JP4147361B2 - 半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の製造方法に関し、詳しくは、SOG膜(Spin On Glass )で形成されるビアホールの側壁面に保護膜を形成し、ビアホールの内側壁を垂直に維持し得る半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子を製造する場合、一般的には、反応性イオンエッチング(RIE)又はプラズマエッチングを施してビアホールを形成するが、最近では高密度のプラズマを利用している。
【0003】
このようなプラズマを施す従来の多層配線用ビアホールの形成方法について図2に基づいて説明する。
まず、図2(A)に示したように、半導体基板(図示せず)の上面に基底層1を形成し、該基底層1の上面に導電層パターン2を形成する。このとき、基底層1の上面には複数の半導体素子(図示せず)が形成され、該基底層1の上面に導電層パターン2が化学気相成長(CVD)により形成される。
【0004】
次に、導電層パターン2を包含した基底層1の上面に第1絶縁層3、第2絶縁層4及び第3絶縁層5を順次形成するが、前記第1絶縁層3及び第3絶縁層5は絶縁性物質のSiO2 又はSi3 N4 又はそれらの混合物を化学気相成長を施して形成し、前記第1絶縁層4にはSOGを塗布して形成する。
【0005】
次に、図2(B)に示したように、第3絶縁層5の上面に感光層パターン6を形成し、該感光層パターン6が形成された半導体基板を、プラズマエッチング装置のチャンバー(図示せず)に挿入した後、図2(C)に示したように、エッチングガスを注入して、導電層パターン2上の第3絶縁層5、第2絶縁層4及び第1絶縁層3を順次プラズマエッチングし、該導電層パターン2の上面にビアホール7を形成する。このとき、エッチングガスとしては、フルオルカーボン(Fluorocarbon)、ヒドロフルオルカーボン(Hydrofluorocarbon )、不活性ガス(inert gas)、酸素(oxygen)、又はそれらの混合ガスが用いられる。
【0006】
次に、図2(D)に示したように、感光層パターン6及びビアホール7内部の残留物を酸素プラズマを施して除去し、ビアホールの形成を終了する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、感光層パターン及びビアホール内部の残留物を除去する際に、酸素プラズマの酸素成分とSOG層である第2絶縁層の炭素成分とが反応して、該第2絶縁層の側壁面の一部も取り除かれるバウイング(bowing)現象が発生し、アンダカットのプロファイルが形成されるという問題がある。
【0008】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、ビアホール内に露出した絶縁膜の側壁に保護層を形成することで、感光層パターン及びビアホール内の残留物をプラズマ処理して除去する際に生じる該絶縁膜の側壁の損傷を防止し得る半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、半導体基板の上面に基底層を形成する工程と、該基底層の上面に導電層パターンを形成する工程と、該導電層パターンを包含する基底層の上面に、Si 3 N 4 で形成された下部絶縁層、SOG層、およびSi 3 N 4 で形成された上部絶縁層を含む絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層の上面に感光層パターンを形成する工程と、該感光層パターンをマスクとして、前記絶縁層にプラズマエッチングを施して、ビアホールを形成する工程と、該ビアホールの内側にアルゴンのプラズマを施して、前記ビアホールの内側壁を形成する絶縁層表面に保護層を形成する工程と、前記感光層パターン及びビアホール内の残留物質を除去する工程と、を順次行うことを特徴とする。
【0010】
請求項2に係る発明は、前記アルゴンのプラズマが、前記絶縁層をエッチングしてビアホールを形成するチャンバーをそのまま用いて施されることを特徴とする。
【0011】
請求項3に係る発明は、前記アルゴンのプラズマを施すときに供給する電力(Radio Frequency power)が、200〜500Wであることを特徴とする。
【0012】
請求項4に係る発明は、前記保護層が、前記ビアホールの内部にある導電層パターンの一部がスパッタリング蒸着することによって形成されることを特徴とする。
【0013】
【発明の効果】
本発明によれば、SOG の絶縁層にエッチングを施してビアホールを形成した後、アルゴンガスのプラズマ処理を施してビアホールの側壁のSOG 絶縁層の側壁面に保護層を形成しているため、感光層パターン及びビアホール内の残留物を除去するとき、ビアホールの側壁面の一部が取り除かれるバウイング現象を防止してビアホールのプロファイルを垂直に維持でき、後続の工程である配線用金属を蒸着する作業を極めて容易に行うことができる。
【0014】
また、境界ビアコンタクト工程を施すとき、上下両方の金属配線のうち、下側の金属配線の一部が露出しないので、エッチングを簡便に行うことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係る半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法を示した工程縦断面図である。
【0016】
まず、図1(A)に示したように、半導体基板(図示せず)の上面に基底層10を形成し、該基底層10の上面に導電層パターン20を形成する。このとき、基底層10には複数の半導体素子(図示せず)が形成され、該基底層10の上面に導電層(図示せず)を化学気相成長により形成した後、これをマスクとし選択的エッチングを施して導電層パターン20を形成する。
【0017】
次に、図1(B)に示したように、該基底層10の上面であって、該導電層パターン20を覆うように、第1絶縁層30、第2絶縁層40、及び第3絶縁層50を順次形成する。なお、第1絶縁層30及び第3絶縁層50は絶縁性物質のSiO2 又はSi3 N4 又はそれらの混合物を化学気相成長により形成し、第2絶縁層40はSOGを塗布して形成する。
【0018】
次に、図1(C)及び図1(D)に示したように、第3絶縁層50の上面に感光層パターン60を形成し、該感光層パターン60をマスクとして導電層パターン20の上面に形成された第3絶縁層50、第2絶縁層40及び第1絶縁層30を順次プラズマエッチングし、該導電層パターン20の上方にビアホール70を形成する。このとき、第3絶縁層50の上面に感光剤を塗布した後、これを現像及び露光して感光層パターン60を形成し、このような感光層パターン60の形成された半導体基板をプラズマエッチング用のチャンバー(図示せず)内に挿入し、エッチングガスを注入して高周波数の電力を印加し、生成されたプラズマを半導体基板に垂直方向に注入してビアホール70を形成する。この場合、感光層パターン60はビアコンタクト用マスクに用い、前記エッチングガスは、フルオルカーボン(Fluorocarbon)、ヒドロフルオロカーボン(Hydrofluorocarbon )、不活性ガス(inert gas)、酸素(oxygen)を包含する混合ガスなどを用いることができる。
【0019】
次に、図1(E)に示したように、ビアホール70を形成したチャンバーをそのまま用いて、アルゴン(Ar)ガスのプラズマ処理を施すと、ビアホール70内部の導電層パターン20の一部がスパッタリングされて、該ビアホール70の内部側壁に蒸着形成され、この導電層パターン20の一部が保護層80となる。このとき、アルゴンガスの流入量は100〜200sccm、高周波の供給電力は200〜500Wであって、プラズマの施行方式はソース側とバイアス側とをそれぞれ別途に独立して調節する方法を用いる。
【0020】
次に、図1(F)に示したように、感光層パターン60及びビアホール70内の残留物を酸素プラズマを施して除去し、本発明に係る半導体素子の多層配線用ビアホールの形成を終了する。
【0021】
以上より、保護層80は、前記感光層パターン60及びビアホール70内の残留物を除去する際に、ビアホール70の内部側壁のSOG 絶縁層40の側壁面の一部が取り除かれるのを防止し、該ビアホール70の側壁を垂直に維持する役割を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法を示した工程縦断面図
【図2】従来の半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法を示した工程縦断面図
【符号の説明】
10:基底層
20:導電層パターン
30:第1絶縁層
40:第2絶縁層
50:第3絶縁層
60:感光層パターン
70:ビアホール
80:保護層
Claims (4)
- 半導体基板の上面に基底層を形成する工程と、
該基底層の上面に導電層パターンを形成する工程と、
該導電層パターンを包含する基底層の上面に、Si 3 N 4 で形成された下部絶縁層、SOG層、およびSi 3 N 4 で形成された上部絶縁層を含む絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の上面に感光層パターンを形成する工程と、
該感光層パターンをマスクとして、前記絶縁層にプラズマエッチングを施して、ビアホールを形成する工程と、
該ビアホールの内側にアルゴンのプラズマを施して、前記ビアホールの内側壁を形成する絶縁層表面に保護層を形成する工程と、
前記感光層パターン及びビアホール内の残留物質を除去する工程と、を順次行うことを特徴とする半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法。 - 前記アルゴンのプラズマは、前記絶縁層をエッチングしてビアホールを形成するチャンバーをそのまま用いて施されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法。
- 前記アルゴンのプラズマを施すときに供給する電力(Radio Frequency power)は、200〜500Wであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法。
- 前記保護層は、前記ビアホールの内部にある導電層パターンの一部がスパッタリング蒸着することによって形成されることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1つに記載の半導体素子の多層配線用ビアホールの形成方法。
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