JP4131578B2 - 基板処理システム - Google Patents
基板処理システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4131578B2 JP4131578B2 JP03785797A JP3785797A JP4131578B2 JP 4131578 B2 JP4131578 B2 JP 4131578B2 JP 03785797 A JP03785797 A JP 03785797A JP 3785797 A JP3785797 A JP 3785797A JP 4131578 B2 JP4131578 B2 JP 4131578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- backup
- data
- processing
- data file
- condition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の半導体基板や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板等の基板を処理する基板処理装置において、基板処理時に、該基板の各種処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルを自動的にバックアップするための自動バックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置の半導体基板（シリコンウェーハ等）をレシピの手順に従って処理する場合は、この基板の処理履歴を示すデータをデータファイルに残すようになっている。ここで、半導体基板の処理履歴とは、半導体基板の処理時に発生する様々な現象の履歴をいう。この処理履歴としては、例えば、半導体基板を処理する基板処理装置に障害が発生したことを示すアラームの発生履歴等がある。
【０００３】
ところで、半導体基板の処理履歴データが書き込まれるデータファイルの記憶容量は有限である。したがって、半導体基板の処理履歴データを長期に渡って保存するためには、データファイルが満杯になる前に、このデータファイルをバックアップする必要がある。すなわち、データファイルに書き込まれた処理履歴データを退避させる必要がある。
【０００４】
半導体基板の処理履歴データが書き込まれたデータファイルをバックアップする場合、従来は、手動によりバックアップするようになっていた。すなわち、利用者のバックアップ操作に従ってバックアップするようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成では、データファイルが満杯の場合、利用者によってバックアップ操作がなされないと、必要な処理履歴データが失われてしまうという問題があった。これは、データファイルが満杯の場合、新たに発生した処理履歴データが、データファイルにすでに書き込まれている処理履歴データに上書きされてしまうからである。
【０００６】
そこで、本発明は、必要な処理履歴データが失われてしまうことを極力防止可能な自動バックアップ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１記載の自動バックアップ装置は、基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定手段と、基板の処理時に、バックアップ条件設定手段によって設定された条件が成立すると、データファイルを自動的にバックアップするバックアップ手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成においては、まず、バックアップ条件設定手段により、データファイルを自動的にバックアップするための条件が設定される。この設定は、基板の処理に先立って、例えば、利用者によって行われる。このあと、基板の処理が開始されると、基板の処理履歴データがデータファイルに書き込まれる。このとき、バックアップ手段により、バックアップ条件が成立したか否かが判定される。そして、バックアップ条件が成立すると、バックアップ手段により、データファイルのバックアップ処理が実行される。以上から、データファイルは予め定めたバックアップ条件に従って自動的にバックアップされることになる。
【０００９】
請求項２記載の自動バックアップ装置は、請求項１記載の装置において、バックアップ条件設定手段が、バックアップ条件として、データファイルを所定の時間間隔で自動的にバックアップするための第１のバックアップ条件と、データファイルにデータが所定量書き込まれたときにこのデータファイルを自動的にバックアップするための第２のバックアップ条件とを選択的に設定可能なように構成されていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成においては、第１のバックアップ条件が設定されると、データファイルは所定の時間間隔で自動的にバックアップされる。これに対し、第２のバックアップ条件が設定されると、データファイルは所定量のデータが書き込まれた時点で自動的にバックアップされる。
【００１１】
請求項３記載の自動バックアップ装置は、請求項１記載の装置において、バックアップ手段が、バックアップの終了したデータファイルを処理する方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なように構成されていることを特徴とする。
【００１２】
上記構成においては、処理方法として、第１の処理方法が選択されると、バックアップの終了したデータファイルがバックアップ元のメディアから自動的に削除される。これに対し、第２の処理方法が選択されると、バックアップの終了したデータファイルがバックアップ元のメディアにそのまま残される。
【００１３】
【実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る自動バックアップ装置の一実施の形態のハードウェア構成を示すブロック図である。なお、図１には、この自動バックアップ装置を備えた半導体基板処理システム全体の構成を示す。
【００１５】
図示の半導体基板処理システムは、複数の半導体基板処理装置１０（１），１０（２），…と、これらを集中制御するコントローラ（以下「ブロックコントローラ」という。）２０と、処理履歴データが書き込まれたデータファイルのバックアップ先メディアとして使用されるディジタルオーディオテープ（以下「ＤＡＴ」という。）３０及び磁気光ディスク（以下「ＭＯ」という。）４０と、データファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定部５０とを有する。なお、図には、複数の半導体基板処理装置として、例えば、３２台の反応管装置（以下「チューブ」という。）１０（１）〜１０（３２）を代表として示す。
【００１６】
ブロックコントローラ２０とチューブ１０（１）〜１０（３２）とは、例えば、ローカルエリアネットワーク（以下「ＬＡＮ」という。）６０により接続されている。また、ブロックコントローラ２０とＤＡＴ３０及びＭＯ４０とは、例えば、ＳＣＳＩ（ｓｍａｌｌ ｃｏｍｐｕｔｅｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）７０により接続されている。
【００１７】
ブロックコントローラ２０には、ハードディスク２１が内蔵されている。このハードディスク２１には、バックアップ条件設定部５０により設定されたバックアップ条件が書き込まれるバックアップ条件設定ファイルＦ１と、半導体基板の処理履歴データが書き込まれるデータファイルＦ２とが格納されている。また、このハードディスク２１には、すべてのチューブ１０（１）〜１０（３２）で共用される共有メモリＭが設定されている。
【００１８】
共有メモリＭには、接続メディアフラグＳＥ ＩＳＹＳＰと、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥとが格納されている。
【００１９】
接続メディアフラグＳＥ ＩＳＹＳＰは、ブロックコントローラ２０に接続されているメディアを示すフラグである。このフラグＳＥ ＩＳＹＳＰの値は、コントローラ２０にＤＡＴ３０とＭＯ４０のいずれも接続されていない場合は、０に設定され、ＤＡＴ３０のみが接続されている場合は、１に設定され、ＭＯ４０のみが接続されている場合は２に設定され、ＤＡＴ３０とＭＯ４０の両方が接続されている場合は、３に設定される。なお、このフラグＳＥ ＩＳＹＳＰの値は、ブロックコントローラ２０の起動時に、このブロックコントローラ２０によって自動的に設定される。
【００２０】
自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥは、データファイルＦ２のバックアップ先のメディアを示すフラグである。このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥの値は、データファイルＦ２のバックアップ先のメディアが指定されていない場合は、０に設定され、このメディアとして、ＤＡＴ３０が指定されている場合は、１に設定され、ＭＯ４０が指定されている場合は、２に設定される。なお、このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥの値は、バックアップ条件の設定時に、利用者によって設定される。また、このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥは、各チューブ１０（ｎ）（ｎ＝１〜３２）の各処理履歴データごとに設けられる。この処理履歴データの種類については、次に説明する。
【００２１】
データファイルＦ２は、各チューブ１０（ｎ）の各処理履歴データごとに設けられる。この処理履歴データとしては、例えば、チューブ１０（ｎ）に障害が発生したことを示すアラーム（ＡＬＡＲＭ）データＤ（１）と、半導体基板の処理時間内に一定間隔で収集された温度やガス流量等を示すトレース（ＴＲＡＣＥ）データＤ（２）と、半導体基板の処理時間内のある時間帯における各データの最大、最小、平均値を示すイベント（ＥＶＥＮＴ）データＤ（３）と、半導体基板の処理を開始時からある時間が経過したときの各データを示すポイント（ＰＯＩＮＴ）データＤ（４）とがある。したがって、ハードディスク２１には、最大で３２×４のデータファイルＦ２が格納される。
【００２２】
バックアップ条件設定部５０は、例えば、バックアップ条件設定画面を表示する表示部を有する。バックアップ条件は、この表示部に表示されたバックアップ条件設定画面を利用者がタッチ操作等によって操作することにより設定される。コントローラ２０は、半導体基板の処理時に、利用者により設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルＦ２のバックアップ処理を実行する。
【００２３】
図２は、１つのチューブ１０（ｎ）分のバックアップ条件設定画面の一例を示す図である。図示のバックアップ条件設定画面には、当該画面がバックアップ条件設定画面であることを示すタイトル表示部１Ａと、現在時刻を表示する現在時刻表示部２Ａと、パラメータ変更メニュー画面への遷移を指示するためのメニュー（ＭＥＮＵ）釦３Ａと、バックアップ条件設定画面をハードコピーするためのコピー（ＣＯＰＹ）釦４Ａと、オーバービュー画面への遷移を指示するためのイグズィット（ＥＸＩＴ）釦５Ａとが表示される。現在時刻は、月（ＭＭ）と、日（ＤＤ）と、年（ＹＹ）と、時（ｈｈ）と、分（ｍｍ´）とで表される。ここでパラメータ変更メニュー画面とは、利用者がパラメータの変更操作を行うためののメニュー画面である。また、オーバービュー画面とは、全チューブ１０（１）〜１０（３２）の動作内容の概略を示す画面である。
【００２４】
また、図示のバックアップ条件設定画面には、データファイルＦ２のバックアップ先メディアとしてＤＡＴ３０を選択するためのＤＡＴ選択釦６Ａと、同じく、ＭＯ４０を選択するためのＭＯ選択釦７Ａと、設定されたバックアップ条件をバックアップ条件設定ファイルＦ１と共有メモリＭとに書き込むためのセット（ＳＥＴ）釦８Ａとが表示される。
【００２５】
さらに、図示のバックアップ条件設定画面には、データファイルＦ２の種類を示すファイルタイプ（Ｆｉｌｅ Ｔｙｐｅ）欄９Ａと、自動バックアップ方法を選択するための選択バックアップ（Ｓｅｌｅｃｔ Ｂａｃｋｕｐ）欄１０Ａと、自動バックアップの時間間隔を指定するためのバックアップ間隔（ＢａｃｋｕｐＩｎｔｅｒｖａｌ）欄１１Ａと、自動バックアップの開始日時を指定するためのバックアップ開始日時（Ｂａｃｋｕｐ Ｄａｔｅ）欄１２Ａと、バックアップしたデータファイルＦ２を削除するか否かを指定するためのファイル削除（Ｆｉｌｅ Ｄｅｌｅｔｅ）欄１３Ａとが表示される。
【００２６】
ファイルタイプ欄９Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）（ｍ＝１〜４）ごとに、バックアップ状態を選択するためのバックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）が表示される。ここで、バックアップ状態としては、データファイルＦ２を自動的にバックアップするための自動バックアップ状態と、データファイルＦ２を手動によりバックアップするための手動バックアップ状態とがある。
【００２７】
通常、バックアップ条件設定画面が起動された状態においては、手動バックアップ状態が選択される。この状態で、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作すると、自動バックアップ状態が選択される。このあと、さらに、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作すると、今度は、手動バックアップ状態が選択される。以下、同様に、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作するたびに、自動バックアップ状態と手動バックアップ状態とが交互に選択される。
【００２８】
なお、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）は、例えば、手動バックアップ状態では、ノーマル表示され、自動バックアップ状態では、リバース表示される。これにより、利用者は、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）の表示形態をみることにより、バックアップ状態を知ることができる。
【００２９】
選択バックアップ欄１０Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、サイクル（ＣＹＣＬＥ）釦１５Ａ（ｍ）と、データフル（ＤＡＴＡ ＦＵＬＬ）釦１６Ａ（ｍ）とが表示される。サイクル釦１５Ａ（ｍ）は、自動バックアップ方法として、サイクル方法を指定するための釦である。ここで、サイクル方法とは、バックアップ処理を所定の時間間隔で自動的に行う方法である。データフル釦１６Ａ（ｍ）は、自動バックアップ方法として、データフル方法を指定するための釦である。ここで、データフル方法とは、データファイルＦ２が満杯になったときに、バックアップ処理を自動的に行う方法である。
【００３０】
バックアップ間隔欄１１Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、日（ＤＡＹ）釦１７Ａ（ｍ）と、月（ＭＯＮＴＨ）釦１８Ａ（ｍ）と、マンスリ（ＭＯＮＴＨＬＹ）釦１９Ａ（ｍ）と、カウント釦２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ），２２Ａ（ｍ）とが表示される。
【００３１】
日釦１７Ａ（ｍ）は、バックアップ間隔の単位が日単位であることを指定するための釦である。この日釦１７Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２０Ａ（ｍ）は、日単位のバックアップ間隔を指定するための釦である。このカウント釦２０Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。このカウント値は、例えば、１から３１まで設定可能である。カウント値を５に設定すると、バックアップは５日おきに行われる。なお、カウント値は、例えば、カウント釦２０Ａ（ｍ）の表面に表示される。
【００３２】
月釦１８Ａ（ｍ）は、バックアップ間隔の単位が月単位であることを指定するための釦である。この月釦１８Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２１Ａ（ｍ）は、月単位のバックアップ間隔を指定するための釦である。このカウント釦２１Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。このカウント値は、例えば、１から１２まで設定可能である。カウント値を３に設定すると、バックアップは３ケ月おきに行われる。なお、カウント値は、例えば、カウント釦２１Ａ（ｍ）の表面に表示される。
【００３３】
マンスリ釦１９Ａ（ｍ）は、バックアップを毎月決まった日に行うことを指定するための釦である。このマンスリ釦１９Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２２Ａ（ｍ）は、何日にバックアップを行うかを指定するための釦である。このカウント釦２２Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。
【００３４】
このカウント値は、例えば、１から３１まで設定可能である。このカウント値を２９あるいは３０に設定すると、毎月２９日あるいは３０日にバックアップが行われる。但し、この場合、２月については、閏年の場合は、２月２９にバックアップが行われ、閏年でない場合は、２月２８にバックアップが行われる。
【００３５】
また、カウント値を３１に設定すると、１月、３月、５月、７月、８月、１０月、１２月については、毎月３１日にバックアップが行われ、４月、６月、９月、１１月については、毎月３０日にバックアップが行われる。２月については、閏年の場合は、２月２９日にバックアップが行われ、閏年でない場合は、２月２８日にバックアップが行われる。
【００３６】
バックアップ開始日時欄１２Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、バックアップの開始日時を表示するための開始日時表示部２３Ａ（ｍ）が設けられている。バックアップの開始日時は、月（ＭＭ）と、日（ＤＤ）と、時（ｈｈ）と、分（ｍｍ´）とで表される。
【００３７】
月は、１から１２まで設定可能である。日は、４月、６月、９月、１１月の場合は、１から３０まで設定可能で、１月、３月、５月、７月、８月、１０月、１２月の場合は、１から３１まで設定可能である。２月については、閏年の場合は、１から２９まで設定可能であり、閏年でない場合は、１から２８まで設定可能である。時は、０から２３まで設定可能であり、分は、０から５９まで設定可能である。これらの設定は、上述したカウント釦２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ），２２Ａ（ｍ）によってバックアップ間隔を設定する場合と同じようにして行われる。すなわち、例えば、月を設定する場合は、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）において、月に対応する部分を操作することにより行われる。
【００３８】
ファイル削除欄１３Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、削除（ＤＥＬＥＴＥ）釦２４Ａ（ｍ）と、非削除（ＮＯＴ ＤＥＬＥＴＥ）釦２５Ａ（ｍ）とが設けられている。ここで、削除釦２５Ａ（ｍ）は、バックアップされたデータファイルＦ２をバックアップ元のメディア、すなわち、ハードディスク２１から削除することを指定するための釦であり、非削除釦２５Ａ（ｍ）は、逆に削除しないことを指定するための釦である。
【００３９】
図３は、バックアップ条件設定ファイルＦ１のフォーマットを示す図である。図示のごとく、バックアップ条件設定ファイルＦ１は、アラームデータＤ（１）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（１）と、トレースデータＤ（２）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（２）と、イベントデータＤ（３）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（３）と、ポイントデータＤ（４）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（４）とからなる。各レコードＲ（ｍ）の長さは６４バイトに設定されている。また、各レコードＲ（ｍ）のフォーマットは、同じフォーマットに設定されている。
【００４０】
図４は、各レコードＲ（ｍ）のフォーマットを示す図である。図示のごとく、各レコードＲ（ｍ）には、バックアップ状態を示すデータと、自動バックアップの開始日時を示すデータと、自動バックアップ方法を示すデータと、自動バックアップの間隔を示すデータと、自動バックアップの間隔の単位を示すデータと、自動バックアップ後のデータファイルＦ２の削除の有無を示すデータと、予備のデータとが書き込まれる。
【００４１】
バックアップ状態を示すデータは、上記のごとく、図２に示すバックアップ状態設定釦１４Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート（ｓｈｏｒｔ）型に設定され、サイズ（ｓｉｚｅ）は、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、手動バックアップ状態を示し、１の場合は、自動バックアップ状態を示す。
【００４２】
自動バックアップの開始日時を示すデータは、上記のごとく、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、文字（ｃｈａｒ）型に設定され、サイズは、１２バイトに設定されている。
【００４３】
自動バックアップ方法を示すデータは、上記のごとく、サイクル釦１５Ａ（ｍ）あるいはデータフル釦１６Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、自動バックアップ方法がサイクル方法やデータフル方法のいずれでもないことを示し、１の場合は、サイクル方法であることを示し、２の場合は、データフル方法であることを示す。
【００４４】
自動バックアップ間隔を示すデータは、カウンタ２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ）あるいは２２Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。また、このデータは、自動バックアップ方法として、サイクル方法が設定された場合のみ設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。
【００４５】
自動バックアップ間隔の単位を示すデータは、上記のごとく、日釦１７Ａ（ｍ）、月釦１８Ａ（ｍ）あるいはマンスリ釦１９Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。また、このデータは、自動バックアップ方法がサイクル方法の場合のみ設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、自動バックアップ間隔の単位が指定されず、１の場合は、日が指定され、２の場合は、月が指定され、３の場合は、マンスリが指定される。
【００４６】
データファイルＦ２の削除の有無を示すデータは、上記のごとく、削除釦２４Ａ（ｍ）あるいは非削除釦２５Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が１の場合は、データファイルＦ２の削除が指定され、２の場合は、非削除が指定される。
【００４７】
予備のデータの型は、ショート型に設定され、サイズは２１バイトに設定されている。
【００４８】
上記構成において、動作を説明する。まず、バックアップ条件の設定動作を説明する。図５は、この動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示すフローチャートである。なお、図には、１つのチューブ１０（ｎ）における１つの処理履歴データＤ（ｍ）のバックアップ条件の設定動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示す。
【００４９】
この処理においては、ブロックコントローラ２０は、まず、利用者に対し、バックアップ状態として自動バックアップ状態を設定するデータＤ（ｍ）の指定を指示する（ステップＳ１１）。この指示は、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ状態として、自動バックアップ状態を設定するデータＤ（ｍ）を指定する。この指定は、ファイルタイプ欄９Ａに表示されたバックアップ状態設定釦１４Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５０】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップ方法の指定を指示する（ステップＳ１２）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、自動バックアップ方法として、サイクル方法とデータフル方法のいずれか一方を指定する。この場合、２つの方法の同時指定は禁止される。この指定は、選択バックアップ欄１０Ａに表示されたサイクル釦１５Ａ（ｍ）とデータフル釦１６Ａ（ｍ）のいずれか一方を操作することにより行われる。
【００５１】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者によって指定された自動バックアップ方法を判定する（ステップＳ１３）。指定された自動バックアップ方法がサイクル方法の場合は、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップ間隔の単位の指定を指示する（ステップＳ１４）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ間隔の単位として、日単位、月単位あるいはマンスリ単位のいずれか１つを指定する。この場合、２つ以上の単位の同時指定は禁止される。この指定は、日釦１７Ａ（ｍ）、月釦１８Ａ（ｍ）あるいはマンスリ釦１９Ａ（ｍ）のいずれか１つを操作することにより行われる。
【００５２】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、バックアップ間隔の指定を指示する（ステップＳ１５）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ間隔を指定する。この指定は、カウント釦２０Ａ（ｍ）、２１Ａ（ｍ）あるいは２２Ａ（ｍ）のいずれか１つを操作することにより行われる。
【００５３】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップの開始日時の指定を指示する（ステップＳ１６）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、自動バックアップの開始日時を指定する。この指定は、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５４】
次に、ブロックコントローラ２０は、バックアップされたデータファイルＦ２の削除の指定を指示する（ステップＳ１７）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、データファイルＦ２を削除する場合は、削除を指定し、削除しない場合は、非削除を指定する。この場合、両者の同時指定は禁止される。これらの指定は、削除釦２４Ａ（ｍ）あるいは非削除釦２５Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５５】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、バックアップ先のメディアの選択を指示する（ステップＳ１８）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、ＤＡＴ３０あるいはＭＯ４０のいずれか一方を選択する。この場合、両方の同時選択は禁止される。この選択は、ＤＡＴ釦６ＡあるいはＭＯ釦７Ａのいずれか一方を操作することにより行われる。
【００５６】
次に、ブロックコントローラ２０は、セット釦８Ａの操作を指示する（ステップＳ１９）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、セット釦８Ａを操作する。
【００５７】
ブロックコントローラ２０は、この操作があると、設定されたバックアップ条件を示すデータのうち、バックアップ先のメディアを示すデータを除く部分を条件設定ファイルＦ１のデータＤ（ｍ）に対応するレコードＲ（ｍ）に書き込むとともに、バックアップ先のメディアを示すデータに基づいて、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥを共有メモリＭに書き込む（ステップＳ２０）。
【００５８】
なお、自動バックアップ方法として、データフル方法が指定された場合は、バックアップ間隔等を指定する必要がないので、ステップＳ１３からステップＳ１７に移行する。
【００５９】
以上により、１つのチューブ１０（ｎ）の１つの処理履歴データＤ（ｍ）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。したがって、このような処理を４つの処理履歴データＤ（１）〜Ｄ（４）について実行すれば、１つのチューブ１０（ｎ）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。また、これを３２回繰り返せば、３２個のチューブ１０（１）〜１０（３２）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。以上が、バックアップ条件の設定動作である。
【００６０】
次に、自動バックアップ動作について説明する。図６は、この自動バックアップ動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示すフローチャートである。なお、図には、１つのチューブ１０（ｎ）における１つの処理履歴データＤ（ｍ）のバックアップ動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示す。図示の処理は、半導体基板の処理が開始されることにより開始される。
【００６１】
この処理においては、ブロックコントローラ２０は、まず、自動バックアップ条件が成立したか否かを判定する（ステップＳ２１）。自動バックアップ条件が成立しなければ、ブロックコントローラ２０は、そのままこの判定処理を続ける。これに対し、自動バックアップ条件が成立すると、ブロックコントローラ２０は、データファイルＦ２のバックアップ処理を実行する（ステップＳ２２）。この場合、データファイルＦ２は、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥで指定されたメディアに書き込まれる。
【００６２】
この処理が終了すると、ブロックコントローラ２０は、半導体基板の処理が終了したか否かを判定する（ステップＳ２３）。半導体基板の処理が終了しなければ、ステップＳ２１に戻る。これにより、再び、上述した処理が実行される。この状態は、半導体基板の処理が終了するまで続けられる。半導体基板の処理が終了すると、終了状態となる。以上が、自動バックアップ動作である。
【００６３】
以上詳述した本実施の形態によれば、半導体基板の処理履歴データＤ（ｍ）が書き込まれたデータファイルＦ２のバックアップ条件を設定するための手段と、半導体基板の処理時に、設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルＦ２を自動的にバックアップする手段とを設けるようにしたので、データファイルＦ２を自動的にバックアップすることができる。これにより、必要な処理履歴データＤ（ｍ）を確実に残すことができる。
【００６４】
また、本実施の形態によれば、バックアップ条件として、データファイルＦ２を所定の時間間隔で自動的にバックアップするための条件と、データファイルＦ２が満杯になったときに、このデータファイルＦ２を自動的にバックアップするための条件とを選択的に設定可能なようにしたので、半導体基板の処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生した場合でも、必要な処理履歴データＤ（ｍ）を確実に、かつ、効率的に残すことができる。
【００６５】
すなわち、バックアップ条件を設定する場合は、データファイルＦ２を所定の時間間隔でバックアップする条件のみ設定可能なようにすることが考えられる。しかしながら、このような構成では、処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生する場合、次のような問題が生じる。
【００６６】
すなわち、この場合、バックアップ間隔を長くすると、データファイルＦ２をバックアップする前に、このデータファイルＦ２が満杯になり、必要な処理履歴データＤ（ｍ）が失われてしまうことがある。一方、バックアップ間隔を短くすると、データファイルＦ２の容量にかなりの余裕がある場合でも、データファイルＦ２がバックアップされ、バックアップ先のメディアの使用効率が低下してしまうことがある。
【００６７】
そこで、本実施の形態では、バックアップ条件として、データファイルＦ２を所定の時間間隔でバックアップする条件だけでなく、データファイルＦ２が満杯になったときにバックアップする条件も設定可能なようにしたものである。このような構成によれば、処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生する場合、バックアップ条件として、後者の条件を設定すれば、上述した問題を解決することができる。
【００６８】
また、本実施の形態によれば、バックアップの終了したデータファイルＦ２の処理方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なようにしたので、バックアップ元のメディア（ハードディスク２１）の記憶容量が小さい場合であっても、これが満杯になってしまうことを極力防止することができる。
【００６９】
以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定されるものではない。
【００７０】
例えば、先の実施の形態では、データファイルＦ２に所定量の処理履歴データが書き込まれたとき、このデータファイルＦ２をバックアップする方法として、データファイルＦ２が満杯になったとき、バックアップする方法を説明した。しかしながら、本発明では、満杯になる前にバックアップするようにしてもよい。
【００７１】
また、先の実施の形態では、本発明を、半導体基板処理装置としてチューブを有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、チューブ以外の半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７２】
また、先の実施の形態では、本発明を、複数の半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、１つの半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７３】
また、先の実施の形態では、本発明を、半導体装置の半導体基板を処理する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、半導体装置の半導体基板以外の基板を処理する基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。例えば、本発明は、ＬＣＤのガラス基板を処理するガラス基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７４】
このほかにも、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論である。
【００７５】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１記載の自動バックアップ装置によれば、基板の処理履歴データが書き込まれたデータファイルのバックアップ条件を設定する手段と、基板の処理時に、設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルを自動的にバックアップする手段とを設けるようにしたので、データファイルを自動的にバックアップすることができる。これにより、必要な処理履歴データを確実に残すことができる。
【００７６】
また、請求項２記載の自動バックアップ装置によれば、バックアップ条件として、データファイルを所定の時間間隔で自動的にバックアップするための条件と、データファイルに所定量のデータが書き込まれたときに、このデータファイルを自動的にバックアップするための条件とを選択的に設定可能なようにしたので、処理履歴データがランダムに発生する場合でも、必要な処理履歴データを確実に、かつ、効率的に残すことができる。
【００７７】
さらに、請求項３記載の自動バックアップ装置によれば、バックアップの終了したデータファイルを処理する方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なようにしたので、バックアップ元のメディアの記憶容量が小さい場合であっても、これが満杯になってしまうことを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る自動バックアップ装置の一実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図２】一実施の形態のバックアップ条件設定画面を示す図である。
【図３】一実施の形態のバックアップ条件設定ファイルのフォーマットを示す図である。
【図４】一実施の形態のバックアップ条件設定ファイルを構成するレコードのフォーマットを示す図である。
【図５】一実施の形態のバックアップ条件設定動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】一実施の形態のバックアップ動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１０（１）〜１０（３２）…チューブ、２０…ブロックコントローラ、３０…ＤＡＴ、４０…ＭＯ、５０…バックアップ条件設定部、６０…ＬＡＮ、７０…ＳＣＳＩ、１Ａ…タイトル表示部、２Ａ…現在時刻表示部、３Ａ…メニュー釦、４Ａ…コピー釦、５Ａ…イグズィット釦、６Ａ…ＤＡＴ選択釦、７Ａ…ＭＯ選択釦、８Ａ…セット釦、９Ａ…ファイルタイプ欄、１０Ａ…選択バックアップ欄、１１Ａ…バックアップ間隔欄、１２Ａ…バックアップ開始日時欄、１３Ａ…ファイル削除欄、１４Ａ（１）〜１４Ａ（４）…バックアップ状態選択釦、１５Ａ（１）〜１５Ａ（４）…サイクル釦、１６Ａ（１）〜１６Ａ（４）…データフル釦、１７Ａ（１）〜１７Ａ（４）…日釦、１８Ａ（１）〜１８Ａ（４）…月釦、１９Ａ（１）〜１９Ａ（４）…マンスリ釦、２０Ａ（１）〜２０Ａ（４），２１Ａ（１）〜２１Ａ（４），２２Ａ（１）〜２２Ａ（４）…カウント釦、２３Ａ（１）〜２３Ａ（４）…開始日時表示部、２４Ａ（１）〜２４Ａ（４）…削除釦、２５Ａ（１）〜２５Ａ（４）…非削除釦。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の半導体基板や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板等の基板を処理する基板処理装置において、基板処理時に、該基板の各種処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルを自動的にバックアップするための自動バックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置の半導体基板（シリコンウェーハ等）をレシピの手順に従って処理する場合は、この基板の処理履歴を示すデータをデータファイルに残すようになっている。ここで、半導体基板の処理履歴とは、半導体基板の処理時に発生する様々な現象の履歴をいう。この処理履歴としては、例えば、半導体基板を処理する基板処理装置に障害が発生したことを示すアラームの発生履歴等がある。
【０００３】
ところで、半導体基板の処理履歴データが書き込まれるデータファイルの記憶容量は有限である。したがって、半導体基板の処理履歴データを長期に渡って保存するためには、データファイルが満杯になる前に、このデータファイルをバックアップする必要がある。すなわち、データファイルに書き込まれた処理履歴データを退避させる必要がある。
【０００４】
半導体基板の処理履歴データが書き込まれたデータファイルをバックアップする場合、従来は、手動によりバックアップするようになっていた。すなわち、利用者のバックアップ操作に従ってバックアップするようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成では、データファイルが満杯の場合、利用者によってバックアップ操作がなされないと、必要な処理履歴データが失われてしまうという問題があった。これは、データファイルが満杯の場合、新たに発生した処理履歴データが、データファイルにすでに書き込まれている処理履歴データに上書きされてしまうからである。
【０００６】
そこで、本発明は、必要な処理履歴データが失われてしまうことを極力防止可能な自動バックアップ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１記載の自動バックアップ装置は、基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定手段と、基板の処理時に、バックアップ条件設定手段によって設定された条件が成立すると、データファイルを自動的にバックアップするバックアップ手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成においては、まず、バックアップ条件設定手段により、データファイルを自動的にバックアップするための条件が設定される。この設定は、基板の処理に先立って、例えば、利用者によって行われる。このあと、基板の処理が開始されると、基板の処理履歴データがデータファイルに書き込まれる。このとき、バックアップ手段により、バックアップ条件が成立したか否かが判定される。そして、バックアップ条件が成立すると、バックアップ手段により、データファイルのバックアップ処理が実行される。以上から、データファイルは予め定めたバックアップ条件に従って自動的にバックアップされることになる。
【０００９】
請求項２記載の自動バックアップ装置は、請求項１記載の装置において、バックアップ条件設定手段が、バックアップ条件として、データファイルを所定の時間間隔で自動的にバックアップするための第１のバックアップ条件と、データファイルにデータが所定量書き込まれたときにこのデータファイルを自動的にバックアップするための第２のバックアップ条件とを選択的に設定可能なように構成されていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成においては、第１のバックアップ条件が設定されると、データファイルは所定の時間間隔で自動的にバックアップされる。これに対し、第２のバックアップ条件が設定されると、データファイルは所定量のデータが書き込まれた時点で自動的にバックアップされる。
【００１１】
請求項３記載の自動バックアップ装置は、請求項１記載の装置において、バックアップ手段が、バックアップの終了したデータファイルを処理する方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なように構成されていることを特徴とする。
【００１２】
上記構成においては、処理方法として、第１の処理方法が選択されると、バックアップの終了したデータファイルがバックアップ元のメディアから自動的に削除される。これに対し、第２の処理方法が選択されると、バックアップの終了したデータファイルがバックアップ元のメディアにそのまま残される。
【００１３】
【実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る自動バックアップ装置の一実施の形態のハードウェア構成を示すブロック図である。なお、図１には、この自動バックアップ装置を備えた半導体基板処理システム全体の構成を示す。
【００１５】
図示の半導体基板処理システムは、複数の半導体基板処理装置１０（１），１０（２），…と、これらを集中制御するコントローラ（以下「ブロックコントローラ」という。）２０と、処理履歴データが書き込まれたデータファイルのバックアップ先メディアとして使用されるディジタルオーディオテープ（以下「ＤＡＴ」という。）３０及び磁気光ディスク（以下「ＭＯ」という。）４０と、データファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定部５０とを有する。なお、図には、複数の半導体基板処理装置として、例えば、３２台の反応管装置（以下「チューブ」という。）１０（１）〜１０（３２）を代表として示す。
【００１６】
ブロックコントローラ２０とチューブ１０（１）〜１０（３２）とは、例えば、ローカルエリアネットワーク（以下「ＬＡＮ」という。）６０により接続されている。また、ブロックコントローラ２０とＤＡＴ３０及びＭＯ４０とは、例えば、ＳＣＳＩ（ｓｍａｌｌ ｃｏｍｐｕｔｅｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）７０により接続されている。
【００１７】
ブロックコントローラ２０には、ハードディスク２１が内蔵されている。このハードディスク２１には、バックアップ条件設定部５０により設定されたバックアップ条件が書き込まれるバックアップ条件設定ファイルＦ１と、半導体基板の処理履歴データが書き込まれるデータファイルＦ２とが格納されている。また、このハードディスク２１には、すべてのチューブ１０（１）〜１０（３２）で共用される共有メモリＭが設定されている。
【００１８】
共有メモリＭには、接続メディアフラグＳＥ ＩＳＹＳＰと、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥとが格納されている。
【００１９】
接続メディアフラグＳＥ ＩＳＹＳＰは、ブロックコントローラ２０に接続されているメディアを示すフラグである。このフラグＳＥ ＩＳＹＳＰの値は、コントローラ２０にＤＡＴ３０とＭＯ４０のいずれも接続されていない場合は、０に設定され、ＤＡＴ３０のみが接続されている場合は、１に設定され、ＭＯ４０のみが接続されている場合は２に設定され、ＤＡＴ３０とＭＯ４０の両方が接続されている場合は、３に設定される。なお、このフラグＳＥ ＩＳＹＳＰの値は、ブロックコントローラ２０の起動時に、このブロックコントローラ２０によって自動的に設定される。
【００２０】
自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥは、データファイルＦ２のバックアップ先のメディアを示すフラグである。このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥの値は、データファイルＦ２のバックアップ先のメディアが指定されていない場合は、０に設定され、このメディアとして、ＤＡＴ３０が指定されている場合は、１に設定され、ＭＯ４０が指定されている場合は、２に設定される。なお、このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥの値は、バックアップ条件の設定時に、利用者によって設定される。また、このフラグＳＥ ＩＴＵＢＥは、各チューブ１０（ｎ）（ｎ＝１〜３２）の各処理履歴データごとに設けられる。この処理履歴データの種類については、次に説明する。
【００２１】
データファイルＦ２は、各チューブ１０（ｎ）の各処理履歴データごとに設けられる。この処理履歴データとしては、例えば、チューブ１０（ｎ）に障害が発生したことを示すアラーム（ＡＬＡＲＭ）データＤ（１）と、半導体基板の処理時間内に一定間隔で収集された温度やガス流量等を示すトレース（ＴＲＡＣＥ）データＤ（２）と、半導体基板の処理時間内のある時間帯における各データの最大、最小、平均値を示すイベント（ＥＶＥＮＴ）データＤ（３）と、半導体基板の処理を開始時からある時間が経過したときの各データを示すポイント（ＰＯＩＮＴ）データＤ（４）とがある。したがって、ハードディスク２１には、最大で３２×４のデータファイルＦ２が格納される。
【００２２】
バックアップ条件設定部５０は、例えば、バックアップ条件設定画面を表示する表示部を有する。バックアップ条件は、この表示部に表示されたバックアップ条件設定画面を利用者がタッチ操作等によって操作することにより設定される。コントローラ２０は、半導体基板の処理時に、利用者により設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルＦ２のバックアップ処理を実行する。
【００２３】
図２は、１つのチューブ１０（ｎ）分のバックアップ条件設定画面の一例を示す図である。図示のバックアップ条件設定画面には、当該画面がバックアップ条件設定画面であることを示すタイトル表示部１Ａと、現在時刻を表示する現在時刻表示部２Ａと、パラメータ変更メニュー画面への遷移を指示するためのメニュー（ＭＥＮＵ）釦３Ａと、バックアップ条件設定画面をハードコピーするためのコピー（ＣＯＰＹ）釦４Ａと、オーバービュー画面への遷移を指示するためのイグズィット（ＥＸＩＴ）釦５Ａとが表示される。現在時刻は、月（ＭＭ）と、日（ＤＤ）と、年（ＹＹ）と、時（ｈｈ）と、分（ｍｍ´）とで表される。ここでパラメータ変更メニュー画面とは、利用者がパラメータの変更操作を行うためののメニュー画面である。また、オーバービュー画面とは、全チューブ１０（１）〜１０（３２）の動作内容の概略を示す画面である。
【００２４】
また、図示のバックアップ条件設定画面には、データファイルＦ２のバックアップ先メディアとしてＤＡＴ３０を選択するためのＤＡＴ選択釦６Ａと、同じく、ＭＯ４０を選択するためのＭＯ選択釦７Ａと、設定されたバックアップ条件をバックアップ条件設定ファイルＦ１と共有メモリＭとに書き込むためのセット（ＳＥＴ）釦８Ａとが表示される。
【００２５】
さらに、図示のバックアップ条件設定画面には、データファイルＦ２の種類を示すファイルタイプ（Ｆｉｌｅ Ｔｙｐｅ）欄９Ａと、自動バックアップ方法を選択するための選択バックアップ（Ｓｅｌｅｃｔ Ｂａｃｋｕｐ）欄１０Ａと、自動バックアップの時間間隔を指定するためのバックアップ間隔（ＢａｃｋｕｐＩｎｔｅｒｖａｌ）欄１１Ａと、自動バックアップの開始日時を指定するためのバックアップ開始日時（Ｂａｃｋｕｐ Ｄａｔｅ）欄１２Ａと、バックアップしたデータファイルＦ２を削除するか否かを指定するためのファイル削除（Ｆｉｌｅ Ｄｅｌｅｔｅ）欄１３Ａとが表示される。
【００２６】
ファイルタイプ欄９Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）（ｍ＝１〜４）ごとに、バックアップ状態を選択するためのバックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）が表示される。ここで、バックアップ状態としては、データファイルＦ２を自動的にバックアップするための自動バックアップ状態と、データファイルＦ２を手動によりバックアップするための手動バックアップ状態とがある。
【００２７】
通常、バックアップ条件設定画面が起動された状態においては、手動バックアップ状態が選択される。この状態で、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作すると、自動バックアップ状態が選択される。このあと、さらに、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作すると、今度は、手動バックアップ状態が選択される。以下、同様に、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）を１回操作するたびに、自動バックアップ状態と手動バックアップ状態とが交互に選択される。
【００２８】
なお、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）は、例えば、手動バックアップ状態では、ノーマル表示され、自動バックアップ状態では、リバース表示される。これにより、利用者は、バックアップ状態選択釦１４Ａ（ｍ）の表示形態をみることにより、バックアップ状態を知ることができる。
【００２９】
選択バックアップ欄１０Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、サイクル（ＣＹＣＬＥ）釦１５Ａ（ｍ）と、データフル（ＤＡＴＡ ＦＵＬＬ）釦１６Ａ（ｍ）とが表示される。サイクル釦１５Ａ（ｍ）は、自動バックアップ方法として、サイクル方法を指定するための釦である。ここで、サイクル方法とは、バックアップ処理を所定の時間間隔で自動的に行う方法である。データフル釦１６Ａ（ｍ）は、自動バックアップ方法として、データフル方法を指定するための釦である。ここで、データフル方法とは、データファイルＦ２が満杯になったときに、バックアップ処理を自動的に行う方法である。
【００３０】
バックアップ間隔欄１１Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、日（ＤＡＹ）釦１７Ａ（ｍ）と、月（ＭＯＮＴＨ）釦１８Ａ（ｍ）と、マンスリ（ＭＯＮＴＨＬＹ）釦１９Ａ（ｍ）と、カウント釦２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ），２２Ａ（ｍ）とが表示される。
【００３１】
日釦１７Ａ（ｍ）は、バックアップ間隔の単位が日単位であることを指定するための釦である。この日釦１７Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２０Ａ（ｍ）は、日単位のバックアップ間隔を指定するための釦である。このカウント釦２０Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。このカウント値は、例えば、１から３１まで設定可能である。カウント値を５に設定すると、バックアップは５日おきに行われる。なお、カウント値は、例えば、カウント釦２０Ａ（ｍ）の表面に表示される。
【００３２】
月釦１８Ａ（ｍ）は、バックアップ間隔の単位が月単位であることを指定するための釦である。この月釦１８Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２１Ａ（ｍ）は、月単位のバックアップ間隔を指定するための釦である。このカウント釦２１Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。このカウント値は、例えば、１から１２まで設定可能である。カウント値を３に設定すると、バックアップは３ケ月おきに行われる。なお、カウント値は、例えば、カウント釦２１Ａ（ｍ）の表面に表示される。
【００３３】
マンスリ釦１９Ａ（ｍ）は、バックアップを毎月決まった日に行うことを指定するための釦である。このマンスリ釦１９Ａ（ｍ）に対応するカウント釦２２Ａ（ｍ）は、何日にバックアップを行うかを指定するための釦である。このカウント釦２２Ａ（ｍ）は、１回操作すると、カウント値が１ずつ増えるようになっている。
【００３４】
このカウント値は、例えば、１から３１まで設定可能である。このカウント値を２９あるいは３０に設定すると、毎月２９日あるいは３０日にバックアップが行われる。但し、この場合、２月については、閏年の場合は、２月２９にバックアップが行われ、閏年でない場合は、２月２８にバックアップが行われる。
【００３５】
また、カウント値を３１に設定すると、１月、３月、５月、７月、８月、１０月、１２月については、毎月３１日にバックアップが行われ、４月、６月、９月、１１月については、毎月３０日にバックアップが行われる。２月については、閏年の場合は、２月２９日にバックアップが行われ、閏年でない場合は、２月２８日にバックアップが行われる。
【００３６】
バックアップ開始日時欄１２Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、バックアップの開始日時を表示するための開始日時表示部２３Ａ（ｍ）が設けられている。バックアップの開始日時は、月（ＭＭ）と、日（ＤＤ）と、時（ｈｈ）と、分（ｍｍ´）とで表される。
【００３７】
月は、１から１２まで設定可能である。日は、４月、６月、９月、１１月の場合は、１から３０まで設定可能で、１月、３月、５月、７月、８月、１０月、１２月の場合は、１から３１まで設定可能である。２月については、閏年の場合は、１から２９まで設定可能であり、閏年でない場合は、１から２８まで設定可能である。時は、０から２３まで設定可能であり、分は、０から５９まで設定可能である。これらの設定は、上述したカウント釦２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ），２２Ａ（ｍ）によってバックアップ間隔を設定する場合と同じようにして行われる。すなわち、例えば、月を設定する場合は、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）において、月に対応する部分を操作することにより行われる。
【００３８】
ファイル削除欄１３Ａには、各処理履歴データＤ（ｍ）ごとに、削除（ＤＥＬＥＴＥ）釦２４Ａ（ｍ）と、非削除（ＮＯＴ ＤＥＬＥＴＥ）釦２５Ａ（ｍ）とが設けられている。ここで、削除釦２５Ａ（ｍ）は、バックアップされたデータファイルＦ２をバックアップ元のメディア、すなわち、ハードディスク２１から削除することを指定するための釦であり、非削除釦２５Ａ（ｍ）は、逆に削除しないことを指定するための釦である。
【００３９】
図３は、バックアップ条件設定ファイルＦ１のフォーマットを示す図である。図示のごとく、バックアップ条件設定ファイルＦ１は、アラームデータＤ（１）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（１）と、トレースデータＤ（２）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（２）と、イベントデータＤ（３）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（３）と、ポイントデータＤ（４）の自動バックアップ条件を示すデータが書き込まれるレコードＲ（４）とからなる。各レコードＲ（ｍ）の長さは６４バイトに設定されている。また、各レコードＲ（ｍ）のフォーマットは、同じフォーマットに設定されている。
【００４０】
図４は、各レコードＲ（ｍ）のフォーマットを示す図である。図示のごとく、各レコードＲ（ｍ）には、バックアップ状態を示すデータと、自動バックアップの開始日時を示すデータと、自動バックアップ方法を示すデータと、自動バックアップの間隔を示すデータと、自動バックアップの間隔の単位を示すデータと、自動バックアップ後のデータファイルＦ２の削除の有無を示すデータと、予備のデータとが書き込まれる。
【００４１】
バックアップ状態を示すデータは、上記のごとく、図２に示すバックアップ状態設定釦１４Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート（ｓｈｏｒｔ）型に設定され、サイズ（ｓｉｚｅ）は、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、手動バックアップ状態を示し、１の場合は、自動バックアップ状態を示す。
【００４２】
自動バックアップの開始日時を示すデータは、上記のごとく、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、文字（ｃｈａｒ）型に設定され、サイズは、１２バイトに設定されている。
【００４３】
自動バックアップ方法を示すデータは、上記のごとく、サイクル釦１５Ａ（ｍ）あるいはデータフル釦１６Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、自動バックアップ方法がサイクル方法やデータフル方法のいずれでもないことを示し、１の場合は、サイクル方法であることを示し、２の場合は、データフル方法であることを示す。
【００４４】
自動バックアップ間隔を示すデータは、カウンタ２０Ａ（ｍ），２１Ａ（ｍ）あるいは２２Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。また、このデータは、自動バックアップ方法として、サイクル方法が設定された場合のみ設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。
【００４５】
自動バックアップ間隔の単位を示すデータは、上記のごとく、日釦１７Ａ（ｍ）、月釦１８Ａ（ｍ）あるいはマンスリ釦１９Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。また、このデータは、自動バックアップ方法がサイクル方法の場合のみ設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が０の場合は、自動バックアップ間隔の単位が指定されず、１の場合は、日が指定され、２の場合は、月が指定され、３の場合は、マンスリが指定される。
【００４６】
データファイルＦ２の削除の有無を示すデータは、上記のごとく、削除釦２４Ａ（ｍ）あるいは非削除釦２５Ａ（ｍ）を操作することにより設定される。このデータの型は、ショート型に設定され、サイズは、１バイトに設定されている。このデータの値が１の場合は、データファイルＦ２の削除が指定され、２の場合は、非削除が指定される。
【００４７】
予備のデータの型は、ショート型に設定され、サイズは２１バイトに設定されている。
【００４８】
上記構成において、動作を説明する。まず、バックアップ条件の設定動作を説明する。図５は、この動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示すフローチャートである。なお、図には、１つのチューブ１０（ｎ）における１つの処理履歴データＤ（ｍ）のバックアップ条件の設定動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示す。
【００４９】
この処理においては、ブロックコントローラ２０は、まず、利用者に対し、バックアップ状態として自動バックアップ状態を設定するデータＤ（ｍ）の指定を指示する（ステップＳ１１）。この指示は、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ状態として、自動バックアップ状態を設定するデータＤ（ｍ）を指定する。この指定は、ファイルタイプ欄９Ａに表示されたバックアップ状態設定釦１４Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５０】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップ方法の指定を指示する（ステップＳ１２）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、自動バックアップ方法として、サイクル方法とデータフル方法のいずれか一方を指定する。この場合、２つの方法の同時指定は禁止される。この指定は、選択バックアップ欄１０Ａに表示されたサイクル釦１５Ａ（ｍ）とデータフル釦１６Ａ（ｍ）のいずれか一方を操作することにより行われる。
【００５１】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者によって指定された自動バックアップ方法を判定する（ステップＳ１３）。指定された自動バックアップ方法がサイクル方法の場合は、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップ間隔の単位の指定を指示する（ステップＳ１４）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ間隔の単位として、日単位、月単位あるいはマンスリ単位のいずれか１つを指定する。この場合、２つ以上の単位の同時指定は禁止される。この指定は、日釦１７Ａ（ｍ）、月釦１８Ａ（ｍ）あるいはマンスリ釦１９Ａ（ｍ）のいずれか１つを操作することにより行われる。
【００５２】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、バックアップ間隔の指定を指示する（ステップＳ１５）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、バックアップ間隔を指定する。この指定は、カウント釦２０Ａ（ｍ）、２１Ａ（ｍ）あるいは２２Ａ（ｍ）のいずれか１つを操作することにより行われる。
【００５３】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、自動バックアップの開始日時の指定を指示する（ステップＳ１６）。この指示も、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、自動バックアップの開始日時を指定する。この指定は、開始日時表示部２３Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５４】
次に、ブロックコントローラ２０は、バックアップされたデータファイルＦ２の削除の指定を指示する（ステップＳ１７）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、データファイルＦ２を削除する場合は、削除を指定し、削除しない場合は、非削除を指定する。この場合、両者の同時指定は禁止される。これらの指定は、削除釦２４Ａ（ｍ）あるいは非削除釦２５Ａ（ｍ）を操作することにより行われる。
【００５５】
次に、ブロックコントローラ２０は、利用者に対し、バックアップ先のメディアの選択を指示する（ステップＳ１８）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、ＤＡＴ３０あるいはＭＯ４０のいずれか一方を選択する。この場合、両方の同時選択は禁止される。この選択は、ＤＡＴ釦６ＡあるいはＭＯ釦７Ａのいずれか一方を操作することにより行われる。
【００５６】
次に、ブロックコントローラ２０は、セット釦８Ａの操作を指示する（ステップＳ１９）。この指示も、例えば、バックアップ条件設定画面の所定位置に指示メッセージを表示することにより行われる。利用者は、この指示を受けると、セット釦８Ａを操作する。
【００５７】
ブロックコントローラ２０は、この操作があると、設定されたバックアップ条件を示すデータのうち、バックアップ先のメディアを示すデータを除く部分を条件設定ファイルＦ１のデータＤ（ｍ）に対応するレコードＲ（ｍ）に書き込むとともに、バックアップ先のメディアを示すデータに基づいて、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥを共有メモリＭに書き込む（ステップＳ２０）。
【００５８】
なお、自動バックアップ方法として、データフル方法が指定された場合は、バックアップ間隔等を指定する必要がないので、ステップＳ１３からステップＳ１７に移行する。
【００５９】
以上により、１つのチューブ１０（ｎ）の１つの処理履歴データＤ（ｍ）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。したがって、このような処理を４つの処理履歴データＤ（１）〜Ｄ（４）について実行すれば、１つのチューブ１０（ｎ）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。また、これを３２回繰り返せば、３２個のチューブ１０（１）〜１０（３２）に関するバックアップ条件の設定処理が終了する。以上が、バックアップ条件の設定動作である。
【００６０】
次に、自動バックアップ動作について説明する。図６は、この自動バックアップ動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示すフローチャートである。なお、図には、１つのチューブ１０（ｎ）における１つの処理履歴データＤ（ｍ）のバックアップ動作時におけるブロックコントローラ２０の処理を示す。図示の処理は、半導体基板の処理が開始されることにより開始される。
【００６１】
この処理においては、ブロックコントローラ２０は、まず、自動バックアップ条件が成立したか否かを判定する（ステップＳ２１）。自動バックアップ条件が成立しなければ、ブロックコントローラ２０は、そのままこの判定処理を続ける。これに対し、自動バックアップ条件が成立すると、ブロックコントローラ２０は、データファイルＦ２のバックアップ処理を実行する（ステップＳ２２）。この場合、データファイルＦ２は、自動バックアップメディアフラグＳＥ ＩＴＵＢＥで指定されたメディアに書き込まれる。
【００６２】
この処理が終了すると、ブロックコントローラ２０は、半導体基板の処理が終了したか否かを判定する（ステップＳ２３）。半導体基板の処理が終了しなければ、ステップＳ２１に戻る。これにより、再び、上述した処理が実行される。この状態は、半導体基板の処理が終了するまで続けられる。半導体基板の処理が終了すると、終了状態となる。以上が、自動バックアップ動作である。
【００６３】
以上詳述した本実施の形態によれば、半導体基板の処理履歴データＤ（ｍ）が書き込まれたデータファイルＦ２のバックアップ条件を設定するための手段と、半導体基板の処理時に、設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルＦ２を自動的にバックアップする手段とを設けるようにしたので、データファイルＦ２を自動的にバックアップすることができる。これにより、必要な処理履歴データＤ（ｍ）を確実に残すことができる。
【００６４】
また、本実施の形態によれば、バックアップ条件として、データファイルＦ２を所定の時間間隔で自動的にバックアップするための条件と、データファイルＦ２が満杯になったときに、このデータファイルＦ２を自動的にバックアップするための条件とを選択的に設定可能なようにしたので、半導体基板の処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生した場合でも、必要な処理履歴データＤ（ｍ）を確実に、かつ、効率的に残すことができる。
【００６５】
すなわち、バックアップ条件を設定する場合は、データファイルＦ２を所定の時間間隔でバックアップする条件のみ設定可能なようにすることが考えられる。しかしながら、このような構成では、処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生する場合、次のような問題が生じる。
【００６６】
すなわち、この場合、バックアップ間隔を長くすると、データファイルＦ２をバックアップする前に、このデータファイルＦ２が満杯になり、必要な処理履歴データＤ（ｍ）が失われてしまうことがある。一方、バックアップ間隔を短くすると、データファイルＦ２の容量にかなりの余裕がある場合でも、データファイルＦ２がバックアップされ、バックアップ先のメディアの使用効率が低下してしまうことがある。
【００６７】
そこで、本実施の形態では、バックアップ条件として、データファイルＦ２を所定の時間間隔でバックアップする条件だけでなく、データファイルＦ２が満杯になったときにバックアップする条件も設定可能なようにしたものである。このような構成によれば、処理履歴データＤ（ｍ）がランダムに発生する場合、バックアップ条件として、後者の条件を設定すれば、上述した問題を解決することができる。
【００６８】
また、本実施の形態によれば、バックアップの終了したデータファイルＦ２の処理方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なようにしたので、バックアップ元のメディア（ハードディスク２１）の記憶容量が小さい場合であっても、これが満杯になってしまうことを極力防止することができる。
【００６９】
以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定されるものではない。
【００７０】
例えば、先の実施の形態では、データファイルＦ２に所定量の処理履歴データが書き込まれたとき、このデータファイルＦ２をバックアップする方法として、データファイルＦ２が満杯になったとき、バックアップする方法を説明した。しかしながら、本発明では、満杯になる前にバックアップするようにしてもよい。
【００７１】
また、先の実施の形態では、本発明を、半導体基板処理装置としてチューブを有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、チューブ以外の半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７２】
また、先の実施の形態では、本発明を、複数の半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、１つの半導体基板処理装置を有する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７３】
また、先の実施の形態では、本発明を、半導体装置の半導体基板を処理する半導体基板処理システムの自動バックアップ装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、半導体装置の半導体基板以外の基板を処理する基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。例えば、本発明は、ＬＣＤのガラス基板を処理するガラス基板処理システムの自動バックアップ装置にも適用することができる。
【００７４】
このほかにも、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論である。
【００７５】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１記載の自動バックアップ装置によれば、基板の処理履歴データが書き込まれたデータファイルのバックアップ条件を設定する手段と、基板の処理時に、設定されたバックアップ条件が成立すると、データファイルを自動的にバックアップする手段とを設けるようにしたので、データファイルを自動的にバックアップすることができる。これにより、必要な処理履歴データを確実に残すことができる。
【００７６】
また、請求項２記載の自動バックアップ装置によれば、バックアップ条件として、データファイルを所定の時間間隔で自動的にバックアップするための条件と、データファイルに所定量のデータが書き込まれたときに、このデータファイルを自動的にバックアップするための条件とを選択的に設定可能なようにしたので、処理履歴データがランダムに発生する場合でも、必要な処理履歴データを確実に、かつ、効率的に残すことができる。
【００７７】
さらに、請求項３記載の自動バックアップ装置によれば、バックアップの終了したデータファイルを処理する方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法とを選択的に設定可能なようにしたので、バックアップ元のメディアの記憶容量が小さい場合であっても、これが満杯になってしまうことを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る自動バックアップ装置の一実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図２】一実施の形態のバックアップ条件設定画面を示す図である。
【図３】一実施の形態のバックアップ条件設定ファイルのフォーマットを示す図である。
【図４】一実施の形態のバックアップ条件設定ファイルを構成するレコードのフォーマットを示す図である。
【図５】一実施の形態のバックアップ条件設定動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】一実施の形態のバックアップ動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１０（１）〜１０（３２）…チューブ、２０…ブロックコントローラ、３０…ＤＡＴ、４０…ＭＯ、５０…バックアップ条件設定部、６０…ＬＡＮ、７０…ＳＣＳＩ、１Ａ…タイトル表示部、２Ａ…現在時刻表示部、３Ａ…メニュー釦、４Ａ…コピー釦、５Ａ…イグズィット釦、６Ａ…ＤＡＴ選択釦、７Ａ…ＭＯ選択釦、８Ａ…セット釦、９Ａ…ファイルタイプ欄、１０Ａ…選択バックアップ欄、１１Ａ…バックアップ間隔欄、１２Ａ…バックアップ開始日時欄、１３Ａ…ファイル削除欄、１４Ａ（１）〜１４Ａ（４）…バックアップ状態選択釦、１５Ａ（１）〜１５Ａ（４）…サイクル釦、１６Ａ（１）〜１６Ａ（４）…データフル釦、１７Ａ（１）〜１７Ａ（４）…日釦、１８Ａ（１）〜１８Ａ（４）…月釦、１９Ａ（１）〜１９Ａ（４）…マンスリ釦、２０Ａ（１）〜２０Ａ（４），２１Ａ（１）〜２１Ａ（４），２２Ａ（１）〜２２Ａ（４）…カウント釦、２３Ａ（１）〜２３Ａ（４）…開始日時表示部、２４Ａ（１）〜２４Ａ（４）…削除釦、２５Ａ（１）〜２５Ａ（４）…非削除釦。
Claims (3)
- 基板を処理する少なくとも一つの基板処理装置と、
前記基板の処理履歴データのバックアップ条件を表示して、基板処理時に書き込まれる前記処理履歴データのバックアツプ条件を個別に設定するための設定画面を有するバックアップ条件設定手段と、
前記処理履歴データである、障害が発生したことを示すアラームデータや基板処理時間内に一定間隔で収集された温度やガス流量を示すトレースデータが書きこまれるデータファイルと、前記処理履歴データ毎に前記バックアップ条件設定手段にて設定されたバックアップ条件が書き込まれるバックアップ条件設定ファイルとを格納するハードディスクを有し、前記バックアップ条件設定手段によって設定された前記バックアップ条件が成立すると、前記データファイルを自動的にバックアップするコントローラと
を備えた基板処理システムであって、
前記バックアップ条件設定手段は、前記バックアップ条件として、前記処理履歴データを所定の時間間隔で自動的にバックアップするための第１のバックアップ条件と、前記データファイルに前記処理履歴データが所定量書きこまれたときにこの処理履歴データを自動的にバックアップするための第２のバックアップ条件とを選択的に設定可能なように設定画面に表示するとともにバックアップ間隔やバックアップ開始日時を設定可能なように前記設定画面と同一画面上に表示し、
前記設定画面では、前記処理履歴データ毎に、それぞれ前記バックアップ条件、前記バックアップ間隔、前記バツクアップ開始日時が設定され、前記バックアップ条件として、前記第１のバックアップ条件が指定された場合、前記バックアップ間隔や前記バックアップ開始日時を設定され、前記第２のバックアップ条件が指定された場合、前記バックアップ間隔や前記バックアップ開始日時は設定されないことを特徴とする基板処理システム。 - 前記バックアップ条件設定手段は、前記バックアップの終了した前記データファイルを処理する方法として、これを自動的に削除する第１の処理方法と、削除しない第２の処理方法と、を選択的に設定可能なように前記設定画面と同一画面上に表示することを特徴とする請求項１記載の基板処理システム。
- 前記バックアップ条件設定手段は、前記処理履歴データ毎に手動でバックアップする方法と、自動でバックアップする方法を選択的に設定可能なように前記設定画面と同一画面上に表示することを特徴とする請求項１記載の基板処理システム
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03785797A JP4131578B2 (ja) | 1996-10-16 | 1997-02-21 | 基板処理システム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-273447 | 1996-10-16 | ||
| JP27344796 | 1996-10-16 | ||
| JP03785797A JP4131578B2 (ja) | 1996-10-16 | 1997-02-21 | 基板処理システム |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008034457A Division JP4869264B2 (ja) | 1996-10-16 | 2008-02-15 | 基板処理システム、自動バックアップ装置、データバックアップ方法及びコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10177939A JPH10177939A (ja) | 1998-06-30 |
| JP4131578B2 true JP4131578B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=26377015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03785797A Expired - Lifetime JP4131578B2 (ja) | 1996-10-16 | 1997-02-21 | 基板処理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4131578B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002333A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Toshiba Corp | 情報処理装置 |
| JP5921859B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2016-05-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム及び制御装置及びプログラム及び半導体装置の製造方法 |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP03785797A patent/JP4131578B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10177939A (ja) | 1998-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6330004B1 (en) | Multimedia program editing and presenting system with flexible layout capability by simplified input operations | |
| US5758067A (en) | Automated tape backup system and method | |
| JP4839998B2 (ja) | 情報呈示方法、情報処理装置および情報呈示用プログラム | |
| JP2967961B2 (ja) | 月別の予定表表示の提示方法 | |
| JPH0844598A (ja) | ファイル管理方法及びその装置 | |
| JP2011165032A (ja) | コンピュータプログラム及びデータバックアップ方法 | |
| JP4131578B2 (ja) | 基板処理システム | |
| JP4869264B2 (ja) | 基板処理システム、自動バックアップ装置、データバックアップ方法及びコントローラ | |
| JPH1185577A (ja) | 情報処理装置、ファイル管理方法、及び記録媒体 | |
| JPH0789267B2 (ja) | データ編集／提示方法とその装置 | |
| JP2006085279A (ja) | ファイル管理プログラムおよびファイル管理方法 | |
| JP2830335B2 (ja) | 素材送出装置 | |
| JP2011141201A (ja) | 測定データ記録装置 | |
| JPH05134910A (ja) | フアイル管理方法およびシステム | |
| JP2000207264A (ja) | バックアップ方法およびリストア方法 | |
| JP2683300B2 (ja) | データ退避処理方式 | |
| JP2004118630A (ja) | 情報処理装置およびファイル管理方法 | |
| JPH09292953A (ja) | 自動バックアップの装置および方法 | |
| JP3938161B2 (ja) | データ記憶装置およびデータ記憶装置において記憶された情報を削除する方法 | |
| JPH11327873A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP4123619B2 (ja) | 編集方法 | |
| JP2012084198A (ja) | コンテンツ削除装置およびそのプログラム | |
| JP2006050154A (ja) | 処理シーケンス編集プログラムおよび処理シーケンス編集装置 | |
| JP3946694B2 (ja) | 記録再生装置 | |
| JPH07262180A (ja) | 文書編集装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040216 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070918 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071116 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071116 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080214 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080527 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080527 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130606 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140606 Year of fee payment: 6 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |