上記範囲でＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）、ＷＯ３を含有させることにより、ガラスの軟化点をそれほど上昇させずに焼結体の誘電率を高めることができる。
【００１１】
また上記成分の他に、必要に応じてＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。上記範囲でＭｇＯ、ＺｎＯを含有させることにより、ガラスの成形性を向上させることができる。
【００１２】
また上記成分の他に、必要に応じてＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの内の少なくとも１種を合計で１０重量％以下含有させることができる。上記範囲でＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏを含有させることにより、ガラスの軟化点を低下させることができる。
【００１３】
また上記成分の他に、本発明の必須成分として、ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を５重量％以下含有させる。上記範囲でＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を含有させることにより、ガラスの安定性を向上させることができる。
【００１４】
また上記成分の他に、必要に応じてＦを５重量％以下含有させることができる。上記範囲でＦを含有させることにより、焼結体の誘電率を更に高くすることができる。
【００１５】
本発明の高誘電率材料用組成物において、ガラス粉末の量は、ガラスとセラミックスフィラーの総量に対して２０〜８０重量％の範囲とし、セラミックスフィラーは総量に対して８０〜２０重量％の範囲とすることが必須である。
セラミックスフィラーが２０重量％未満では、ガラスの比率が大きいため高誘電率材料が得られないおそれがある。また８０重量％を超えると、９００℃以下の低温での焼成が困難となる。
なお本発明の高誘電率材料用組成物は、近年この種の高誘電率材料の電極材料として用いられるＣｕ、Ａｇ等の導体と同時に焼成される場合には、当然ながら、これら導体の焼成温度である９００℃以下の温度で良好に焼成できることが必要である。またその９００℃以下の温度で焼成された焼結体が高誘電率を有することが必要である。
前記同時焼成の場合、焼成温度が９００℃を超えると、Ｃｕ、Ａｇ等の導体の印刷パターンが崩れるおそれがある。
焼結体の誘電率、焼成温度等を考慮すると、ガラス粉末の量は、ガラスとセラミックスフィラーの総量に対して５０〜７０重量％の範囲とし、セラミックスフィラーは総量に対して５０〜３０重量％の範囲とすることがより好ましい。
【００１６】
また本発明の高誘電率材料用組成物は、それを焼成して得られた焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率が１５以上であることを条件とする。誘電率が１５未満では、コンデンサー等としての特性が劣化する。コンデンサー等として用いる場合の特性を考慮すると、焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率は２０以上であることがより好ましい。なお本発明における誘電率とは、比誘電率を示す。
【００１７】
また本発明組成物に含有されるガラスの軟化点は、５５０〜７５０℃であることが好ましい。
軟化点が７５０℃を超えると、焼結体材料の１ＭＨｚの周波数における誘電率を１５以上にすること、或いは９００℃以下で焼成することが困難になる。また軟化点が５５０℃未満では、Ｃｕ、Ａｇ等の導体の焼成が不可能になるおそれがある。
【００１８】
なお上記のガラスを得るための原料としては、上記ガラス中の酸化物成分或いはフッ化物成分になり得るような化合物であれば特に制限はない。
【００１９】
また本発明の高誘電率材料用組成物を構成するセラミックスフィラーとしては特に制限はないが、焼結体の誘電率、強度等を考慮すると、ＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＴｉＯ４、ＢａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＭｇＺｒＯ３、ＺｒＯ２、ＢａＳｎＯ３、ＳｒＳｎＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＭｇＳｎＯ３、Ｂｉ２（ＳｎＯ３）３、アルミナ、ムライト等を用いることが好ましい。
【００２０】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。ここで実施例１〜２２は、ＲＥＯ ｚ を含有しない本発明の参考例、実施例２３〜２６が本発明の実施例である。
なお実施例において使用した原料は、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＮＨ４Ｈ２ＰＯ４、ＳｉＯ２、Ｈ３ＢＯ３、Ａｌ（ＯＨ）３、ＳｎＯ２、ＷＯ３、Ｍｇ（ＯＨ）２、ＺｎＯ、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、ＫＮＯ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＦ２である。
【００２１】
実施例において、ガラスの軟化点（Ｔｓ）及び焼結体の誘電率は下記の方法により測定した。
（１）軟化点（Ｔｓ）
ガラスフレークを乳鉢で粉砕し、２００メッシュのふるいを通した粉末（粒径約４５〜７５μｍ）を白金セルに５０〜７０ｍｇ入れ、示差熱分析装置（ＤＴＡ理学電機製 ＴＧ８１２０）を用いて室温から２０Ｋ／ｍｉｎの昇温速度で９００℃まで温度を上昇させてＤＴＡ曲線を求め、第１吸熱ピークの終了温度を軟化点（Ｔｓ）とした。
（２）誘電率
ボールミルで粉砕したガラス粉末とセラミックスフィラーを所定の割合で混合し、８００〜９００℃の温度で焼成して得た焼結体を用い、インビーダンスアナライザー（横河ヒューレットパッカード製 ４１９２Ａ）を用いて１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定した。
【００２２】
実施例１
ガラス組成が重量％表示で、ＣａＯ：５％、ＳｒＯ：２０％、ＢａＯ：２０％、ＴｉＯ２：１０％、ＰｂＯ：２５％、ＳｉＯ２：１０％、Ｂ２Ｏ３：５％、Ａｌ２Ｏ３：５％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、７４２℃であった。またセラミックスフィラーとしてＰｂＴｉＯ３を選定し、総量に対してフィラーが３０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を上記方法に従って測定したところ、３７であった。
結果を表１に示す。
【００２３】
実施例２
ガラス組成が重量％表示で、ＢａＯ：２５％、ＴｉＯ２：５％，ＰｂＯ：４５％、ＳｉＯ２：１０％，Ｂ２Ｏ３：１５％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、５７２℃であった。またセラミックスフィラーとしてＰｂＴｉＯ３を選定し、総量に対してフィラーが７０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定したところ、８０であった。
結果を表１に示す。
【００２４】
実施例３
ガラス組成が重量％表示で、ＣａＯ：２０％、ＴｉＯ２：２０％、Ｐ２Ｏ５：４０％、ＳｉＯ２：１０％、Ｂ２Ｏ３：１０％となるように各成分原料を調合し、１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。このガラスの軟化点を上記方法に従って測定したところ、５９０℃であった。またセラミックスフィラーとしてＢｉ２ＴｉＯ５を選定し、総量に対してフィラーが５０重量％となるように混合して圧紛体を作製し、８８０℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、この焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定したところ、３０であった。
結果を表１に示す。
【００２５】
実施例４〜２６
表に示すガラス組成となるように各成分原料を調合し、１１００〜１３００℃に昇温した電気炉中に置いた白金ルツボに入れて２時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得た。ガラスフレークは、軟化点測定用サンプル分を残してボールミルで粉砕を行い、粒径２〜３μｍの粉末とした。これらのガラスの軟化点を上記方法に従って測定した。また各ガラス粉末と各セラミックスフィラーを表に示す割合で混合して圧紛体を作製し、８００〜９００℃で１時間焼成して焼結体を得た。その後、各焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率を測定した。
結果を表１〜３に示す。
【００２６】
【表１】
【表２】
【表３】
表１〜３から明らかなように、上記の実施例においては、組成物は９００℃以下の低温で焼成可能であり、且つその焼結体の誘電率が、１ＭＨｚの周波数において何れも２０以上であることがわかる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は以上の構成及び作用からなり、請求項１に記載の高誘電率材料用組成物によれば、低温で焼成が可能であり、即ちＡｇやＣｕ等の低融点材料からなる導体ペースト等との同時焼成が可能となり、且つ得られる焼結体の誘電率を高誘電率にすることができる。請求項１の組成物においては、セラミックスフィラーを適当に選択することで、得られる焼結体の１ＭＨｚ以上の周波数における誘電率を２０以上、少なくとも１５以上にすることが可能となる。
特に、ＲＥＯ ｚ （ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）を５％以下含有させているので、ガラスの安定性を向上させることが可能となる。
また請求項２に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１に記載の構成による効果に加えて、ガラス粉末の成分を更に好ましい範囲に限定したので、セラミックスフィラーを適当に選択することで、ＡｇやＣｕ等の低融点材料からなる導体ペースト等との同時焼成が一層容易となる。
また請求項３に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１又は２に記載の構成による効果に加えて、ガラスの成形性を増すことができる。
また請求項４に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜３の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの軟化点をそれほど上昇させることなく焼結体の誘電率を高めることが可能となる。
また請求項５に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜４の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの成形性を向上させることができる。
また請求項６に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜５の何れかに記載の構成による効果に加えて、ガラスの軟化点を下げることができ、焼成温度を一層低下させることができる。
また請求項７に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜６の何れかに記載の構成による効果に加えて、焼結体の誘電率の向上を図ることができる。
また請求項８に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜７の何れかに記載の構成による効果に加えて、９００℃以下の温度でＡｇやＣｕ等の導体ペーストと同時焼成することが容易にでき、且つ得られる焼結体の１ＭＨｚの周波数での誘電率を容易に１５以上にすることができる。
また請求項９に記載の高誘電率材料用組成物によれば、上記請求項１〜８の何れかに記載の構成による効果に加えて、高強度で且つ高誘電率の焼結体を得ることが可能な組成物を提供することができる。
Claims (9)
- 重量％表示で、
ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種 ：１０〜５０％
ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種 ：２〜２０％
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種 ：１０〜５０％
ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種 ：１０〜３５％
ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有
の組成を有するガラス粉末２０〜８０重量％と、セラミックスフィラー８０〜２０重量％とからなり、９００℃以下で焼成した時に得られる焼結体の１ＭＨｚの周波数における誘電率が１５以上であることを特徴とする高誘電率材料用組成物。 - ガラス粉末が、重量％表示で、
ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの内の少なくとも１種 ：２０〜４５％
ＴｉＯ２及びＺｒＯ２の内の少なくとも１種 ：１０〜１５％
ＰｂＯ、Ｂｉ２Ｏ３及びＰ２Ｏ５の内の少なくとも１種 ：２０〜３５％
ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３の内の少なくとも１種 ：１５〜２５％
ＲＥＯｚ（ＲＥ＝Ｙ又はランタノイド、ｚ＝１．５又は２）：５％以下含有
の組成を有することを特徴とする請求項１に記載の高誘電率材料用組成物。 - ガラス粉末がＡｌ２Ｏ３を７重量％以下含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の高誘電率材料用組成物。
- ガラス粉末がＳｎＯｘ（ｘ＝１又は２）及びＷＯ３の内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
- ガラス粉末がＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
- ガラス粉末がＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの内の少なくとも１種を１０重量％以下含有することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
- ガラス粉末がＦを５重量％以下含有することを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
- ガラスの軟化点が５５０〜７５０℃であることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
- セラミックスフィラーがＰｂＴｉＯ３、Ｂｉ２ＴｉＯ５、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＺｎＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＺｒＴｉＯ４、ＢａＺｒＯ３、ＳｒＺｒＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＭｇＺｒＯ３、ＺｒＯ２、ＢａＳｎＯ３、ＳｒＳｎＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＭｇＳｎＯ３、Ｂｉ２（ＳｎＯ３）３、アルミナ及びムライトの内の少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の高誘電率材料用組成物。
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