JP4130389B2 - Iii族窒化物系化合物半導体基板の製造方法 - Google Patents
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2:Al0.2Ga0.8N層
3:GaN層
10:GaN基板(第1のIII族窒化物系化合物半導体層)
20:GaN層(第2のIII族窒化物系化合物半導体層)
Claims (8)
- シリコン(Si)基板に、下地層を形成して又は形成せずにハイドライド気相成長法により第1のIII族窒化物系化合物半導体層を形成する第1層形成工程と、
第1層形成工程の終了後又は第1層形成工程と重ねてシリコン基板を裏面からエッチングによりその略全部を除去するシリコン基板除去工程と、
前記シリコン基板除去工程ののちに行われる、前記第1のIII族窒化物系化合物半導体層の成長面側の表面の異物を除去するクリーニング工程と、
当該クリーニング工程ののちに行われる、表面の異物を除去された前記第1のIII族窒化物系化合物半導体層の上に、ハイドライド気相成長法により第2のIII族窒化物系化合物半導体層を形成する第2層形成工程とを有し、
前記第1層形成工程においては、反応温度を800〜950℃とし、
前記第1のIII族窒化物系化合物半導体層の成長速度を100〜140μm/hとし、
前記第2層形成工程においては、反応温度を1030〜1300℃として、
前記第1層形成工程で成長する第1のIII族窒化物系化合物半導体層は厚さが150〜1000μmであり、
前記第2層形成工程で成長する第2のIII族窒化物系化合物半導体層は厚さが10〜90μmであり、
第2のIII族窒化物系化合物半導体層を積層した第1のIII族窒化物系化合物半導体層を得ることを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。 - 前記第1層形成工程で成長する第1のIII族窒化物系化合物半導体層は窒化ガリウムであることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体の製造方法。
- 前記第2層形成工程で成長する第2のIII族窒化物系化合物半導体層は窒化ガリウムであることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- シリコン(Si)基板に下地層を形成した場合であって、前記シリコン基板除去工程において、又はそれに続く工程において、当該シリコン(Si)基板に形成した前記下地層を全部除去することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- シリコン(Si)基板に下地層を形成しない場合は前記シリコン基板除去工程で前記シリコン(Si)基板を完全に除去した上、
シリコン(Si)基板に下地層を形成した場合は前記シリコン(Si)基板と前記下地層を完全に除去した上、
前記第1のIII族窒化物系化合物半導体層の裏面を10〜100μm除去することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。 - 前記下地層が単層の場合は当該下地層、前記下地層が2層以上の積層構造から成る場合その最下層が、有機金属気相成長法(MOVPE)により形成された、アルミニウムを含むIII族窒化物系化合物半導体層であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記下地層は、最下層としてバッファ層を有し、その上に有機金属気相成長法(MOVPE)により形成された、アルミニウムを含むIII族窒化物系化合物半導体層を1層以上有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記下地層は2層以上の積層構造から成り、最上層は有機金属気相成長法(MOVPE)により形成された窒化ガリウムであることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
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