JP4142971B2 - シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール - Google Patents
シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール Download PDFInfo
- Publication number
- JP4142971B2 JP4142971B2 JP2003088990A JP2003088990A JP4142971B2 JP 4142971 B2 JP4142971 B2 JP 4142971B2 JP 2003088990 A JP2003088990 A JP 2003088990A JP 2003088990 A JP2003088990 A JP 2003088990A JP 4142971 B2 JP4142971 B2 JP 4142971B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal ring
- silicon carbide
- sliding surface
- annular member
- sliding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Sealing (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はメカニカルシールを構成するシールリングに係り、特に、シールリングと密封摺動する環状部材との摺動面における磨耗を軽減させたものに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、水力機械などにおいて、その回転軸がケーシングを貫く部分の周囲にシールボックスなどの円筒状の部分を設け、この円筒状の部分と軸との間にシール要素を入れてケージング内の流体が外へ漏れでたりするのを防止する軸封装置等の漏れを防ぐ部分にメカニカルシールが用いられており、ポンプ用部品などで使用されていた。
【0003】
このメカニカルシールは、図1(a)に示すように、回転軸6の周囲にリテーナー3で固定されたスプリング5により回転軸6の軸方向に押圧されたシールリング2と、このシールリング2に対向摺接する環状部材1とを備え、環状部材1はフランジ7に固定され、フランジ7はハウジング8により支持され、シールリング2を回転軸6とともに回転させて使用していた。また、シールリング2はリテーナー3に固定されており、環状部材1はOリング4を介してフランジ7に固定されている。
【0004】
また、図1(b)はシールリング2を示す斜視図であり、このシールリング2は、強度,硬度,耐磨耗性,摺動性の特性が優れていることから炭化珪素質セラミックス(SiC)が多用されている(特許文献1参照)。
【0005】
また、これら炭化珪素質セラミックスからなるシールリング2は、炭化珪素粉末に焼結助剤を混ぜた原料粉末を所定のゴム型に充填し冷間プレス成形によりセラミック成形体を得、該セラミック成形体を最高温度を2100℃、該最高温度までの時間を6〜7時間程度として焼成し、得られた焼結体に研磨加工を施して作製されていた。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−333069号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の炭化珪素質セラミックスからなるシールリングは、流体の漏れを防ぐ構造として用いられた場合、その摺動面においてシールリングを構成する炭化珪素のSiと水との反応によりSi+2H2O→SiO2+2H2の化学反応が生じ、この化学反応の進行にともなって強度が低下し磨耗が進みやすく、長期間の使用に供することができないという問題を有していた。
【0008】
これは、シールリングの抵抗値に起因するものと考えられるが、従来のシールリングでは、この抵抗値と化学反応との関係が判明していなかったため、体積固有抵抗は104Ω・cm以上と高いものであった。
【0009】
そのため、摺動面の表面に磁場と回転運動の影響により電流が発生するが、電気抵抗が大きいと電流が流れた場合、炭化珪素の結晶が発熱し結晶と粒界などの界面から熱摩擦により剥離などが進み一部の界面強度が小さくなり磨耗が進展し、長期間の使用に供することができないという問題を有していた。
【0010】
本発明はこのような問題点に基づいてなされたもので、その目的は、摺動面における化学反応を抑制することにより強度の低下を防止し、電機的特性を管理することによって、磨耗の軽減すなわち寿命の延長を図ることができるシールリングを提供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のシールリングによれば、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上が炭化珪素の結晶の回りに存在する炭化珪素質セラミックスからなり、その体積固有抵抗値が10 2 〜103Ω・cmであり、環状部材と接触摺動する摺動面となる端面の表面粗さがRa0.4μm以下であり平坦度が0.01mm以下であることを特徴とする。
【0014】
また、本発明のシールリングの製造方法によれば、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上を含有する原料粉末を所定の形状に成形してセラミック成形体を得、該セラミック成形体を、最高温度を1900〜2300℃とし、昇温速度の最初を約100〜300℃/hr,中間を約100〜400℃/hr,最終付近を約10〜200℃/hrとし最高温度に達するまでの時間を12〜25時間として焼成することを特徴とする。
【0015】
さらに、本発明のシールリングを用いたメカニカルシールは、シールリングを回転軸に嵌合したリテーナーに固定するとともに、前記シールリングの一方の端面を環状部材に接触摺動する摺動面とし、該摺動面に接触摺動する環状部材を回転しないフランジに固定したことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を説明する。
【0022】
本発明のシールリングは、図1(a)に示すようなメカニカルシールに用いられ、このメカニカルシールは、回転軸6の周囲にリテーナー3で固定されたスプリング5により、リテーナー3を介して回転軸6の軸方向に押圧されたシールリング2と、このシールリング2の一方の端面を摺動面2aとし、該摺動面2aに対向摺接し、Oリング4によって固定した環状部材1とを備え、環状部材1はOリング4を介してフランジ7に固定され、フランジ7はハウジング8により支持され、シールリング2を回転軸6とともに回転させて使用される。
【0023】
図1(b)はメカニカルシールにおけるシールリング2を示す斜視図であり、本発明ではこのシールリング2が、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上が炭化珪素の結晶の回りに存在する炭化珪素質セラミックスからなり、体積固有抵抗値が10 2 〜103Ω・cmであることが重要である。
【0024】
これにより、環状部材1と接触摺動する摺動面2aは磁場と回転運動による影響で電流が発生するが、体積固有抵抗値を10 2 〜10 3 Ω・cmとすることにより電流が流れても発熱が小さくなり、熱摩擦を抑制し磨耗を軽減させることができる。
【0025】
一方、体積固有抵抗値が103Ω・cmより大きくなると、摺動面2aの表面は磁場と回転運動による影響で電流が発生した時に、この電流が流れることにより抵抗が高くなり発熱し、熱摩擦を活性化させてしまい磨耗が増幅させられ長期間の使用に供することができない。
【0026】
なお、上記シールリング2の体積固有抵抗値を10 2 〜103Ω・cmとするには、焼成時の焼成温度を高いものとし、かつ焼結スピードを遅くすることにより、炭化珪素の結晶化の際に析出する炭化珪素以外の不純物を炭化珪素の結晶の周りに配置するように焼成が進み、焼結助剤として添加したカーボン,ホウ素、また不純物である鉄,アルミ,クロム等が炭化珪素の結晶中に混在せず、結晶の周りに存在することになる。つまり、抵抗値が高く電流が流れにくい炭化珪素の結晶の周りに電流が流れやすく、抵抗値の小さい上記各材質が存在する構造になり、シールリング自体の体積固有抵抗値を10 2 〜103Ω・cmと低いものにすることができる。
【0027】
また、上記シールリング2の体積固有抵抗値はJIS−C2141に準拠して、3端子法もしくは4端子法を使い、超絶縁抵抗計によって測定する。
【0028】
具体的には、炭化珪素粉末に焼結助剤としてカーボン,ホウ素、不純物の鉄,アルミニウム,クロム等を0.1〜0.4重量%含有してなる原料粉末を所定形状に成形した後、得られた成形体を、最高温度を1900〜2300℃とし、該最高温度に達するまでの時間を12〜25時間として焼成することで得ることができる。
【0029】
また、一定温度に保持するキープ時間を長くすることにより、炭化珪素の結晶化の際に析出する炭化珪素以外の不純物を炭化珪素の結晶の周りに配置するように焼成を進め、焼結助剤として添加したカーボン,ホウ素、また不純物である鉄,アルミ,クロム等が炭化珪素の結晶中に混在せず、結晶の周りに存在することになる。つまり、抵抗値が高く電流が流れにくい炭化珪素の結晶の周りに電流が流れやすく、抵抗値の小さい上記各材質が存在する構造になり、シールリング自体の体積固有抵抗値を10 2 〜103Ω・cmと低いものにすることができる。
【0030】
さらに、最高温度に達するまでに、昇温速度を最初を約100〜300℃/hr、中間を約100〜400℃/hr、最終付近を約10〜200℃/hrとして焼成し、その最高温度を1900〜2300℃に設定し、該最高温度に達するまでの時間を12時間〜25時間にて焼成することが好ましい。
【0031】
また、シールリング2の摺動面2aは、その表面粗さをRa0.4μm以下とすることが重要であり、これにより摺動面2aの表面摩擦を抑制させることができ寿命を長くすることができる。摺動面2aは摩擦を繰り返すため、表面粗さをRa0.4μm以下とすることにより、表面の摩擦係数が小さくなり摩擦熱も小さくなり、熱が加わった表面磨耗が軽減されるものである。
【0032】
一方、シールリング2の摺動面2aの表面粗さがRa0.4μmを超えると、摺動面2aは摩擦係数が大きくなり摩擦熱が発生し、これにより表面磨耗が進展することとなる。
【0033】
なお、シールリング2の表面粗さをRa0.4μm以下にするには、焼成後の炭化珪素焼結体の摺動面2aとなる面にダイヤモンドの砥石を使用し研磨ラップ加工を行なうことにより得ることができる。
【0034】
また、上記表面粗さRaは、表面粗さ計を使って測定された粗さ曲線から、その平均線の方向に基準長さlだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計し平均した値であり、Ra=1/l∫1 0|f(x)|で求めた値である。
【0035】
さらに、上記シールリング2の摺動面2aにおける平面度は0.01mm以下にすることが重要であり、これによって摩擦面を面全体で受けることにより耐磨耗性を向上できる。
【0036】
なお、シールリング2の摺動面2aにおける平面度を0.01mm以下とするには、得られた炭化珪素焼結体に精度管理した研磨定盤を使用して研磨ラップ加工を施すことで得ることができる。
【0037】
上記平面度は、基準定盤上に、電気マイクロメーターを固定し、基準定盤と電気マイクロマーターの触針にシールリング2を挟み、触針に摺動面2aを接触させながらシールリング2を回転させ測定する。
【0038】
さらに、上記シールリング2の摺動面2aの気孔率を2〜10%とすることが好ましく、これにより環状部材1との接触面積を低減させるとともに、摩擦によって発生する磨耗紛が気孔に入り込み、磨耗粉による摩擦を低減させることができる。一方、気孔率が10%を超えると、強度的に弱くなり破損の可能性が出てくる。
【0039】
このようにして得られたシールリング2は、メカニカルシールとして好適に用いることができ、その摺動面2aにおいて環状部材1と摺動を繰り返しても、磁場と回転運動による影響で電流が発生しても熱摩擦を抑制し磨耗を軽減させることができる。
【0040】
なお、本発明のシールリング2およびこれを用いたメカニカルシールは、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。
【0041】
【実施例】
次いで、本発明の実施例を説明する。
【0042】
(実施例1)
図1(b)に示すようなシールリングを得るため、炭化珪素粉末に焼結助剤としてホウ素(B)とカーボン(C)を炭化ホウ素(B4C)としておおよそ0.8重量%添加・混合し、得られた原料粉末をゴム型に投入して水槽に入れ約1トンでの加圧によって成形し、その後、表1に示す如く焼成条件で焼成した。得られた焼結体の摺動面になる面にラップ加工を施して表面粗さをRa0.2μm、平面度を0.008mmとした。
【0043】
そして、各シールリング試料を図1(a)に示すようなメカニカルシールに組み込み、シールリング試料が回転軸に回転可能に嵌合し、タングステンカーバイト(WC)からなり、摺動面側の端面を面粗さRa0.2μmとする環状部材を回転軸に固定する。
【0044】
次いで、各シールリング試料を組み込んだメカニカルシールを液温70℃、濃度20%の濃硝酸中で500時間連続運転を行い、シールリングの磨耗量を磨耗体積を計算することによって測定した。
【0045】
その結果を表1に示す。
【0046】
【表1】
【0047】
表1から明らかなように、焼成における最高温度が低い場合や最高温度までの時間が短いために体積固有抵抗値が103Ω・cmを超える試料(No.1,2)は、面状態が悪く、磨耗体積も大きいため比磨耗量が2.4%以上と大きなものであった。
【0048】
これに対し、体積固有抵抗値が102 〜10 3 Ω・cmの範囲内である試料(No.3〜9)は、比磨耗量が0.6%以下と大きく低減していることが判った。
【0049】
特に、これら試料のうち焼成における最高温度を1900〜2300℃、最高温度までの時間を12〜25時間とした試料(No.5〜8)は、体積固有抵抗値を5.0×10 2 〜8.5×102Ω・cmとすることができ、比磨耗量を0.4%以下とさらに低減することができた。
【0050】
【発明の効果】
本発明のシールリングによれば、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上が炭化珪素の結晶の回りに存在する炭化珪素質セラミックスからなり、その体積固有抵抗値が10 2 〜103Ω・cmであることから、摺動面において磁場と回転運動による影響で電流が発生するが、この電流が流れても発熱が小さく、熱摩擦を抑制し磨耗を軽減させることができる。
【0051】
また、本発明のシールリングによれば、環状部材と接触摺動する摺動面となる端面の表面粗さがRa0.4μm以下であることから、摺動面の摩擦を抑制させ寿命を長くすることができる。
【0052】
さらに、本発明のシールリングによれば、環状部材と接触摺動する摺動面となる端面の平面度が0.01mm以下であることから、摩擦面を摺動面全体で受けることにより耐磨耗性を向上することができる。
【0053】
またさらに、本発明のシールリングの製造方法によれば、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上を含有する原料粉末を所定の形状に成形してセラミック成形体を得、該セラミック成形体を、最高温度を1900〜2300℃とし、昇温速度の最初を約100〜300℃/hr,中間を約100〜400℃/hr,最終付近を約10〜200℃/hrとし最高温度に達するまでの時間を12〜25時間として焼成することから、その体積固有抵抗値を10 2 〜103Ω・cmとすることができるので、電流が流れても発熱が小さく、熱摩擦を抑制し磨耗を軽減させることができる。
【0054】
さらに、本発明のメカニカルシールによれば、シールリングを回転軸に嵌合したリテーナーに固定するとともに、前記シールリングの一方の端面を環状部材に接触摺動する摺動面とし、その摺動面に接触摺動する環状部材を回転しないフランジに固定した構造としたことから、環状部材との摩擦を低減させ長期間の使用に供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明のシールリングを用いたメカニカルシールの一実施形態を示す部分断面図であり、(b)は本発明のシールリングの一実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1:環状部材
2:シールリング
2a:摺動面
3:リテーナー
4:Oリング
5:スプリング
6:回転軸
7:フランジ
8:ハウジング
Claims (3)
- 炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上が炭化珪素の結晶の回りに存在する炭化珪素質セラミックスからなり、その体積固有抵抗値が10 2 〜103Ω・cmであり、環状部材と接触摺動する摺動面となる端面の表面粗さがRa0.4μm以下であり平坦度が0.01mm以下であることを特徴とするシールリング。
- 請求項1に記載のシールリングの製造方法であって、炭化珪素を主成分とし、カーボン,ホウ素,鉄,アルミ,クロムのうち少なくとも1種以上を含有する原料粉末を所定の形状に成形してセラミック成形体を得、該セラミック成形体を、最高温度を1900〜2300℃とし、昇温速度の最初を約100〜300℃/hr,中間を約100〜400℃/hr,最終付近を約10〜200℃/hrとし最高温度に達するまでの時間を12〜25時間として焼成することを特徴とするシールリングの製造方法。
- 請求項1に記載のシールリングを回転軸に嵌合したリテーナーに固定するとともに、前記シールリングの一方の端面を環状部材に接触摺動する摺動面とし、該摺動面に接触摺動する環状部材を回転しないフランジに固定したことを特徴とするメカニカルシール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003088990A JP4142971B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003088990A JP4142971B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004293712A JP2004293712A (ja) | 2004-10-21 |
JP4142971B2 true JP4142971B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=33402978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003088990A Expired - Fee Related JP4142971B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4142971B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100666787B1 (ko) | 2005-11-03 | 2007-01-09 | 현대자동차주식회사 | 연료전지용 워터펌프의 미케니컬 시일의 제조방법 |
ITMC20050120A1 (it) | 2005-11-15 | 2007-05-16 | Meccanotecnica Umbra Spa | Procedimento per il trattamento superficiale di anelli ceramici di tenuta meccanica per pompe ed anello ottenuto in base a tale procedimento. |
KR100810596B1 (ko) | 2007-01-12 | 2008-03-06 | 주식회사 비아트론 | 씰링 모듈 및 이를 포함하는 반도체 소자의 열처리 장치 |
ITMI20070147A1 (it) * | 2007-01-30 | 2008-07-31 | Berco Spa | Sistema di tenuta per giunto di cingolatura |
JP5065728B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-11-07 | 株式会社ブリヂストン | 粉砕装置 |
JP5148523B2 (ja) * | 2009-02-02 | 2013-02-20 | 株式会社東芝 | メカニカルシール装置用SiC系焼結体リング、メカニカルシール装置用SiC系焼結体リングの製造方法、並びにメカニカルシール装置及び軽水炉プラント |
-
2003
- 2003-03-27 JP JP2003088990A patent/JP4142971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004293712A (ja) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4142971B2 (ja) | シールリングとその製造方法およびこれを用いたメカニカルシール | |
EP1630463B1 (en) | Mechanical seal device | |
JP5597693B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体およびこれを用いた摺動部品ならびに対飛翔体用防護体 | |
JP4845419B2 (ja) | 摺動部材用セラミックスとその製造方法及びこれを用いたメカニカルシールリング | |
JP5289464B2 (ja) | 摺動部品およびこれを備えたメカニカルシール,フォーセットバルブならびに転がり支持装置 | |
JP2005500489A (ja) | 軸受面又は耐摩耗面をもつ構成部品 | |
WO2006117897A1 (ja) | 摺動部材用多孔質セラミックス、その製造方法及びメカニカルシールリング | |
Gou et al. | Improvement of ambient temperature tribological properties of polycrystalline diamond compact treated by cobalt removal | |
KR101217580B1 (ko) | 슬라이딩 부재, 메커니컬 시일 링, 메커니컬 시일 및 포셋 밸브 | |
US3591243A (en) | Bearing elements | |
JP2007084368A (ja) | セラミックス摺動部材とその製造方法およびこれを用いたメカニカルシールリング用部材並びにメカニカルシールリング | |
JP4741421B2 (ja) | 摺動部材およびこれを用いたメカニカルシールリング | |
JP2004352573A (ja) | 摺動装置 | |
JP2019116914A (ja) | 摺動部材およびその利用 | |
Macerol et al. | A lapping-based test method to investigate wear behaviour of bonded-abrasive tools | |
US20060119049A1 (en) | Slip-ring seal arrangement | |
JP5148523B2 (ja) | メカニカルシール装置用SiC系焼結体リング、メカニカルシール装置用SiC系焼結体リングの製造方法、並びにメカニカルシール装置及び軽水炉プラント | |
JP2007119338A (ja) | セラミック部材、セラミック部材の製造方法、セラミック摺動部材及び摺動装置 | |
JP4240454B2 (ja) | チタン基硬質焼結材料とその製造法ならびにそのチタン基硬質焼結材料を使用したすべり軸受 | |
JP3611535B2 (ja) | 電子機器用耐摩耗性部材とそれを用いたベアリングおよびスピンドルモータ | |
JP2002005180A (ja) | 転がり軸受 | |
JP2018105364A (ja) | 軸・軸受構造および先行待機運転ポンプ | |
JPH0648866A (ja) | 軸受の製造方法 | |
JP2866969B2 (ja) | 一軸偏心ねじポンプ | |
JP2023082961A (ja) | メカニカルシール摺動部材用素材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080520 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080613 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4142971 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130620 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |