JP4138050B2 - ポリマー組成物及びそのポリマーの製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、硬化可能ポリマーの製造方法と、改良されたホトレジスト組成物と、これらのポリマーを用いて製造される改良されたサーマルインクジェットプリントヘッドとに関する。より詳細には、本発明は、ハロアルキル化高性能ポリマーを不飽和エステル基、エーテル基又はアルキルカルボキシメチレン基と置換する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロエレクトロニクスの応用では、層間の誘電層として、及びマイクロエレクトロニック回路要素を保護するパッシベーション層として使用するために、誘電率が低く、ガラス転移温度が高く、熱的に安定で光パターン形成可能なポリマーが非常に必要とされている。ポリイミドはこれらの必要性を満足させるために広く使用されるが、これらの材料は、水の収着が比較的高く、加水分解に不安定であるといった不利な特性を有する。従って、高解像度で有効に光パターン形成及び現像されることの可能な高性能ポリマーが必要とされる。
【０００３】
このような材料の１つの特定の用途として、インクジェットプリントヘッドの製造がある。
【０００４】
本発明の光パターン形成可能ポリマーは、他のマイクロエレクトロニクス応用、プリント回路ボード、リソグラフィ印刷プロセス、層間誘電体等をはじめとする他のホトレジストの用途にも適する。
【０００５】
既知の組成物及び方法は、それらが意図する目的には好適であるが、マイクロエレクトロニクスの用途に好適な改良された材料が依然として必要である。また、改良されたインクジェットプリントヘッドも必要である。更に、熱に対して安定であり、電気的に絶縁性であり、かつ機械的に強固な光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。また、インクジェット用のインク組成物に用いられうる材料に対して化学的に不活性である光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。マイクロエレクトロニックデバイスの製造プロセスの後硬化工程中に収縮が少ない光パターン形成可能ポリマー材料も必要である。更に、比較的長い保存寿命を示す光パターン形成可能ポリマー材料が依然として必要である。更に、比較的低い露光エネルギーによってパターン形成できる光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。その上、硬化した状態で良好な耐溶剤性を示す光パターン形成可能ポリマー材料が依然として必要である。また、スピンキャスティング技法によってマイクロエレクトロニックデバイスに付着させ硬化させた際に、エッジビードを減少すると共に明白なリップ（lip)及びディップ（dip)を示さない光パターン形成可能ポリマー材料も必要である。更に、前述の利点を有する光パターン形成可能ポリマー材料の製造方法が依然として必要である。更に、ポリマーにペンダントする（ぶらさがる）重合性基及び／又は架橋部位を組み込むことによって、高解像度で高いアスペクト比を有する光パターン形成可能ポリマー材料を製造する方法が必要である。更に、ポリマー鎖にペンダントする不飽和エステル官能基及び／又はエーテル官能基及び／又はアルキルカルボキシメチレン官能基を有する芳香族ポリマーを製造する方法が必要である。また、ポリマー鎖にペンダントする不飽和エステル官能基及び／又はエーテル官能基及び／又はアルキルカルボキシメチレン官能基を有する光パターン形成可能ポリマーを製造する方法も必要である。更に、耐アルカリ性基剤性の厚さ３０μｍの膜としてパターン形成可能なホトレジスト材料が必要である。更に、高温で層間誘電層として機能することができるホトレジスト材料が必要である。更に、熱硬化中にＨＣｌ遊離を生じない利点を提供するホトレジスト材料が必要である。また、誘電率が比較的低い光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。更に、水の収着が低減された光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。更に、特にアルカリ性溶液にさらしたときに改良された加水分解安定性を示す光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。また、高温、典型的には約１５０℃より高い温度で安定な光パターン形成可能ポリマー材料も必要である。また、高いガラス転移温度を有するか、又は露光の後に低温の相転移が生じない程度で十分に架橋される光パターン形成可能ポリマー材料も必要である。更に、熱膨張率の低い光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。熱的に安定であり、約３０μｍ以上の厚さの膜としてパターン形成可能であり、露光前に低いＴｇを示し、低い誘電率を有し、水の吸収が少なく、低い膨張率を有し、所望の機械特性及び接着特性を有し、高温での用途を含む層間誘電層の用途に概して望ましく、また光パターン形成可能なポリマーが必要である。また、良好〜優れた処理特性を有するホトレジスト組成物も必要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前述の顕著な利点を有するポリマー材料を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明（又はその特定の実施例）のこれらの目的及び他の目的は、不飽和エステル塩、アルコキシド塩、アルキルカルボン酸塩及びこれらの混合物からなる群から選択される物質とハロアルキル化芳香族ポリマーとを反応させ、これによって選択された塩に対応する官能基を有する硬化可能（光パターン形成可能）なポリマーを形成する方法を提供することによって達成することができる。
【０００８】
本発明の別の実施の形態は、このように製造した硬化可能ポリマーを用いてインクジェットプリントヘッドを製造する方法に関する。
【０００９】
本発明の更に別の実施の形態は、以下の一般式のいずれかで表されるポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基を、少なくともいくつかのモノマー繰り返し単位に化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られるポリマーを含む組成物であって、前記感光性供与置換基は不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基又はこれらの混合であるポリマー組成物に関する。
一般式
【化５９】

式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
【化６０】

【化６１】

【化６２】

Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
【化６３】

【化６４】

【化６５】

【化６６】

式中、ｖは１〜約２０の整数であり、
【化６７】

式中、ｚは２〜約２０の整数であり、
【化６８】

式中、ｕは１〜約２０の整数であり、
【化６９】

【化７０】

式中、ｗは１〜約２０の整数であり、
【化７１】

【００１０】
本発明の別の実施の形態は、以下の一般式のいずれかで表されるポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基を、少なくともいくつかのモノマー繰り返し単位に化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られる架橋又は鎖延長ポリマーを含む組成物であって、前記架橋又は鎖延長は、ポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかに含まれると共にポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成するハロアルキル基と、ポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかに含まれると共に化学線にさらされたときにポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成する感光性供与置換基とによって生じ、前記感光性供与置換基が不飽和エステル基である。
一般式
【化７２】

式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
Ａは以下の構造式及びこれらの混合であり、
【化７３】

【化７４】

Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
【化７５】

【化７６】

【化７７】

【化７８】

式中、ｖは１〜約２０の整数であり、
【化７９】

式中、ｚは２〜約２０の整数であり、
【化８０】

式中、ｕは１〜約２０の整数であり、
【化８１】

【化８２】

式中、ｗは１〜約２０の整数であり、
【化８３】

【化８４】

【００１１】
本発明の更に別の実施の形態は、以下の構造式で表されるポリマーを含むポリマー組成物である。
【化８５】

式中、Ｂはハロゲン原子であり、Ｚは不飽和エステル基であり、ｍは０、１、２又は３の整数であり、ｎは１、２、３又は４の整数であり、ここでｍ＋ｎの合計は１〜４の間であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明は、ハロアルキル化芳香族ポリマー出発材料から、不飽和エステル官能基、エーテル官能基及び／又はアルキルカルボキシメチレン官能基を有する芳香族ポリマー材料を製造する方法に関する。本発明の出発材料として好適な芳香族ポリマー材料は、以下の一般式で表されるものを含む。
【化８６】

式中、Ｙ及びＺはそれぞれ、互いに独立して、（これらに限定されないが）好ましくは１〜約１５個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基を含むアルキル基、好ましくは１〜約１５個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、酸素原子（−Ｏ−）、硫黄原子（−Ｓ−）、カルボニル基（−ＣＯ−）、スルホン基（−ＳＯ₂ −）、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、アシル基、酸無水物基、アジド基などとすることが可能である。ここで、置換アルキル基、置換アリール基及び置換アリールアルキル基の置換基は、（これらに限定されないが）ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などであり、２以上の置換基が互いに結合して環を形成していてもよい。ｍ及びｎはそれぞれ、互いに独立して、０〜約２の整数であり、Ｒは１以上の任意の置換基を表し、（これらに限定されないが）好ましくは１〜約３０個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基を含むアルキル基、好ましくは１〜約３０個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６〜約２０個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２０個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などとすることが可能である。Ｒ´Ｘは、フッ素、塩素、臭素又はヨウ素などのハロゲン原子で置換された１以上の任意の置換基を表し、好ましくは１〜約１１個の炭素原子、より好ましくは１〜約５個の炭素原子、更により好ましくは１〜約３個の炭素原子、最も好ましくは１個の炭素原子を有 する飽和、不飽和、線状、分枝及び環状アルキル基を含むアルキル基、あるいは好ましくは１〜約１１個の炭素原子、より好ましくは１〜約５個の炭素原子、更により好ましくは１〜約３個の炭素原子、最も好ましくは１個の炭素原子を有する置換アルキル基である。ここで、置換アルキル基、置換アリール基及び置換アリールアルキル基の置換基は、（これらに限定されないが）ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などであり、２以上の置換基が互いに結合して環を形成していてもよい。ａ及びｂは０、１、２、３又は４の各整数であるが、ただし、ポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかにおいてｂが少なくとも１に等しく、ａ＋ｂの合計が０〜４である。ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。典型的には、ｘは材料の重量平均分子量が約１，０００〜約１００，０００、好ましくは約１，０００〜約６５，０００、より好ましくは約３，０００〜約４０，０００、更により好ましくは約１０，０００〜約４０，０００、最も好ましくは約１５，０００〜約２５，０００になるような数であるが、ｘの値はこれらの範囲外でもよい。ｘの値はモノマーの分子量に依存し、大きいモノマーに対するｘの好適値は小さなモノマーに対するｘの好適値より小さい。例えば、ポリマーがポリスチレンである場合、ｘの好適値は約５〜約３３０であるが、この値はこの範囲外でもよい。ポリマーがポリアリーレンエーテルケトンである場合、好ましくはｘは約５〜約７０、より好ましくは約８〜約５０の整数であるが、ｘの値はこれらの範囲外でもよい。
【００１３】
本発明の方法に好適なポリマーの２つの更なる例は、以下の構造式で表される。
【化８７】

式中、Ｂはハロゲン原子であり、ｍは１、２又は３の整数であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、好ましくは約５〜約３３０であるが、この値はこの範囲外でもよい。これらの一般式からなるポリマーは、例えばイマムラら（S. Imamura et al.)の "High Performance Electron Negative Resist, Chloromethylated Polystyrene: A Study on Molecular Parameters" 、J. of Applied Polymer Science 、第27巻、937 頁（1982);イマムラの "Chloromethylated Polystyrene as a Dry Etching-Resistant Negative Resist for Submicron Technology" 、J. Electrochem. Soc.: Solid-state Science and Technology、第126 巻、9 号、1628頁（1979);及びライトら（M. E. Wright et al.)の "Details Concerning the Chloromethylation of Soluble High Molecular Weight Polystyrene Using Dimethoxymethane, Thionyl Chloride, and a Lewis Acid: A Full Analysis"、Macromolecules、第1991巻、24号、5879頁（1991) に記載のような既知の方法によって製造可能である。好適なポリマーは、例えば塩化ビニルベンジルの単独重合、塩化ビニルベンジルと他のモノマーの共重合、スチレン系ポリマーのクロロメチル化などによっても製造可能である。以下の構造式のポリ（塩化ビニルベンジル）は、本発明の方法に特に好適なポリマーである。
【化８８】

分子量が約４０，０００であるポリ（塩化ビニルベンジル）は、例えばサイエンティフィックポリマープロダクツ社（Scientific Polymer Products 、ニューヨーク州オンタリオ）から市販されている。ポリ（塩化ビニルベンジル）を合成することができるモノマーは、例えばダウケミカル社（Dow Chemical Co.、ミシガン州ミッドランド）から入手可能である。また、ハロアルキル化スチレンモノマー及び他のモノマーのコポリマーも本発明の方法に好適である。
【００１４】
本発明の方法に好適なポリマーの種類の別の例は、以下の一般式で表されるポリマーである。
一般式
【化８９】

式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
【化９０】

【化９１】

【化９２】

Ｂは以下の構造式、他の同様のビスフェノール誘導体又はこれらの混合であり、
【化９３】

【化９４】

【化９５】

【化９６】

式中、ｖは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化９７】

式中、ｚは２〜約２０、好ましくは２〜約１０の整数であり、
【化９８】

式中、ｕは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化９９】

式中、ｗは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化１００】

【化１０１】

【００１５】
ｎの値は、材料の重量平均分子量が約１，０００〜約１００，０００、好ましくは約１，０００〜約６５，０００、より好ましくは約１，０００〜約４０，０００、更に好ましくは約３，０００〜２５，０００であるような値であるが、重量平均分子量はこれらの範囲外であってもよい。好ましくはｎは約２〜約７０の整数であり、より好ましくは約５〜約７０であり、更に好ましくは約８〜約５０であるが、ｎの値はこれらの範囲外であってもよい。Ｂ基の酸素基に対してオルトの位置に２以上の置換基が存在すると置換が困難になるかもしれないが、フェニル基並びにＡ及び／又はＢ基は置換されていてもよい。置換基は、感光性供与官能基をポリマーに配置する前にポリマーに存在していてもよいし、感光性供与官能基の配置後にポリマーに導入してもよい。置換基を、感光性供与官能基の配置工程中にポリマーに配置してもよい。適切な置換基の例には、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状の置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリーロキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキロキシ基、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、及びアジド基等が含まれる（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。また、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリーロキシ基及び置換アリールアルキロキシ基上の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。これらの材料の製造方法は既知であり、例えば、ハーゲンロザー（P.M. Hergenrother)のJ. Macromol. Sci. Rev. Macromol. Chem.、C19(1)、1-34 (1980) 、ハーゲンロザー、イェンセン（B.J. Jensen)及びヘブンズ（S.J. Havens)の Polymer、29、358 (1988)、イェンセン及びハーゲンロザーの "High Performance Polymers"、第１巻(No. 1) 31頁 (1989) 、"Effect of Molecular Weight on Poly(arylene ether ketone) Properties" 、パーセク（V. Percec)及びオーマン（B.C. Auman) の Makromol. Chem. 185、2319 (1984) 、コロン（I. Colon) 及びカイアトコスキー（G.T. Kwaiatkowski)の"High Molecular Weight Polymers by Nickel Coupling of Aryl Polychlorides”、J. of Polymer Science 、Part A、Polymer Chemistry 、28、367 (1990)、ウエダ（M. Ueda)及びイトウ（T. Ito) の Polymer J. 、23(4) 、297 (1991)、ヘブンズ及びハーゲンロザーの"Ethynyl-Terminated Polyarylates: Synthesis and Characterization”、J. of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition、22、3011 (1984) 、ハーゲンロザーの"Ethynyl-Terminated Polysulfones: Synthesis and Characterization”、J. of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition、20、3131 (1982) 、デュークス（K.E.Dukes)、ホーブス（M.D. Forbes)、ジーバラジャン（A.S. Jeevarajan)、ベル（A.M. Belu)、デディモン（J.M. DeDimone)、リントン（R.W. Linton)及びシアレス（V.V. Sheares) の Macromolecules 、29、3081 (1996) 、ホーハム（G. Hougham) 、テソロ（G. Tesoro)及びショー（J. Shaw)の Polym. Mater. Sci. Eng.、61、369 (1989)、パーセク及びオーマンの Makromol. Chem. 185, 617 (1984)、マツオ（S. Matsuo)、ヤコウ（N. Yakoh) 、チノ（S. Chino) 、ミタニ（M. Mitani)及びタガミ（S. Tagami)の"Synthesis and characterization of New Fluorescent Poly(arylene ethers)"、Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry 、32、1071 (1994) 、マミオウノ（Mami Ohno)、トシカズタカタ（Toshikazu Takata) 及びタケシエンドウ（Takeshi Endo) の"Synthesis of a Novel Naphthalene-Based Poly(arylene ether ketone) with High Solubility and Thermal Stability"、Macromolecules、27、3447(1994)、メルセー（F.W. Mercer)、マッケンジー（M.T. Mckenzie)、メリノ（G. Merlino) 及びフォーン（M.M. Fone)の"Synthesis and Characterization of New Aromatic Poly(ether ketones)"、J. of Applied Polymer Science 、56、1397 (1995) 、ツァン（H.C.Zhang)、チェン（T.L. Chen)、ヤン（Y.G. Yuan)の中国特許第 CN85108751 号 (1991) 、ウー（C. Wu)、ボー（S. Bo)、シディク（M. Siddiq)、ヤン（G. Yang)及びチェン（T. Chen)の"Static and laser light scattering study of novel thermoplastics、１．Phenolphthalein poly(aryl ether ketone)"、Macromolecules、29、2989 (1996) 、ウエダ（M. Ueda)、セイノ（Y. Seino) 、ハネダ（Y.Haneda) 、ヨネダ（M. Yoneda)及びスギヤマ（J.I. Sugiyama)の"Synthesis of t-Butyl-Substituted Poly(ether ketone) by Nickel-Catalyzed Coupling Polymerization of Aromatic Dichloride"、Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry 、32、675 (1994)、パーセク、リナルディ（P.L. Rinaldi) 及びオーマンの"Reaction Mechanisms: Comb-Like Polymers and Graft Copolymers from Macromers 2. Synthesis, Characterization and Homopolymerizationof a Styrene Macromer of Poly(2,6-dimethyl-1,4-phenylene Oxide) ”、Polymer Bulletin、10、397 (1983)、Handbook of Polymer Synthesis Part A、クリチェルドルフ（Hans R. Kricheldorf)編、マルセルデッカー社、ニューヨーク−バーゼル−ホンコン(1992)、並びにハリソン（C.R. Harrison)、ホッジ（P. Hodge) 、ケンプ（J. Kemp)及びペリー（G.M. Perry) の"Introduction of Carboxyl Groups into Crosslinked Polystyrene"、Die Makromolekulare Chemie、176, 267 (1975) に開示される。高性能ポリマーの更なる背景は、例えば、米国特許第２，８２２，３５１号、米国特許第３，０６５，２０５号、英国特許第１，０６０，５４６号、英国特許第９７１，２２７号、英国特許第１，０７８，２３４号、米国特許第４，１７５，１７５号、ヨウダ（N. Yoda)及びヒラモト（H. Hiramoto)の J. Macromol、Sci.-Chem.、A21(13&14) pp.1641 (1984)(東レ工業株式会社、大津、日本) 、シリオン（B. Sillion) 及びベルデット（L. Verdet)の"Polyimides and other High-Temperature polymers"、アバディ（M.J.M. Abadie)及びシリオンにより編集、エルゼビアサイエンス出版 B.V. （アムステルダム 1991)、ジン（Q. Jin) 、ヤマシタ（T. Yamashita) 及びホリエ（K. Horie) の"Polyimides with Alicyclic Diamines. II. Hydrogen Abstraction and Photocrosslinking Reactions of Benzophenone Type Polyimides"、J. of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry、32、503(1994) 、 Probimide（商品名） 300、製品公報、チバ−ガイギーマイクロエレクトロニクスケミカルズ、"Photosensitive Polyimide System" 、High Performance Polymer and Composites 、（クロシュビッツ（J.I. Kroschwitz)（編）、ジョンウィリー＆サンズ（ニューヨーク1991））並びにアトウッド（T.E. Atwood)、バール（D.A. Barr)、キング（T.A. King)、ニュートン（B. Newton)及びローズ（B.J. Rose)の Polymer、29、358(1988) に開示される。放射線硬化についての更なる情報は、例えば、"Radiation Curing: Science and Technology(ピータパッパス（S. Peter Pappas)編、プレナム出版、ニューヨーク、1992）に開示される。
【００１６】
光パターン形成可能ポリマーが感熱式インクジェットプリントヘッドの層として使用される用途に対して、光官能化ポリマーは好ましくは約３，０００〜約３０，０００ドルトンの重量平均分子量を有し、さらに好ましくは約３，０００〜約２０，０００ドルトンの数平均分子量を有し、さらにより好ましくは約３，５００〜約１０，０００の数平均分子量を有するが、分子量はこれらの範囲外でもよい。
【００１７】
この構造式で表されるポリマーは、以下のように１以上の部位でハロアルキル化される。
【化１０２】

式中、ＲＸは、フッ素、塩素、臭素又はヨウ素などのハロゲン原子で置換された置換基であって、好ましくは１〜約１１個の炭素原子、より好ましくは１〜約５個の炭素原子、更により好ましくは１〜約３個の炭素原子、最も好ましくは１個の炭素原子を有する飽和、不飽和、線状、分枝及び環状アルキル基を含むアルキル基、あるいは好ましくは１〜約１１個の炭素原子、より好ましくは１〜約５個の炭素原子、更により好ましくは１〜約３個の炭素原子、最も好ましくは１個の炭素原子を有する置換アルキル基である。好適なアルキル基の好適な置換基の例として、（これらに限定されないが）好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和、線状、分枝及び環状アルキル基を含むアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリールオキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリールオキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキルオキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキルオキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基などが挙げられる。ここで、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリールオキシ基及び置換アリールアルキルオキシ基の置換基は、（これらに限定されないが）ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などであり、２以上の置換基が互いに結合して環を形成していてもよい。得られた材料は以下の一般式で表される。
【化１０３】

式中、ａ、ｂ、ｃ及びｄはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかにおいてａ、ｂ、ｃ及びｄのうち少なくとも１つが１以上であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。置換基はしばしばＢ基に対して選択性を示し、特にＢ基上の酸素に対してオルトの部位に選択性を示すが、置換は概してランダムであり、与えられた任意のモノマー繰り返し単位はハロアルキル置換基をもたなくてもよいし、１個のハロアルキル置換基を有してもよいし、２以上のハロアルキル置換基を有してもよい。最も一般的には、特にモノマー繰り返し単位は１つの芳香族環当たりハロアルキル基を全くもたないか又は１個のハロアルキル基を有する。
【００１８】
あらゆる所望又は好適な方法によって、置換すべきポリマーをハロアルキル化することができる。例えば、ポリマーをハロアルキル化するのに好適な方法として、一般的にはルイス酸触媒の存在下で、ホルムアルデヒド及びハロゲン化水素酸、ビスハロメチルエーテル、ハロメチルメチルエーテル、オクチルハロメチルエーテルなどとポリマーを反応させることが挙げられる。また、例えば過酸化物重合開始剤又は光によって開始されるフリーラジカル方法により、臭素元素を用いてポリマーのメチル基の臭素化を達成することもできる。例えば適切なハロゲン化水素酸又はハロゲン化物塩との反応によって、ハロメチル基に既に存在するハロゲンを他ハロゲン原子と置換することができる。ポリマーをハロメチル化する方法は、例えばデイリーら（W. H. Daly et al.)の "Chloromethylation of Condensation Polymers Containing an oxy-1,4-phenylene Backbone"、Polymer Preprints 、第20巻、１号、835 (1979)にも開示されている。
【００１９】
以下の一般式で表されるようなハロゲン含有ルイス酸触媒の存在下、ハロゲン化アセチル及びジメトキシメタンとポリマーを反応させることによって、ポリマーのハロアルキル化を達成することができる。
【化１０４】

ここで、ｎは１、２、３、４又は５の整数であり、Ｍはホウ素原子、又はスズ、アルミニウム、亜鉛、アンチモン、鉄（III ）、ガリウム、インジウム、ヒ素、水銀、銅、白金、パラジウム等の金属原子である。Ｘはフッ素、塩素、臭素又はヨウ素のようなハロゲン原子を示す。特定の例には、ＳｎＣｌ₄ 、ＡｌＣｌ₃ 、ＺｎＣｌ₂ 、ＡｌＢｒ₃ 、ＢＦ₃ 、ＳｂＦ₅ 、ＦｅＩ₃ 、ＧａＢｒ₃ 、ＩｎＣｌ₃ 、ＡｓＩ₅ 、ＨｇＢｒ₂ 、ＣｕＣｌ、ＰｄＣｌ₂ 、ＰｔＢｒ₂ 等が含まれる。メタノールを添加し、触媒によってハロゲン水素酸を生成する。ハロゲン水素酸はジメトキシメタンと反応し、ハロメチルメチルエーテルを形成する。ハロアルキル化ポリマーの架橋を避けるために注意が払われなければならない。典型的には、反応物は、ハロゲン化アセチル約３５．３重量部、ジメトキシメタン約３７重量部、メタノール約１．２重量部、ルイス酸触媒約０．３重量部、１，１，２，２−テトラクロロエタン約４４６重量部、及びポリマー約１０〜２０重量部という相対量で存在する。１，１，２，２−テトラクロロエタンは適切な反応溶媒である。ジクロロメタンは沸点が低く、従って、適切な加圧装置が使用されない限りこの溶媒中では反応は遅い。上記の特定のポリマーの反応機構は次の通りである。
【化１０５】

【化１０６】

ここで、Ｒ′及びＲ″はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１〜約１１個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１〜約１１個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６〜約１１個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約１１個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約１１個の炭素原子を有するアリールアルキル基、及び好ましくは７〜約１１個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基等である（が、これに限定はされない）。得られる物質は次の一般式で表される。
【化１０７】

ここで、ｎは１、２、３、４又は５の整数であり、ＲＸは、フッ素、塩素、臭素又はヨウ素のようなハロゲン原子で置換された置換基であって、好ましくは１〜約１１個の炭素原子、より好ましくは１〜約５個の炭素原子、更に好ましくは１〜約３個の炭素原子、最も好ましくは１個の炭素原子を有する飽和、不飽和、線状、分枝、及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、置換アルキル基、好ましくは７〜約２９個の炭素原子、より好ましくは７〜約１７個の炭素原子、更に好ましくは７〜約１３個の炭素原子、最も好ましくは７〜約９個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は、置換アリールアルキル基である。ａ、ｂ、ｃ及びｄはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上である。ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。置換アルキル基、置換アリール及び置換アリールアルキル基の適切な置換基の例には、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和、線状、分枝及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリーロキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、等が含まれる（が、これに限定はされない）。ここで、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリーロキシ基、及び置換アリールアルキロキシ基の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。置換基はＢ基に対して選択性を示すことが多く、特にＢ基上の酸素に対してオルトの部位に対して選択性を示すが、置換は一般的にランダムであり、与えられた任意のモノマー繰返し単位はハロアルキル置換基を全く有さないか、１つのハロアルキル置換基を有するか、あるいは２以上のハロアルキル置換基を有する。最も一般的には、各芳香環は、ハロアルキル基を全く有さないか、１つのハロアルキル基を有するかのいずれかであろう。
【００２０】
先に示したより一般的な構造式で表されるポリマーのクロロメチル化の反応機構を以下に更に示す。
【化１０８】

式中、Ｙ及びＺはそれぞれ、互いに独立して、（これらに限定されないが）好ましくは１〜約１５個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基を含むアルキル基、好ましくは１〜約１５個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、酸素原子（−Ｏ−）、硫黄原子（−Ｓ−）、カルボニル基（−ＣＯ−）、スルホン基（−ＳＯ₂ −）、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、アシル基、酸無水物基、アジド基などとすることが可能である。ここで、置換アルキル基、置換アリール基及び置換アリールアルキル基の置換基は、（これらに限定されないが）ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などである。ｍ及びｎはそれぞれ、互いに独立して、０〜約２の整数であり、Ｒは１以上の任意の置換基を表し、（これらに限定されないが）好ましくは１〜約３０個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基を含むアルキル基、好ましくは１〜約３０個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６〜約２０個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６〜約２０個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などとすることが可能である。ここで、置換アルキル基、置換アリール基及び置換アリールアルキル基の置換基は、（これらに限定されないが）ヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基及びこれらの混合物などであり、２以上の置換基が互いに結合して環を形成していてもよい。ａ及びｂはそれぞれ０、１、２、３又は４の各整数であるが、ただし、ポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかにおいてｂが少なくとも１に等しく、ａ＋ｂの合計は０〜４である。Ｒ´Ｘはハロゲン原子で置換されたアルキル基又は置換アルキル基であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。
【００２１】
典型的な反応温度は約６０〜約１２０℃であり、好ましくは約８０〜約１１０℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１〜約１０時間であり、好ましくは約２〜約４時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。反応時間が長くなると、一般的に、ハロアルキル化の度合いが高くなる。不飽和エステル基、エーテル基又はアルキルカルボキシメチレン基で置換されたポリマーの合成で中間物質としてハロアルキル化ポリマーが使用される場合、ハロアルキル化度が高くなると、一般的に、所望の基による置換度を高くでき、これにより、ポリマーの感光性を大きくすることが可能である。用途が異なる場合にはハロアルキル化度が異なることが好ましい。不飽和エステル基、エーテル基又はアルキルカルボキシメチレン基で置換されたポリマーの合成で材料が中間体として使用される場合、置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能ポリマーがサーマルインクジェットプリントヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりの不飽和エステル基、エーテル基及び／又はアルキルカルボキシメチレン基の平均数）は、好ましくは約０．５〜約１．２であり、更に好ましくは約０．７〜約０．８であるが、置換度はインクジェットプリントヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。この置換量は、樹脂１ｇ当たり約０．８〜約１．３ミリ当量の不飽和エステル基、エーテル基及び／又はアルキルカルボキシメチレン基に対応する。ハロアルキルが不飽和エステル基、エーテル基又はアルキルカルボキシメチレン基によって置換される場合、ハロアルキル化の程度は約０．２５〜約２であり、置換反応の速度を早めたい場合はこのハロアルキル化の程度は約１〜約２が好ましく、約１．５〜約２がより好ましいが、ハロアルキル化の程度はこれらの範囲外でもあり得る。また、電子ビームや遠紫外光等のエネルギー源が使用される場合には、ハロメチル化ポリマーをそれ自身の資質によりホトレジストとして使用することができる。
【００２２】
ハロアルキル化ポリマーを不飽和エステル、アルコキシド、又はアルキルカルボン酸塩と溶液中で反応させることによって、ハロアルキル化ポリマーを置換する。適切な反応物の例には、アクリル酸、メタクリル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、エタクリル酸、オレイン酸、リノール酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、フェニルマレイン酸、及び３−ヘキセン−１，６−ジカルボン酸等のエステル塩のような、適切な不飽和エステル、適切なアルコキシド又は適切なアルキルカルボン酸塩と、周期表のＩＡ族、IIＢ族、 IIIＢ族、ＩＶＢ族、ＶＢ族、ＶＩＢ族、ＶIIＢ族、ＶIII Ｂ族、ＩＢ族、IIＢ族、 IIIＡ族、及びＩＶＡ等との選択された塩が含まれ、特定の例には、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ケイ皮酸エステル、メトキシド及び酢酸エステル等のナトリウム、カリウム、第４級アンモニウム及びホスホニウム等の塩が含まれる。反応に適する溶媒の例には、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド等の極性の非プロトン性溶媒が含まれる。典型的には、反応物は、ハロアルキル化ポリマー約１０部、溶媒約６６．５部、及び不飽和エステル、アルコキシド及び／又はアルキルカルボン酸塩約５．７部という互いに関する相対量（重量による）で存在する。
【００２３】
アクリロイル化反応として説明されているが、一般的な反応機構は以下に示される。
【化１０９】

式中、Ｂはナトリウム、カリウムなどのあらゆる好適なカチオンであり、Ｙ、Ｚ、Ｒ、Ｒ′、Ｘ、ｍ、ｎ、ａ及びｂは前述で定義したとおりである。ｃは０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ａ＋ｂ＋ｃの合計は０〜４であり、かつポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくともいくつかにおいてｃが少なくとも１に等しい。
【００２４】
上記の特定のクロロメチル化ポリマーによるアクリル酸塩の置換反応として説明しているが、一般的な反応機構は次の通りである。
【化１１０】

ここで、Ｘはナトリウム又はカリウム等の適切なカチオンである。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上である。ｎは、モノマー繰返し単位の数を示す整数である。メタクリル酸エステル塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１１１】

アルコキシド塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１１２】

適切なエーテル基には、Ｒが好ましくは１〜約３０個の炭素原子、より好ましくは１〜約１５個の炭素原子、また最も好ましくは１個の炭素原子を有するアルキル基であるものが含まれる。アルキルカルボン酸エステル塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１１３】

ここで、Ｒは、好ましくは１〜約３０個の炭素原子、更に好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルキル基（飽和、不飽和及び環状アルキル基を含む）、置換アルキル基、好ましくは６〜約３０個の炭素原子、更に好ましくは６〜約１８個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、好ましくは７〜約３５個の炭素原子、更に好ましくは７〜約１５個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は置換アリールアルキル基である。ここで、置換アルキル、置換アリール及び置換アリールアルキル基の置換基は、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基等でよい（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。
【００２５】
同様に、出発材料が以下の構造式で表される場合（式中、Ｂはハロゲン原子であり、ｍは１、２、３又は４の整数であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である）、
【化１１４】

得られる生成物は以下の構造式で表される。
【化１１５】

式中、Ｂはハロゲン原子であり、Ｚは不飽和エステル基であり、ｍは０、１、２又は３の整数であり、ｎは１、２、３又は４の整数であり、ここでｍ＋ｎの合計は１〜４の間であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。
【００２６】
出発材料が以下の構造式で表される場合（式中、Ｂはハロゲン原子であり、ｍは１、２又は３の整数であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である）、
【化１１６】

得られる生成物は以下の構造式で表される。
【化１１７】

式中、Ｂはハロゲン原子であり、Ｚは不飽和エステル基であり、ｍは０、１又は２の整数であり、ｎは１、２又は３の整数であり、ここでｍ＋ｎの合計は１〜３の間であり、ｘはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。
【００２７】
概して、ハロアルキル化度が高いほど、不飽和エステル基、エーテル基及び／又はアルキルカルボキシメチレン基との置換度をより高くすることができ、従ってポリマーの感光性をより高くすることができる。用途が異なる場合には、置換度は異なることが望ましい。置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に、不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能ポリマーがサーマルインクジェットプリントヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりの不飽和エステル、エーテル及び／又はアルキルカルボキシメチレン基の平均数）は、好ましくは約０．５〜約１．２であり、更に好ましくは約０．６５〜約０．８であるが、置換度はインクジェットプリントヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。置換の最適量は、樹脂１ｇ当たり約０．８〜約１．３ミリ当量の不飽和エステル基、エーテル基及び／又はアルキルカルボキシメチレン基である。
【００２８】
ハロアルキル基のうちのいくつか又は全ては、不飽和エステル、エーテル及び／又はアルキルカルボキシメチレン置換基で置き換えることができる。反応時間が長くなると、一般的に、不飽和エステル、エーテル及び／又はアルキルカルボキシメチレン置換基によるハロアルキル基の置換度が大きくなる。
【００２９】
典型的な反応温度は約２０〜約３５℃であり、好ましくは約２５℃であるが、温度はこの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約３０分〜約１５日であり、好ましくは約２時間〜約２日であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。置換反応時間は、アドゲン（Adogen）４６４（アルドリッチケミカル社（Aldrich Chemical Co.) 、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、又はアシュランドオイル社（Ashland Oil Co.)から入手できる）、又は長鎖の第４級アンモニウムクロリド塩等の触媒の使用により短縮することができる。アドゲン４６４は樹脂固体に関して約０．４重量％で使用され、この触媒は、結果的に、反応速度を２倍にする。アドゲン４６４は、水及びメタノールで数回洗浄した後でも生成物から除去するのが困難なことがある。従って、この触媒は、濁ったホトレジスト溶液をもたらすことがある。反応は、０．４重量％の水の添加により僅かに促進され、同量のメタノールの添加により抑制される。
【００３０】
いくつかの例では、ポリマーの末端基はポリマー合成の化学量論によって選択できる。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中で炭酸カリウムの存在下、４，４′−ジクロロベンゾフェノンとビスフェノールＡの反応によってポリマーを調製する場合、ビスフェノールＡが約７．５〜８モル％過剰に存在すれば、得られるポリマーは一般的にビスフェノールＡ末端であり（ここでビスフェノールＡ部分は１以上の水酸基を有してもよいし、有さなくてもよい）、得られるポリマーは、典型的には、約２〜約３．５の多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）を有する。ハロアルキル基等の官能基を配置するため、及び／又はハロアルキル基等の１つの種類の官能基を不飽和エステル基等の別の種類の官能基へ転換するために、ビスフェノールＡ末端ポリマーを更に反応させた場合、ポリマーの多分散度は約４〜約６の範囲へ上昇する。これに反して、４，４′−ジクロロベンゾフェノンが約７．５〜８モル％過剰に存在する場合、反応時間はビスフェノールＡ過剰の反応で必要とされる時間のほぼ半分であり、得られるポリマーは一般的にベンゾフェノン末端であり（ここでベンゾフェノン部分は１以上の塩素原子を有してもよいし、有さなくてもよい）、得られるポリマーは典型的には約２〜約３．５の多分散度を有する。ハロアルキル基等の官能基を配置するため、及び／又はハロアルキル基等の１つの種類の官能基を不飽和エステル基等の別の種類の官能基へ転換するために、ベンゾフェノン末端ポリマーを更に反応させた場合、ポリマーの多分散度は、典型的には、約２〜約３．５の範囲のままである。同様に、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中で炭酸カリウムの存在下、４，４′−ジフルオロベンゾフェノンと９，９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレン又はビスフェノールＡのいずれかとの反応によってポリマーを調製する場合、４，４′−ジフルオロベンゾフェノン反応物が過剰に存在すれば、得られるポリマーは一般的にベンゾフェノン末端基を有する（１以上のフッ素原子を有してもよいし、有さなくてもよい）。よく知られたカラザーズの式を使用して、所望の分子量を得るのに必要とされる化学量論的なオフセットを計算することができる。（例えば、カラザーズ（William H. Carothers) の"An Introduction to the General Theory of Condensation Polymers"、 Chem. Rev. 、8 、 353 (1931) 及び J. Amer. Chem. Soc.、51、2548 (1929) を参照。また、フローリィ（P.J. Flory) の Principles of Polymer Chemistry、コーネル大学出版、イタキ、ニューヨーク (1953) を参照。）より一般的に言って、次式のポリマーの調製では、ポリマー合成反応の化学量論は、ポリマーの末端基が「Ａ」基から誘導される、あるいは「Ｂ」基から誘導されるように調整できる。また、これらの末端「Ａ」基又は「Ｂ」基には、エチニル基又は他の感熱性の基、「Ａ」又は「Ｂ」基の芳香環に付いてフェノール部分を形成する水酸基、「Ａ」又は「Ｂ」基に結合されるハロゲン原子等の特定の官能基が存在してもよい。
【化１１８】

【００３１】
ベンゾフェノン基又はハロゲン化ベンゾフェノン基等の「Ａ」基から誘導される末端基を有するポリマーは、幾つかの用途ではより好まれる。何故なら、置換基を配置するためのこれらの材料の合成及び幾つかの反応は、ビスフェノールＡ基（１以上の水酸基をその芳香環に有する）又は他のフェノール基等の「Ｂ」基から誘導される末端基を有するポリマーと比較して、制御するのがより容易であり、例えばコスト、分子量、分子量範囲及び多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）に関してより良い結果を与えることができるからである。特定の理論に制限されないが、ポリマーがビスフェノールＡ末端である場合、ハロアルキル化反応は特にフェノール末端上で最も急速に進行すると考えられる。更に、フェノール末端ポリマー上のハロメチル化基は、次の架橋又は鎖延長に対して特に反応性であると考えられる。これに対して、一般的に、ハロメチル化は、ベンゾフェノン、ハロゲン化ベンゾフェノン等の電子吸引性置換基を有する末端芳香族基上では起こらないと考えられる。また、「Ａ」基末端材料は接着剤としての役割も果たし、サーマルインクジェットプリントヘッド等の応用では、架橋された「Ａ」基末端ポリマーの使用は、ヒータプレートをチャネルプレートへ接着するためのエポキシ接着剤の必要性を削減又は省くことができる。
【００３２】
感光性供与基によるポリマーの架橋又は鎖延長を起こすことのできる波長及び／又はエネルギーレベルで化学線へ均一にさらすことによって光パターン形成可能ポリマーを硬化することができる。あるいは、感光性供与基が感応する波長及び／又はエネルギーレベルの放射で材料を像様に露光することによって光パターン形成可能ポリマーを現像する。典型的には、ホトレジスト組成物は、光パターン形成可能ポリマー、光パターン形成可能ポリマーのための任意の溶媒、任意の増感剤、及び任意の光開始剤を含む。未架橋の光パターン形成可能ポリマーが高いＴｇを有する場合には、溶媒は特に望ましい。溶媒及び光パターン形成可能ポリマーは、典型的には、溶媒０〜約９９重量％及びポリマー約１〜１００重量％という相対量で存在する。好ましくは、溶媒約２０〜約６０重量％及びポリマー約４０〜約８０重量％という相対量で存在する。更に好ましくは、溶媒約３０〜約６０重量％及びポリマー約４０〜約７０重量％という相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００３３】
増感剤は光エネルギーを吸収し、不飽和結合へのエネルギーの伝達を容易にし、これにより不飽和結合が反応して樹脂を架橋又は鎖延長させることができる。増感剤は露光のために有用なエネルギー波長範囲を拡大することが多く、典型的には、芳香族の光吸収発色団である。また、増感剤は、フリーラジカル又はイオン性である光開始剤の形成を導くことができる。増感剤が存在する場合、任意の増感剤及び光パターン形成可能ポリマーは、典型的には、増感剤約０．１〜約２０重量％及び光パターン形成可能ポリマー約８０〜約９９．９重量％という相対量で存在する。好ましくは、増感剤約１〜約１０重量％及び光パターン形成可能ポリマー約９０〜約９９重量％という相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００３４】
光開始剤は、一般的に化学線への露光時に重合を開始させるイオン又はフリーラジカルを発生させる。光開始剤が存在する場合、任意の光開始剤及び光パターン形成可能ポリマーは、典型的には、光開始剤約０．１〜約２０重量％及び光パターン形成可能ポリマー約８０〜約９９．９重量％という相対量で存在する。好ましくは、光開始剤約１〜約１０重量％及び光パターン形成可能ポリマー約９０〜約９９重量％という相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００３５】
また、単一の物質が増感剤及び光開始剤の両方の役割を果たしてもよい。
【００３６】
特定の増感剤及び光開始剤の例には、ミヒラーのケトン（アルドリッチケミカル社）、ダロキュア（Darocure）１１７３、ダロキュア４２６５、イルガキュア（Irgacure）１８４、イルガキュア２６１、及びイルガキュア９０７（チバガイギー、ニューヨーク州、アーズレーから入手可能）、並びにその混合物が含まれる。ベンゾフェノン及びその誘導体は、光増感剤として機能することができる。トリフェニルスルホニウム及びジフェニルヨードニウム塩は、典型的なカチオン光開始剤の例である。
【００３７】
また、抑制剤は、光パターン形成可能ポリマーを含むホトレジスト中に任意に存在できる。適切な抑制剤の例には、式（Ａ）のヒドロキノンのメチルエーテルＭＥＨＱ、式（Ｂ）のｔ−ブチルカテコール、式（Ｃ）のヒドロキノン等が含まれる。抑制剤は、典型的には、約４０重量％のポリマー固形分を含むホトレジスト溶液の重量の約５００〜約１，５００ｐｐｍの量で存在するが、量はこの範囲外であってもよい。
【化１１９】

【００３８】
特定の理論に制限されないが、アクリロイル化ポリマーの反応について以下に示されるように、例えば紫外放射への露光により、一般的に、不飽和エステル基のエチレン性結合が開放し、「長い」結合部位で架橋又は鎖延長が起こると考えられる。
【化１２０】

【００３９】
アルキルカルボキシメチレン及びエーテル置換ポリマーは、好ましくは熱と１以上のカチオン性開始剤、例えばトリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨージウム塩及び他の開始剤の存在下で、紫外光にさらすことによって硬化可能である。特定の理論に制限されないが、カチオンメカニズムは、メチルカルボキシメチレン置換ポリマーについて以下に示される通りであると考えられる。ここでは、酢酸が放出され、「長い」結合は架橋又は鎖延長部位を示す。
【化１２１】

エーテル置換ポリマーについての反応は、対応のアルカノールが放出される点を除いて同様である。
【００４０】
化学線へさらされたときにポリマーの架橋又は鎖延長を可能にすることができると上記に示される感光性供与基の多くは、高温にさらされた場合にもポリマーの架橋又は鎖延長ができる。従って、本発明のポリマーは、所望されるなら、熱硬化が用いられる用途においても使用できる。
【００４１】
下記の式（Ｄ）のポリマーについて上記に説明した反応及び置換のすべてにおいて、類似の反応及び置換が下記の式（Ｅ）のポリマーでも起こることは理解できるであろう。
【化１２２】

【化１２３】

【００４２】
本発明の方法によって製造される光パターン形成可能ポリマーは、インクジェットプリントヘッドの成分として使用することができる。本発明のプリントヘッドはどの適切な構成であってもよい。サーマルインクジェット印刷用のプリントヘッドの適切な構成の一例が図１に概略で説明される。図１は、液滴放出ノズル２７のアレイを示すプリントヘッド１０の正面２９の拡大略等角図を示す。また図２を参照すると、後述するように、下部電気絶縁性基板又は加熱素子プレート２８は、その表面３０上にパターン形成された加熱素子３４及びアドレス電極３３を有する。一方、上部基板又はチャネルプレート３１は、一方向に延びて上部基板の正面エッジ２９を貫通する平行溝２０を有する。溝２０の他端は傾斜壁２１で終端しており、キャピラリー充填インクチャネル２０のためのインク供給マニホルドとして使用される内部凹部２４の床４１は、インク充填孔として使用するための開口２５を有する。溝を有するチャネルプレートの表面は、複数の加熱素子３４のそれぞれ１つが溝及び下部基板又はヒータプレートにより形成される各チャネル内に配置されるように、ヒータプレート２８へ位置合わせ及び接合される。インクは、充填孔２５を通って凹部２４及び下部基板２８により形成されるマニホルドへ入り、キャピラリー作用によって、厚膜絶縁層１８に形成された細長い凹部３８から流れ出して、チャネル２０を充填する。各ノズルのインクはメニスカスを形成し、その表面張力はインクがそこから垂れるのを防止する。下部基板又はチャネルプレート２８のアドレス電極３３は端子３２で終端する。電極端子３２が露出されて、プリントヘッド１０が永久的に搭載される娘ボード１９上の電極へのワイヤボンディングに利用できるように、上部基板又はチャネルプレート３１は下部基板よりも小さい。後述するように、層１８は厚膜パッシベーション層であり、上部基板及び下部基板の間に挟持される。この層は、加熱素子を露出させ、これによりこれらを穴の中に配置するためにエッチングされる。また、マニホルド２４及びインクチャネル２０間のインクの流れを可能にする前記細長い凹部を形成するためにエッチングされる。さらに、厚膜絶縁層は、電極端子を露出させるためにエッチングされる。
【００４３】
図１の断面図は１つのチャネルを通る線２−２に沿って作成され、図２に示される。図２は、矢印２３に示されるように、インクがマニホルド２４から溝２０の端部２１付近にどのように流れるかを示す。開示内容が本文中に全て援用されて、本発明の一部とする米国特許第４，６３８，３３７号、同第４，６０１，７７７号及び米国再発行特許第３２，５７２号に開示されるように、複数セットの気泡発生加熱素子３４及びそのアドレス電極３３を、片面が研摩された（１００）シリコンウェハ上にパターン形成することができる。多数セットのプリントヘッド電極３３、加熱素子３４として働く抵抗性材料、及び共通帰線３５をパターン形成する前に、ウェハの研摩表面を二酸化シリコン等の下塗り層３９でコーティングする。層３９の典型的な厚さは約５，０００Å〜約２μｍであるが、厚さはこの範囲外であってもよい。抵抗性材料は、ドープされた多結晶シリコン（化学蒸着（ＣＶＤ）により蒸着できる）、又はホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ₂ ）等の他のよく知られた抵抗性材料でよい。共通帰線及びアドレス電極は、典型的には、下塗り層上及び加熱素子エッジ上に蒸着されたアルミニウムリード線である。共通帰線端部又は端子３７及びアドレス電極端子３２は所定の位置に配置され、これによりプリントヘッドを製造するためにチャネルプレート３１が取り付けられた後、娘ボード１９の電極（図示せず）へのワイヤボンディング用のクリアランスが形成される。共通帰線３５及びアドレス電極３３は、典型的には約０．５〜約３μｍの厚さに蒸着されるが、厚さはこの範囲外であってもよく、好ましい厚さは１．５μｍである。
【００４４】
ポリシリコン加熱素子が使用される場合、ポリシリコンの一部をＳｉＯ₂ へ転換するために、アルミニウムリード線の蒸着の前に、典型的には約５０〜約８０分の間（時間はこの範囲外であってもよい）、典型的には約１，１００℃（温度はこの値の上でも下でもよい）の比較的高温で、引き続きポリシリコン加熱素子を蒸気又は酸素中で酸化してもよい。このような場合、加熱素子を熱的に酸化して、典型的には約５００Å〜約１μｍの厚さ（厚さはこの範囲外であってもよい）で、保全性が良好で実質的にピンホールのないＳｉＯ₂ 上塗り層（図示せず）を達成する。
【００４５】
１つの実施の形態では、ポリシリコン加熱素子が使用され、任意の二酸化シリコン熱酸化物層１７を高温蒸気中でポリシリコンから成長させる。熱酸化物層を、典型的には、約０．５〜約１μｍの厚さに成長させ（厚さはこの範囲外であってもよい）、加熱素子を導電性インクから保護及び絶縁する。アドレス電極及び共通帰線の取り付けのためにポリシリコン加熱素子のエッジでは熱酸化物を除去し、次にアドレス電極及び共通帰線をパターン形成及び蒸着させる。加熱素子にホウ化ジルコニウム等の抵抗性材料を使用する場合、よく知られた他の適切な絶縁材料を保護層として使用できる。電極のパッシベーションの前に、プリントヘッド操作中にインク蒸気の気泡が壊れて発生する空洞化力から更に保護するために、タンタル（Ｔａ）層（図示せず）を、典型的には約１μｍの厚さ（厚さはこの値より上でも下でもよい）で加熱素子保護層１７上に任意に蒸着できる。タンタル層は、例えばＣＦ₄ ／Ｏ₂ プラズマエッチングを用いて、加熱素子の直接上の保護層１７を除いて全てエッチング除去される。ポリシリコン加熱素子では、アルミニウム共通帰線及びアドレス電極を、典型的には、下塗り層上と、共通帰線及び電極の接続のために酸化物が除去されたポリシリコン加熱素子の対向するエッジ上と、に蒸着させる。
【００４６】
電極のパッシベーションのために、膜１６を、複数セットの加熱素子及びアドレス電極を含むウェハ表面全体に蒸着させる。パッシベーション膜１６は、露出した電極をインクから保護するイオン障壁を提供する。パッシベーション膜１６に適切なイオン障壁材料の例には、ポリイミド、プラズマ窒化物、リンドープ二酸化シリコン、及び絶縁層１８に適するとして本文中に開示される材料等、並びにその任意の組合せが含まれる。有効なイオン障壁層は、その厚さが約１，０００Å〜約１０μｍの場合に達成されるのが一般的であるが、厚さはこの範囲外であってもよい。３００ｄｐｉのプリントヘッドでは、パッシベーション層１６は、好ましくは約３μｍの厚さを有するが、厚さはこの値の上でも下でもよい。６００ｄｐｉのプリントヘッドでは、パッシベーション層１６の厚さは、層１６及び層１８の合わせた厚さが約２５μｍになるような厚さであるのが好ましいが、厚さはこの値の上でも下でもよい。娘ボード電極と後でワイヤボンディングするために、共通帰線及びアドレス電極の末端部のパッシベーション膜又は層１６がエッチング除去される。この二酸化シリコン膜のエッチングは、湿式又は乾式エッチング法のいずれかによる。あるいは、電極パッシベーションは、プラズマ蒸着窒化シリコン（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）によることもできる。
【００４７】
次に、ここで更に詳細に説明するポリマー材料から成る厚膜タイプの絶縁層１８を、パッシベーション層１６上に形成する。その典型的な厚さは約１０〜約１００μｍであり、好ましくは約２５〜約５０μｍの範囲であるが、厚さはこれらの範囲外であってもよい。更により好ましくは、３００ｄｐｉプリントヘッドでは、層１８の厚さは約３０μｍであるのが好ましく、６００ｄｐｉプリントヘッドでは、層１８の厚さは約２０〜約２２μｍであるのが好ましいが、他の厚さでもよい。各加熱素子（凹部２６を形成する）上、マニホルド２４からインクチャネル２０へのインク通路を提供する細長い凹部３８上、及び各電極端子３２、３７上の層１８部分のエッチング及び除去を可能にするように絶縁層１８をホトリソグラフィ的に処理する。細長い凹部３８は、厚膜層１８のこの部分の除去により形成される。従って、パッシベーション層１６は、この細長い凹部３８内では、電極３３がインクへさらされるのを単独で防ぐ。任意的に、所望されるならば、同様の組成又は異なる組成の一連の薄層として絶縁層１８を付与することができる。典型的には、薄層を蒸着し、露光し、部分的に硬化させた後、次の薄層の蒸着、露光、部分硬化等を行う。厚膜絶縁層１８を構成するこれらの薄層は、上記に示された式のポリマーを含む。本発明の１つの実施の形態では、第１薄層は接触層１６へ形成され、該第１薄層は上記の式のポリマーとエポキシポリマーの混合物を含む。次に、露光、部分硬化を行い、続いて、上記の式のポリマーを含む１以上の連続薄層を形成する。
【００４８】
図３は図２と同様の図であり、下塗り層３９の形成、並びに加熱素子３４、電極３３及び共通帰線３５のパターニングの前に、シリコンであるヒータプレートに異方性エッチングされた浅い溝４０を有する。この凹部４０は、厚膜絶縁層１８のみの使用を可能にし、通常の電極パッシベーション層１６の必要性を排除する。厚膜層１８は水を通さず、且つ、比較的厚い（典型的には約２０〜約４０μｍであるが、厚さはこの範囲外であってもよい）ので、当該技術でよく知られる比較的薄いパッシベーション層１６のみを有する場合よりも回路要素に導入される汚染は、はるかに少ないであろう。ヒータプレートは集積回路にとってかなり不利な環境である。市販用のインクでは一般的に、純度に対する配慮が低い。その結果、ヒータプレートの活性部分は、移動性イオンを間違いなく多く含む汚染されたインク水溶液に高温で隣接する。更に、実質的な電場が存在するように、ヒータプレートを約３０〜約５０Ｖの電圧で操作するのが一般的に望ましい。従って、厚膜絶縁層１８は活性装置に改良された保護を提供し、結果的にヒータプレートの動作寿命を長くすることにつながる改良された保護を提供する。
【００４９】
複数の下部基板２８を単一のシリコンウェハから製造する場合、下塗り層の蒸着後の都合のよい時点で、少なくとも２つの位置合わせマーキング（図示せず）をシリコンウェハを構成する下部基板２８上の所定位置にホトリソグラフィ的に製造するのが好ましい。これらの位置合わせマーキングは、インクチャネルを含む複数の上部基板３１の位置合わせに使用される。複数セットの加熱素子を含む片面ウェハの表面を、位置合わせに続いて、複数のインクチャネルを有する上部基板を含むウェハの表面へ接合する。
【００５０】
米国特許第４，６０１，７７７号及び同第４，６３８，３３７号に開示されるように、プリントヘッド用の複数の上部基板３１を製造するために、チャネルプレートを両面研摩された（１００）シリコンウェハから形成する。ウェハを化学洗浄した後、熱分解ＣＶＤ窒化シリコン層（図示せず）を両面に蒸着する。従来のホトリソグラフィを用いて、複数のチャネルプレート３１のそれぞれの充填孔２５用のヴィア、及び所定位置の位置合わせ開口（図示せず）のための少なくとも２つのヴィアを、一方のウェハ面にプリントする。充填孔及び位置合わせ開口を示すパターン形成されたヴィアの窒化シリコンをプラズマエッチング除去する。水酸化カリウム（ＫＯＨ）異方性エッチングを使用して、充填孔及び位置合わせ開口をエッチングすることができる。この場合、（１００）ウェハの〔１１１〕面は、典型的には、ウェハ表面と約５４．７度の角度を成す。充填孔は小さい四角の表面パターンであり、一般的には一辺が約２０ミル（５００μｍ）であるが、寸法はこの値の上でも下でもよい。位置合わせ開口は約６０〜約８０ミル（１．５〜３ｍｍ）平方であるが、寸法はこの範囲外であってもよい。従って、位置合わせ開口は２０ミル（０．５ｍｍ）厚のウェハを通して完全にエッチングされるが、充填孔はウェハの約半分〜４分の３の終端点までエッチングされる。比較的小さい四角の充填孔は連続エッチングにより更にサイズ増大しようとしても変化しないので、位置合わせ開口及び充填孔のエッチングはあまり時間制限されない。
【００５１】
次に、ウェハの反対面を、既にエッチングされた位置合わせ孔をリファレンスとして用いてホトリソグラフィ的にパターン形成し、最後にはプリントヘッドのインクマニホルド及びチャネルになる比較的大きい矩形凹部２４及び細長い平行チャネル凹部セットを形成する。マニホルド及びチャネル凹部を含むウェハ表面２２は、複数セットの加熱素子を含む基板へ接合するために熱硬化性エポキシ等の接着剤が後で付与されるオリジナルウェハ表面（窒化シリコン層で被覆された）の部分である。接着剤は、溝又は他の凹部に流れたり広がったりしないような方法で付与される。チャネルウェハを加熱素子及びアドレス電極ウェハ上に位置合わせするために、位置合わせマーキングを例えば真空チャックマスク位置合わせ器と共に使用することができる。２つのウェハを正確にかみ合わせ、接着剤の部分硬化によって仮留めすることができる。あるいは、加熱素子及びチャネルウェハに精密にさいの目にされたエッジを与え、次に、加熱素子及びチャネルウェハを精密ジグに手動又は自動的に位置合わせする。また、赤外アライナ−ボンダ（aligner-bonder）や、位置合わせされるべき各ウェハ上の赤外不透明マーキングを用いる赤外顕微鏡等を用いて位置合わせすることもできる。次に２つのウェハを、互いに永久的に接合するためにオーブン又はラミネータ中で硬化する。次に、チャネルウェハを切断して、個々の上部基板を製造することができる。端部面２９を製造する最終的なさいの目カットにより、ノズル２７を形成する細長い溝２０の一方の端部を開放する。チャネル溝の他端は端部２１により閉鎖されたままである。しかしながら、チャネルプレートのヒータプレートへの位置合わせ及びボンディングにより、チャネル２０の端部２１が、図２に示されるように厚膜絶縁層１８の細長い凹部３８上に直接配置され、又は、図３に示されるように凹部４０の上に直接配置されて、矢印２３で示されるようにマニホルドからチャネル内へのインクの流れが可能になる。最終的なさいの目カットにより製造される複数の個々のプリントヘッドを娘ボードへ接合し、プリントヘッド電極端子を娘ボード電極へワイヤボンディングする。
【００５２】
１つの実施の形態では、ホスホシリケートガラス層を有するヒータウェハを、３０００回転／分で１０秒間、Z6020 接着促進剤溶液（メタノール９５部及び水５部の中に０．０１重量％、ダウコーニング (Dow Corning)）でスピンコーティングし、１００℃で２〜１０分間乾燥させた。次に、ウェハを２５℃で５分間冷却し、１，０００〜３，０００回転／分で３０〜６０秒間、ウェハを光パターン形成可能ポリマーを含むホトレジストでスピンコーティングした。繰り返し単位当たりアクリロイル基０．７５個及びクロロメチル基０．７５個を有し、重量平均分子量が２５，０００であるポリアリーレンエーテルケトンを、ミヒラーケトン（固形分４０重量％のポリマー溶液各１０部当たりケトン１．２部）と共に固形分４０重量％でＮ−メチルピロリジノン中に溶解することによって、ホトレジスト溶液を生成した。膜をオーブンに入れ、７０℃で１０〜１５分間加熱した（ソフトベークした）。５分かけて２５℃まで冷却した後、マスクで膜を覆い、これを１ｃｍ² 当たり１５０〜１，５００ｍＪに達するまで、３６５ｎｍの紫外光にさらした。次に、さらしたウェハを７０℃で加熱して２分間の後露光ベークをし、続いて５分かけて２５℃まで冷却した。６０：４０のクロロホルム／シクロヘキサノン現像剤で膜を現像し、９０：１０のヘキサン／シクロヘキサノンで洗浄し、次に７０℃で２分間乾燥させた。必要であれば第２の現像／洗浄サイクルを行い、清浄な外観を有するウェハを得る。処理したウェハを２５℃のオーブンに移し、オーブン温度を１分当たり２℃の割合で２５℃から９０℃まで上昇させる。温度を２時間９０℃に維持し、次に１分当たり２℃の割合で２６０℃まで上昇させる。オーブン温度を２時間２６０℃に維持し、次にオーブンのスイッチを切って温度を２５℃まで徐々に下げる。窒素又はアルゴン、ネオン、クリプトン、キセノンなどの希ガスのうちの１つのような不活性雰囲気下でホトレジスト膜の熱硬化を行うと、現像した膜の酸化が著しく低減され、得られるデバイスの熱安定性及び加水分解安定性が改良される。更に、現像したホトレジスト膜の下部基板への接着が改良される。第２層を第１層の上にスピンコーティングする場合、第２層を第１層上にスピンコーティングする前に第１現像層の熱硬化を８０〜２６０℃の間で停止することができる。上記手順を再び繰り返すことによって、より厚い第２層を付着させる。膜の厚さ及びホトレジストの分子量によって手順が特定条件外になりうるという点で、この方法は指針となる。６００ｄｐｉの清浄な外観を有する３０μｍの膜を現像した。
【００５３】
良好な解像度の外観及び高アスペクト比に関する最良の結果のために、本発明のホトレジスト組成物は、基板上へコーティングする前には粒子を含まない。１つの好ましい実施の形態では、光パターン形成可能ポリマーを含むホトレジスト組成物を２μｍのナイロンフィルタ布（テトコ（Tetko)から入手可能）により濾過する。圧縮空気（約６０ｐｓｉまで）及び加圧濾過用漏斗を用いて、約３０〜約６０重量％の固形分を含む溶液として、黄色光の下又は暗所でホトレジスト溶液を布により濾過する。ホトレジスト溶液の希釈は必要とされず、抑制剤（例えばＭＥＨＱ等）の濃度は、貯蔵寿命に影響を与えないようにするには、例えば５００重量ｐｐｍ以下のように低くてよい。この濾過処理中に、光パターン形成可能なポリマーの分子量の増大は観察されない。特定の理論に制限されないが、光重合可能なポリマー上に不飽和エステル基が存在する場合等の幾つかの場合には、圧縮空気中の酸素がアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等の不飽和エステル基のフリーラジカル重合に有効な抑制剤として働くので、圧縮空気は不活性雰囲気で得られる結果よりも優れた結果をもたらすと考えられる。
【００５４】
特に好ましい実施の形態では、光パターン形成可能ポリマーを、光パターン形成可能ポリマー約７５重量部及びエポキシ樹脂約２５重量部から光パターン形成可能ポリマー約９０重量部及びエポキシ樹脂約１０重量部までの相対量でエポキシ樹脂と混合する。適切なエポキシ樹脂の例には、次の式で表されると考えられるＥＰＯＮ１００１Ｆ（シェルケミカル社、テキサス州、ヒューストンから入手可能）等及びその混合物が含まれる。
【化１２４】

「Ｙ」硬化剤（メタ−フェニレンジアミン）等及びその混合物のような硬化剤を使用して、エポキシ樹脂固体１ｇ当たり硬化剤約１０重量％の典型的な相対量でエポキシ樹脂を硬化することができる。光パターン形成可能ポリマーとブレンドされたエポキシ樹脂の処理条件は、一般的に、エポキシ樹脂がない場合のホトレジストを処理するために使用される条件と同様である。エポキシ又はエポキシブレンドを、その硬化条件が光パターン形成ポリマーの付与、画像形成、現像及び硬化のために使用される条件とは異なるように選択することが好ましい。選択的な段階的硬化により、エポキシ樹脂の硬化前にホトレジストの現像が可能になり、装置上の望ましくないエポキシ残渣が防止される。光パターン形成可能ポリマー材料にエポキシ樹脂を組み入れると、光パターン形成可能な層のヒータプレートへの接着が改良される。画像形成に続いて、光パターン形成可能ポリマーの硬化中に、エポキシがヒータ層と反応して、その層と強力な化学結合を形成し、界面の接着強度及び耐溶剤性を改良する。また、エポキシの存在により光パターン形成可能ポリマーの親水性が改良され、このため層の湿潤特性が改良され、これにより、プリントヘッドの再補充特性が改良される。
【００５５】
図１〜図３に示されるプリントヘッドは、本発明の特定の実施の形態を構成する。本発明のプリントヘッドを形成するために、ここに開示される材料と共に、プリントヘッド表面のノズル内で終端するインク運搬チャネルを有する他の任意の適切なプリントヘッド構成を使用することもできる。
【００５６】
また、本発明は、本発明に従うプリントヘッドを用いる印刷方法も含む。本発明の１つの実施の形態は、（１）インク供給源からのインクで充填されることが可能でプリントヘッドの一方の表面上のノズルで終端する複数のチャネルを含むインクジェットプリントヘッドを、本発明の方法に従って製造するステップと、（２）チャネルをインクで充填するステップと、（３）ノズルから受取シート上へインク滴を画像パターン状に排出するステップと、を含むインクジェット印刷方法に関する。この方法の特定の実施の形態はサーマルインクジェット印刷方法に関し、インク滴は、画像パターン状に選択されたチャネルを加熱することによりノズルから排出される。液滴を、布、ゼロックス（Xerox 、商標名）４０２４又は４０１０等の普通紙、コート紙、又は透明材料等の適切な受取シート上へ排出することができる。
【００５７】
【実施例】
〔実施例Ｉ〕
次式（ここで、ｎは約２〜約３０である）のポリアリーレンエーテルケトン（以下、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）と称す）を以下のように調製した。
【化１２５】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた５リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、２５０ｇ）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、２４４．８ｇ）、炭酸カリウム（３２７．８ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（１５００ｍｌ）及びトルエン（２７５ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間加熱した後、反応混合物を濾過して不溶性塩を除去し、得られた溶液をメタノール（５ガロン）へ添加してポリマーを沈殿させた。ポリマーを濾過により分離し、湿ったフィルタケーキを水（３ガロン）で洗浄した後、メタノール（３ガロン）で洗浄した。３６０ｇの真空乾燥したポリマーが得られた。ポリマーの分子量をゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により決定し、次の結果を得た：Ｍｎ３，４３０、Ｍpeak５，３８０、Ｍｗ３，６００、Ｍｚ８，７００及びＭ_z+1 １２，９５０。ポリマーのガラス転移温度は分子量に応じて１２５〜１５５℃であった（２０℃／分の加熱速度で示差走査熱量測定法を用いた）。塩化メチレンからの溶液キャスト膜は、透明、強靱且つ柔軟であった。反応で使用された化学量論の結果、このポリマーはビスフェノールＡから誘導される末端基を有するものと考えられる。
【００５８】
〔実施例ＩＩ〕
次式（ここで、ｎは約６〜約３０である）のポリアリーレンエーテルケトン（以下、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）と称す）を以下のように調製した。
【化１２６】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、５０ｇ）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、４８．９６ｇ）、炭酸カリウム（６５．５６ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ｍｌ）及びトルエン（５５ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、メタノール中に沈殿させた反応生成物のアリコートをゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍｎ４，４６４、Ｍpeak７，５８３、Ｍｗ７，９２７、Ｍｚ１２，３３１及びＭ_z+1 １６，９８０。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間後、反応混合物を濾過して炭酸カリウムを除去し、メタノール（２ガロン）中に沈殿させた。ポリマー（ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ））は、濾過及び真空乾燥後に、８６％の収率で分離された。ＧＰＣ分析は次の通りであった：Ｍｎ５，３４７、Ｍpeak１６，１２６、Ｍｗ１５，５９６、Ｍｚ２９，２０９及びＭ_z+1 ４２，７１０。ポリマーのガラス転移温度は約１２０±１０℃であった（２０℃／分の加熱速度で示差走査熱量測定法を用いた）。塩化メチレンからの溶液キャスト膜は、透明、強靱且つ柔軟であった。反応で使用された化学量論の結果、このポリマーはビスフェノールＡから誘導される末端基を有するものと考えられる。
【００５９】
〔実施例ＩＩＩ〕
メカニカルスターラ、アルゴン注入口、還流冷却器、及び添加漏斗を装備した５リットルの３つ口丸底フラスコ中で、２８２．６８ｇ（２５６ｍｌ）の塩化アセチルをジメトキシメタン（３１３．６ｇ、３６６．８ｍｌ）及びメタノール（１０ｍｌ）の混合物へ添加することによってクロロメチルエーテルの酢酸メチル溶液を製造した。この溶液を１，０６６．８ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（２．４ｍｌ）を耐ガス構造のシリンジによって添加すると共に、添加漏斗を用いて１，１，２，２−テトラクロロエタン（１３３．２ｍｌ）を添加した。反応溶液を５０℃まで加熱し、実施例Ｉで記載したように調製したポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）（１６０．８ｇ）の１，０００ｍｌのテトラクロロエタン溶液をすばやく添加した。次いで反応混合物を１１０℃に設定したオイルバスで加熱還流した。連続的に攪拌しながら４時間還流した後、加熱を停止し、混合物を２５℃まで冷却した。反応混合物を２リットルの丸底フラスコへ段階的に移し、液体窒素でトラップされた真空ポンプを用いて減圧を維持しながら、５０℃までの緩やかな加熱でロータリーエバポレータを用いて濃縮した。濃縮物をメタノール（４ガロン）へ添加して、ワーリングブレンダを用いてポリマーを沈殿させた。ポリマーを濾過により分離し、真空乾燥させて、繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）２００ｇを得た（ ¹Ｈ−ＮＭＲ分光測定法を用いて同定）。同一の反応を１、２、３及び４時間で行った場合、繰返し単位当たりのクロロメチル基の量は、それぞれ、０．７６、１．０９、１．２９４及び１．４９６であった。
【００６０】
無溶媒ポリマーは、塩化メチレン（５００ｇ）中に溶解したポリマー（７５ｇ）をメタノール（３ガロン）中へ再沈殿させた後、濾過及び真空乾燥して得ることができ、７０．５ｇ（収率９９．６％）の無溶媒ポリマーを生成した。
【００６１】
１６０．８ｇの代わりに８０．４ｇのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用する点を除いて同様の条件下（他の試薬の量は上記と同一）で反応を行い、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３及び４時間で、繰返し単位当たりそれぞれ１．３１、１．５０、１．７５及び２個のクロロメチル基を有するポリマーが形成された。
【００６２】
他の試薬はそのままで、１６０．８ｇの代わりに２４１．２ｇのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用した場合、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３、４、５及び６時間で、繰返し単位当たりそれぞれ０．７９、０．９０、０．９８、１．０６、１．２２及び１．３８個のクロロメチル基を有するポリ（ＣＰＫ−ＢＰＡ）が形成された。
【００６３】
他の試薬はそのままで、１６０．８ｇの代わりに３２１．６ｇのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用した場合、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３、４、５、６、７及び８時間で、繰返し単位当たりそれぞれ０．５３、０．５９、０．６４、０．６７、０．７７、０．８６、０．９０及び０．９７個のクロロメチル基を有するポリ（ＣＰＫ−ＢＰＡ）が形成された。
【００６４】
〔実施例ＩＶ〕
次式のポリアリーレンエーテルケトンを実施例ＩＩで記載したように調製した。
【化１２７】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、還流冷却器、及び添加漏斗を装備した５００ｍｌの３つ口丸底フラスコ中で、３５．３ｇの塩化アセチルをジメトキシメタン（４５ｍｌ）及びメタノール（１．２５ｍｌ）の混合物へ添加することによってクロロメチルエーテルの酢酸メチル溶液を製造した。この溶液を１５０ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（０．３ｍｌ）をシリンジによって添加した。この溶液を１１０℃に設定したオイルバスで加熱還流した。その後、１２５ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタン中のポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）（１０ｇ）の溶液を８分かけて添加した。連続的に攪拌しながら２時間還流した後、加熱を停止し、混合物を２５℃まで冷却した。反応混合物をロータリーエバポレータへ移し、５０℃と５５℃の間の温度で緩やかに加熱した。一時間後、揮発分のほとんどが除去されたとき、反応混合物をメタノールへ添加し（０．７５リットルのメタノールに対してそれぞれ２５ｍｌの溶液を添加した）、ワーリングブレンダを用いてポリマーを沈殿させた。沈殿したポリマーを濾過により捕集し、メタノールで洗浄し、空気乾燥させて、１３ｇのオフホワイトの粉体を得た。ポリマーは繰返し単位当たり約１．５個のＣＨ₂ Ｃｌ基を有していた。
【００６５】
〔実施例Ｖ〕
繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有し、実施例ＩＩＩで記載したように調製したクロロメチル化ポリマー９０ｇを６３９ｍｌ（５５８．５ｇ）のＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中に含む溶液を調製し、この溶液をアクリル酸ナトリウム（５１．３９ｇ）と共に２５℃で１週間、磁気的に攪拌した。次に、反応混合物を遠心分離し、上澄みを、メタノール０．７５リットルにつきポリマー溶液２５ｍｌという相対量で、ワーリングブレンダを用いてメタノール（４．８ガロン）へ添加した。沈殿した白色粉体を濾過し、湿ったフィルタケーキを水（３ガロン）で洗浄し、次にメタノール（３ガロン）で洗浄した。次にポリマーを濾過により分離し、真空乾燥させて、７３．３ｇの白色粉体を得た。ポリマーは４つのモノマー繰返し単位毎に３個のアクリル酸エステル基と、４つのモノマー繰返し単位毎に３個のクロロメチル基とを有し、約２５，０００の重量平均分子量を有した。
【００６６】
繰返し単位当たり２個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を用い、他の試薬は同一のままで反応を繰り返した場合、繰返し単位当たり０．７６個のアクリル酸エステル基及び繰返し単位当たり１．２４個のクロロメチル基を達成するのに反応は４日かかった。
【００６７】
繰返し単位当たり１．０個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を用い、他の試薬は同一のままで反応を繰り返した場合、繰返し単位当たり０．７５個のアクリル酸エステル基及び繰返し単位当たり２．５個のクロロメチル基を達成するのに反応は１４日かかった。
【００６８】
３０μｍの厚膜を、６００ｄｐｉの解像度でパターン形成した。硬化した膜は、典型的なサーマルインクジェット溶媒に耐性であった。光活性アクリロイル化ポリアリーレンエーテルケトンが繰返し単位当たり約０．７５個のアクリル酸エステル基と、繰返し単位当たり０．７５個と１．２５個の間のクロロメチル基とを有する場合、並びにゲル浸透クロマトグラフィーにより決定された重量平均分子量が１５，０００と２５，０００の間である場合に、６００ｄｐｉにおける３００μｍ膜の最良の解像度が達成された。
【００６９】
〔実施例ＶＩ〕
繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するクロロメチル化ポリアリーレンエーテルケトンを実施例ＩＩＩで記載したように調製した。Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド７１ｍｌ中に１０ｇのクロロメチル化ポリマーを含む溶液を、５．７１ｇの酢酸ナトリウム（アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキーから得られる）と共に磁気的に攪拌した。反応を１週間続行した。次に、反応混合物を遠心分離し、上澄みをメタノール（０．５ガロン）へ添加してポリマーを沈殿させた。次に、ポリマーを濾過し、水（２リットル）で洗浄し、続いてメタノール（０．５ガロン）で洗浄した。クロロメチル基上の塩素原子のほぼ半分がメチルカルボキシメチレン基で置換された。ポリマーは次の式で表されると考えられる。
【化１２８】

【００７０】
約２週間続行したことを除いて同様の条件下でこの方法を繰り返した場合、クロロメチル基上の塩素原子のほとんど全てがメチルカルボキシメチレン基で置換された。得られたポリマーは次の式で表されると考えられた。
【化１２９】

【００７１】
〔実施例ＶＩＩ〕
５．７１ｇの酢酸ナトリウムの代わりに５．７１ｇのナトリウムメトキシド（アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキーから得られる）を用いた点を除いて実施例ＶＩの方法を繰り返した。約２時間後、クロロメチル基上の塩素原子のほぼ半分がメトキシ基で置換された。このポリマーは次の式で表されると考えられる。
【化１３０】

【００７２】
約２週間続行したことを除いて同様の条件下でこの方法を繰り返した場合、クロロメチル基上の塩素原子のほとんど全てがメトキシ基で置換された。得られたポリマーは次の式で表されると考えられた。
【化１３１】

【００７３】
〔実施例ＶＩＩＩ〕
繰返し単位当たり０．７５個のクロロメチル基と、繰返し単位当たり０．７５個のアクリロイル基とを有するアクリロイル化ポリアリーレンエーテルケトンを、ポリマーが約７，０００の数平均分子量及び約２５，０００の重量平均分子量を有する点を除いて、実施例Ｖに記載したように調製した。約２重量部のアクリロイル化ポリマー及び約３重量部のＮ−メチルピロリジノンを含む溶液を調製した。モノマー繰返し単位当たり２．０個のクロロメチル基を有し、数平均分子量が約５，０００、重量平均分子量が約１０，０００のクロロメチル化ポリマーを実施例ＩＩＩに記載したように調製した。約２重量部のクロロメチル化ポリマー及び約３重量部のＮ−メチルピロリジノンを含む溶液を調製した。２つの溶液を混合し、５０重量％のアクリロイル化ポリマー及び５０重量％のクロロメチル化ポリマーを含む固形分約４０重量％の混合物を含む溶液を形成した。固形分が７５重量％のアクリロイル化ポリマー及び２５重量％のクロロメチル化ポリマーを含む点を除いて、固形分４０重量％を含む第２の混合溶液を同様に調製した。固形分が９０重量％のアクリロイル化ポリマー及び１０重量％のクロロメチル化ポリマーを含む点を除いて、固形分４０重量％を含む第３の混合溶液を同様に調製した。Ｎ−メチルピロリドン中に固形分４０重量％を含み、且つ固形分が１００重量％のアクリロイル化ポリマーを含む第１の対照溶液を調製した。ミヒラーのケトンを溶液中の樹脂固体の３重量％の量で溶液に添加した点を除いて、第２の対照溶液を第１の対照溶液と同様の組成で調製した。
【００７４】
５つの溶液でそれぞれ、１，０００ｒｐｍで３０秒間、ガラススライド（１インチ×１インチ、メタノール９５部及び水５部中の０．０１重量％のＺ６０２０接着促進剤（ダウコーニングから得られる）で予め処理し、１００℃で１０分間乾燥させた）上をスピンコーティングした。膜を７０℃で１０分間、オーブン内でソフトベーキングした。２５℃まで冷却した後、膜をマスクで覆い、１ｃｍ² 当たり１００〜１，０００ｍＪになるまでの種々の時間、３６５ｎｍのＵＶ光で露光した。次に、露光した膜を７０℃で２分間後露光加熱し、５分かけて２５℃まで冷却し、次に、６０重量％のクロロホルム及び４０重量％のシクロヘキサノンを含む現像剤で現像した。次いで、膜を９０重量％のヘキサン及び１０重量％のシクロヘキサノンを含む溶液で洗浄した後、７０℃で２分間乾燥させた。最低のエネルギーで最も清浄な外観が達成され、ホトレジスト溶液は最良から最悪まで次の順序であった。
【００７５】
１．５０重量％のアクリロイル化ポリマー、５０重量％のクロロメチル化ポリマー
２．７５重量％のアクリロイル化ポリマー、２５重量％のクロロメチル化ポリマー
３．ミヒラーのケトンを含む対照溶液
４．９０重量％のアクリロイル化ポリマー、１０重量％のクロロメチル化ポリマー
５．１００重量％のアクリロイル化ポリマー（表示された条件下では重合しなかった）
【００７６】
これらの結果は、クロロメチル化ポリアリーレンエーテルケトンがアクリロイル基の重合のための促進剤として働くことを示している。特定の理論に制限されないが、１つの可能性のあるメカニズムは、クロロメチル化ポリアリーレンエーテルケトン上における、アクリロイル化ポリアリーレンエーテルケトン上のアクリロイル基へ付加できるフリーラジカルの発生である。
【００７７】
〔実施例ＩＸ〕
クロロメチル化ポリアリーレンエーテルケトンを実施例ＩＶに記載したように調製した。次に、１００ｍｌ（８７．４ｇ）のＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中に１１ｇのクロロメチル化ポリマーを含む溶液を調製し、溶液をアクリル酸ナトリウム（３０ｇ）と共に２５℃で１週間、磁気的に攪拌した。次に、反応混合物を濾過し、メタノール０．７５リットル当たりポリマー溶液２５ｍｌという相対量でワーリングブレンダを用いてメタノールへ添加した。沈殿した白色粉体を固形分２０重量％の塩化メチレン溶液からメタノール中へ再沈殿させ、次に、空気乾燥させて、７．７３ｇの白色粉体を得た。ポリマーは、４つのモノマー繰返し単位毎に３個のアクリル酸エステル基と、４つのモノマー繰返し単位当たり３個のクロロメチル基とを有していた。３０μｍの厚膜を前述のように６００ｄｐｉの解像度でパターン形成した。硬化した膜は、典型的なサーマルインクジェットインク溶媒に耐性であった。
【００７８】
〔実施例Ｘ〕
次式（ここで、ｎは約６〜約３０である）のポリアリーレンエーテルケトン（以下、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）と称す）を次のように調製した。
【化１３２】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、５３．９０ｇ）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、４５．４２ｇ）、炭酸カリウム（６５．５６ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ｍｌ）及びトルエン（５５ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応混合物を濾過して炭酸カリウムを除去し、メタノール（２ガロン）中へ沈澱させた。濾過及び真空乾燥後に、ポリマー（ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ））は収率８６％で分離された。ＧＰＣ分析は次の通りである：Ｍｎ４，２３９、Ｍpeak９，１６４、Ｍｗ１０，２３８、Ｍｚ１８，１９５及びＭ_z+1 ２５，９１６。塩化メチレンからの溶液キャスト膜は、透明、強靱且つ柔軟であった。反応で使用された化学量論の結果、このポリマーは４，４−ジクロロベンゾフェノンから誘導される末端基を有するものと考えられる。
【００７９】
〔実施例ＸＩ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを次のように調製した。
【化１３３】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、１６．３２ｇ、０．０６５モル）、ビス（４−ヒドロキシフェニル）メタン（アルドリッチ、１４．０２ｇ、０．０７モル）、炭酸カリウム（２１．４１ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ｍｌ）及びトルエン（１００ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間加熱した後、反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）の収量は２４ｇであった。ポリマーは、Ｎ−メチルピロリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド及び１，１，２，２−テトラクロロエタンに加熱により溶解した。ポリマーは溶液が２５℃まで冷却した後でも溶解したままであった。
【００８０】
〔実施例ＸＩＩ〕
実施例ＸＩで記載したように調製したポリマー、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）を次のようにクロロメチル化した。塩化アセチル（３５．３ｇ）をジメトキシメタン（４５ｍｌ）及びメタノール（１．２５ｍｌ）の混合物へ添加することによってクロロメチルメチルエーテルの酢酸メチル溶液（６ミリモル／ｍｌ）を製造した。この溶液を１５０ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（０．３ｍｌ）を添加した。１１０℃に設定したオイルバスを用いて混合物を還流させた後、１２５ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタン中のポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）（１０ｇ）の溶液を添加した。還流を２時間維持し、次に、５ｍｌのメタノールを添加して反応を停止させた。反応溶液をワーリングブレンダを用いて１ガロンのメタノールへ添加し、生成物、クロロメチル化ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）を沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、真空乾燥させた。ポリマーの繰返し単位当たり２個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）９．４６ｇが得られた。ポリマーは次の構造を有していた。
【化１３４】

【００８１】
〔実施例ＸＩＩＩ〕
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド２０ｍｌ中の、繰返し単位当たり２個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）（１ｇ、実施例ＸＩＩで記載したように調製する）をアクリル酸ナトリウムと共に２５℃で１１２時間磁気的に攪拌した。溶液をワーリングブレンダを用いてメタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過及び真空乾燥させた。５８〜６９％のクロロメチル基がアクリロイル基で置換された。生成物は次の式で表された。
【化１３５】

【００８２】
〔実施例ＸＩＶ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを次のように調製した。
【化１３６】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、１６．３２ｇ、０．０６５モル）、ヘキサフルオロビスフェノールＡ（アルドリッチ、２３．５２ｇ、０．０７モル）、炭酸カリウム（２１．４１ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ｍｌ）及びトルエン（１００ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間加熱した後、反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＨＦＢＰＡ）の収量は２０ｇであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍｎ１，９７５、Ｍpeak２，２８１、Ｍｗ３，５８８、及びＭ_z+1 ８，９１８。
【００８３】
〔実施例ＸＶ〕
実施例ＸＩＶに記載のように調製したポリマーであるポリ（４−ＣＰＫ−ＨＦＢＰＡ）を、実施例ＸＩＩに記載の方法によってクロロメチル化する。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【００８４】
〔実施例ＸＶＩ〕
実施例ＸＶに記載のように調製したクロロメチル化ポリマーであるポリ（４−ＣＰＫ−ＨＦＢＰＡ）を、実施例ＸＩＩＩに記載の方法によってアクリロイル化する。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【００８５】
〔実施例ＸＶＩＩ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１３７】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジフルオロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、４３．４７ｇ、０．１９９２モル）、９，９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレノン（ケンセイカ（Ken Seika)、ニュージャージー州、ラムソン、７５．０６ｇ、０．２１４５モル）、炭酸カリウム（６５．５６ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ｍｌ）及びトルエン（５２ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で５時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。凝固した塊を酢酸（酢）で処理し、塩化メチレンで抽出し、濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＦＰＫ−ＦＢＰＡ）の収量は７１．７ｇであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍｎ５９，１００、Ｍpeak１４４，０００、Ｍｗ１３６，１００、Ｍｚ２１１，３５０、及びＭ_z+1 ２８６，１００。
【００８６】
〔実施例ＸＶＩＩＩ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１３８】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、５０．０２ｇ、０．１９９２モル）、９，９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレノン（ケンセイカ、ニュージャージー州、ラムソン、７５．０４ｇ、０．２１４５モル）、炭酸カリウム（６５．５６ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ｍｌ）及びトルエン（５２ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）の収量は６０ｇであった。
【００８７】
〔実施例ＸＩＸ〕
実施例ＸＶＩＩＩで記載したように調製したポリマー、ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）を次のようにクロロメチル化した。塩化アセチル（３８．８ｇ）をジメトキシメタン（４５ｍｌ）及びメタノール（１．２５ｍｌ）の混合物へ添加することによってクロロメチルメチルエーテルの酢酸メチル溶液（６ミリモル／ｍｌ）を製造した。この溶液を１００ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（０．５ｍｌ）を５０ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタン中で添加した。１００℃に設定したオイルバスを用いて混合物を還流した後、１２５ｍｌの１，１，２，２−テトラクロロエタン中のポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）（１０ｇ）の溶液を添加した。反応温度を１００℃で１時間維持し、次に、５ｍｌのメタノールを添加して反応を停止させた。反応溶液をワーリングブレンダを用いて１ガロンのメタノールへ添加し、生成物、クロロメチル化ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）を沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、真空乾燥させた。ポリマーの繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）９．５ｇが得られた。反応を１１０℃（オイルバス設定温度）で行った場合、ポリマーは８０分以内にゲル化した。ポリマーは次の構造を有していた。
【化１３９】

【００８８】
〔実施例ＸＸ〕
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド２０ｍｌ中の、繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）（１ｇ、実施例ＸＩＸで記載したように調製する）をアクリル酸ナトリウムと共に、２５℃で１１２時間磁気的に攪拌した。溶液をワーリングブレンダを用いてメタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過及び真空乾燥させた。約５０％のクロロメチル基がアクリロイル基で置換された。生成物は次の式で表された。
【化１４０】

【００８９】
〔実施例ＸＸＩ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４１】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４，４′−ジフルオロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ウィスコンシン州、ミルウォーキー、１６．５９ｇ）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ、１４．１８ｇ、０．０６５モル）、炭酸カリウム（２１．６ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ｍｌ）及びトルエン（３０ｍｌ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。凝固した塊を酢酸（酢）で処理し、塩化メチレンで抽出し、濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＦＰＫ−ＢＰＡ）の収量は１２．２２ｇであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍｎ５，１５８、Ｍpeak１５，０８０、Ｍｗ１７，２６０及びＭ_z+1 ３９，２８７。より低い分子量を得るには、反応を化学量論では１５モル％差し引いて繰り返すことができる。
【００９０】
〔実施例ＸＸＩＩ〕
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（７１ｍｌ）中の５５，０００の重量平均分子量を有するポリ（塩化ビニルベンジル）（サイエンティフィックポリマープロダクツ（Scientific Polymer Products)、ニューヨーク州、オンタリオから得られる、１０ｇ）及びアクリル酸ナトリウム（５．７１ｇ）を２５０ｍｌの黄褐色びんの中で磁気的に攪拌した。時間に対する置換量を ¹Ｈ−ＮＭＲ分光測定法を用いて測定し、以下の結果を得た（アクリル酸ビニルベンジル基を形成するための塩化ビニルベンジル基の置換％が括弧内に与えられる）：２日（１３％）、６日（３６％）、７日（４０％）、８日（４３％）、９日（４７％）、１０日（５１％）、１４日（６０％）、１６日（６５％）、１７日（６７％）及び２１日（７１．２％）。ホトレジストの用途に最適なアクリル酸エステル基の量は約０．８〜約２ミリ当量／ｇであるが、これらの範囲外の量も使用することができる。最適な重量平均分子量は、この実施例で使用される５５，０００よりも低いことが予想され、好ましくは約２０，０００である。多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）はできるだけ１に近いことが好ましい。３０μｍの厚膜は、６００ｄｐｉ解像度でパターン形成された。
【００９１】
〔実施例ＸＸＩＩＩ〕
次式の４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１４２】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、トルエン（１５２ｇ）を添加した。オイルバス温度を１３０℃まで上げ、１２．５ｇのトルエンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。塩化２，４−ジクロロベンゾイル（０．６８３モル、１４３ｇ）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９ｇ）を１５分かけて少しずつ添加し、塩酸ガスが激しく発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、溶媒を除去して固体の塊を得た。塊を塩化メチレン（１リットル）で抽出し、次に炭酸カリウムで乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、オイルを得た。オイルは冷えて、固体の結晶塊になった。−１５℃におけるメタノール（１リットル）からの再結晶により、第１群の８２．３ｇの４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン（融点５５−５６℃）と、第２群の３２ｇの生成物（メタノール５００ｍｌから）と、第３群の１６．２ｇの生成物とを得た。全回収生成物は１３４．７ｇであり、収率６５．６％であった。
【００９２】
〔実施例ＸＸＩＶ〕
次式のベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１４３】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、ベンゼン（２００ｇ）を添加した。オイルバス温度を１００℃まで上げ、１９ｇのベンゼンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。塩化２，４−ジクロロベンゾイル（０．６８３モル、１４３ｇ）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９ｇ）を１５分かけて少しずつ添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウムで乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、オイルを得た。オイルは冷えて、固体の結晶塊（１５４．８ｇ）になった。メタノールからの再結晶により、第１群に１３３．８ｇのベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼンを白色の針状結晶として得た（融点４１−４３℃）。
【００９３】
〔実施例ＸＸＶ〕
塩化２，５−ジクロロベンゾイルを次のように調製した。氷浴中に配置され、アルゴン注入口、冷却器及びメカニカルスターラを備えた２リットルの三つ口丸底フラスコへ、４００ｍｌのジクロロメタン中の２，５−ジクロロ安息香酸（９３．１ｇ）を添加し、スラリーを形成した。次に、６８ｇのジクロロメタン中の塩化チオニル（８５ｇ）を添加し、混合物を２５℃で攪拌した。次に、混合物を徐々に加熱し、１６時間還流を維持した。次に、塩化チオニルを８０℃より高温に加熱しながら、クライゼン蒸留取り出しヘッドを用いて除去した。反応残渣を５００ｍｌの一つ口丸底フラスコへ移した後、０．１〜０．３ｍｍＨｇ及び７０〜１００℃で、クゲルロア（Kugelrohr)装置及び真空ポンプを用いて蒸留し、氷浴冷却でトラップされた８２．１ｇの塩化２，５−ジクロロベンゾイルを黄色−白色固体として得た。
【００９４】
〔実施例ＸＸＶＩ〕
次式のベンゾイル−２，５−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１４４】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、ベンゼン（１４０ｇ）を添加した。オイルバス温度を１００℃まで上げ、１９ｇのベンゼンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。実施例ＸＸＶで記載したように調製した塩化２，５−ジクロロベンゾイル（９２．６ｇ）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９ｇ）を１５分かけて少しずつ慎重に添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウム上で乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、結晶（１０３．２ｇ）を得た。メタノールからの再結晶により、ベンゾイル−２，５−ジクロロベンゼンを白色の針状結晶として得た（融点８５−８７℃）。
【００９５】
〔実施例ＸＸＶＩＩ〕
次式の４′−メチルベンゾイル−２，５−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１４５】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、トルエン（２００ｇ）を添加した。その後、無水塩化アルミニウム（６４ｇ）を１５分かけて少しずつ慎重に添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウム上で乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、結晶を得た。メタノールからの再結晶により、３７．６ｇの４′−メチルベンゾイル−２，５−ジクロロベンゼンを淡黄色の針状結晶として得た（融点１０７−１０８℃）。
【００９６】
〔実施例ＸＸＶＩＩＩ〕
下記一般式（式中、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４６】

アルゴン下のグローブバッグで、アルゴン注入口、カラム、機械的攪拌器及びストッパーを備えた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコに以下の試薬を加えた：水素化ナトリウムのもとで蒸留した新鮮なＮ−メチルピロリジノン４３．９ｇ中で、二塩化ニッケル（０．３２４ｇ）、トリフェニルホスフィン１５．７ｇ（使用前に２００℃に加熱した）、２，２′−ビピリジン（０．３９１ｇ）、亜鉛（使用前に氷酢酸で処理し、ジエチルエーテルで洗浄し、真空で乾燥させたもの１６．１ｇ）及びベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン（実施例ＸＸＩＶで述べたように調製したもの１２．５ｇ）を加えた。緑色の混合物を９０℃のオイルバス設定温度で加熱した。２０分以内で反応混合物は赤褐色に変わり、時間と共により赤色になった。一定速度で攪拌しながら９０℃で１６時間反応させた後、この混合物をメタノール及び塩酸に添加し、沈殿したポリマーを収集し、水で洗浄し、メタノールで洗浄した。収量は真空乾燥したポリマー８．８ｇ（７０．４％）であり、ポリマーは、ゲル浸透クロマトグラフィーで決定されたＭｎ１，６２６、Ｍｐ１，６２０、Ｍｗ２，０７７及びＭｚ２，６４３を有した。
【００９７】
〔実施例ＸＸＩＸ〕
下記一般式（式中、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４７】

アルゴン下のグローブバッグで、アルゴン注入口、カラム、機械的攪拌器及びストッパーを備えた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコに以下の試薬を加えた：５０ｍｌのＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中で、二塩化ニッケル（アルファ社の高品質０．２ｇ）、トリフェニルホスフィン（真空乾燥したもの１０．８ｇ）、２，２′−ビピリジン（真空乾燥したもの０．２６ｇ）、亜鉛（セラック社の高純度１４．７ｇ）及び４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン（実施例ＸＸＩＩＩで述べたように調製したもの２０ｇ）を加えた。この混合物を７０〜８０℃のオイルバス設定温度に加熱した。２０分以内で反応混合物は赤褐色に変わり、時間と共により赤色になった。一定の速度で攪拌しながら８０℃で１６時間反応させた後、この混合物をメタノール及び塩酸に添加し、沈殿したポリマーを収集し、水で洗浄し、メタノールで洗浄した。収量は真空乾燥したポリマー１４．４ｇ（７２．０％）であり、ポリマーは、ゲル浸透クロマトグラフィーで決定されたＭｎ３，２７７、Ｍｐ５，５５３、Ｍｗ６，００１及びＭｚ９，８４１を有した。
【００９８】
〔実施例ＸＸＸ〕
下記一般式（式中、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４８】

アルゴン下のグローブバッグで、アルゴン注入口、カラム、機械的攪拌器及びストッパーを備えた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコに以下の試薬を加えた：５０ｍｌのＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中で、二塩化ニッケル（アルファ社の高品質０．２ｇ）、トリフェニルホスフィン（真空乾燥したもの１０．８ｇ）、２，２′−ビピリジン（真空乾燥したもの０．２７ｇ）、亜鉛（セラック社の高純度１４．４ｇ）及び４′−メチルベンゾイル−２，５−ジクロロベンゼン（実施例ＸＸＶＩＩで述べたように調製したもの２０ｇ）。混合物を７０〜８０℃のオイルバス設定温度で加熱した。２０分以内で反応混合物は赤褐色に変わり、時間と共により赤色になった。一定の速度で攪拌しながら８０℃で１６時間反応させた後、この混合物をメタノール及び塩酸に添加し、沈殿したポリマーを収集し、水で洗浄し、メタノールで洗浄した。収量は真空乾燥した淡黄色のポリマー１６．６ｇ（８３．０％）であり、ポリマーはゲル浸透クロマトグラフィーで決定されたＭｎ９，４６０、Ｍｐ２９，３１２、Ｍｗ３２，４８７及びＭｚ７８，０２４を有した。
【００９９】
〔実施例ＸＸＸＩ〕
下記一般式（式中、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４９】

アルゴン下のグローブバッグで、アルゴン注入口、カラム、機械的攪拌器及びストッパーを備えた５００ｍｌの三つ口丸底フラスコに以下の試薬を加えた：二塩化ニッケル（アルファ社の高品質０．２ｇ）、トリフェニルホスフィン（真空乾燥したもの１０．８ｇ）、２，２′−ビピリジン（真空乾燥したもの０．２７ｇ）、亜鉛（セラック社の高純度１５ｇ）及びＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（５０ｍｌ）。一時間後、６０ｍｌのＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中の４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン（実施例ＸＸＩＩＩで述べたように調製したもの２０ｇ）を攪拌しながら添加した。この混合物を７０〜８０℃のオイルバス設定温度で加熱した。２０分以内で反応混合物は赤褐色に変わり、時間と共により赤色になった。一定の速度で攪拌しながら８０℃で２０時間反応させた後、この混合物をメタノール及び塩酸に添加し、沈殿したポリマーを収集し、水で洗浄し、メタノールで洗浄した。収量は真空乾燥したポリマー１４．２ｇ（７１．０％）であり、ポリマーはゲル浸透クロマトグラフィーで決定されたＭｎ３，７３２、Ｍｐ７，１９９、Ｍｗ７，３００及びＭｚ１２，３３３を有した。
【０１００】
〔実施例ＸＸＸＩＩ〕
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１５０】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン（０．０３２５モル、８．６１２５ｇ、実施例ＸＸＩＩＩで記載したように調製する）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、０．０３５モル、７．９９ｇ）、炭酸カリウム（１０．７ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（６０ｍｌ）及びトルエン（６０ｍｌ、４９．１ｇ）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応生成物を濾過し、濾液をメタノールへ添加してポリマーを沈澱させた。湿ったポリマーケーキを濾過により分離し、水で洗浄し、次にメタノールで洗浄した後、真空乾燥させた。ポリマー（７．７０ｇ、収率４８％）をゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍｎ１，８９８、Ｍpeak２，１５４、Ｍｗ２，４７０、Ｍｚ３，２２０及びＭ_z+1 ４，０９５。
【０１０１】
〔実施例ＸＸＸＩＩＩ〕
次式のポリマー（ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）を４′−メチルベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼン出発物質の代わりに実施例ＸＸＩＶで記載したように調製した８．１６ｇ（０．０３２５モル）のベンゾイル−２，４−ジクロロベンゼンを使用し、オイルバスを１７０℃で２４時間加熱した点を除いて、実施例ＸＸＸＩＩの方法を繰り返して調製した。
【化１５１】

【０１０２】
〔実施例ＸＸＸＩＶ〕
アクリロイルメチル側基を有するポリマーを次のように調製する。実施例ＸＸＸＩＩに記載のように調製したポリマーを実施例ＩＩＩに記載のようにクロロメチル化し、次に実施例Ｖに記載のようにアクリロイル化する。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【０１０３】
〔実施例ＸＸＸＶ〕
実施例ＸＸＸＩＩＩに記載のように調製したポリマーを使用すること以外は、実施例ＸＸＸＩＶの方法を繰り返す。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【０１０４】
〔実施例ＸＸＸＶＩ〕
メチルカルボキシメチレン側基を有するポリマーを次のように調製する。実施例ＸＸＸＩＩに記載のように調製したポリマーを実施例ＩＩＩに記載のようにクロロメチル化し、次に実施例ＶＩに記載のようにメチルカルボキシメチレン基と置換する。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【０１０５】
〔実施例ＸＸＸＶＩＩ〕
実施例ＸＸＸＩＩＩに記載のように調製したポリマーを使用すること以外は、実施例ＸＸＸＶＩの方法を繰り返す。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【０１０６】
〔実施例ＸＸＸＶＩＩＩ〕
メトキシメチル側基を有するポリマーを次のように調製する。実施例ＸＸＸＩＩに記載のように調製したポリマーを実施例ＩＩＩに記載のようにクロロメチル化し、次に実施例ＶＩＩに記載のようにメトキシメチル化する。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【０１０７】
〔実施例ＸＸＸＩＸ〕
実施例ＸＸＸＩＩＩに記載のように調製したポリマーを使用すること以外は、実施例ＸＸＸＶＩＩＩの方法を繰り返す。同様の結果が得られるであろうと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】娘ボードに搭載され、液滴噴射ノズルを示すプリントヘッドの一例の拡大概要等角投影図である。
【図２】図１の２−２線に沿い、電極パッシベーション、及びマニホルドとインクチャネルとの間のインク流路を示す拡大断面図である。
【図３】図１の２−２線に沿うような、プリントヘッドの他の実施の形態の拡大断面図である。
【符号の説明】
１０ プリントヘッド
１８ 厚膜絶縁層

Claims (7)

1. ハロアルキル置換基を有するモノマー繰り返し単位と、感光性供与置換基を有するモノマー繰り返し単位とを含むポリマーを含む組成物であって、前記感光性供与置換基は前記ポリマーが化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にするものであり、前記ポリマーが以下の一般式のいずれかで表され、前記感光性供与置換基が不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基又はこれらの混合であるポリマー組成物。
   一般式
   

   

   又は
   

   

   （式中、ｘは０又は１の整数であり、Ｐは前記ポリマーに感光性を供与する官能基であって不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基、またはこれらの混合の中から選ばれ、ＲＸはハロゲン原子で置換された置換基であってアルキル基、置換アルキル基、アリールアルキル基および置換アリールアルキル基からなる群から選択される置換基であり、ａ、ｂ、ｃ、及びｄはそれぞれ０乃至４の整数であり、前記ポリマーはａ、ｂ、ｃ、及びｄの少なくとも１つが１以上であるモノマー繰り返し単位を含み、ｅ、ｆ、ｇ、及びｈはそれぞれ０乃至４の整数であり，前記ポリマーはｅ、ｆ、ｇ、及びｈの少なくとも１つが１以上であるモノマー繰り返し単位を含み、ａ＋ｅは４以下であり、ｂ＋ｆは４以下であり、ｃ＋ｇは４以下であり、ｄ＋ｈは４以下であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
   Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   

   

   

   以上の式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、
   ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である）。
2. 以下の一般式で表される架橋又は鎖延長ポリマーを含む組成物であって、前記ポリマーは架橋または鎖延長前において次の化学式のいずれかで表され、前記架橋又は鎖延長は、ポリマーのモノマー繰り返し単位に含まれると共にポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成するハロアルキル基と、ポリマーのモノマー繰り返し単位に含まれると共に化学線にさらされたときにポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成する感光性供与置換基とによって生じ、前記感光性供与置換基が不飽和エステル基であるポリマー組成物。
   

   

   又は
   

   

   （式中、ｘは０又は１の整数であり、Ｐは前記ポリマーに感光性を供与する官能基であって不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基、またはこれらの混合の中から選ばれ、ＲＸはハロゲン原子で置換された置換基であってアルキル基、置換アルキル基、アリールアルキル基および置換アリールアルキル基からなる群から選択される置換基であり、ａ、ｂ、ｃ、及びｄはそれぞれ０乃至４の整数であり、前記ポリマーはａ、ｂ、ｃ、及びｄの少なくとも１つが１以上であるモノマー繰り返し単位を含み、ｅ、ｆ、ｇ、及びｈはそれぞれ０乃至４の整数であり，前記ポリマーはｅ、ｆ、ｇ、及びｈの少なくとも１つが１以上であるモノマー繰り返し単位を含み、ａ＋ｅは４以下であり、ｂ＋ｆは４以下であり、ｃ＋ｇは４以下であり、ｄ＋ｈは４以下であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
   Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり
   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   

   

   

   

   式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である。）
3. 以下の一般式のいずれかで表されるポリマーの
   モノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基、及び、化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られるポリマーであって、前記感光性供与置換基は不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基又はこれらの混合であるポリマーと、光開始剤とを含むポリマー組成物。
   

   

   （式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
   Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり，
   

   

   

   

   

   

   

   

   以上の式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、
   ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である）。
4. インクジェット印刷ヘッドであって、
   前記インクジェット印刷ヘッドは
   （ｉ）後でインクチャネルとして使用するための一式の平行な溝と後でマニホルドとして使用するための凹部とを有する上部基板であって、前記溝は液滴放出ノズルとして機能するために一端が解放されている上部基板と
   （ｉｉ）一方の表面上に加熱素子と端子を有するアドレス電極とのアレイが形成された下部基板と
   （ｉｉｉ）前記下部基板表面、前記加熱素子、及び前記アドレス電極上に形成された層であって、前記層は前記加熱素子及び前記アドレス電極の端子を露出するような前記層をつき抜ける凹部を形成するようにパターン付けされている層と
   を有し、上部基板及び下部基板は互いに位置合わせされ、対になり、接合されて印刷ヘッドを形成し、
   前記上部基板上の前記グルーブは前記下部基板の前記加熱素子と位置合わせされて液滴放出ノズルを形成し、
   前記層は以下の一般式のいずれかで表されるポリマーのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基、及び、化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られる架橋または鎖延長ポリマーを含み、前記架橋又は鎖延長は、ポリマーのモノマー繰り返し単位に含まれると共にポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成するハロアルキル基と、ポリマーのモノマー繰り返し単位に含まれると共に化学線にさらされたときにポリマーにおいて架橋又は鎖延長を形成する感光性供与置換基とによって生じ、前記感光性供与置換基が不飽和エステル基であるインクジェット印刷ヘッド。
   

   

   （式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、
   Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   

   

   

   

   式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である。）
5. （ａ）以下の一般式のいずれかで表されるポリマーのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基、及び、化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られるポリマーであって、前記感光性供与基は不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基又はそれらの混合であるポリマーを含む組成物を提供するステップと、
   （ｂ）前記ポリマーを前記感光性供与基を介して架橋又は鎖延長させるステップであって、前記架橋や鎖延長は前記感光性供与基が架橋や鎖延長をポリマー中に形成するのに十分な温度にまで前記ポリマーを加熱することによって行われるステップと、
   を有するプロセス。
   

   

   （ｘは０又は１であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、Ａは下記式又はその混合であり、
   

   

   

   Ｂは下記式又はその混合であり、
   

   

   

   

   

   

   

   式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である。）
6. （ａ）以下の一般式のいずれかで表されるポリマーのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基、及び、化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られるポリマーであって、前記感光性供与基は不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基又はそれらの混合であるポリマーを含む組成物を提供するステップと、
   （ｂ）前記ポリマーを前記感光性供与基を介して架橋又は鎖延長させるステップであって、前記架橋や鎖延長は前記ポリマーを化学線によって露光することによって行われ、それにより露光された領域の前記ポリマーは架橋又は鎖延長されるステップと、
   を有するプロセス。
   

   

   （ｘは０又は１であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、Ａは下記式又はその混合であり、
   

   

   

   Ｂは下記式又はその混合であり、
   

   

   

   

   

   

   

   式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である。）
7. 不飽和エステル塩、アルコキシド塩、アルキルカルボン酸塩及びこれらの混合物からなる群から選択される物質とハロアルキル化芳香族ポリマーとを反応させ、これによって選択された塩に対応する官能基を有する光パターン形成可能なポリマーを形成するポリマーの製造方法であって、前記ポリマーが、以下の一般式のいずれかで表されるポリマーのモノマー繰り返し単位にハロアルキル置換基、及び、化学線にさらされたときに架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基をそれぞれ導入して得られるポリマーであって、前記感光性供与置換基は不飽和エステル基、エーテル基、アルキルカルボキシメチレン基またはこれらの混合である、ポリマーの製造方法。
   

   

   （式中、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数であり、Ａは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合であり、
   

   

   

   

   

   

   以上の式中、ｖは１〜２０の整数であり、ｚは２〜２０の整数であり、ｕは１〜２０の整数であり、ｗは１〜２０の整数である）。

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