JP4158573B2 - 加熱装置およびcvd装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、サセプタ支持部が高温にならないアニール処理を行える加熱装置および、欠陥の少ない高品質な結晶を効率良く製造できるCVD装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の炭化珪素(SiC)単結晶の製造に用いられている縦型ホットウォールCVD装置を図8に示す。従来の縦型ホットウォールCVD装置では、SiC単結晶成長用の基板J1が配置されるサセプタJ2がカーボンで作製されており、このサセプタJ2がカーボン製のサセプタ支持部J3によって支えられた構造となっている。そして、サセプタ支持部J3およびサセプタJ2に形成された原料ガス流通経路を通じてSiC単結晶の原料ガスが図中矢印のように導入され、基板J1の上にSiC単結晶をエピタキシャル成長させるようになっている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−157988号公報
【0004】
【特許文献1】
特開2002−252176号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の縦型ホットウォールCVD装置を用いてSiC単結晶を製造する場合、サセプタJ2が1500℃以上の高温となるように加熱される。このため、サセプタJ2の熱がサセプタ支持部J3を通じて下方に伝えられ、サセプタ支持部J3まで高温に加熱されてしまう。その結果、加熱されたサセプタ支持部J3の熱によって原料ガスが基板に到達する前に分解されてしまい、エピタキシャル成長速度が低下するという問題がある。
【0006】
また、原料ガスが熱分解されることによって、サセプタ支持部J3の内壁に付着物が形成され、この付着物を構成する物質が基板J1の表面や成長中のSiC単結晶の表面に飛来し、SiC単結晶へのパーティクル付着の要因になるという問題も発生する。
【0007】
本発明は上記点に鑑みて、サセプタ支持部が高温とならないようなサセプタ構造を有する加熱装置を提供することを目的とする。また、エピタキシャル成長速度の低下を防止することを目的とする。また、成長結晶へのパーティクル付着を防止することも目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1ないし9に記載の発明では、カーボンからなるサセプタ(3)と、サセプタを支持するサセプタ支持部(4)と、サセプタを加熱する加熱手段(6)とを備え、サセプタの近傍に基板(7)を配置したのち、加熱手段にてサセプタを加熱することで、基板を加熱するようになっており、サセプタ支持部の少なくとも一部には、サセプタから離れる方向への熱伝導率がその方向と垂直な方向に対する熱伝導率よりも小さくなっている熱伝導異方性材料(4、4b、8、9)が用いられていることを特徴としている。
【0009】
このような熱伝導異方性材料を用いることにより、サセプタからサセプタ支持部への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部が高温にならないようにすることができる。このため、加熱装置を請求項10に示すようなCVD装置として用いる場合、サセプタ支持部の温度を低くすることができるので、基板に到達する前に原料ガスが分解されてしまうことを抑制することができ、エピタキシャル成長速度を増加させることができる。また、原料ガスが熱分解されることによってサセプタ支持部の内壁に付着物が形成される量を少なくできるため、付着物を構成する物質が基板の表面や成長中の結晶(例えばSiC単結晶)の表面に飛来し、結晶へのパーティクル付着の要因になることを抑制することができる。
【0010】
請求項3に記載の発明では、サセプタ支持部には、カーボンの表面に熱伝導異方性材料がコーティングされた部位(4b)が備えられていることを特徴としている。このように、熱伝導異方性材料をカーボンの表面にコーティングしたものを用いてもよい。このような場合、熱伝導異方性材料の使用量を少なくすることができる。
【0011】
請求項4に記載の発明では、サセプタおよびサセプタ支持部は筒形状を成し、筒形状の中空部内をガスが流動するようになっており、熱伝導異方性材料は、サセプタ支持部の周方向に形成されていることを特徴としている。このように、サセプタ、サセプタ支持部が筒形状を成す構造の場合、サセプタ支持部の周方向に熱伝導異方性材料を配置することができる。
【0012】
例えば、請求項5に示すように、熱伝導異方性材料は、サセプタ支持部の外周部に配置される。この場合において、請求項6に示されるように、ガスの流動方向に対して並べられた複数部位でサセプタ支持部を構成し、複数の部位からなるサセプタ支持部の各部位の間に熱伝導異方性材料を配置すれば、サセプタ支持部の軸方向における熱伝導が該熱伝導異方性材料を介して行なわれ、効果的に請求項1に示す効果を得ることができる。
【0013】
請求項7に記載の発明では、サセプタ支持部は、熱伝導異方性材料の内周側に配置されるガイドを備えており、熱伝導異方性材料のガスの流通経路への露出が少なくされていることを特徴としている。このような構成とすれば、ガスが熱伝導異方性材料に接触することを防止することができ、よりガスの温度上昇を防ぐことができる。
【0014】
請求項8に記載の発明では、サセプタ支持部のうち熱伝導異方性材料の内周側はカーボンで構成されており、熱伝導異方性材料のガスの流通経路への露出が少なくされていることを特徴としている。このような構成とすれば、熱伝導異方性材料から汚染材料が流出することを防ぐことができる。
【0015】
これらの加熱装置は、例えば請求項10に示すような基板に原料ガスを供給することにより、基板表面上に結晶を成長させるCVD装置、例えばSiC単結晶の製造装置に適用される。
【0016】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1に、縦型ホットウォールCVD装置の概略断面図である。図1に示すように、円柱形状の成長容器1内に、円筒形状の断熱材2が配置され、さらにその断熱材2の中空部内にサセプタ3およびサセプタ支持部4が配置され、サセプタ3がサセプタ支持部4に支えられた構成となっている。これらサセプタ3およびサセプタ支持部4は共に円筒形状で構成され、その中空部分が原料ガス流通経路を構成している。
【0018】
成長容器1の上面および底面にはサセプタ3およびサセプタ支持部4それぞれの原料ガス流通経路につながる孔が形成され、成長容器1の底面側の孔にはガス供給用パイプ5が接続されている。このガス供給用パイプ5はSiC単結晶の原料ガスとなるC3H8、SiH4およびH2それぞれの貯蓄ボンベ等に接続されている。これらの構成により、ガス供給用パイプ5を介して供給される原料ガスが成長容器1の孔とサセプタ支持部4およびサセプタ3の原料ガス流通経路を通じて、図中矢印に示すように流動するようになっている。
【0019】
また、成長容器1のうちサセプタ3が配置される部位と対向する部位の外周面には、加熱手段に相当するRFコイル6が備えられている。このRFコイル6への通電により、サセプタ3を高温に加熱できるようになっている。
【0020】
このような構成において、サセプタ支持部4は熱伝導異方性材料で構成されている。この熱伝導異方性材料とは、サセプタ3から離れる方向、つまりサセプタ支持部4の軸方向における熱伝導率が、その垂直方向、つまりサセプタ支持部4の径方向における熱伝導率よりも小さいものを意味する。そして、本実施形態では、熱伝導異方性材料として、さらにサセプタ支持部4の軸方向における熱伝導率がカーボンの熱伝導率よりも小さくなっている材料を用いている。例えば、熱伝導異方性材料としては、グラファイト層を原料ガスの流動方向に積層したP.G.(Pyrolytic Graphite:アドバンスセラミック社製)等が挙げられる。
【0021】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、SiC単結晶を製造する。具体的には、サセプタの内壁面の一面に基板7を配置すると共に、RFコイル6への通電を行い、サセプタ3を1500℃以上の高温となるように加熱する。そして、原料ガスパイプ5の流路を開き、原料ガスとなるC3H8、SiH4およびH2を適宜導入する。これにより、原料ガスが成長容器1の孔とサセプタ支持部4およびサセプタ3の原料ガス流通経路を通じて、図中矢印で示されるように基板7に向けて供給され、基板7の表面にSiC単結晶が成長していく。
【0022】
このとき、上述したように、サセプタ支持部4が熱伝導異方性材料で構成してあるため、サセプタ支持部4における軸方向、すなわちサセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4が高温にならない。
【0023】
このため、サセプタ支持部4の温度を低くすることができるので、基板7に到達する前に原料ガスが分解されてしまうことを抑制することができ、エピタキシャル成長速度を増加させることができる。また、原料ガスが熱分解されることによってサセプタ支持部4の内壁に付着物が形成される量を少なくすることができるため、この付着物を構成する物質が基板7の表面や成長中のSiC単結晶の表面に飛来し、SiC単結晶へのパーティクル付着の要因になることを抑制するができる。
【0024】
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図2に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0025】
図2に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよび第3支持部4c複数の部位(ここでは3部位)に分けられた構成とされている。具体的には、サセプタ支持部4は、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、それぞれ円筒形状で構成された第1〜第3支持部4a〜4cが原料ガスの流通方向に対して順に積まれ、並べられた構成とされている。第1支持部4aは、熱伝導率が低い石英で構成されており、第2支持部4bは、熱伝導異方性材料で構成されており、第3支持部4cは、カーボンで構成されている。第2支持部4b、第3支持部4cの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aがサセプタ支持部4を構成している。
【0026】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4の第2支持部4bが熱伝導異方性材料で構成してあり、この第2支持部4bを介してサセプタ支持部4の軸方向における熱伝導が成されるようになっている。このため、第2支持部4bにおいて軸方向、すなわちサセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。特に、第1支持部4aを熱伝導率の低い石英で構成していることから、熱伝導異方性材料の使用量を少なくしつつ、さらにサセプタ支持部4の高温化を抑制できる。
【0027】
このため、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aの温度を低くすることができるので、基板7に到達する前に原料ガスが分解されてしまうことを抑制することができ、エピタキシャル成長速度を増加させることができる。また、原料ガスの熱分解に起因してサセプタ支持部4の内壁に付着する付着物の量を少なくすることができるため、付着物を構成する物質が基板7の表面や成長中のSiC単結晶の表面に飛来し、SiC単結晶へのパーティクル付着の要因になることを抑制することができる。
【0028】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図3に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0029】
図3に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよびガイド4dの3部位に分けられた構成とされている。具体的には、サセプタ支持部4は、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、それぞれ円筒形状で構成された第1、第2支持部4a、4bが原料ガスの流通方向に対して順に並べられた構成とされている。第1支持部4aは、熱伝導率が低い石英で構成されており、第2支持部4bは、熱伝導異方性材料で構成されている。第2支持部4bの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aがサセプタ支持部4を構成している。ガイド4dは、第2支持部4bの内周側に配置され、原料ガス流通経路への露出を少なくするように第2支持部4bを覆っている。このガイド4dは、例えばカーボンで構成されている。
【0030】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4の第2支持部4bが熱伝導異方性材料で構成してあるため、第2支持部4bにおいて、サセプタ支持部4の軸方向、すなわちサセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。そして、第2支持部4bを覆うようにガイド4dが備えられているため、第2支持部4bに原料ガスが接触することを防止することができ、よりガスの温度上昇を防ぐことができる。
【0031】
このため、第2実施形態と同様の効果を得ることが可能となり、エピタキシャル成長速度を増加させることができると共に、SiC単結晶へのパーティクル付着を抑制することができる。
【0032】
また、ガイド4dが第3支持部4cから離れた構成とされているため、ガイド4を通じての熱伝導が行なわれず、効果的に第1支持部4aが高温になることを防止することができる。
【0033】
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図4に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0034】
図4に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよび第3支持部4cの3部位に分けられた構成とされている。具体的には、第2支持部4bの内周面に円筒形状で形成された第3支持部4cが配置され、第1支持部4aと第2、第3支持部4b、4cの結合体とが、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、原料ガスの流通方向に対して順に並べられた構成とされている。第1支持部4aは、熱伝導率の低い石英で構成されており、第2支持部4bは、熱伝導異方性材料で構成されており、第3支持部4cは、カーボンで構成されている。第2、第3支持部4b、4cの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aがサセプタ支持部4を構成している。
【0035】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4の第2支持部4bが熱伝導異方性材料で構成してあるため、第2支持部4bにおいて、サセプタ支持部4の軸方向、すなわちサセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。
【0036】
このため、第2実施形態と同様の効果を得ることが可能となり、エピタキシャル成長速度を増加させることができると共に、SiC単結晶へのパーティクル付着を抑制することができる。
【0037】
そして、第2支持部4bを覆うように第3支持部4cが備えられているため、第2支持部4bに原料ガスが接触することを防止することができ、第2支持部4bを構成する熱伝導異方性材料から汚染材料が流出することを防ぐことができる。
【0038】
(第5実施形態)
本発明の第5実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図5に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0039】
図5に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよび第3支持部4cの3部位に分けられた構成とされている。これら第1〜第3支持部4a〜4cは、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、原料ガスの流通方向に対して順に並べられた構成とされている。第1支持部4aは、熱伝導率の低い石英で構成されており、第2、第3支持部4b、4cカーボンで構成されている。第2支持部4b、第3支持部4cの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aがサセプタ支持部4を構成している。
【0040】
また、サセプタ支持部4のうち、第1〜第3支持部4a〜4cの各接続箇所には、熱伝導異方性材料9、10が備えられている。これら熱伝導異方性材料9、10は、第1支持部4aを第2支持部4bに接続するために設けた第1支持部4aの突起部分の外周部と、第2支持部4bを第3支持部4cに接続するために設けた第2支持部4cの突起部分の外周部とにそれぞれ配置されている。
【0041】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4に熱伝導異方性材料9、10を備えた構成としているため、第1支持部4aへの熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。
【0042】
このため、第1実施形態と同様の効果を得ることが可能となり、エピタキシャル成長速度を増加させることができると共に、SiC単結晶へのパーティクル付着を抑制することができる。
【0043】
そして、熱伝導異方性材料8、9が原料ガス流通経路から露出しない構成とされているため、熱伝導異方性材料8、9に原料ガスが接触することを防止することができ、熱伝導異方性材料8、9から汚染材料が流出することを防ぐことができる。
【0044】
(第6実施形態)
本発明の第6実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図6に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0045】
図6に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよび第3支持部4cの3部位に分けられた構成とされている。これら第1〜第3支持部4a〜4cは、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、原料ガスの流通方向に対して順に並べられた構成とされている。第1支持部4aは、熱伝導率の低い石英で構成されており、第2支持部4bはカーボンを熱伝導異方性材料でコーティングしたもので構成されており、第3支持部4cはカーボンで構成されている。第2支持部4b、第3支持部4cの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aが主にサセプタ支持部4を構成している。
【0046】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4の第2支持部4bが熱伝導異方性材料でコーティングされた構成としてあるため、第2支持部4bにおいて、サセプタ支持部4の軸方向、すなわちサセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。
【0047】
このため、第1実施形態と同様の効果を得ることが可能となり、エピタキシャル成長速度を増加させることができると共に、SiC単結晶へのパーティクル付着を抑制することができる。また、熱伝導異方性材料が第2支持部4bのコーティング分しか必要とされないため、熱伝導異方性材料の使用量を少なくすることもできる。
【0048】
(第7実施形態)
本発明の第7実施形態にかかる縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を図7に示す。本実施形態は、縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4の構成を第1実施形態と変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様である。
【0049】
図7に示すように、本実施形態に示す縦型ホットウォールCVD装置のサセプタ支持部4は、第1支持部4a、第2支持部4bおよび第3支持部4cの3部位に分けられた構成とされている。具体的には、サセプタ支持部4は、成長容器1の底面からサセプタ3に至るまでに、それぞれ円筒形状で構成された第1〜第3支持部4a〜4cが原料ガスの流通方向に対して順に並べられた構成とされている。第1支持部4aは熱伝導率の低い石英で構成されており、第2、第3支持部4b、4cはカーボンで構成されている。第2支持部4b、第3支持部4cの軸方向の長さは第1支持部4aと比べて短くなっており、実質的に第1支持部4aが主にサセプタ支持部4を構成している。
【0050】
また、第1〜第3支持部4a〜4cそれぞれの接続箇所のみに、熱伝導異方性材料がコーティングされており、第1〜第3支持部4a〜4cにおける熱伝導が熱伝導異方性材料を通じて行なわれるようになっている。
【0051】
このような構成の縦型ホットウォールCVD装置を用いて、第1実施形態と同様の方法によりSiC単結晶を製造する。このとき、上述したように、サセプタ支持部4の熱伝導が熱伝導異方性材料を介して行なわれるため、サセプタ3から下方への熱伝導が抑制され、サセプタ支持部4を主に構成している第1支持部4aが高温にならないようになっている。
【0052】
このため、第1実施形態と同様の効果を得ることが可能となり、エピタキシャル成長速度を増加させることができると共に、SiC単結晶へのパーティクル付着を抑制することができる。また、熱伝導異方性材料が第1〜第3支持部4a〜4cの接続箇所にしかコーティングされない構成としているため、熱伝導異方性材料の使用量を少なくすることができる。
【0053】
(他の実施形態)
上記各実施形態では、サセプタ構造を有する加熱装置として、SiC単結晶を成長させるCVD装置を例に挙げて説明したが、上記各構造は、単にアニール処理を行うための加熱装置として適用することも可能であり、また、SiC単結晶以外の結晶成長用のCVD装置に適用することも可能である。さらに、サセプタ形状や基板配置は、例に限るものではなく、基板は水平に置くことも可能であり、ガスの流れもサセプタ内部で横方向に流すことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図2】本発明の第2実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図3】本発明の第3実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図4】本発明の第4実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図5】本発明の第5実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図6】本発明の第6実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図7】本発明の第7実施形態における縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【図8】従来の縦型ホットウォールCVD装置の概略断面を示す図である。
【符号の説明】
1…成長容器、3…サセプタ、4…サセプタ支持部、4a、4b、4c…第1〜第3支持部、4d…ガイド、7…基板、8、9…熱伝導異方性材料。
Claims (10)
- カーボンからなるサセプタ(3)と、
前記サセプタを支持するサセプタ支持部(4)と、
前記サセプタを加熱する加熱手段(6)とを備え、前記サセプタの近傍に基板(7)を配置したのち、前記加熱手段にて前記サセプタを加熱することで、前記基板を加熱するようになっており、
前記サセプタ支持部の少なくとも一部には、前記サセプタから離れる方向への熱伝導率がその方向と垂直な方向に対する熱伝導率よりも小さくなっている熱伝導異方性材料(4、4b、8、9)が用いられていることを特徴とする加熱装置。 - 前記サセプタ支持部には、前記熱伝導異方性材料の他に、石英が用いられていることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記サセプタ支持部には、カーボンの表面に前記熱伝導異方性材料がコーティングされて構成された部位(4b)が備えられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱装置。
- 前記サセプタおよび前記サセプタ支持部は筒形状を成し、筒形状の中空部内をガスが流動するようになっており、
前記熱伝導異方性材料は、前記サセプタ支持部の周方向に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の加熱装置。 - 前記熱伝導異方性材料は、前記サセプタ支持部の外周部に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の記載の加熱装置。
- 前記サセプタ支持部は、前記ガスの流動方向に対して並べられた複数部位で構成されており、
前記熱伝導異方性材料は、前記複数の部位からなるサセプタ支持部の各部位の間に配置され、前記サセプタ支持部の軸方向における熱伝導が該熱伝導異方性材料を介して行なわれる構成となっていることを特徴とする請求項4に記載の加熱装置。 - 前記サセプタ支持部は、前記熱伝導異方性材料の内周側に配置されるガイドを備えており、前記熱伝導異方性材料の前記ガスの流通経路への露出が少なくされていることを特徴とする請求項5に記載の加熱装置。
- 前記サセプタ支持部のうち前記熱伝導異方性材料の内周側はカーボンで構成されており、前記熱伝導異方性材料の前記ガスの流通経路への露出が少なくされていることを特徴とする請求項5に記載の加熱装置。
- 前記熱伝導異方性材料は、前記サセプタから離れる方向における熱伝導率がカーボンの熱伝導率よりも小さい材料で構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1つに記載の加熱装置。
- 請求項1乃至9に記載の加熱装置は、前記サセプタの近傍に前記基板(7)を配置したのち、前記サセプタ支持部側から前記サセプタ側に向けて原料ガスを供給することにより前記基板の表面に結晶成長させるCVD装置であり、
前記サセプタ支持部の少なくとも一部を構成する前記熱伝導異方性材料は、前記原料ガスの流路方向に対する熱伝導率が前記原料ガスの流路と垂直な方向に対する熱伝導率よりも小さくなっていることを特徴とするCVD装置。
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