JP4262315B2 - ポリマー組成物及びそのポリマーの製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水溶液で現像することができる硬化可能なポリマー材料に関する。更に詳細には、本発明は感光性供与置換基を有する高性能水系現像で硬化可能なポリマー、その調製プロセス、及びこれらの材料を含む改良されたホトレジスト及びサーマルインクジェット印刷ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロエレクトロニクスの応用では、層間の誘電層として、及びマイクロエレクトロニック回路要素を保護するパッシベーション層として使用するために、誘電率が低く、ガラス転移温度が高く、熱的に安定で光パターン形成可能なポリマーが非常に必要とされている。ポリイミドはこれらの必要性を満足させるために広く使用されるが、これらの材料は、水の収着が比較的高く、加水分解に不安定であるといった不利な特性を有する。従って、高解像度で有効に光パターン形成及び現像されることの可能な高性能ポリマーが必要とされる。
【０００３】
このような材料の１つの特定の用途として、インクジェット印刷ヘッドの製造がある。
【０００４】
本発明の光パターン形成可能なポリマーは、他のマイクロエレクトロニクス応用、プリント回路ボード、リソグラフィ印刷プロセス、層間誘電体等をはじめとする他のホトレジストの用途にも適する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
既知の組成物及びプロセスはその意図された目的には適しているが、マイクロエレクトロニクス応用に適する材料の改良は依然として必要とされている。また、インクジェット印刷ヘッドの改良も依然として必要とされている。更に、熱安定であり、電気的に絶縁性で、且つ機械的に強固であり、光によるパターン化（光パターン形成）可能なポリマー材料が必要とされている。更に、インク組成物で使用される可能性のある材料に関して化学的に不活性な光パターン形成可能なポリマー材料も必要である。また、マイクロエレクトロニックデバイスの製造プロセスの後硬化工程中での収縮が少ない光パターン形成可能なポリマー材料も必要とされている。更に、比較的長い貯蔵寿命を示す光パターン形成可能なポリマー材料に対する必要性も残されている。更には、比較的低い露光エネルギーでパターン化できる光パターン形成可能なポリマー材料が必要とされている。また更に、硬化された状態で良好な耐溶剤性を示す光パターン形成可能なポリマー材料も未だ必要とされている。また、スピンキャスティング技法によりマイクロエレクトロニックデバイスへ塗布され硬化された場合に、低いエッジビードを示すと共に、外観上リップ及びディプ（窪み及び突出部分）を示さない光パターン形成可能なポリマー材料も必要である。更に、高温における安定性及び比較形低い誘電率を示す光パターン形成可能なポリマー材料の必要性も残っている。更に、上記の利点を有し、水又は水系混合物で現像可能なホトレジストの必要性も残っている。更に、水系のリトグラフシステムでの使用に適したホトレジストの必要もある。更に、水の収着が低減された光パターン形成可能なポリマー材料が必要である。更に、特にアルカリ性溶液にさらした場合に改良された加水分解安定性を示す光パターン形成可能なポリマー材料が依然として必要である。高温、典型的には約１５０°Ｃより高い温度で安定な光パターン形成可能なポリマー材料もなお必要とされている。また、高いガラス転移温度を有するか、或いは露光の後に低温での相転移が起こらない程度に十分に架橋される光パターン形成可能ポリマー材料が必要である。更に、熱膨張率の低い光パターン形成可能なポリマー材料の必要が残されている。熱的に安定で、約３０ミクロン又はそれ以上の厚さの膜としてパターン化可能であり、露光前に低いＴ_g を示し、誘電率が低く、水の吸収が低く、膨張率が低く、所望の機械特性及び接着特性を有し、高温での応用を含む層間誘電体の応用に概ね望ましく、また光パターン形成可能であるポリマーが必要である。また、再現性の優れた処理特性を有するホトレジスト組成物も必要である。
【０００６】
本発明の目的は、上記の利点を有するポリマー材料を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のこれらの目的及び他の目的（又はその特定の実施例）は、水溶性又は水分散性供与置換基を有する少なくとも数個のモノマー繰り返し単位と、化学線によって露光されたときにポリマーの架橋又はポリマーの鎖の延長を可能にする感光性供与置換基を有する少なくとも幾つかのモノマー繰返し単位と、を含み、且つ以下の一般式を有するポリマーを含む組成物を提供することによって達成することができる。
【化５７】

式中ｘは０又は１の整数であり、ｎは繰返しモノマー単位の数を表す整数であり、Ａは以下の構造式又はこれらの混合物であり、
【化５８】

【化５９】

又、式中Ｂは以下の構造式又はこれらの混合物であり、
【化６０】

【化６１】

【化６２】

【化６３】

【化６４】

式中ｖは１〜約２０の整数であり、
【化６５】

式中ｚは２〜約２０の整数であり、
【化６６】

式中ｕは１〜約２０の整数であり、
【化６７】

【化６８】

式中ｗは１〜約２０の整数であり、
【化６９】

【化７０】

第一の態様において、１つの官能基はそのポリマーに感光性及び水溶性若しくは水分散性の両方を供与する。
【０００８】
本発明の第二の態様において、第一官能基がポリマーに感光性を供与し、第二官能基がポリマーに水溶性若しくは水分散性を供与する。
【０００９】
本発明の第三の態様は、（ａ）一方の表面上に加熱素子と端子を有するアドレス電極とのアレイが形成された下部基板上に、上記の構造式を有するポリマーを含む層を形成するステップを含み、前記ポリマーは加熱素子及びアドレス電極を有する表面上に形成され、（ｂ）露光された領域のポリマーが架橋されるか又は鎖が延長され、未露光領域のポリマーは架橋又は鎖延長されないように、前記層を画像状パターンに化学線によって露光するステップを含み、未露光領域は加熱素子及びアドレス電極の端子を有する下部基板の領域に対応し、（ｃ）未露光領域のポリマーを除去することによって前記層に凹部を形成するステップを含み、前記凹部は加熱素子及びアドレス電極の端子を露出させ、（ｄ）後でインクチャネルとして使用するための一式の平行な溝と後でマニホルドとして使用するための凹部とを有する上部基板を提供するステップを含み、前記溝は、液滴放出ノズルとして機能するために一端が解放されており、及び、（ｅ）上部基板及び下部基板を互いに位置合わせし、対にし、接合して、液滴放出ノズルを形成するために上部基板の溝が下部基板の加熱素子と位置合わせされた印刷ヘッドを形成し、これによりサーマルインクジェット印刷ヘッドを形成するステップを含むプロセスに関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明は、水系現像可能ホトレジスト応用に適した高性能光パターン形成可能ポリマーに関する。本発明の光パターン形成可能ポリマーは、以下の一般式を有する。
一般式
【化７１】

式中ｘは０又は１の整数であり、ｎは繰返しモノマー単位の数を表す整数であり、Ａは以下の構造式又はこれらの混合物であり、
【化７２】

【化７３】

Ｂは以下の構造式、他の類似のビスフェノール誘導体、又はこれらの混合物であり、
【化７４】

【化７５】

【化７６】

【化７７】

【化７８】

式中ｖは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化７９】

式中ｚは２〜約２０、好ましくは２〜約１０の整数であり、
【化８０】

式中ｕは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化８１】

【化８２】

式中ｗは１〜約２０、好ましくは１〜約１０の整数であり、
【化８３】

【化８４】

ｎの値は、材料の重量平均分子量が約１０００乃至約１０００００、好ましくは約１０００乃至約６５０００、より好ましくは約１０００乃至約４００００、更に好ましくは約３０００乃至約２５０００であるような値であるが、重量平均分子量はこれらの範囲外であってもよい。好ましくはｎは約２乃至約７０の整数であり、より好ましくは約５乃至約７０であり、更に好ましくは約８乃至約５０であるが、ｎの値はこれらの範囲外であってもよい。Ｂ基の酸素基に対してオルトの位置に２以上の置換基が存在すると置換が困難になるかもしれないが、フェニル基並びにＡ及び／又はＢ基は置換されていてもよい。置換基は、感光性供与官能基をポリマーに配置する前にポリマーに存在していてもよいし、感光性供与官能基の配置後にポリマーに導入してもよい。置換基を、感光性供与官能基の配置工程中にポリマーに配置してもよい。適切な置換基の例には、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状の置換アルキル基を含む置換アルキル基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有する置換アリーロキシ基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキロキシ基、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、及びアジド基等が含まれる（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。また、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリーロキシ基及び置換アリールアルキロキシ基上の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。これらの材料の製造方法は既知であり、例えば、P.M.ハーゲンロザーの「J. Macromol. Sci. Rev. Macromol. Chem., C19(1), 1-34 (1980) 」、P.M.ハーゲンロザー、B.J.イェンセン及びS.J.ヘブンズの「Polymer, 29, 358 (1988) 」、B.J.イェンセン及びP.M.ハーゲンロザーの「”高性能ポリマー”第１巻(No. 1) 31頁 (1989) ”ポリ（アリーレンエーテルケトン）の特性に対する分子量の影響”」、V.パーセク及びB.C.オーマンの「Makromol. Chem. 185, 2319 (1984)」、I.コロン及びG.T.カイアトコスキーの「”アリールポリクロリドのニッケルカップリングによる高分子量ポリマー”、J. of Polymer Science, Part A, Polymer Chemistry, 28, 367 (1990)」、M.ウエダ及びT.イトウの「Polymer J., 23(4), 297 (1991) 」、S.J.ヘブンズ及びP.M.ハーゲンロザーの「”エチニル末端ポリアリーレート：合成及びキャラクタリゼーション”、J. of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition, 22, 3011 (1984) 」、P.M.ハーゲンロザーの「”エチニル末端ポリスルホン：合成及びキャラクタリゼーション”、J. of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition, 20, 3131 (1982) 」、K.E.デュークス、M.D.ホーブス、A.S.ジーバラジャン、A.M.ベル、J.M.デディモン、R.W.リントン及びV.V.シアレスの「Macromolecules, 29, 3081 (1996) 」、G.ホーハム、G.テソロ及びJ.ショーの「Polym. Mater. Sci. Eng., 61, 369 (1989) 」、V.パーセク及びB.C.オーマンの「Makromol. Chem. 185, 617 (1984) 」、S.マツオ、N.ヤコウ、S.チノ、M.ミタニ及びS.タガミの「”新しい蛍光ポリ（アリーレンエーテル）の合成及びキャラクタリゼーション”、Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry, 32, 1071 (1994)」、マミオウノ、トシカズタカタ及びタケシエンドウの「”高溶解度及び熱安定性を有する新規なナフタレンベースのポリ（アリーレンエーテルケトン）の合成”、Macromolecules, 27, 3447(1994)」、F.W.メルセー、M.T.マッケンジー、G.メリノ及びM.M.フォーンの「”新しい芳香族ポリ（エーテルケトン）の合成及びキャラクタリゼーション”、J. of Applied Polymer Science, 56, 1397 (1995)」、H.C.ツァン、T.L.チェン、Y.G.ヤンの「中国特許第 CN85108751 号 (1991) 」、C.ウー、S.ボー、M.シディク、G.ヤン及びT.チェンの「”新規な熱可塑性樹脂の静的及びレーザ光散乱研究、１．フェノールフタレインポリ（アリールエーテルケトン）”、Macromolecules, 29, 2989 (1996) 」、M.ウエダ、Y.セイノ、Y.ハネダ、M.ヨネダ及びJ.I.スギヤマの「”芳香族ジクロリドのニッケル触媒カップリング重合によるt-ブチル置換ポリ（エーテルケトン）の合成”、Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry, 32, 675 (1994) 」、V.パーセク、P.L.リナルディ及びB.C.オーマンの「”反応機構：マクロマーからの櫛状ポリマー及びグラフトコポリマー、２．ポリ（2,6-ジメチル-1,4- フェニレンオキシド) のスチレンマクロマーの合成、キャラクタリゼーション及び単独重合”、Polymer Bulletin, 10, 397 (1983)」、「ポリマー合成のハンドブック、パートＡ、ハンス R. クリチェルドルフ編、マルセルデッカー社、ニューヨーク−バーゼル−ホンコン(1992)」、並びにC.R.ハリソン、P.ホッジ、J.ケンプ及びG.M.ペリーの「”架橋ポリスチレンへのカルボキシル基の導入”、Die Makromolekulare Chemie, 176, 267 (1975) 」に開示される。高性能ポリマーの更なる背景は、例えば、米国特許第２、８２２、３５１号、米国特許第３、０６５、２０５号、英国特許第１、０６０、５４６号、英国特許第９７１、２２７号、英国特許第１、０７８、２３４号、米国特許第４、１７５、１７５号、N.ヨウダ及びH.ヒラモトの「J.Macromol, Sci.-Chem., A21(13&14) pp.1641 (1984)(東レ工業株式会社、大津、日本) 」、B.シリオン及びL.ベルデットの「”ポリイミド及び他の高温ポリマー”、M.J.M.アバディ及びB.シリオンにより編集、エルゼビアサイエンス出版B.V. (アムステルダム 1991)」、Q.ジン、T.ヤマシタ及びK.ホリエの「”脂環式ジアミンを有するポリイミド、II、ベンゾフェノン型ポリイミドの水素引抜き及び光架橋反応”、J. of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry, 32, 503(1994) 」、「 Probimide^TM 300、製品公報、チバ−ガイギーマイクロエレクトロニクスケミカルズ、" 感光性ポリイミド系" 」、「高性能ポリマー及び複合体（J.I.クロシュビッツ（編）、ジョンウィリー＆サンズ（ニューヨーク1991））」並びにT.E.アトウッド、D.A.バール、T.A.キング、B.ニュートン及びB.J.ローズの「Polymer, 29, 358(1988)」に開示される。放射線硬化についての更なる情報は、例えば、「放射線硬化: サイエンス及びテクノロジ（S.ピータパッパス編、プレナム出版、ニューヨーク、1992）」に開示される。
【００１１】
光パターン形成可能ポリマーが感熱式インクジェットプリントヘッドの層として使用される用途に対して、光官能化ポリマーは好ましくは約３０００〜約２００００ドルトンの重量平均分子量を有し、さらに好ましくは約３０００〜約１００００ドルトンの数平均分子量を有し、さらにより好ましくは約５０００〜約８０００の数平均分子量を有するが、分子量はこれらの範囲外でもよい。
【００１２】
ポリマーは、以下のように１つ以上の箇所でハロアルキル化される。
【化８５】

その結果得られる物質は以下の一般式を有する。
【化８６】

式中Ｒは飽和及び不飽和両方の直鎖、分岐、及び環状のアルキル基であり、好ましくは１〜１１個、より好ましくは１〜５個、更に好ましくは１〜３個、最も好ましくは１個の炭素原子を有するアルキル基、置換アルキル基、アリールアルキル基、好ましくは７〜約２９個の、より好ましくは７〜約１７個の、更に好ましくは７〜約１３個の、最も好ましくは７〜９個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は置換アリールアルキル基であり、Ｘは、フッ素、塩素、臭素、若しくはよう素等のハロゲン原子であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうち少なくとも１つはそのポリマー中の少なくとも数個のモノマー繰り返し単位において１又はそれ以上である場合は、ａ、ｂ、ｃ及びｄはそれぞれ０、１、２、３若しくは４の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。置換アルキル、アリール、及びアラルキル基の適切な置換基の例は、飽和、不飽和、直鎖、分岐、及び環状アルキル基を含む好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルキル基、置換アルキル基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルキル基、アリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、アリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、置換アリールアルキル基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、アルコキシ基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、置換アルコキシ基、好ましくは１〜約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、アリールオキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有するアリールオキシ基、置換アリールオキシ基、好ましくは６〜約２４個の炭素原子を有する置換アリールオキシ基、アリールアルコキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有するアリールアルキルオキシ基、置換アリールアルキルオキシ基、好ましくは７〜約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキルオキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、サルフェート基、スルホネート基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、ホスフェート基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基等を含み（しかしこれらに限定されないが）、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリールオキシ基、及び置換アリールアルキルオキシ基の置換基はヒドロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、サルフェート基、スルホネート基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、ホスフェート基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基等、及びこれらの混合物等であってもよく（しかしこれらに限定されない）、２又はそれ以上の置換基が共に結合して１つの環を形成することができる。置換基はしばしばＢ基に入りがちであり、あらゆる所与のモノマー繰り返し単位は０個のハロアルキル置換基、１個のハロアルキル置換基、又は２又はそれ以上のハロアルキル置換基を有してもよいが、置換は一般にランダムに起こる。
【００１３】
置換されるポリマーのハロアルキル化は、あらゆる適切な又は望ましいプロセスによって行うことができる。例えば、ポリマーの適当なハロアルキル化プロセスは、一般にルイス酸触媒の存在下で、ポリマーをホルムアルデヒド及びハロゲン化水素酸（hydrohalic acid ）、ビスハロメチルエーテル、ハロメチルメチルエーテル、オクチルハロメチルエーテル等と反応させることを含む。ポリマー上のメチル基の臭素化は、例えば過酸化物開始材又は光によって開始されるフリーラジカル反応を介しての、臭素元素で行うこともできる。ハロゲン原子は、例えば適当なハロゲン化水素酸又はハロゲン化物塩との反応によってハロメチル基上に既にある他のハロゲンと置換することができる。また、ポリマーのハロメチル化方法は、例えば「オキシ−１，４−フェニレン骨格を含む縮合ポリマーのクロロメチル化」（”Chloromethylation of Condensation Polymers Containing an oxy-1, 4-phenylene Backbone," W.H. Daly et al., Polymer Preprints, Vol. 20, No. 1,835(1979)）に開示されている。
【００１４】
ポリマーのハロアルキル化は、次の一般式で表されるようなハロゲン含有ルイス酸触媒の存在下、塩化アセチル等のハロゲン化アセチル及びジメトキシメタンとポリマーを反応させることによって行われる。
【化８７】

式中、ｎは１、２、３、４又は５の整数であり、Ｍはホウ素原子、又はスズ、アルミニウム、亜鉛、アンチモン、鉄（III ）、ガリウム、インジウム、ヒ素、水銀、銅、白金、パラジウム等の金属原子である。Ｘはフッ素、塩素、臭素又はヨウ素のようなハロゲン原子を示す。特定の例には、ＳｎＣｌ₄ 、ＡｌＣｌ₃ 、ＺｎＣｌ₂ 、ＡｌＢｒ₃ 、ＢＦ₃ 、ＳｂＦ₅ 、ＦｅＩ₃ 、ＧａＢｒ₃ 、ＩｎＣｌ₃ 、ＡｓＩ₅ 、ＨｇＢｒ₂ 、ＣｕＣｌ、ＰｄＣｌ₂ 、ＰｔＢｒ₂ 等が含まれる。ハロアルキル化ポリマーの架橋を避けるために注意が払われなければならない。典型的には、反応物は、ハロゲン化アセチル約３５．３重量部、ジメトキシメタン約３７重量部、メタノール約１．２重量部、ルイス酸触媒約０．３重量部、１、１、２、２−テトラクロロエタン約４４６重量部、及びポリマー約１０乃至２０重量部という相対量で存在する。１、１、２、２−テトラクロロエタンは適切な反応溶媒である。ジクロロメタンは沸点が低く、従って、適切な加圧装置が使用されない限りこの溶媒中では反応は遅い。
【００１５】
一般的な反応機構は次の通りである。
【化８８】

又は、
【化８９】

ここで、Ｒ′及びＲ″はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至約１１個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約１１個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約１１個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約１１個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約１１個の炭素原子を有するアリールアルキル基、及び好ましくは７乃至約１１個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基等である（が、これに限定はされない）。置換されたアルキル、アリール、およびアリールアルキル基に対する適切な置換基は先に記載したとおりである。置換基はＢ基に対して、特にＢ基に対してオルト位置に選択性を示すことが多いが、置換は一般的にランダムであり、与えられた任意のモノマー繰返し単位はクロロメチル置換基を全く有さないか、１つのクロロメチル置換基を有するか、あるいは２以上のクロロメチル置換基を有する。最も一般的には、各モノマー繰り返し単位はクロロメチル置換基を全く有さないか、１つのクロロメチル置換基を有する。
【００１６】
典型的な反応温度は約６０乃至約１２０℃であり、好ましくは約８０乃至約１１０℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１乃至約１０時間であり、好ましくは約２乃至約４時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。反応時間が長くなると、一般的に、ハロアルキル化の度合いが高くなる。感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基で置換されたポリマーの合成で中間物質としてハロアルキル化ポリマーが使用される場合、ハロアルキル化度が高くなると、一般的に置換度を高くでき、これにより、ポリマーの感光性を大きくすることが可能である。用途が異なる場合にはハロアルキル化度が異なることが好ましい。感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基で置換されたポリマーの合成で材料が中間体として使用される場合、置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギーが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能なポリマーがサーマルインクジェット印刷ヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりの感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基の平均数）は、好ましくは約０．５乃至約１．２であり、更に好ましくは約０．７乃至約０．８であるが、置換度はインクジェット印刷ヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。この置換量は、樹脂グラム当たり約０．８〜約１．３ミリ当量の感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基に対応する。ハロアルキルが感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基によって置換される場合、ハロアルキル化の程度は約０．２５〜約２であり、置換反応の速度を早めたい場合はこのハロアルキル化の程度は約１〜約２が好ましく、約１．５〜約２がより好ましいが、ハロアルキル化の程度はこれらの範囲外でもあり得る。
【００１７】
本発明の光パターン形成可能ポリマーはそのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個中に、化学線によって露光したときにポリマーの架橋又は鎖延長を可能にする感光性供与置換基及び水溶性若しくは水分散性供与置換基を含む。架橋又は鎖延長を活性化する放射線は、可視光、赤外線、紫外線、Ｘ線等を含む（がこれらに限定されない）あらゆる所望の光源及びあらゆる所望の波長であってもよい。
【００１８】
ハロアルキル化ポリマーは、ハロアルキル化ポリマーと典型的には次の一般式で表される不飽和アミン、ホスフィン又はアルコールとを反応させることによってによって、感光性供与基、水溶性若しくは水分散性向上基によって置換される。
一般式
【化９０】

ここでＸは以下のものである。
【化９１】

また、Ｙは窒素原子又はリン原子である。Ｒ₁ 及びＲ₂ はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基である（が、これに限定はされない）。ここで、Ｒ₁ 及びＲ₂ は結合して環を形成することができる。Ｒ₃ は、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基である（が、これに限定はされない）。Ｒ₄ 、Ｒ₅ 及びＲ₆ はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基であり、最も好ましいのは水素原子である。ここで、Ｒ₄ 、Ｒ₅ 及びＲ₆ のうちの２以上が互いに結合して環を形成することができる。Ｒ₇ 及びＲ₈ はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじとするアルキル基、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約８個の炭素原子、最も好ましくは１若しくは２個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、最も好ましくは６個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１９個の炭素原子、最も好ましくは７乃至約１４個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基である（が、これに限定はされない）。置換アルキル基、置換アリール基及び置換アリールアルキル基の適切な置換基の例は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。あるいは、Ｒ₃ 及びＸの組合せは、次式の基であってもよい。
−〔（ＣＲＲ′）_x Ｏ〕_y
ここで、ｘは１乃至約６、好ましくは１乃至約３の整数であり、ｙは１乃至約５０、好ましくは１乃至約２０の整数である。Ｒ及びＲ′はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至２個の炭素原子を有するアルキル基等である（が、これに限定はされない）。これらの式の適切な反応物の例には、メタクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチル、アクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチル、及び次式の化合物等が含まれる。
【化９２】

ここで、ＲはＨ又はＣＨ₃ であり、ｎは１乃至約５０の整数である。反応に適切な溶媒の例には、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド等の極性の非プロトン性溶媒が含まれる。典型的には、反応物は、ハロアルキル化ポリマー約１０重量部、溶媒約２３重量部、及び不飽和アミン、ホスフィン又はアルコール約０．１乃至約５．５重量部という互いに関する相対量で存在する。
【００１９】
（メタクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチルとの反応について説明しているが）不飽和アンモニウム又はホスホニウム基をポリマーに配置するための一般的な反応機構は、次の通りである。
【化９３】

又は、より一般的には、
【化９４】

【化９５】

ここで、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において少なくとも１である。ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。
【００２０】
不飽和エーテル基は、対応する不飽和アルコールの塩をハロアルキル化ポリマーと反応させることによってポリマーに導入することができる。不飽和エーテル基をポリマーに導入するための一般的反応過程は以下の通りである（以下に特定の不飽和アルコール及びクロロメチル化ポリマーで表している）。
【化９６】

【化９７】

式中ｉ＋ｅの和が４以下、ｊ＋ｆの和が４以下、ｋ＋ｇの和が４以下、及びｍ＋ｈの和が４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうち少なくとも１つはそのポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個において１又はそれ以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈの少なくとも１つはそのポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個において少なくとも１に等しい場合は、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であり、ｘは１〜約５０の整数、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数である。
【００２１】
ハロアルキル基のうちのいくつか又は全ては、感光性供与、水溶性向上又は水分散性向上の置換基で置き換えることができる。反応時間が長くなると、一般的に、感光性供与、水溶性向上（又は水分散性向上）置換基によるハロアルキル基の置換度が大きくなる。
【００２２】
典型的な反応温度は、約０乃至約４０℃であり、好ましくは約１０乃至約２５℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１乃至約１６時間であり、好ましくは約１乃至約４時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。
【００２３】
他の実施の形態において、上記の構造式を有するポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個は２つの異なる官能基で置換される。この２つのうち一方はポリマーに感光性を供与し、もう一方はポリマーに水溶性又は水分散性を供与する。感光性供与置換基は、化学線を用いて露光したときにポリマーの架橋又は鎖延長を可能にする。架橋又は鎖延長を活性化する放射線は、可視光、赤外線、紫外線、電子ビーム放射、Ｘ線放射等を含む（がこれらに限定されない）あらゆる所望の光源及びあらゆる所望の波長であってもよい。適切な感光性供与基の例は、アクリロイル基、メタクリロイル基、シンナモイル基、クロトノイル基、エタクリロイル基、オレイル基、リノレオイル基、マレオイル基、フマロイル基、イタコノイル基、シトラコノイル基、フェニルマレオイル基、３−ヘキセン−１，６−ジカルボン酸のエステル等を含む不飽和エステル基を含有する。また、アルキルカルボキシメチレン及びエーテル基も適切である。電子ビーム、遠紫外、又はＸ線を用いる画像形成等のある一定の条件下において、ハロメチル基もまた光活性である。エポキシ基、アリールエーテル基、ヒドロキシアルキル基、及び不飽和アンモニウム、ホスホニウム、及びエーテル基もまた適切な光活性基である。
【００２４】
これらの基を含む光パターン形成可能ポリマーは、あらゆる適切な又は望ましいプロセスによって調製することができる。例えば、ポリマー主鎖はこのポリマーの主鎖の誘導体化を簡単にする置換基によって官能化することができる。この置換基には例えばヒドロキシ基、カルボキシル基、クロロメチル基等のハロアルキル基、ヒドロキシメチル基等のヒドロキシアルキル基、アルコキシメチル基、アルキルカルボキシメチレン基等が含まれる。
【００２５】
上記の一般式を含むポリマーは、まずハロアルキル化誘導体を調製し、次にハロアルキル基の少なくとも数個を不飽和エステル基で置換することによって、不飽和エステル基等の感光性供与基で置換することができる。例えば、ハロアルキル化ポリマーを不飽和エステル塩と溶液中で反応させることによって、ハロアルキル化ポリマーを不飽和エステル基で置換することができる。適切な反応物の例には、アクリル酸、メタクリル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、エタクリル酸、オレイン酸、リノール酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、フェニルマレイン酸、及び３−ヘキセン−１、６−ジカルボン酸等のエステル塩のような、適切な不飽和エステルと、周期表のＩＡ族、IIＢ族、 IIIＢ族、ＩＶＢ族、ＶＢ族、ＶＩＢ族、ＶIIＢ族、ＶIII Ｂ族、ＩＢ族、IIＢ族、 IIIＡ族、及びＩＶＡ等との選択された塩が含まれ、特定の例には、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル及びケイ皮酸エステル等のナトリウム、カリウム、第４級アンモニウム及びホスホニウム等の塩が含まれる。反応に適する溶媒の例には、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド等の極性の非プロトン性溶媒が含まれる。典型的には、反応物は、ハロアルキル化ポリマー約１０部、溶媒約６６．５部、及び不飽和エステル塩約５．７部という互いに関する相対量（重量による）で存在する。
【００２６】
（クロロメチル化ポリマーのアクリロイル化として説明しているが）一般的な反応機構は次の通りである。
【化９８】

ここで、Ｘはナトリウム又はカリウム等の適切なカチオンである。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上である。ｎは、モノマー繰返し単位の数を示す整数である。メタクリル酸エステル塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化９９】

【００２７】
また、対応するアルキルカルボン酸エステル又はアルコキシド塩が反応物として使用される点を除いて、不飽和エステル基をハロアルキル化ポリマー上に配置するために使用される方法と類似の方法によって、エーテル基及びアルキルカルボキシメチレン基をハロアルキル化ポリマー上に配置することができる。アルコキシド塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１００】

適切なエーテル基には、Ｒが好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、より好ましくは１乃至約１５個の炭素原子、また最も好ましくは１個の炭素原子を有するアルキル基であるものが含まれる。アルキルカルボン酸エステル塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１０１】

ここで、Ｒは、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有するアルキル基（飽和、不飽和及び環状アルキル基を含む）、置換アルキル基、好ましくは６乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは６乃至約１８個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、好ましくは７乃至約３５個の炭素原子、更に好ましくは７乃至約１５個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は置換アリールアルキル基である。ここで、置換アルキル、置換アリール及び置換アリールアルキル基の置換基は、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基等でよい（が、これらに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。
【００２８】
ハロアルキル化度が高くなると、一般的に、不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン基による置換度を高くすることができ、これにより、ポリマーの感光性を大きくすることが可能である。用途が異なる場合には、不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン基による置換度は異なることが望ましい。置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に、不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギーが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能なポリマーがサーマルインクジェット印刷ヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりの不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン基の平均数）は、好ましくは約０．５乃至約１．２であり、更に好ましくは約０．６５乃至約０．８であるが、置換度はインクジェット印刷ヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。不飽和エステル基による置換の最適量は、樹脂１グラム当たり約０．８乃至約１．３ミリ当量の不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン基である。
【００２９】
ハロアルキル基のうちのいくつか又は全ては、不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン置換基で置き換えることができる。反応時間が長くなると、一般的に、不飽和エステル、エーテル又はアルキルカルボキシメチレン置換基によるハロアルキル基の置換度が大きくなる。
【００３０】
典型的な反応温度は約２０乃至約３５℃であり、好ましくは約２５℃であるが、温度はこの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約３０分乃至約１５日であり、好ましくは約２時間乃至約２日であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。反応時間は、アドゲン（Adogen）４６４（アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、又はアシュランドオイル社から入手できる）、又は長鎖の第４級アンモニウムクロリド塩等の触媒の使用により短縮することができる。アドゲン４６４は樹脂固体に関して約０．４重量パーセントで使用され、この触媒は、結果的に、反応速度を２倍にする。アドゲン４６４は、水及びメタノールで数回洗浄した後でも生成物から除去するのが困難なことがある。従って、この触媒は、濁ったホトレジスト溶液をもたらすことがある。反応は、０．４重量パーセントの水の添加により僅かに促進され、同量のメタノールの添加により抑制される。
【００３１】
ハロアルキル化ポリマーは、まずハロアルキル化ポリマーをアリルアルコール塩等の不飽和アルコール塩と溶液中で反応させることによって、アリルエーテル置換又はエポキシ化できる。適切な不飽和アルコール塩及びアリルアルコール塩の例には、ナトリウム２−アリルフェノラート、ナトリウム４−アリルフェノラート、ナトリウムアリルアルコラート、並びにリチウム、カリウム、セシウム、ルビジウム、アンモニウム、第４級アルキルアンモニウム化合物の対応の塩が含まれる。不飽和アルコール塩は、アルコールと水素化ナトリウムや水酸化ナトリウム等の塩基との反応により生じる。塩は約２５℃と約１００℃の間で、ハロアルキル基のハロゲン化物を置換する。反応に適する溶媒の例には、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド、及びテトラヒドロフラン等の極性の非プロトン性溶媒が含まれる。典型的には、反応物は、置換されるべきハロアルキル基につき不飽和アルコール塩約１乃至約５０モル当量という互いに関する相対量で存在するが、相対量はこの範囲外であってもよい。典型的には、反応物は、溶液中に固形分約５乃至約５０重量パーセント、好ましくは固形分約１０重量パーセントの量で存在するが、相対量はこの範囲外であってもよい。
【００３２】
典型的な反応温度は約２５乃至約１００℃であり、好ましくは約２５乃至約５０℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約４乃至約２４時間であり、好ましくは約１６時間であるが、時間はこの範囲外であってもよい。
【００３３】
（クロロメチル化ポリマー及びアリルアルコラート塩を用いて説明しているが）一般的な反応機構は次の通りである。
【化１０２】

ここで、Ｘはナトリウム又はカリウム等の適切なカチオンである。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において少なくとも１である。ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。２−アリルフェノラート塩との対応の反応では、反応は、次の点を除いて前述のように進行する。
【化１０３】

【００３４】
アリルエーテル置換ポリマーは光誘導硬化反応に適する。あるいは、アリルエーテル置換ポリマー（又は不飽和エーテル置換ポリマー）は、エポキシ化ポリマーの合成で中間体として使用できる。このアリルエーテル又は不飽和エーテル置換された中間生成物を、その後、過酸化水素、ｍ−クロロペルオキシ安息香酸、及び過酸化アセチル等の過酸化物やその混合物と反応させて、エポキシ化ポリアリーレンエーテルを生成する。典型的には、反応物は、過酸化物とエポキシド基へ転換されることが所望される不飽和基の数とがほぼ同等のモル量から、過酸化物が１０乃至１００モルパーセント過剰という、互いに関する相対量で存在する。反応は、架橋を防止するために、固形分約１重量パーセント以下の希薄溶液中で生じるのが好ましい。
【００３５】
（アリルアルコラート置換基を用いて説明しているが）一般的な反応機構は次の通りである。
【化１０４】

ここで、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｐ、ｑ、ｒ及びｓはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ａ＋ｅ＋ｐの和は４以下であり、ｂ＋ｆ＋ｑの和は４以下であり、ｃ＋ｇ＋ｒの和は４以下であり、ｄ＋ｈ＋ｓの和は４以下であり、ｐ、ｑ、ｒ及びｓのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。
【００３６】
ハロアルキル基のうちのいくつか又は全ては、アリルエーテル又はエポキシ置換基で置き換えることができる。反応時間が長くなると、一般的に、アリルエーテル又はエポキシ置換基によるハロアルキル基の置換度が大きくなる。１つの好ましい実施の形態では、ハロアルキル基の幾つかはポリマー上に残存する（即ち、ａ、ｂ、ｃ又はｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において、少なくとも１である）。この実施の形態では、所望されるなら、ハロアルキル基を例えば不飽和エステル基などへ転換させるためにポリマーを更に反応させてもよい。
【００３７】
不飽和エーテル基をエポキシ基へ転換させるための典型的な反応温度は、約０乃至約５０℃であり、好ましくは約０乃至約２５℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１乃至約２４時間であり、好ましくは約４乃至約１６時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。この反応のための典型的な溶媒には、塩化メチレン、クロロホルム、及び四塩化炭素等がある。
【００３８】
また、エポキシ化ポリマーは、相転移条件下で、（不飽和アルコール塩又はエポキシ基含有アルコール塩に対して）水素化ナトリウム、水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、又は第４級アルキルアンモニウム塩等の過剰モルの塩基の存在下、ハロアルキル化ポリマーと、グリシドラート塩等のエポキシ基含有アルコール塩や上記で説明したような不飽和アルコール塩と、の反応によっても調製することができる。適切なグリシドラート塩の例には、ナトリウムグリシドラートが含まれる。典型的には、反応物は、アルコールとエポキシド基への転換が所望される不飽和基の数とがほぼ同等のモル量という互いに関する相対量で存在する。典型的には、反応物は固形分約１乃至約１０重量パーセントの量で溶液中に存在するが、他の濃度が使用されてもよい。水酸化ナトリウム及び炭酸カリウム等の塩基との反応は、典型的には、約２５乃至約１００℃で起こる。グリシドール又は不飽和アルコールと水素化ナトリウムの反応は、一般に氷浴温度で生じる。典型的な反応時間は約１６時間であるが、他の時間が用いられてもよい。適切な溶媒の例には、ジメチルアセトアミド、テトラヒドロフラン、及びその混合物等が含まれる。
【００３９】
一般的な反応機構は次の通りである。
【化１０５】

【００４０】
また、不飽和又はアリルエーテル基を、グリニャール反応やウィッティヒ反応等の他の方法によって、ハロアルキル化ポリマー上に配置することもできる。
【００４１】
上記の式のポリマーのヒドロキシメチル化は、ホルムアルデヒド又はパラホルムアルデヒドと水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等の塩基とを溶液中でポリマーと反応させることによって達成することができる。ポリマーを、１、１、２、２−テトラクロロエタン等の適切な溶媒に溶解し、ホルムアルデヒド又はパラホルムアルデヒドと反応させる。反応に適する溶媒の例には、１、１、２、２−テトラクロロエタン及び塩化メチレン（適切な加圧反応器が使用されれば）が含まれる。典型的には、反応物は、パラホルムアルデヒド約４４．５重量部又はホルムアルデヒド３７重量部、塩基約１重量部、１、１、２、２−テトラクロロエタン約２００重量部、及びポリマー約１００重量部という相対量で存在する。
【００４２】
一般的な反応機構は次の通りである。
【化１０６】

ここで、ａ、ｂ、ｃ及びｄはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上である。ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。置換基はＢ基に対して選択性を示し、またＢ基の酸素のオルトの位置に対して特別の選択性を示すことが多いが、置換は一般的にランダムであり、与えられた任意のモノマー繰返し単位はヒドロキシメチル置換基を全く有さないか、１つのヒドロキシメチル置換基を有するか、あるいは２以上のヒドロキシメチル置換基を有する。最も一般的には、各芳香環は、ヒドロキシメチル基を全く有さないか、１つのヒドロキシメチル基を有するかのいずれかであろう。
【００４３】
典型的な反応温度は約５０乃至約１２５℃であり、好ましくは約８５乃至約１１０℃であるが、温度はこれらの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約４乃至約２４時間であり、好ましくは約４乃至約６時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。反応時間が長くなると、一般的に、ヒドロキシメチル化の度合いが高くなる。用途が異なる場合にはヒドロキシメチル化度が異なることが好ましい。置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギーが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能なポリマーがサーマルインクジェット印刷ヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりのヒドロキシメチル基の平均数）は、好ましくは約０．２５乃至約２．０であり、更に好ましくは約０．５乃至約０．８であるが、置換度はインクジェット印刷ヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。この置換量は、樹脂１グラム当たり約０．８乃至約１．３ミリ当量のヒドロキシメチルに相当する。
【００４４】
また、上記の式のポリマーは、まずハロアルキル化誘導体を調製した後、少なくともいくつかのハロアルキル基をヒドロキシアルキル基で置き換えることによって、ヒドロキシアルキル化できる。例えば、ハロアルキル化ポリマーは、ハロアルキル化ポリマーのアルカリ加水分解によりヒドロキシアルキル化できる。水酸基はポリマーのハロアルキル基のハライド原子に取って代わる。従って、ハロアルキル基の炭素原子の数は、一般的に、ヒドロキシアルキル基の炭素原子の数と一致する。適切な反応物の例には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウムのような水酸化テトラアルキルアンモニウム等が含まれる。反応に適する溶媒の例には、１、１、２、２−テトラクロロエタン、塩化メチレン及び水が含まれる。典型的には、反応物は、ハロアルキル化ポリマー約１３．８重量部、溶媒約５０重量部、及び塩基（水に２３部の水酸化テトラブチルアンモニウムを含む）約３０．６重量部という互いに関する相対量で存在する。透明溶液が得られた後、３０ミリリットルの水酸化ナトリウム（５０％水溶液）を添加する。約２５℃で１６時間後、有機層を水洗し、硫酸マグネシウムで乾燥させ、メタノール（１ガロン）に注いでポリマーを沈殿させる。
【００４５】
（クロロメチル化ポリマーについて説明しているが）一般的な反応機構は次の通りである。
【化１０７】

ここで、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において１以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは、ポリマーの少なくともいくつかのモノマー繰返し単位において少なくとも１である。ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数である。
【００４６】
ハロアルキル化度が高くなると、一般的に、ヒドロキシアルキル基による置換度が高くなり、これにより、ポリマーの感光性を大きくすることが可能である。用途が異なる場合には置換度が異なることが好ましい。置換度が高すぎると感度が過剰になり、その結果、材料が化学線に像様にさらされたときに、露光及び未露光のポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される。これに反して置換度が低すぎると、結果的に不必要に長い露光時間又は不必要に高い露光エネルギーが必要とされるので望ましくないであろう。光パターン形成可能なポリマーがサーマルインクジェット印刷ヘッドの層として使用される用途では、置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりのヒドロキシアルキル基の平均数）は、好ましくは約０．２５乃至約２．０であり、更に好ましくは約０．５乃至約０．８であるが、置換度はインクジェット印刷ヘッド用途のためのこれらの範囲から外れてもよい。置換の最適量は、樹脂１グラム当たり約０．８乃至約１．３ミリ当量のヒドロキシアルキル基である。
【００４７】
ハロアルキル基のうちのいくつか又は全ては、ヒドロキシアルキル置換基で置き換えることができる。反応時間が長くなると、一般的に、ヒドロキシアルキル置換基によるハロアルキル基の置換度が大きくなる。
【００４８】
典型的な反応時間は約２５乃至約１２０℃であり、好ましくは約２５乃至約５０℃であるが、温度はこの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１乃至約２４時間であり、好ましくは約１０乃至約１６時間であるが、時間はこれらの範囲外であってもよい。
【００４９】
本発明のこの実施の形態において、ポリマーはそのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個に、水又は水含有混合物を用いてこのポリマーを含む画像状に露光されたホトレジストの現像を可能にする水溶性強化基も有している。どちらかの置換基がまずポリマー上に配置され、次に他の置換基を配置する反応が行われる。いくつかの例では、まず不飽和エステル基等の感光性供与基を配置することが好まれる。何故なら、次に行われる感光性供与基の置換度の測定は、水溶性供与基又は水分散性供与基等の他の置換基が存在しないほうが容易だからである。適切な水溶性向上基又は水分散性向上基でポリマーを置換するためにポリマーと反応させる反応物の例には、第３級アミン、第３級ホスフィン、アルキルチオエーテルが含まれる。第３級アミンは次式
【化１０８】

で表され、次式
【化１０９】

で表される第４級アンモニウム基をポリマーに付加する。ここで、Ｒ₁ 、Ｒ₂ 及びＲ₃ はそれぞれ独立して、典型的には１乃至約３０個の炭素原子を有するアルキル基、置換アルキル基、典型的には６乃至約１８個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、典型的には７乃至約１９個の炭素原子を有するアリールアルキル基、及び置換アリールアルキル基である（が、これに限定はされない）。Ｘはフッ素、塩素、臭素、又はヨウ素等のハロゲン原子を示す。第３級ホスフィンは次式
【化１１０】

で表され、次式
【化１１１】

で表される第４級ホスホニウム基をポリマーに付加する。ここで、Ｒ₁ 、Ｒ₂ 及びＲ₃ はそれぞれ独立して、典型的には１乃至約３０個の炭素原子を有するアルキル基、置換アルキル基、典型的には６乃至約１８個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、典型的には７乃至約１９個の炭素原子を有するアリールアルキル基、及び置換アリールアルキル基である（が、これに限定はされない）。Ｘはフッ素、塩素、臭素、又はヨウ素等のハロゲン原子を示す。アルキルチオエーテルは次式
【化１１２】

で表され、次式
【化１１３】

で表されるスルホニウム基をポリマーに付加する。ここで、Ｒ₁ 及びＲ₂ はそれぞれ独立して、典型的には１乃至約６個の炭素原子、好ましくは１個の炭素原子を有するアルキル基及び置換アルキル基である（が、これに限定はされない）。Ｘはフッ素、塩素、臭素、又はヨウ素等のハロゲン原子を示す。ここで、置換アルキル、置換アリール及び置換アリールアルキル基の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。
【００５０】
これらの水溶性供与置換基又は水分散性供与置換基は、任意の適切な又は所望される方法でポリマー上に配置することができる。例えば、２当量の求核試薬（アミン、ホスフィン又はチオエーテル）を、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド等の極性の非プロトン性溶媒中で、１当量のハロアルキル化ポリマーと２５℃で反応させる。反応物は固形分約３０重量パーセントの濃度で溶媒中に存在する。反応時間は典型的には約１乃至約２４時間であり、２時間が典型的である。
【００５１】
あるいは、水溶性供与基又は水分散性供与基は、次式の基のように非イオン性であってもよい。
−〔（ＣＲＲ′）_x Ｏ〕_y Ｒ″
ここで、ｘは１乃至約６、好ましくは１乃至約３の整数であり、ｙは１乃至約５０、好ましくは１乃至約２０の整数である。Ｒ、Ｒ′及びＲ″はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至２個の炭素原子を有するアルキル基、置換アルキル基、好ましくは６乃至約１２個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、好ましくは７乃至約１３個の炭素原子を有するアリールアルキル基、及び置換アリールアルキル基等である（が、これに限定はされない）。ここで、置換アルキル、置換アリール及び置換アリールアルキル基の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。この式の置換基は、例えば、約８０℃で約１６時間、少なくとも約２当量の水酸化ナトリウム又は少なくとも約１当量の水素化ナトリウム等の塩基の存在下、テトラヒドロフラン、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリジノン、ジメチルホルムアミド等の極性の非プロトン性溶媒中で、約２乃至約１０ミリ当量の−〔（ＣＲＲ′）_x Ｏ〕_y Ｒ″基の塩（アルカリ金属塩等）を１当量のハロアルキル化ポリマーと反応させることによってポリマー上に配置できる。ポリエーテル鎖が長くなると、ポリマーに供与される親水性特性が大きくなる傾向がある。ポリエーテル鎖を有するポリ（塩化ビニルベンジルクロリド）ポリマーの置換は、例えば、特開昭５３−７９８３３号及びケミカルアブストラクト、８９、１８０６０３（１９７８）に更に詳細に開示されている。
【００５２】
ハロアルキル化度が高くなると、一般的に、水溶性供与基又は水分散性供与基による置換度を高くすることが可能である。用途が異なる場合には置換度が異なることが好ましい。置換度（即ち、モノマー繰返し単位当たりの水溶性供与基又は水分散性供与基の平均数）は、典型的には約０．２５乃至約４．０であり、好ましくは約０．５乃至約２であるが、置換度はこれらの範囲外であってもよい。最適な置換量は、樹脂１グラム当たり約０．８乃至約２ミリ当量の水溶性供与基又は水分散性供与基であり、好ましくは樹脂１グラム当たり約１乃至約１．５ミリ当量の水溶性供与基又は水分散性供与基である。
【００５３】
いくつかの例では、ポリマーの末端基はポリマー合成の化学量論によって選択できる。例えば、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド中で炭酸カリウムの存在下、４、４′−ジクロロベンゾフェノンとビスフェノールＡの反応によってポリマーを調製する場合、ビスフェノールＡが約７．５乃至８モルパーセント過剰に存在すれば、得られるポリマーは一般的にビスフェノールＡ末端であり（ここでビスフェノールＡ部分は１以上の水酸基を有してもよいし、有さなくてもよい）、得られるポリマーは、典型的には、約２乃至約３．５の多分散度（Ｍ_w ／Ｍ_n ）を有する。ハロアルキル基等の官能基を配置するため、及び／又はハロアルキル基等の１つの種類の官能基を不飽和エステル基等の別の種類の官能基へ転換するために、ビスフェノールＡ末端ポリマーを更に反応させた場合、ポリマーの多分散度は約４乃至約６の範囲へ上昇する。これに反して、４、４′−ジクロロベンゾフェノンが約７．５乃至８モルパーセント過剰に存在する場合、反応時間はビスフェノールＡ過剰の反応で必要とされる時間のほぼ半分であり、得られるポリマーは一般的にベンゾフェノン末端であり（ここでベンゾフェノン部分は１以上の塩素原子を有してもよいし、有さなくてもよい）、得られるポリマーは典型的には約２乃至約３．５の多分散度を有する。ハロアルキル基等の官能基を配置するため、及び／又はハロアルキル基等の１つの種類の官能基を不飽和エステル基等の別の種類の官能基へ転換するために、ベンゾフェノン末端ポリマーを更に反応させた場合、ポリマーの多分散度は、典型的には、約２乃至約３．５の範囲のままである。同様に、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド中で炭酸カリウムの存在下、４、４′−ジフルオロベンゾフェノンと９、９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレン又はビスフェノールＡのいずれかとの反応によってポリマーを調製する場合、４、４′−ジフルオロベンゾフェノン反応物が過剰に存在すれば、得られるポリマーは一般的にベンゾフェノン末端基を有する（１以上のフッ素原子を有してもよいし、有さなくてもよい）。よく知られたカラザーズの式を使用して、所望の分子量を得るのに必要とされる化学量論的なオフセットを計算することができる。（例えば、ウィリアム H. カラザーズの「縮合ポリマーの一般理論入門」 Chem.Rev., 8, 353 (1931) 及び J. Amer. Chem. Soc., 51, 2548 (1929) を参照。また、P.J.フローリィの高分子化学の原理、コーネル大学出版、イタキ、ニューヨーク (1953) を参照。）より一般的に言って、次式のポリマーの調製では、ポリマー合成反応の化学量論は、ポリマーの末端基が「Ａ」基から誘導される、あるいは「Ｂ」基から誘導されるように調整できる。また、これらの末端「Ａ」基又は「Ｂ」基には、エチニル基又は他の感熱性の基、「Ａ」又は「Ｂ」基の芳香環に付いてフェノール部分を形成する水酸基、「Ａ」又は「Ｂ」基に結合されるハロゲン原子等の特定の官能基が存在してもよい。
【化１１４】

【００５４】
ベンゾフェノン基又はハロゲン化ベンゾフェノン基等の「Ａ」基から誘導される末端基を有するポリマーは、幾つかの用途ではより好まれる。何故なら、置換基を配置するためのこれらの材料の合成及び幾つかの反応は、ビスフェノールＡ基（１以上の水酸基をその芳香環に有する）又は他のフェノール基等の「Ｂ」基から誘導される末端基を有するポリマーと比較して、制御するのがより容易であり、例えばコスト、分子量、分子量範囲及び多分散度（Ｍ_w ／Ｍ_n ）に関してより良い結果を与えることができるからである。特定の理論に制限されないが、ポリマーがビスフェノールＡ末端である場合、ハロアルキル化反応は特にフェノール末端上で最も急速に進行すると考えられる。更に、フェノール末端ポリマー上のハロメチル化基は、次の架橋又は鎖延長に対して特に反応性であると考えられる。これに対して、一般的に、ハロメチル化は、ベンゾフェノン、ハロゲン化ベンゾフェノン等の電子吸引性置換基を有する末端芳香族基上では起こらないと考えられる。また、「Ａ」基末端材料は接着剤としての役割も果たし、サーマルインクジェット印刷ヘッド等の応用では、架橋された「Ａ」基末端ポリマーの使用は、ヒータプレートをチャネルプレートへ接着するためのエポキシ接着剤の必要性を削減又は省くことができる。
【００５５】
感光性供与基によるポリマーの架橋又は鎖延長を起こすことのできる波長及び／又はエネルギーレベルで化学線へ均一にさらすことによって光パターン形成可能なポリマーを硬化することができる。あるいは、感光性供与基が感応する波長及び／又はエネルギーレベルの放射で材料を像様に露光することによって光パターン形成可能なポリマーを現像する。典型的には、ホトレジスト組成物は、光パターン形成可能なポリマー、光パターン形成可能なポリマーのための任意の溶媒、任意の増感剤、及び任意の光開始剤を含む。未架橋の光パターン形成可能なポリマーが高いＴ_g を有する場合には、溶媒は特に望ましい。溶媒及び光パターン形成可能なポリマーは、典型的には、溶媒０乃至約９９重量パーセント及びポリマー約１乃至１００重量パーセントという相対量で存在する。好ましくは、溶媒約２０乃至約６０重量パーセント及びポリマー約４０乃至約８０重量パーセントという相対量で存在する。更に好ましくは、溶媒約３０乃至約６０重量パーセント及びポリマー約４０乃至約７０重量パーセントという相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００５６】
増感剤は光エネルギーを吸収し、不飽和結合へのエネルギーの伝達を容易にし、これにより不飽和結合が反応して樹脂を架橋又は鎖延長させることができる。増感剤は露光のために有用なエネルギー波長範囲を拡大することが多く、典型的には、芳香族の光吸収発色団である。また、増感剤は、フリーラジカル又はイオン性である光開始剤の形成を導くことができる。増感剤が存在する場合、任意の増感剤及び光パターン形成可能なポリマーは、典型的には、増感剤約０．１乃至約２０重量パーセント及び光パターン形成可能なポリマー約８０乃至約９９．９重量パーセントという相対量で存在する。好ましくは、増感剤約１乃至約１０重量パーセント及び光パターン形成可能なポリマー約９０乃至約９９重量パーセントという相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００５７】
光開始剤は、一般的に化学線への露光時に重合を開始させるイオン又はフリーラジカルを発生させる。光開始剤が存在する場合、任意の光開始剤及び光パターン形成可能なポリマーは、典型的には、光開始剤約０．１乃至約２０重量パーセント及び光パターン形成可能なポリマー約８０乃至約９９．９重量パーセントという相対量で存在する。好ましくは、光開始剤約１乃至約１０重量パーセント及び光パターン形成可能なポリマー約９０乃至約９９重量パーセントという相対量で存在するが、相対量はこれらの範囲外であってもよい。
【００５８】
また、単一の物質が増感剤及び光開始剤の両方の役割を果たしてもよい。
【００５９】
特定の増感剤及び光開始剤の例には、ミヒラーのケトン（アルドリッチケミカル社）、ダロキュア（Darocure）１１７３、ダロキュア４２６５、イルガキュア（Irgacure）１８４、イルガキュア２６１、及びイルガキュア９０７（チバガイギー、アーズレー、ニューヨークから入手可能）、並びにその混合物が含まれる。ベンゾフェノン及びその誘導体は、光増感剤として機能することができる。トリフェニルスルホニウム及びジフェニルヨードニウム塩は、典型的なカチオン光開始剤の例である。
【００６０】
また、抑制剤は、光パターン形成可能なポリマーを含むホトレジスト中に任意に存在できる。適切な抑制剤の例には、次式
【化１１５】

のヒドロキノンのメチルエーテルＭＥＨＱ、次式
【化１１６】

のｔ−ブチルカテコール、次式
【化１１７】

のヒドロキノン等が含まれる。抑制剤は、典型的には、約４０重量パーセントのポリマー固形分を含むホトレジスト溶液の重量の約５００乃至約１５００ｐｐｍの量で存在するが、量はこの範囲外であってもよい。特定の理論に制限されないが、例えば紫外放射への露光は、一般的に、以下に不飽和アンモニウム基で置換されたポリマーについて示されるように、感光性供与基のエチレン性結合を開放し、「長い」結合部位で架橋又は鎖延長を起こすと考えられる。
【化１１８】

【００６１】
また、他の感光性供与基も、化学線を用いて露光したときに架橋又は鎖延長を可能にする。特定の理論に制限されないが、例えばアクリロイル官能基を有する不飽和エステル置換ポリマーについて以下に示される（ここで、アクリロイル基のエチレン性結合は結合を形成するために開放される）ように、例えば紫外放射への露光により、一般的に、「長い」結合部位で架橋又は鎖延長が起こると考えられる。
【化１１９】

エチレン性結合の類似の開放は他の不飽和基でも起こる。アルキルカルボキシメチレン及びエーテル置換ポリマーは、好ましくは熱及び１以上のカチオン開始剤（トリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、及び他の開始剤等）の存在下、紫外光への露光により硬化可能である。特定の理論に制限されないが、カチオンメカニズムは、メチルカルボキシメチレンポリマーについて以下に示される通りであると考えられる。ここでは、酢酸が放出され、「長い」結合は架橋又は鎖延長部位を示す。
【化１２０】

エーテル置換ポリマーについての反応は、対応のアルカノールが放出される点を除いて同様である。
【００６２】
アリルエーテル置換ポリマーを含むホトレジストは、その材料が感度を有する波長の放射線によって、材料を画像状に露光することによって現像される。特定の理論に制限されないが、例えば紫外放射への露光は、一般的に、以下に示されるように、アリルエーテル基のエチレン性結合を開放し、「長い」結合部位で架橋又は鎖延長を起こすと考えられる。
【化１２１】

【００６３】
エポキシ置換ポリマーでは、特定の理論に制限されないが、例えば紫外放射への露光は、一般的に、開始剤による酸性種の発生を引き起こし、続いて酸性種とエポキシ基とが反応して、以下に示されるように「長い」結合部位で開環及び架橋又は鎖延長が起きると考えられる。
【化１２２】

【００６４】
また、エポキシ化ポリマーのアミン硬化も可能であり、硬化は熱の適用で発生する。特定の理論に制限されないが、１つの例の硬化機構は次の通りであると考えられる。
【化１２３】

【００６５】
ハロメチル化ポリマーでは、特定の理論に制限されないが、例えば電子線、深紫外又はｘ線放射への露光は、一般的に、メチル基からハロゲン原子のフリーラジカルの開裂を起こし、ベンジルラジカルを形成すると考えられる。次いで架橋又は鎖延長が、以下に示されるように「長い」結合部位で発生する。
【化１２４】

【００６６】
本発明のヒドロキシアルキル化、ハロアルキル化、及びアリール置換ポリマーのための適切な増感剤又は開始剤のクラスの１つの特定の例は、 本発明のヒドロキシアルキル化、ハロアルキル化及びアリル置換ポリマーでは、適切な増感剤又は開始剤の類の１つの特定例は、次の一般式のビス（アジド）類である。
【化１２５】

ここで、Ｒは以下のとおりである。
【化１２６】

又は、
【化１２７】

また、Ｒ₁ 、Ｒ₂ 、Ｒ₃ 及びＲ₄ はそれぞれ独立して、水素原子、好ましくは１乃至約３０個の炭素原子、更に好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、置換アルキル基、好ましくは６乃至約１８個の炭素原子、更に好ましくは６個の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基、好ましくは７乃至約４８個の炭素原子、更に好ましくは約７乃至約８個の炭素原子を有するアリールアルキル基、又は置換アリールアルキル基であり、ｘは０又は１である。ここで、置換アルキル、置換アリール及び置換アリールアルキル基の置換基は、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する飽和、不飽和、線状、分枝 及び環状アルキル基をはじめとするアルキル基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する置換アルキル基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有するアリール基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有する置換アリール基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有するアリールアルキル基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキル基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有するアルコキシ基、好ましくは１乃至約６個の炭素原子を有する置換アルコキシ基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有するアリーロキシ基、好ましくは６乃至約２４個の炭素原子を有する置換アリーロキシ基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有するアリールアルキロキシ基、好ましくは７乃至約３０個の炭素原子を有する置換アリールアルキロキシ基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、エステル基、アミド基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、メルカプト基、ニトロソ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、等である（が、これに限定はされない）。ここで、置換アルキル基、置換アリール基、置換アリールアルキル基、置換アルコキシ基、置換アリーロキシ基、及び置換アリールアルキロキシ基の置換基は、水酸基、アミン基、イミン基、アンモニウム基、ピリジン基、ピリジニウム基、エーテル基、アルデヒド基、ケトン基、エステル基、アミド基、カルボン酸基、カルボニル基、チオカルボニル基、硫酸エステル基、スルホン酸エステル基、スルフィド基、スルホキシド基、ホスフィン基、ホスホニウム基、リン酸エステル基、シアノ基、ニトリル基、メルカプト基、ニトロソ基、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、アシル基、酸無水物基、アジド基、及びその混合物等である（が、これに限定はされない）。ここで、２以上の置換基は互いに結合して環を形成することができる。適切なビス（アジド）の例には、次式
【化１２８】

の４、４′−ジアジドスチルベン、次式
【化１２９】

の４、４′−ジアジドベンゾフェノン、次式
【化１３０】

の２、６−ジ−（４′−アジドベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン、次式
【化１３１】

の４、４′−ジアジドベンザルアセトン等が含まれる。特定の理論に制限されないが、ヒドロキシメチル化ポリマーについて以下に示されるように、例えば紫外放射への露光は硬化を可能にすると考えられる。
【化１３２】

【化１３３】

【化１３４】

ここで、Ｘ及びＸ′はそれぞれ独立して、−Ｈ又は−ＯＨ（あるいは、ハロアルキル化ポリマーの場合には−Ｈ又はハロゲン原子）である。同様に、アリル置換ポリマーでは、硬化反応機構は次の通りであると考えられる。
【化１３５】

【００６７】
あるいは、ヒドロキシアルキル化ポリマーは、その感光性をより高めるために更に反応させることができる。例えば、次式
【化１３６】

のヒドロキシメチル化ポリマーは、次式
【化１３７】

のメタクリル酸イソシアナト−エチル（ポリサイエンスイズ、ワーリントン、ペンシルバニア州から入手可能）と反応して、次式
【化１３８】

の光活性ポリマーを形成することができる。この反応は、ポリマー１重量部、メタクリル酸イソシアナト−エチル１重量部、及び塩化メチレン５０重量部を用いて、２５℃の塩化メチレン中で行うことができる。典型的な反応温度は約０乃至約５０℃であり、１０乃至２５℃が好ましい。典型的な反応時間は約１時間と約２４時間の間であり、約１６時間が好ましい。例えば紫外放射への露光中に、エチレン性結合が開いて、その部位で架橋又は鎖延長が起こる。
【００６８】
特定の理論に制限されないが、以下に示されるように、熱硬化も水酸基の引き抜き及び「長い」結合部位における架橋又は鎖延長を起こすと考えられる。
【化１３９】

【００６９】
必要であれば、ヒドロキシアルキル化されたポリマーを不飽和酸塩化物と更に反応させてヒドロキシアルキル基の数個又は全てをアクリロイル又はメタクリロイル基又は他の不飽和エステル基等の感光性基で置換することができる。この反応はトリエチルアミンの存在中に起こり、このトリエチルアミンは塩酸除去剤として作用し、ＮＥｔ₃ Ｈ⁺ Ｃｌ^- を形成する。適切な反応物の例には、アクリロイルクロライド、メタクリロイルクロライド、シンナモイルクロライド、クロトノイルクロライド、エタクリロイルクロライド、オレイルクロライド、リノレイルクロライド、マレオイルクロライド、フマロイルクロライド、イタコノイルクロライド、シトラコノイルクロライド、フェニルマレイン酸、３−ヘキセン−１，６−ジカルボン酸の酸塩化物等が含まれる。好適な溶剤の例には、１，１，２，２−テトラクロロエタン、塩化メチレン等が含まれる。典型的には、反応物は互いに対して重量部でヒドロキシアルキル化ポリマー約１部、トリエチルアミン約１部、溶剤約３０部、及び酸塩化物約１部の相対量で存在する。
【００７０】
ヒドロキシアルキル基の幾つか又は全てを不飽和エステル置換基で置換することができる。反応時間が長くなれば、ヒドロキシアルキル基の不飽和エステル置換基による置換度が一般に高くなる。
【００７１】
典型的な反応温度は約０〜約５０°Ｃ、好ましくは約１０〜約２５°Ｃであるが、この温度はこの範囲外であってもよい。典型的な反応時間は約１〜約２４時間、好ましくは約５〜約１６時間であるが、この時間はこれらの範囲外であってもよい。
【００７２】
一般的反応過程は、以下の通りである（以下ヒドロキシメチル化ポリマーについて示す）。
【化１４０】

ｉ＋ｅの和が４以下、ｊ＋ｆの和が４以下、ｋ＋ｇの和が４以下、及びｍ＋ｈの和が４以下であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄのうち少なくとも１つはそのポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個において１又はそれ以上であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈはそのポリマーのモノマー繰り返し単位の少なくとも数個において少なくとも１に等しい場合には、式中ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であり、ｎはモノマー繰り返し単位の数を表す整数とする。メタクリロイルクロライドを用いた反応においては、
【化１４１】

基は
【化１４２】

基で置き換えられる。
【００７３】
ヒドロキシアルキル化度が高くなると一般に不飽和エステル基との置換度が高くなるので、ポリマーの感度が増す。用途が異なる場合は、置換度が異なる方が好ましい場合もある。置換度が高すぎると感度が高くなり過ぎて、材料が活性化放射線に画像状に露光されたときに露光されたポリマー材料と露光されていないポリマー材料の両方が架橋又は鎖延長される結果となり、一方、置換度が低すぎると結果として露光時間が余計に長くなったり露光エネルギーが余計に高くなったりするため、望ましくない。光パターン形成可能ポリマーがサーマルインクジェット印刷ヘッドにおける層として使用される用途において、アクリロイル化度（即ちモノマー繰り返し単位１つ当りの不飽和エステル基の平均数）は、好ましくは約０．５〜約１．２、より好ましくは約０．６５〜約０．８であるが、置換度はインクジェット印刷ヘッドの用途に対してはこの範囲外であってもよい。不飽和エステル置換の最適量は、樹脂１ｇ当り不飽和エステル基約０．８〜約１．３ミリ等量である。
【００７４】
ヒドロキシアルキル基の幾つか又は全てを不飽和エステル置換基で置換することができる。反応時間が長くなると、ヒドロキシアルキル基の不飽和エステル置換基による置換度が一般に高くなる。
【００７５】
化学線へさらされたときたポリマーの架橋又は鎖延長を可能にすることができると上記に示される感光性供与基の多くは、高温にさらされた場合にもポリマーの架橋又は鎖延長ができる。従って、本発明のポリマーは、所望されるなら、熱硬化が用いられる用途においても使用できる。
【００７６】
次式
【化１４３】

のポリマーについて上記に説明した反応及び置換のすべてにおいて、類似の反応及び置換が次式
【化１４４】

のポリマーでも起こることは理解できるであろう。
【００７７】
本発明の方法に従って調製された光パターン形成可能ポリマーはインクジェット印刷ヘッドにおける構成要素として使用することができる。本発明の印刷ヘッドは、いかなる好適な構造のものであってもよい。サーマルインクジェット印刷用の印刷ヘッドの適切な構成の一例が図１に概略で説明される。図１は、液滴放出ノズル２７のアレイを示す印刷ヘッド１０の正面２９の拡大略等角図を示す。また図２を参照すると、後述するように、下部電気絶縁性基板又は加熱素子プレート２８は、その表面３０上にパターン形成された加熱素子３４及びアドレス電極３３を有する。一方、上部基板又はチャネルプレート３１は、一方向に延びて上部基板の正面エッジ２９を貫通する平行溝２０を有する。溝２０の他端は傾斜壁２１で終端しており、キャピラリー充填インクチャネル２０のためのインク供給マニホルドとして使用される内部凹部２４の床４１は、インク充填孔として使用するための開口２５を有する。溝を有するチャネルプレートの表面は、複数の加熱素子３４のそれぞれ１つが溝及び下部基板又はヒータプレートにより形成される各チャネル内に配置されるように、ヒータプレート２８へ位置合わせ及び接合される。インクは、充填孔２５を通って凹部２４及び下部基板２８により形成されるマニホルドへ入り、キャピラリー作用によって、厚膜絶縁層１８に形成された細長い凹部３８から流れ出して、チャネル２０を充填する。各ノズルのインクはメニスカスを形成し、その表面張力はインクがそこから垂れるのを防止する。下部基板又はチャネルプレート２８のアドレス電極３３は端子３２で終端する。電極端子３２が露出されて、印刷ヘッド１０が永久的に搭載される娘ボード１９上の電極へのワイヤボンディングに利用できるように、上部基板又はチャネルプレート３１は下部基板よりも小さい。後述するように、層１８は厚膜パッシベーション層であり、上部基板及び下部基板の間に挟持される。この層は、加熱素子を露出させ、これによりこれらを穴の中に配置するためにエッチングされる。また、マニホルド２４及びインクチャネル２０間のインクの流れを可能にする前記細長い凹部を形成するためにエッチングされる。さらに、厚膜絶縁層は、電極端子を露出させるためにエッチングされる。
【００７８】
図１の断面図は１つのチャネルを通る線２−２に沿って作成され、図２に示される。図２は、矢印２３に示されるように、インクがマニホルド２４から溝２０の端部２１付近にどのように流れるかを示す。米国特許第４、６３８、３３７号、同第４、６０１、７７７号及び米国再発行特許第３２、５７２号に開示されるように、複数セットの気泡発生加熱素子３４及びそのアドレス電極３３を、片面が研摩された（１００）シリコンウェハ上にパターン形成することができる。多数セットの印刷ヘッド電極３３、加熱素子３４として働く抵抗性材料、及び共通帰線３５をパターン形成する前に、ウェハの研摩表面を二酸化シリコン等の下塗り層３９でコーティングする。層３９の典型的な厚さは約５０００オングストローム乃至約２ミクロンであるが、厚さはこの範囲外であってもよい。抵抗性材料は、ドープされた多結晶シリコン（化学蒸着（ＣＶＤ）により蒸着できる）、又はホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ₂ ）等の他のよく知られた抵抗性材料でよい。共通帰線及びアドレス電極は、典型的には、下塗り層上及び加熱素子エッジ上に蒸着されたアルミニウムリード線である。共通帰線端部又は端子３７及びアドレス電極端子３２は所定の位置に配置され、これにより印刷ヘッドを製造するためにチャネルプレート３１が取り付けられた後、娘ボード１９の電極（図示せず）へのワイヤボンディング用のクリアランスが形成される。共通帰線３５及びアドレス電極３３は、典型的には約０．５乃至約３ミクロンの厚さに蒸着されるが、厚さはこの範囲外であってもよく、好ましい厚さは１．５ミクロンである。
【００７９】
ポリシリコン加熱素子が使用される場合、ポリシリコンの一部をＳｉＯ₂ へ転換するために、アルミニウムリード線の蒸着の前に、典型的には約５０乃至約８０分の間（時間はこの範囲外であってもよい）、典型的には約１１００℃（温度はこの値の上でも下でもよい）の比較的高温で、引き続きポリシリコン加熱素子を蒸気又は酸素中で酸化してもよい。このような場合、加熱素子を熱的に酸化して、典型的には約５００オングストローム乃至約１ミクロンの厚さ（厚さはこの範囲外であってもよい）で、保全性が良好で実質的にピンホールのないＳｉＯ₂ 上塗り層（図示せず）を達成する。
【００８０】
１つの実施の形態では、ポリシリコン加熱素子が使用され、任意の二酸化シリコン熱酸化物層１７を高温蒸気中でポリシリコンから成長させる。熱酸化物層を、典型的には、約０．５乃至約１ミクロンの厚さに成長させ（厚さはこの範囲外であってもよい）、加熱素子を導電性インクから保護及び絶縁する。アドレス電極及び共通帰線の取り付けのためにポリシリコン加熱素子のエッジでは熱酸化物を除去し、次にアドレス電極及び共通帰線をパターン形成及び蒸着させる。加熱素子にホウ化ジルコニウム等の抵抗性材料を使用する場合、よく知られた他の適切な絶縁材料を保護層として使用できる。電極のパッシベーションの前に、印刷ヘッド操作中にインク蒸気の気泡が壊れて発生する空洞化力から更に保護するために、タンタル（Ｔａ）層（図示せず）を、典型的には約１ミクロンの厚さ（厚さはこの値より上でも下でもよい）で加熱素子保護層１７上に任意に蒸着できる。タンタル層は、例えばＣＦ₄ ／Ｏ₂ プラズマエッチングを用いて、加熱素子の直接上の保護層１７を除いて全てエッチング除去される。ポリシリコン加熱素子では、アルミニウム共通帰線及びアドレス電極を、典型的には、下塗り層上と、共通帰線及び電極の接続のために酸化物が除去されたポリシリコン加熱素子の対向するエッジ上と、に蒸着させる。
【００８１】
電極のパッシベーションのために、膜１６を、複数セットの加熱素子及びアドレス電極を含むウェハ表面全体に蒸着させる。パッシベーション膜１６は、露出した電極をインクから保護するイオン障壁を提供する。パッシベーション膜１６に適切なイオン障壁材料の例には、ポリイミド、プラズマ窒化物、リンドープ二酸化シリコン、及び絶縁層１８に適するとして以下に開示される材料等、並びにその任意の組合せが含まれる。有効なイオン障壁層は、その厚さが約１０００オングストローム乃至約１０ミクロンの場合に達成されるのが一般的であるが、厚さはこの範囲外であってもよい。３００ｄｐｉの印刷ヘッドでは、パッシベーション層１６は、好ましくは約３ミクロンの厚さを有するが、厚さはこの値の上でも下でもよい。６００ｄｐｉの印刷ヘッドでは、パッシベーション層１６の厚さは、層１６及び層１８の合わせた厚さが約２５ミクロンになるような厚さであるのが好ましいが、厚さはこの値の上でも下でもよい。娘ボード電極と後でワイヤボンディングするために、共通帰線及びアドレス電極の末端部のパッシベーション膜又は層１６がエッチング除去される。この二酸化シリコン膜のエッチングは、湿式又は乾式エッチング法のいずれかによる。あるいは、電極パッシベーションは、プラズマ蒸着窒化シリコン（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）によることもできる。
【００８２】
次に、ここで更に詳細に説明するポリマー材料から成る厚膜タイプの絶縁層１８を、パッシベーション層１６上に形成する。その典型的な厚さは約１０乃至約１００ミクロンであり、好ましくは約２５乃至約５０ミクロンの範囲であるが、厚さはこれらの範囲外であってもよい。更により好ましくは、３００ｄｐｉ印刷ヘッドでは、層１８の厚さは約３０ミクロンであるのが好ましく、６００ｄｐｉ印刷ヘッドでは、層１８の厚さは約２０乃至約２２ミクロンであるのが好ましいが、他の厚さでもよい。各加熱素子（凹部２６を形成する）上、マニホルド２４からインクチャネル２０へのインク通路を提供する細長い凹部３８上、及び各電極端子３２、３７上の層１８部分のエッチング及び除去を可能にするように絶縁層１８をホトリソグラフィ的に処理する。細長い凹部３８は、厚膜層１８のこの部分の除去により形成される。従って、パッシベーション層１６は、この細長い凹部３８内では、電極３３がインクへさらされるのを単独で防ぐ。任意的に、所望されるならば、同様の組成又は異なる組成の一連の薄層として絶縁層１８を付与することができる。典型的には、薄層を蒸着し、露光し、部分的に硬化させた後、次の薄層の蒸着、露光、部分硬化等を行う。厚膜絶縁層１８を構成するこれらの薄層は、上記に示された式のポリマーを含む。本発明の１つの実施の形態では、第１薄層は接触層１６へ形成され、該第１薄層は上記の式のポリマーとエポキシポリマーの混合物を含む。次に、露光、部分硬化を行い、続いて、上記の式のポリマーを含む１以上の連続薄層を形成する。
【００８３】
図３は図２と同様の図であり、下塗り層３９の形成、並びに加熱素子３４、電極３３及び共通帰線３５のパターニングの前に、シリコンであるヒータプレートに異方性エッチングされた浅い溝４０を有する。この凹部４０は、厚膜絶縁層１８のみの使用を可能にし、通常の電極パッシベーション層１６の必要性を排除する。厚膜層１８は水を通さず、且つ、比較的厚い（典型的には約２０乃至約４０ミクロンであるが、厚さはこの範囲外であってもよい）ので、当該技術でよく知られる比較的薄いパッシベーション層１６のみを有する場合よりも回路要素に導入される汚染は、はるかに少ないであろう。ヒータプレートは集積回路にとってかなり不利な環境である。市販用のインクでは一般的に、純度に対する配慮が低い。その結果、ヒータプレートの活性部分は、移動性イオンを間違いなく多く含む汚染されたインク水溶液に高温で隣接する。更に、実質的な電場が存在するように、ヒータプレートを約３０乃至約５０ボルトの電圧で操作するのが一般的に望ましい。従って、厚膜絶縁層１８は活性装置に改良された保護を提供し、結果的にヒータプレートの動作寿命を長くすることにつながる改良された保護を提供する。
【００８４】
複数の下部基板２８を単一のシリコンウェハから製造する場合、下塗り層の蒸着後の都合のよい時点で、少なくとも２つの位置合わせマーキング（図示せず）をシリコンウェハを構成する下部基板２８上の所定位置にホトリソグラフィ的に製造するのが好ましい。これらの位置合わせマーキングは、インクチャネルを含む複数の上部基板３１の位置合わせに使用される。複数セットの加熱素子を含む片面ウェハの表面を、位置合わせに続いて、複数のインクチャネルを有する上部基板を含むウェハの表面へ接合する。
【００８５】
米国特許第４、６０１、７７７号及び同第４、６３８、３３７号に開示されるように、印刷ヘッド用の複数の上部基板３１を製造するために、チャネルプレートを両面研摩された（１００）シリコンウェハから形成する。ウェハを化学洗浄した後、熱分解ＣＶＤ窒化シリコン層（図示せず）を両面に蒸着する。従来のホトリソグラフィを用いて、複数のチャネルプレート３１のそれぞれの充填孔２５用のヴィア、及び所定位置の位置合わせ開口（図示せず）のための少なくとも２つのヴィアを、一方のウェハ面に印刷する。充填孔及び位置合わせ開口を示すパターン形成されたヴィアの窒化シリコンをプラズマエッチング除去する。水酸化カリウム（ＫＯＨ）異方性エッチングを使用して、充填孔及び位置合わせ開口をエッチングすることができる。この場合、（１００）ウェハの〔１１１〕面は、典型的には、ウェハ表面と約５４．７度の角度を成す。充填孔は小さい四角の表面パターンであり、一般的には一辺が約２０ミル（５００ミクロン）であるが、寸法はこの値の上でも下でもよい。位置合わせ開口は約６０乃至約８０ミル（１．５乃至３ミリメートル）平方であるが、寸法はこの範囲外であってもよい。従って、位置合わせ開口は２０ミル（０．５ミリメートル）厚のウェハを通して完全にエッチングされるが、充填孔はウェハの約半分乃至４分の３の終端点までエッチングされる。比較的小さい四角の充填孔は連続エッチングにより更にサイズ増大しようとしても変化しないので、位置合わせ開口及び充填孔のエッチングはあまり時間制限されない。
【００８６】
次に、ウェハの反対面を、既にエッチングされた位置合わせ孔をリファレンスとして用いてホトリソグラフィ的にパターン形成し、最後には印刷ヘッドのインクマニホルド及びチャネルになる比較的大きい矩形凹部２４及び細長い平行チャネル凹部セットを形成する。マニホルド及びチャネル凹部を含むウェハ表面２２は、複数セットの加熱素子を含む基板へ接合するために熱硬化性エポキシ等の接着剤が後で付与されるオリジナルウェハ表面（窒化シリコン層で被覆された）の部分である。接着剤は、溝又は他の凹部に流れたり広がったりしないような方法で付与される。チャネルウェハを加熱素子及びアドレス電極ウェハ上に位置合わせするために、位置合わせマーキングを例えば真空チャックマスク位置合わせ器と共に使用することができる。２つのウェハを正確にかみ合わせ、接着剤の部分硬化によって仮留めすることができる。あるいは、加熱素子及びチャネルウェハに精密にさいの目にされたエッジを与え、次に、加熱素子及びチャネルウェハを精密ジグに手動又は自動的に位置合わせする。また、赤外アライナ−ボンダ（aligner-bonder）や、位置合わせされるべき各ウェハ上の赤外不透明マーキングを用いる赤外顕微鏡等を用いて位置合わせすることもできる。次に２つのウェハを、互いに永久的に接合するためにオーブン又はラミネータ中で硬化する。次に、チャネルウェハを切断して、個々の上部基板を製造することができる。端部面２９を製造する最終的なさいの目カットにより、ノズル２７を形成する細長い溝２０の一方の端部を開放する。チャネル溝の他端は端部２１により閉鎖されたままである。しかしながら、チャネルプレートのヒータプレートへの位置合わせ及びボンディングにより、チャネル２０の端部２１が、図２に示されるように厚膜絶縁層１８の細長い凹部３８上に直接配置され、又は、図３に示されるように凹部４０の上に直接配置されて、矢印２３で示されるようにマニホルドからチャネル内へのインクの流れが可能になる。最終的なさいの目カットにより製造される複数の個々の印刷ヘッドを娘ボードへ接合し、印刷ヘッド電極端子を娘ボード電極へワイヤボンディングする。
【００８７】
１つの実施の形態では、ホスホシリケートガラス層を有するヒータウェハを、３０００回転／分で１０秒間、Ｚ６０２０接着促進剤溶液（メタノール９５部及び水５部の中に０．０１重量パーセント、ダウコーニング）でスピンコーティングし、１００℃で２乃至１０分間乾燥させる。次に、光パターン形成可能なポリマーを含むホトレジストで、１０００乃至３０００回転／分で３０乃至６０秒間、ウェハ上をスピンコーティングする前に、ウェハを２５℃で５分間冷却する。繰返し単位当たり０．７５個のアクリロイル基及び０．７５個のクロロメチル基を有し、重量平均分子量が２５０００のポリアリーレンエーテルケトンを、ミヒラーのケトン（固形分４０重量パーセントのポリマー溶液の１０部ごとに１．２部のケトン）と共に、固形分４０重量パーセントでＮ−メチルピロリジノン中に溶解してホトレジスト溶液を製造する。膜を７０℃で１０乃至１５分間、オーブン中で加熱する（ソフトベーキングする）。５分かけて２５℃まで冷却した後、膜をマスクで覆い、１５０乃至１５００ミリジュール／ｃｍ² に達するまで、３６５ナノメートルの紫外光で露光する。次に、露光したウェハを２分間の後露光ベークのために７０℃で加熱し、次に５分かけて２５℃まで冷却する。膜を６０：４０のクロロホルム／シクロヘキサノン現像剤で現像し、９０：１０のヘキサン／シクロヘキサノンで洗浄した後、７０℃で２分間乾燥させる。清浄な外観を有するウェハを得るために必要であれば第２の現像／洗浄サイクルを行う。処理したウェハを２５℃のオーブンへ移し、オーブン温度を、２℃／分で２５から９０℃まで上げる。温度を９０℃で２時間維持した後、２℃／分で２６０℃まで上げる。オーブン温度を２６０℃で２時間維持した後、オーブンのスイッチを切って、温度を徐々に２５℃まで下げる。ホトレジスト膜の熱硬化を、窒素、又はアルゴン、ネオン、クリプトン若しくはキセノン等の希ガスのうちの１つのような不活性雰囲気下で行う場合、現像膜の酸化が著しく低減され、結果的に得られる装置の熱及び加水分解安定性が改良される。更に、現像したホトレジスト膜の下部基板への接着が改良される。第一層の上に第２層をスピンコーティングする場合、第２層を第１層上にスピンコーティングする前に、第１現像層の熱硬化を８０乃至２６０℃で停止することができる。上記手順を再び繰り返すことによって第２のより厚い層を付着させる。この方法は、膜厚及びホトレジストの分子量によって手順が特定の条件から外れ得るという点で指針である。３０ミクロンの膜は、６００ｄｐｉにおいて、清浄な外観を有して現像された。
【００８８】
良好な解像度の外観及び高アスペクト比に関する最良の結果のために、本発明のホトレジスト組成物は、基板上へコーティングする前には粒子を含まない。１つの好ましい実施の形態では、光パターン形成可能なポリマーを含むホトレジスト組成物を２ミクロンのナイロンフィルタ布（テトコから入手可能）により濾過する。圧縮空気（約６０ｐｓｉまで）及び加圧濾過用漏斗を用いて、約３０乃至約６０重量パーセントの固形分を含む溶液として、黄色光の下又は暗所でホトレジスト溶液を布により濾過する。ホトレジスト溶液の希釈は必要とされず、抑制剤（例えばＭＥＨＱ等）の濃度は、貯蔵寿命に影響を与えないようにするには、例えば５００重量ｐｐｍ以下のように低くてよい。この濾過処理中に、光パターン形成可能なポリマーの分子量の増大は観察されない。特定の理論に制限されないが、光重合可能なポリマー上に不飽和エステル基が存在する場合等の幾つかの場合には、圧縮空気中の酸素がアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等の不飽和エステル基のフリーラジカル重合に有効な抑制剤として働くので、圧縮空気は不活性雰囲気で得られる結果よりも優れた結果をもたらすと考えられる。
【００８９】
図１乃至図３に示される印刷ヘッドは、本発明の特定の実施の形態を構成する。本発明の印刷ヘッドを形成するために、ここに開示される材料と共に、印刷ヘッド表面のノズル内で終端するインク運搬チャネルを有する他の任意の適切な印刷ヘッド構成を使用することもできる。
【００９０】
また、本発明は、本発明に従う印刷ヘッドを用いる印刷方法も含む。本発明の１つの実施の形態は、（１）インク供給源からのインクで充填されることが可能で印刷ヘッドの一方の表面上のノズルで終端する複数のチャネルを含むインクジェット印刷ヘッドを本発明のプロセスに従って提供するステップと、（２）チャネルをインクで充填するステップと、（３）ノズルから受取シート上へインク滴を画像パターン状に排出するステップと、を含むインクジェット印刷方法に関する。この方法の特定の実施の形態はサーマルインクジェット印刷方法に関し、インク滴は、画像パターン状に選択されたチャネルを加熱することによりノズルから排出される。液滴を、布、ゼロックス４０２４又は４０１０等の普通紙、コート紙、又は透明材料等の適切な受取シート上へ排出することができる。
【００９１】
【実施例】
実施例Ｉ
次式（ここで、ｎは約６乃至約３０である）のポリアリーレンエーテルケトン（以下、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）と称す）を次のように調製した。
【化１４５】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、５３．９０グラム）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、４５．４２グラム）、炭酸カリウム（６５．５６グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ミリリットル）及びトルエン（５５ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応混合物を濾過して炭酸カリウムを除去し、メタノール（２ガロン）中へ沈澱させた。濾過及び真空乾燥後に、ポリマー（ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ））は収率８６％で分離された。ＧＰＣ分析は次の通りである：Ｍ_n ４２３９、Ｍ_peak９１６４、Ｍ_w １０２３８、Ｍ_z １８１９５及びＭ_z+1 ２５９１６。塩化メチレンからの溶液キャスト膜は、透明、強靱且つ柔軟であった。反応で使用された化学量論の結果、このポリマーは４、４−ジクロロベンゾフェノンから誘導される末端基を有するものと考えられる。
【００９２】
実施例 II
機械的攪拌装置、アルゴン注入口、還流冷却器、及び添加漏斗口を備えた５リットルの３つ口丸底フラスコ中で、ジメトキシメタン（３１３．６ｇ、３６６．８ｍｌ）とメタノール（１０ｍｌ）との混合物に塩化アセチル２８２．６８ｇ（２５６ｍｌ）を加えてクロロメチルエーテルの酢酸メチル溶液を作った。この溶液を１，１，２，２−テトラクロロエタン１，０６６．８ｍｌで希釈し、次に添加漏斗口を用いて１，１，２，２−テトラクロロエタン（１３３．２ｍｌ）と共に気密注射器で四塩化スズ（２．４ｍｌ）を加えた。この反応溶液を５００°Ｃに加熱した。その後、実施例Ｉに記載の方法で調製されたベンゾフェノン末端ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）（１６０．８ｇ）のテトラクロロエタン溶液１，０００ｍｌを急速に加えた。次に、この反応混合物を１１０°Ｃにセットした油浴で加熱して還流した。連続的に攪拌しながら２時間還流したあと、加熱を止め、この混合物を２５°Ｃまで冷却した。この反応混合物を２リットルの丸底フラスコに移し、回転蒸発装置を用いて５０°Ｃまで緩やかに加熱しながら濃縮し、液体窒素のトラップを備えた真空ポンプで減圧を保った。この濃縮物をメタノール（４ガロン）に加え、ワーリングブレンダーを用いてポリマーを沈澱させた。このポリマーを濾過して単離し、真空乾燥して、繰返し単位１つ当り０．５個のクロロメチル基を有するベンゾフェノン末端ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）２００ｇを得た。これは ¹ＨＮＭＲ分光法を用いて同定された。
【００９３】
実施例 III
こうして調製したベンゾフェノン末端クロロメチル化ポリアリーレンエーテルケトンを３３．７重量パーセントポリマー固体の濃度でＮ−メチルピロリジノン中に含む溶液を調製した。この溶液に、ポリマー溶液の６．２１重量パーセントの量でメタクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチル（アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州から得られる）を添加し、得られた溶液を２時間攪拌した。クロロメチル基とメタクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチルとの反応は急速に起こり、その結果、モノマー繰返し単位当たり０．５個のメタクリル酸Ｎ、Ｎ−ジメチルエチル基を有するポリマーが形成された。
【００９４】
こうして形成した溶液は４０重量パーセントのポリマー固体を含んでいた。この溶液に、固形分４０重量パーセント溶液の１０重量部につき１重量部のミヒラーのケトンを添加した。得られたホトレジスト溶液でスピニングシラン処理したシリコンウェハ上をコーティングし、被覆したウェハを７０℃で１０分間加熱した。次にウェハを２５℃まで冷却した後、ウェハをマスクで覆い、２００ミリジュール／ｃｍ² に達するまで３６５ナノメートルの波長の紫外光で露光した。次に、露光した膜を５分間の後露光ベークのために７０℃に加熱した後、２５℃まで冷却した。膜を５０：５０のメタノール／水現像剤で現像し、次に７０℃で乾燥させた。処理したウェハを２５℃のオーブンへ移し、後硬化を達成するために、オーブン温度を２℃／分で９０℃まで上げ、９０℃で２時間維持し、２℃／分で２６０℃まで上げ、２６０℃で２時間維持し、次に２５℃まで下げた。後硬化の間に、熱安定性で耐溶剤性の部位が形成された。後硬化され、架橋されたポリアリーレンエーテルケトンは熱安定性であり、サーマルインクジェットインクに対して化学的に不活性であり、電気絶縁性であり、機械的に強固であり、且つ後硬化中の収縮が少なかった。３００及び６００ｄｐｉの解像度において、清浄な外観が現像された。
【００９５】
実施例ＩＶ
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを次のように調製した。
【化１４６】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた５００ミリリットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、１６．３２グラム、０．０６５モル）、ビス（４−ヒドロキシフェニル）メタン（アルドリッチ、１４．０２グラム、０．０７モル）、炭酸カリウム（２１．４１グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ミリリットル）及びトルエン（１００ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間加熱した後、反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）の収量は２４グラムであった。ポリマーは、Ｎ−メチルピロリジノン、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド及び１、１、２、２−テトラクロロエタンに加熱により溶解した。ポリマーは溶液が２５℃まで冷却した後でも溶解したままであった。
【００９６】
実施例Ｖ
実施例ＩＶで記載したように調製したポリマー、ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）を次のようにクロロメチル化した。塩化アセチル（３５．３グラム）をジメトキシメタン（４５ミリリットル）及びメタノール（１．２５ミリリットル）の混合物へ添加することによってクロロメチルメチルエーテルの酢酸メチル溶液（６mmol／ミリリットル）を製造した。この溶液を１５０ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（０．３ミリリットル）を添加した。１１０℃に設定したオイルバスを用いて混合物を還流させた後、１２５ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタン中のポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）（１０グラム）の溶液を添加した。還流を２時間維持し、次に、５ミリリットルのメタノールを添加して反応を停止させた。反応溶液をワーリングブレンダを用いて１ガロンのメタノールへ添加し、生成物、クロロメチル化ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）を沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、真空乾燥させた。ポリマーの繰返し単位当たり２個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＭ）９．４６グラムが得られた。ポリマーは次の構造を有していた。
【化１４７】

【００９７】
実施例ＶＩ
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを次のように調製した。
【化１４８】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた５００ミリリットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチ１１３７０、アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、１６．３２グラム、０．０６５モル）、ヘキサフルオロビスフェノールＡ（アルドリッチ、２３．５２グラム、０．０７モル）、炭酸カリウム（２１．４１グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ミリリットル）及びトルエン（１００ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４８時間加熱した後、反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＨＦＢＰＡ）の収量は２０グラムであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍ_n １９７５、Ｍ_peak２２８１、Ｍ_w ３５８８、及びＭ_z+1 ８９１８。
【００９８】
実施例Ｖ II
実施例ＶＩに記載された方法で調製したポリマー、ポリ（４−ＣＰＫ−ＨＦＢＰＡ）を実施例Ｖで記載したプロセスによりクロロメチル化する。同様の結果が得られると考えられる。
【００９９】
実施例Ｖ III
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１４９】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジフルオロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、４３．４７グラム、０．１９９２モル）、９、９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレノン（ケンセイカ、ラムソン、ニュージャージー州、７５．０６グラム、０．２１４５モル）、炭酸カリウム（６５．５６グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ミリリットル）及びトルエン（５２ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で５時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。凝固した塊を酢酸（酢）で処理し、塩化メチレンで抽出し、濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＦＰＫ−ＦＢＰＡ）の収量は７１．７グラムであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍ_n ５９１００、Ｍ_peak１４４０００、Ｍ_w １３６１００、Ｍ_z ２１１３５０、及びＭ_z+1 ２８６１００。
【０１００】
実施例ＩＸ
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１５０】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、５０．０２グラム、０．１９９２モル）、９、９′−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレノン（ケンセイカ、ラムソン、ニュージャージー州、７５．０４グラム、０．２１４５モル）、炭酸カリウム（６５．５６グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（３００ミリリットル）及びトルエン（５２ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。反応混合物を濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）の収量は６０グラムであった。
【０１０１】
実施例Ｘ
実施例ＩＸで記載したように調製したポリマー、ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）を次のようにクロロメチル化した。塩化アセチル（３８．８グラム）をジメトキシメタン（４５ミリリットル）及びメタノール（１．２５ミリリットル）の混合物へ添加することによってクロロメチルメチルエーテルの酢酸メチル溶液（６mmol／ミリリットル）を製造した。この溶液を１００ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（０．５ミリリットル）を５０ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタン中で添加した。１００℃に設定したオイルバスを用いて混合物を還流した後、１２５ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタン中のポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）（１０グラム）の溶液を添加した。反応温度を１００℃で１時間維持し、次に、５ミリリットルのメタノールを添加して反応を停止させた。反応溶液をワーリングブレンダを用いて１ガロンのメタノールへ添加し、生成物、クロロメチル化ポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）を沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、真空乾燥させた。ポリマーの繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）９．５グラムが得られた。反応を１１０℃（オイルバス設定温度）で行った場合、ポリマーは８０分以内にゲル化した。ポリマーは次の構造を有していた。
【化１５１】

【０１０２】
実施例ＸＩ
Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド２０ミリリットル中の、繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＦＢＰ）（１グラム、実施例Ｘで記載したように調製する）をアクリル酸ナトリウムと共に、２５℃で１１２時間磁気的に攪拌した。溶液をワーリングブレンダを用いてメタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過及び真空乾燥させた。約５０パーセントのクロロメチル基がアクリロイル基で置換された。生成物は次の式で表された。
【化１５２】

【０１０３】
実施例Ｘ II
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１５３】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた１リットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４、４′−ジフルオロベンゾフェノン（アルドリッチケミカル社、ミルウォーキー、ウィスコンシン州、１６．５９グラム）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ、１４．１８グラム、０．０６５モル）、炭酸カリウム（２１．６グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（１００ミリリットル）及びトルエン（３０ミリリットル）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で４時間加熱した後、反応混合物を２５℃に冷却した。凝固した塊を酢酸（酢）で処理し、塩化メチレンで抽出し、濾過し、メタノールへ添加してポリマーを沈澱させ、このポリマーを濾過により捕集し、水洗し、次にメタノールで洗浄した。真空乾燥した生成物ポリ（４−ＦＰＫ−ＢＰＡ）の収量は１２．２２グラムであった。ポリマーをゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍ_n ５１５８、Ｍ_peak１５０８０、Ｍ_w １７２６０及びＭ_z+1 ３９２８７。より低い分子量を得るには、反応を化学量論では１５モル％差し引いて繰り返すことができる。
【０１０４】
実施例Ｘ III
以下の構造式を有するポリアリーレンエーテルケトン（以下本明細書中ではポリ（４−ＰＣＫ−ＢＰＡ）を称する）を以下のように調製した。
【化１５４】

式中ｎは約２〜約３０である。ディーン−スターク（バレット、Barrett ）トラップ、冷却器、機械的攪拌器、アルゴン注入口及びストッパを備える５リットルの３つ口丸底フラスコをシリコンオイル浴中においた。４，４’−ジクロロベンゾフェノン（アルドリッヒ（Ａｌｄｒｉｃｈ）11,370、アルドリッヒケミカルカンパニー（Aldrich Chemical Co., ）ミルウォーキー、ウィスコンシン州、２５０ｇ）、ビス−フェノールＡ（アルドリッヒ23,965-8、２４４．８ｇ）、炭酸カリウム（３２７．８ｇ）、無水Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（１，５００ｍｌ）及びトルエン（２７５ｍｌ）を上記フラスコに加えて１７５°Ｃ（油浴温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を収集して除去した。連続的に攪拌しながら１７５°Ｃにて４８時間加熱した後、反応混合物を濾過して不溶性塩を除去し、得られた溶液をメタノール（５ガロン）に添加してポリマーを沈澱させた。濾過によりポリマーを単離し、湿ったフィルタケークを水（３ガロン）、次にメタノール（３ガロン）で洗浄した。３６０ｇの真空乾燥したポリマーが得られた。ポリマーの分子量をゲル透過クロマトグラフィー（ｇｐｃ）で決定したところ（溶出溶媒はテトラヒドロフラン）、以下の結果を得た：Ｍn ３，４３０、Ｍpeak５，３８０、Ｍw ３，６００、Ｍz ８，７００、Ｍz+₁ １２，９５０。２０°Ｃ／分の加熱速度で示差走査熱量計を用いて決定したポリマーのガラス転移温度は分子量によって１２５〜１５５°Ｃの間であった。メチレンクロライドからの溶液キャスト膜は、透明、強靱で可撓性であった。反応中に用いた化学量論的量の結果から、このポリマーはビス−フェノールＡから誘導された末端基を有すると考えられる。
【０１０５】
メカニカルスターラ、アルゴン注入口、還流冷却器、及び添加漏斗を装備した５リットルの３つ口丸底フラスコ中で、２８２．６８グラム（２５６ミリリットル）の塩化アセチルをジメトキシメタン（３１３．６グラム、３６６．８ミリリットル）及びメタノール（１０ミリリットル）の混合物へ添加することによってクロロメチルエーテルの酢酸メチル溶液を製造した。この溶液を１０６６．８ミリリットルの１、１、２、２−テトラクロロエタンで希釈し、次に、四塩化スズ（２．４ミリリットル）を耐ガス構造のシリンジによって添加すると共に、添加漏斗を用いて１、１、２、２−テトラクロロエタン（１３３．２ミリリットル）を添加した。反応溶液を５０℃まで加熱した。その後、実施例IIで記載したように調製したポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）（１６０．８グラム）の１０００ミリリットルのテトラクロロエタン溶液をすばやく添加した。次いで反応混合物を１１０℃に設定したオイルバスで加熱還流した。連続的に攪拌しながら４時間還流した後、加熱を停止し、混合物を２５℃まで冷却した。反応混合物を２リットルの丸底フラスコへ段階的に移し、液体窒素でトラップされた真空ポンプを用いて減圧を維持しながら、５０℃までの緩やかな加熱でロータリーエバポレータを用いて濃縮した。濃縮物をメタノール（４ガロン）へ添加して、ワーリングブレンダを用いてポリマーを沈殿させた。ポリマーを濾過により分離し、真空乾燥させて、繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）２００グラムを得た（ ¹Ｈ−ＮＭＲ分光測定法を用いて同定）。同一の反応を１、２、３及び４時間で行った場合、繰返し単位当たりのクロロメチル基の量は、それぞれ、０．７６、１．０９、１．２９４及び１．４９６であった。
【０１０６】
無溶媒ポリマーは、塩化メチレン（５００グラム）中のポリマー（７５グラム）をメタノール（３ガロン）中へ再沈殿させた後、濾過及び真空乾燥して得ることができ、７０．５グラム（理論収率９９．６％）の無溶媒ポリマーを生成した。
【０１０７】
１６０．８グラムの代わりに８０．４グラムのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用する点を除いて同様の条件下（他の試薬の量は上記と同一）で反応を行い、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３及び４時間で、繰返し単位当たりそれぞれ１．３１、１．５０、１．７５及び２個のクロロメチル基を有するポリマーが形成された。
【０１０８】
他の試薬はそのままで、１６０．８グラムの代わりに２４１．２グラムのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用した場合、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３、４、５及び６時間で、繰返し単位当たりそれぞれ０．７９、０．９０、０．９８、１．０６、１．２２及び１．３８個のクロロメチル基を有するポリ（ＣＰＫ−ＢＰＡ）が形成された。
【０１０９】
他の試薬はそのままで、１６０．８グラムの代わりに３２１．６グラムのポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を使用した場合、１１０℃（オイルバス温度）で１、２、３、４、５、６、７及び８時間で、繰返し単位当たりそれぞれ０．５３、０．５９、０．６４、０．６７、０．７７、０．８６、０．９０及び０．９７個のクロロメチル基を有するポリ（ＣＰＫ−ＢＰＡ）が形成された。
【０１１０】
繰返し単位当たり１．５個のクロロメチル基を有するクロロメチル化ポリマー９０グラムを６３９ミリリットル（５５８．５グラム）のＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド中に含む溶液を調製し、この溶液をアクリル酸ナトリウム（５１．３９グラム）と共に２５℃で１週間、磁気的に攪拌した。次に、反応混合物を遠心分離し、上澄みを、メタノール０．７５リットルにつきポリマー溶液２５ミリリットルという相対量で、ワーリングブレンダを用いてメタノール（４．８ガロン）へ添加した。沈殿した白色粉体を濾過し、湿ったフィルタケーキを水（３ガロン）で洗浄し、次にメタノール（３ガロン）で洗浄した。次にポリマーを濾過により分離し、真空乾燥させて、７３．３グラムの白色粉体を得た。ポリマーは４つのモノマー繰返し単位毎に３個のアクリル酸エステル基と、４つのモノマー繰返し単位毎に３個のクロロメチル基とを有し、約２５０００の重量平均分子量を有した。
【０１１１】
繰返し単位当たり２個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を用い、他の試薬は同一のままで反応を繰り返した場合、繰返し単位当たり０．７６個のアクリル酸エステル基及び繰返し単位当たり１．２４個のクロロメチル基を達成するのに反応は４日かかった。
【０１１２】
繰返し単位当たり１．０個のクロロメチル基を有するポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を用い、他の試薬は同一のままで反応を繰り返した場合、繰返し単位当たり０．７５個のアクリル酸エステル基及び繰返し単位当たり２．５個のクロロメチル基を達成するのに反応は１４日かかった。
【０１１３】
３０ミクロンの厚膜を、１インチ当たり６００ドットの解像度でパターン形成した。硬化した膜は、典型的なサーマルインクジェット溶媒に耐性であった。光活性アクリロイル化ポリアリーレンエーテルケトンが繰返し単位当たり約０．７５個のアクリル酸エステル基と、繰返し単位当たり０．７５個と１．２５個の間のクロロメチル基とを有する場合、並びにゲル浸透クロマトグラフィにより決定された重量平均分子量が１５０００と２５０００の間である場合に、６００ｄｐｉにおける３００ミクロン膜の最良の解像度が達成された。
【０１１４】
実施例ＸＩＶ
実施例ＸIII に記載したように調製し、繰返し単位当たり０．７５個のアクリル酸エステル基と、繰返し単位当たり０．７５個のクロロメチル基とを有するポリマー５０グラムを１１７ミリリットルのＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミドに溶解し、３０ミリリットルのトリメチルアミンと共に氷浴中５℃で磁気的に攪拌する。反応混合物を２時間かけて２５℃に戻し、更に２時間の間攪拌を継続する。次に未反応のトリメチルアミンをロータリーエバポレータを用いて除去し、その結果得られたアクリル酸エステル置換基及び塩化トリメチルアンモニウム置換基の両方を有するポリマーを次のようにホトレジストとして使用する。
【０１１５】
ホスホシリケートガラス層を有するヒータウェハを、３０００回転／分で１０秒間、Ｚ６０２０接着促進剤溶液（９５部のメタノール及び５部の水中に０．０１重量パーセント、ダウコーニング）でスピンコーティングし、１００℃で２乃至１０分間乾燥させた。次に、光パターン形成可能なポリマーを含むホトレジストで、１０００乃至３０００回転／分で３０乃至６０秒間、ウェハ上をスピンコーティングする前に、ウェハを２５℃で５分間冷却する。固形分３０重量パーセントの上記溶液をミヒラーのケトンと合わせる（固形分４０重量パーセントのポリマー溶液の４０部毎に１．２部のケトン）ことによって、ホトレジスト溶液を製造する。膜を７０℃で１０乃至１５分間オーブン中で加熱（ソフトベーキング）する。５分かけて２５℃まで冷却した後、膜をマスクで覆い、２００ミリジュール／ｃｍ² に達するまで３６５ナノメートルの紫外光で露光する。次に露光したウェハを２分間の後露光ベークのために７０℃で加熱した後、５分かけて２５℃まで冷却した。膜を５０：５０の水／メタノール現像剤で現像し、次に７０℃で２分間乾燥させた。清浄な外観のウェハを得るために必要であれば第２の現像／洗浄サイクルを行う。処理したウェハを２５℃のオーブンへ移し、オーブン温度を２℃／分で２５から９０℃まで上げる。温度を９０℃で２時間維持し、次に２℃／分で２６０℃まで上げる。オーブン温度を２６０℃で２時間維持し、次にオーブンのスイッチを切って、温度を徐々に２５℃まで冷却する。ホトレジスト膜の熱硬化を窒素もしくはアルゴン、ネオン、クリプトン又はキセノン等の希ガスのうちの１つのような不活性雰囲気下で行う場合、現像膜の酸化は著しく低減され、得られる装置の熱及び加水分解安定性が改良される。更に、現像したホトレジスト膜の下部基板への接着が改良される。第１層の上に第２の層をスピンコーティングする場合、第２層を第１層上へスピンコーティングする前に、第１現像層の熱硬化を８０と２６０℃の間で停止してもよい。第２のより厚い層を上記手順を再び繰り返すことにより付着させる。１５ミクロンの膜は６００ｄｐｉで清浄な外観を有して現像できると考えられる。
【０１１６】
実施例ＸＶ
次式の４′−メチルベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１５５】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、トルエン（１５２グラム）を添加した。オイルバス温度を１３０℃まで上げ、１２．５グラムのトルエンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。塩化２、４−ジクロロベンゾイル（０．６８３モル、１４３グラム）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９グラム）を１５分かけて少しずつ添加し、塩酸ガスが激しく発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、溶媒を除去して固体の塊を得た。塊を塩化メチレン（１リットル）で抽出し、次に炭酸カリウムで乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、オイルを得た。オイルは冷えて、固体の結晶塊になった。−１５℃におけるメタノール（１リットル）からの再結晶により、第１群の８２．３グラムの４′−メチルベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼン（融点５５−５６℃）と、第２群の３２グラムの生成物（メタノール５００ミリリットルから）と、第３群の１６．２グラムの生成物とを得た。全回収生成物は１３４．７グラムであり、収率６５．６％であった。
【０１１７】
実施例ＸＶＩ
次式のベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１５６】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、ベンゼン（２００グラム）を添加した。オイルバス温度を１００℃まで上げ、１９グラムのベンゼンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。塩化２、４−ジクロロベンゾイル（０．６８３モル、１４３グラム）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９グラム）を１５分かけて少しずつ添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウムで乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、オイルを得た。オイルは冷えて、固体の結晶塊（１５４．８グラム）になった。メタノールからの再結晶により、第１群に１３３．８グラムのベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼンを白色の針状結晶として得た（融点４１−４３℃）。
【０１１８】
実施例ＸＶ II
塩化２、５−ジクロロベンゾイルを次のように調製した。氷浴中に配置され、アルゴン注入口、冷却器及びメカニカルスターラを備えた２リットルの三つ口丸底フラスコへ、４００ミリリットルのジクロロメタン中の２、５−ジクロロ安息香酸（９３．１グラム）を添加し、スラリーを形成した。次に、６８グラムのジクロロメタン中の塩化チオニル（８５グラム）を添加し、混合物を２５℃で攪拌した。次に、混合物を徐々に加熱し、１６時間還流を維持した。次に、塩化チオニルを８０℃より高温に加熱しながら、クライゼン蒸留取り出しヘッドを用いて除去した。反応残渣を５００ミリリットルの一つ口丸底フラスコへ移した後、０．１乃至０．３ｍｍＨｇ及び７０乃至１００℃で、クゲルロア（Kugelrohr ）装置及び真空ポンプを用いて蒸留し、氷浴冷却でトラップされた８２．１グラムの塩化２、５−ジクロロベンゾイルを黄色−白色固体として得た。
【０１１９】
実施例ＸＶ III
次式のベンゾイル−２、５−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１５７】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、ベンゼン（１４０グラム）を添加した。オイルバス温度を１００℃まで上げ、１９グラムのベンゼンが除去された。水の徴候はなかった。フラスコをオイルバスから取り出し、２５℃に冷却した。実施例ＸＶIIで記載したように調製した塩化２、５−ジクロロベンゾイル（９２．６グラム）を添加して溶液を形成した。その後、無水塩化アルミニウム（０．８１７５モル、１０９グラム）を１５分かけて少しずつ慎重に添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウム上で乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、結晶（１０３．２グラム）を得た。メタノールからの再結晶により、ベンゾイル−２、５−ジクロロベンゼンを白色の針状結晶として得た（融点８５−８７℃）。
【０１２０】
実施例ＸＩＸ
次式の４′−メチルベンゾイル−２、５−ジクロロベンゼンを以下のように調製した。
【化１５８】

メカニカルスターラ、アルゴン注入口、ディーンスタークトラップ、冷却器及び栓を備え、オイルバス中に配置された２リットルのフラスコへ、トルエン（２００グラム）を添加した。その後、無水塩化アルミニウム（６４グラム）を１５分かけて少しずつ慎重に添加し、ガスが激しく発生した。多量の塩酸が発生した（臭気で確認）。溶液はオレンジ−黄色になり、次に赤色になった。反応系をアルゴン下で１６時間攪拌し、次に２リットルビーカー中で１リットルの氷水へ添加した。混合物を、白色になるまで攪拌し、次に塩化メチレン（１リットル）で抽出した。塩化メチレン層を炭酸水素ナトリウム上で乾燥させ、濾過した。濾液をロータリーエバポレータ及び真空ポンプを用いて濃縮し、結晶を得た。メタノールからの再結晶により、３７．６グラムの４′−メチルベンゾイル−２、５−ジクロロベンゼンを淡黄色の針状結晶として得た（融点１０７−１０８℃）。
【０１２１】
実施例ＸＸ
次式（ここで、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）のポリマーを以下のように調製した。
【化１５９】

ディーン−スターク（バレット）トラップ、冷却器、メカニカルスターラ、アルゴン注入口、及び栓が備えつけられた２５０ミリリットルの三つ口丸底フラスコをシリコーンオイルバス中に配置した。４′−メチルベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼン（０．０３２５モル、８．６１２５グラム、実施例ＸＶで記載したように調製する）、ビスフェノールＡ（アルドリッチ２３９６５−８、０．０３５モル、７．９９グラム）、炭酸カリウム（１０．７グラム）、無水Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（６０ミリリットル）及びトルエン（６０ミリリットル、４９．１グラム）をフラスコに添加して１７５℃（オイルバス温度）に加熱し、揮発性トルエン成分を捕集及び除去した。連続的に攪拌しながら１７５℃で２４時間加熱した後、反応生成物を濾過し、濾液をメタノールへ添加してポリマーを沈澱させた。湿ったポリマーケーキを濾過により分離し、水で洗浄し、次にメタノールで洗浄した後、真空乾燥させた。ポリマー（７．７０グラム、収率４８％）をゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）（溶離溶媒はテトラヒドロフラン）により分析し、次の結果を得た：Ｍ_n １８９８、Ｍ_peak２１５４、Ｍ_w ２４７０、Ｍ_z ３２２０及びＭ_z+1 ４０９５。
【０１２２】
実施例ＸＸＩ
次式のポリマー（ｎはモノマー繰返し単位の数を示す）を４′−メチルベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼン出発物質の代わりに実施例ＸＶＩで記載したように調製した８．１６グラム（０．０３２５モル）のベンゾイル−２、４−ジクロロベンゼンを使用し、オイルバスを１７０℃で２４時間加熱した点を除いて、実施例ＸＸの方法を繰り返して調製した。
【化１６０】

【０１２３】
実施例ＸＸ II
ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を実施例ＸＸに記載の方法で調製したポリマーに置き換える以外は実施例III のプロセスを繰り返す。同様の結果が得られると思われる。
【０１２４】
実施例ＸＸ III
ポリ（４−ＣＰＫ−ＢＰＡ）を実施例ＸＸＩに記載の方法で調製したポリマーに置き換える以外は実施例III のプロセスを繰り返す。同様の結果が得られると思われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】娘ボードに搭載され、液滴噴射ノズルを示す印刷ヘッドの一例の拡大概要等角投影図である。
【図２】図１の２−２線に沿い、電極パッシベーション、及びマニホルドとインクチャネルとの間のインク流路を示す拡大断面図である。
【図３】図１の２−２線に沿うような、印刷ヘッドの他の実施の形態の拡大断面図である。
【符号の説明】
１０ 印刷ヘッド
１８ 厚膜絶縁層

Claims (1)

1. 下記構造を有するポリマー組成物。
   

   

   ここで、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ及びｍはそれぞれ０、１、２、３又は４の整数であるが、ただし、ｉ＋ｅの和は４以下であり、ｊ＋ｆの和は４以下であり、ｋ＋ｇの和は４以下であり、ｍ＋ｈの和は４以下であり、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのうちの少なくとも１つは１であり、ｘは０又は１の整数であり、ｎはモノマー繰返し単位の数を示す整数であり、Ａは以下の構造式又はこれらの混合物であり、
   

   

   

   

   Ｂは以下の構造式又はこれらの混合物であり、
   

   

   

   

   

   式中ｖは１〜２０の整数であり、
   

   

   式中ｚは２〜２０の整数であり、
   

   

   式中ｕは１〜２０の整数であり、
   

   

   式中ｗは１〜２０の整数であり、
   

   

   

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