JP4117813B2 - 化合物半導体単結晶の製造方法 - Google Patents
化合物半導体単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4117813B2 JP4117813B2 JP15541698A JP15541698A JP4117813B2 JP 4117813 B2 JP4117813 B2 JP 4117813B2 JP 15541698 A JP15541698 A JP 15541698A JP 15541698 A JP15541698 A JP 15541698A JP 4117813 B2 JP4117813 B2 JP 4117813B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- single crystal
- crucible
- semiconductor single
- hot zone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化合物半導体単結晶の製造方法に関するものであり、特には高圧容器内で高圧の不活性気体を印加しながら、垂直グラジエントフリーズ(VGF)法や垂直ブリッジマン(VB)法で化合物半導体単結晶の育成を行う場合、ルツボ周囲に下から上に向かう気体流れを誘起することにより、温度揺らぎを低減しつつ、II−VI族或いはIII−V族化合物半導体単結晶を製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、GaP、GaAs、InP等のIII−V族化合物半導体については、融点付近で高い蒸気圧を有するために、原料融液上をB2 O3 等から成る液体封止剤層で覆う液体封止法により単結晶の成長が行われている。現在、この液体封止法としては、液体封止チョクラルスキー法(LEC法)が知られている。LEC法は、結晶の成長と共に結晶を引き上げていく方法であり、種付けにより結晶方位が制御可能であり、また高純度結晶を得やすいため工業化されているが、結晶成長時の融液中の温度勾配が大きいため、結晶にかかる熱応力が大きくなり、転位密度が大きくなるという欠点を有している。
【0003】
これに対し、垂直グラジエントフリーズ(VGF)法や垂直ブリッジマン(VB)法は、結晶育成炉の温度を下げることにより耐火性ルツボ内に収納した化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体単結晶を育成するため、結晶成長時の融液中の温度勾配が数十〜数℃/cmであって、LEC法に比べ一桁小さいため、熱応力が小さく、転位密度が小さいという利点を有している。
【0004】
VGF法を例にとると、従来、かかるVGF法は、例えば図5に示す結晶育成装置を使用して実施されていた。図5の結晶育成装置は、高圧容器1内部に筒状耐火壁2と上部蓋3により包囲されるホットゾーン4を具備する。ホットゾーン4において、例えばグラファイトヒーターのようなヒーター5がその内周に沿って設置され、その内側に内容器6が下軸7により支持されて設置されている。内容器6内部には、pBNルツボのような耐火性ルツボ9がルツボ支持台8に支持された状態で納置される。底部にルツボ支持台8を納めたルツボ収納用内容器6と該内容器を支持する下軸7が、ルツボ支持手段を構成している。ルツボ9内には化合物半導体原料10及び種結晶11が収納されている。番号12は、種部温度測定用の熱電対である。ホットゾーンを加熱し、ルツボ内の原料を溶解し、原料融液とし、ルツボの下部から上方に単結晶が成長するように化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体単結晶を育成する。
【0005】
図6は、また別の結晶育成装置の下方部分を概略的に示す。ここでは、高圧容器21内に筒状耐火壁22が設置され、筒状耐火壁22の内周部にはヒーター25が埋設されている。筒状耐火壁22の内側には、炉心管26が設けられ、その内部にルツボ29がルツボ支持手段としてのサセプター30により固定支持されている。サセプター30はルツボ支持部30aと下軸部30bとを有する。この具体例では、炉心管26内部がホットゾーンを構成する。ヒーターによりサセプターが加熱され、加熱されたサセプターによりルツボが加熱される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、こうした高圧容器内で高圧の不活性気体を印加しながら、垂直グラジエントフリーズ(VGF)法や垂直ブリッジマン(VB)法で化合物半導体単結晶の育成を行う場合、種部あるいは種から直胴部に拡がるところで双晶、多結晶などの結晶不良部が発生するという問題があった。結晶不良部が発生すると、単結晶化歩留を低下させることになる。
これは、育成中の装置内での温度揺らぎによるものであることが究明された。図5の矢印は、高圧容器内の気体の流れをコンピュターによりシミュレートしたもので、速度が同程度で方向が異なる気体がぶつかり合うため、流れが乱れやすく、温度揺らぎの原因となるのである。
【0007】
本発明の課題は、化合物半導体単結晶の育成を行う場合、種部あるいは種から直胴部に拡がるところでの双晶、多結晶などの結晶不良部発生の原因となっている温度揺らぎを低減する技術を確立することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
従来装置においては、速度が同程度で方向が異なる気体がぶつかり合うため、流れが乱れやすく、温度揺らぎの原因となる。そこで、本発明者は、ルツボ周囲に下から上に向かう層流を強制的に発生せしめ、こうした流れの影響を低減することを想到した。試行の結果、ホットゾーン上部蓋にホールを形成し、装置内部全体を流れる対流を発生せしめるのが最適との結論に達した。
【0009】
更に、従来、ルツボ支持手段のルツボ支持部(図5の内容器若しくは図6のサセプターのルツボ支持部)の底部は、平坦または平坦に近い構造となっており、そのため、高圧容器中で結晶育成を行うと、当該底部に衝突する気体が乱れて、乱流となり、系の温度が揺らぐ原因となっていることも判明した。これを防止するためには、支持部の下端外周面を気体流れが流線型に流れるようにコーン状に形成することが効果的であることも判明した。
【0010】
かくして、本発明は、高圧容器内で筒状耐火壁と上部蓋により包囲されるホットゾーンにおいて耐火性ルツボ内に収納した化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体単結晶を育成する化合物半導体単結晶の製造方法において、前記ルツボ周囲に下から上に向かう気体流れを誘起することにより、温度揺らぎを低減しつつ化合物半導体単結晶を育成することを特徴とする化合物半導体単結晶の製造方法を提供する。
【0011】
より詳しくは、前記ホットゾーンの上部蓋に単数乃至複数のホールを開け、前記ルツボ周囲に下から上に向かう気体流れが誘起される。その結果、ルツボ周囲を下から上に向かい、該上部蓋ホールを通過し、前記筒状耐火壁外周部を上から下に向かい、ホットゾーン下端開口部を通り、前記支持手段外周を通って前記ルツボ周囲に戻る対流が誘起される。
【0012】
更に、ルツボ支持手段のルツボ支持部の下端外周面をコーン状に形成することにより温度揺らぎが一層低減される。コーン角度は20〜80度であることが好ましい。
【0013】
本発明に従えば、温度揺らぎは±0.05℃以下とすることができる。
「温度揺らぎ」とは、所定の期間において設定温度を上下動する温度の変化の最大温度と最小温度との幅を云う。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明を実施する装置を図1に示すが、これはホットゾーン上部蓋3中央部にホールHを形成したことを除いて図5と実質上同じである。繰り返しになるが、高圧容器1内部に筒状耐火壁2と上部蓋3により包囲されるホットゾーン4を具備する。本発明に従えば、このホットゾーン上部蓋3にホールHを形成する。ホットゾーン4において、例えばグラファイトヒーターのようなヒーター5がその内周に沿って設置され、その内側に内容器6が下軸7により支持されて設置されている。内容器6内には、pBNルツボのような耐火性ルツボ9がルツボ支持台8に支持された状態で納置される。底部にルツボ支持台8を納めたルツボ収納用内容器6と内容器を支持する下軸7が、ルツボ支持手段を構成している。下軸7は、ホットゾーン下部蓋の開口を通して高圧容器底面に伸延している。下軸7とホットゾーン下部蓋の開口との間には気体流れを許容する隙間が存在している。ルツボ9内には化合物半導体原料10及び種結晶11が収納されている。番号12は、種部温度測定用の熱電対である。ホットゾーンを加熱し、ルツボ内の原料を溶解し、原料融液とし、ルツボの下部から上方に単結晶が成長するように化合物半導体原料融液を徐々に冷却して従来通り化合物半導体単結晶を育成する。
【0015】
図1に示すように、高圧容器内のホットゾーンの上部蓋に中央部にホールをあけると、矢印で示すように、アンプル周囲の流れが下から上に向かう層流となり、流れが乱れることがなくなり、温度揺らぎが抑えられる。
ホールがない場合は、速度が同程度で方向が異なる気体がぶつかり合うため、流れが乱れやすく、温度揺らぎの原因となるのに対して、ホールがある場合は、流れが速くなるがアンプルの下から上部への一方向の流れが強いため、流れの乱れが少なく、このため温度揺らぎが低く抑えられるのである。ルツボ周囲を下から上に向かい、上部蓋中央ホールを通過し、筒状耐火壁外周部を上から下に向かい、ホットゾーン下端開口部を通り、ルツボ支持手段を通ってルツボ周囲に戻る対流が強制的に誘起され、その結果温度揺らぎが低減する。
後に、実施例で示すように本発明に従えば、ホットゾーン上部にホールがある場合の温度揺らぎは±0.05℃以下で、ホールがない場合の1/10以下の温度揺らぎとなる。
【0016】
図1では、ホールは中央部に一つ形成するものとして示したが、これに限られるものではない。好ましくは中心対称に気体流れを放出できるものであれば、任意のホール模様を形成することができ、例えば、図2(a)〜(g)に示すような様々の形態をとることができる。
【0017】
ホットゾーン上蓋ホールの開口面積は、装置内で、ルツボ周囲を下から上に向かい、該上部蓋中央ホールを通過し、前記筒状耐火壁外周部を上から下に向かい、ホットゾーン下端開口部を通して、前記ルツボ周囲に戻る層流の対流を対称的に誘起するに十分であればよく、一般にホットゾーン断面積の1/10〜1/3であれば良い。
【0018】
更に、高圧容器内で単結晶を育成する際に、炉内の温度揺らぎを低減する必要があり、温度揺らぎは炉内の気体の流れが層流の場合に小さく、乱流の場合に大きいことは既に述べた通りであるが、ルツボを支持する支持部(図5の内容器若しくは図6のサセプターのルツボ支持部)の下端外周面が平坦である場合、下方からの気体の流れが当該下端部の平坦面に衝突して、層流から乱流になっていることが判明した。図6で示したサセプターの具体例と関連して説明すると、図3(a)及び(b)において矢印で示すように、サセプターの底部を平坦からコーン状とし、角度を90度から小さくしていったところ、80度から温度揺らぎが一段と小さくなり、気体の流れが乱流から層流になっていくことがわかった。角度が20°以下では、サセプターへの熱伝導率が大きくなり、結晶育成に必要な温度勾配が得られにくい。従って、サセプターの下端部のコーン角度は、20°〜80°の範囲において、炉内の温度揺らぎが低減し、充分な温度勾配が得られる。
【0019】
【実施例】
(実施例1)
図1に示すVGF用結晶育成装置を用いてInP単結晶を製造した。装置の寸法は概略次のようであった:
高圧容器内径及び高さ:450mmφ、1200mmH
ホットゾーン内径及び高さ:200mmφ、1100mmH
ホットゾーン上蓋ホールの直径:30mmφ
ルツボ寸法:104mmφ×250mmH
【0020】
まず、InP多結晶5kgをInP種と共にpBN製ルツボに入れ、内容器に納めて減圧密封した。ルツボを納めた内容器をホットゾーン内に設置し、グラファイトヒーターにより1070℃程度まで昇温し、InPを融解させた。この際、高圧容器内はアルゴンで40気圧とした。次に、ルツボの底部がInPの融点(1062℃)となり、上部ほどその融点より高くなるよう、グラファイトヒーターの温度を調整した。温度の安定を十分保った後、結晶の成長速度が約1mm/hとなるように装置を降温した。約150時間成長した後、30時間かけて結晶を冷却した。
ホールを設けない場合についても同様に結晶成長を行わしめた。
【0021】
結晶成長時に温度揺らぎを熱電対で測定したした。温度揺らぎの比較結果を図4に示す。図4からわかるように、ホットゾーン上部にホールがある場合の温度揺らぎは、±0.05℃以下であり、ホールがない場合の1/10以下の温度揺らぎとなる。
その結果、本発明方法に従えば、双晶その他の結晶不良が発生するという事態は見られなかった。
【0022】
(実施例2)
10kg/cm2 の窒素気体を印加した高圧容器内に、グラファイト製の保温材を組み込み、pBN製のルツボ、および、図3(b)に示したような、底部がコーン状のサセプターを用いた。このルツボにBNでできた、ダミー結晶を入れ、温度を上昇させ、制御系の熱電対の揺らぎ、またダミー結晶内部の温度揺らぎを調べたところ、±0.1℃以下であった。この値は、下端外周部が平坦なサセプターを用いたときの温度揺らぎ±0.5℃に比べ小さかった。
【0023】
(実施例3)
実施例1において、ルツボ支持部の下端外周面をコーン状に形成することにより温度揺らぎが一層低減され、安定した。
【0024】
なお、上記実施例においてはInP単結晶の育成について説明したが、本発明は、GaAS、GaP、CdTe等、II−VI族或いはIII−V族化合物半導体単結晶をの育成についても適用することができる。
【0025】
【発明の効果】
ホットゾーン上部にホールがある場合の温度揺らぎは、±0.05℃以下で、ホールがない場合の1/10以下の温度揺らぎとなる。このように低い温度揺らぎにすることによって、結晶育成時に種結晶で双晶その他の結晶不良が発生するという事態が解決された。単結晶化率の低減は顕著である。ルツボ支持部をコーン状にすることにより更に一段と温度揺らぎを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従う化合物半導体単結晶の製造方法において使用される育成装置の断面図である。
【図2】(a)〜(g)は本発明において使用できるホールの様々の形態を例示する上面図である。
【図3】サセプターをコーン形状にすることによる気体流れの状況を示す説明図であり、(a)は改善前そして(b)は改善後を示す。
【図4】本発明と従来方法での温度揺らぎの比較結果を示すグラフである。
【図5】従来方法に従う化合物半導体単結晶の製造方法において使用された育成装置の断面図である。
【図6】従来方法に従う化合物半導体単結晶の製造方法において使用されたまた別の育成装置の下方部の概略図である。
【符号の説明】
H ホール
1、21 高圧容器
2、22 筒状耐火壁
3 上部蓋
4、24 ホットゾーン
5、25 ヒーター
6 内容器
7 下軸
8 ルツボ支持台
9、29 耐火性ルツボ
10 化合物半導体原料
11 種結晶
12 種部温度測定用熱電対
26 炉心管
30 サセプター
30a ルツボ支持部
30b 下軸部
Claims (7)
- 高圧容器内で筒状耐火壁と上部蓋により包囲されるホットゾーンにおいて耐火性ルツボ内に収納した化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体結晶を育成する化合物半導体単結晶の製造方法において、前記ルツボ周囲に下から上に向かう気体流れを誘起することにより、温度揺らぎを低減しつつ化合物半導体単結晶を育成することを特徴とする化合物半導体単結晶の製造方法。
- 高圧容器内で筒状耐火壁と上部蓋により包囲されるホットゾーンにおいて支持手段により支持された耐火性ルツボ内に収納した化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体単結晶を育成する化合物半導体単結晶の製造方法において、前記ホットゾーンの上部蓋に単数乃至複数のホールを開け、前記ルツボ周囲に下から上に向かう気体流れを誘起することにより、温度揺らぎを低減しつつ化合物半導体単結晶を育成することを特徴とする化合物半導体単結晶の製造方法。
- 高圧容器内で筒状耐火壁と上部蓋により包囲されるホットゾーンにおいて支持手段により支持された耐火性ルツボ内に収納した化合物半導体原料融液を徐々に冷却して化合物半導体単結晶を育成する化合物半導体単結晶の製造方法において、前記ホットゾーンの上部蓋に単数乃至複数のホールを開け、前記ルツボ周囲を下から上に向かい、該上部蓋ホールを通過し、前記筒状耐火壁外周部を上から下に向かい、ホットゾーン下端開口部を通り、前記支持手段外周を通って前記ルツボ周囲に戻る対流を誘起することにより、温度揺らぎを低減しつつ化合物半導体単結晶を育成することを特徴とする化合物半導体単結晶の製造方法。
- 支持手段が底部にルツボ支持台を納めたルツボ収納用の内容器と該内容器を支持する下軸とから構成され、該内容器の下端外周面が、下端から上端に向かって円錐状ないし釣り鐘状に形成された部分を備えることを特徴とする請求項2乃至3の化合物半導体単結晶の製造方法。
- 支持手段がルツボ収納部と下軸部とを有するサセプターから構成され、該サセプターのルツボ収納部の下端外周面が、下端から上端に向かって円錐状ないし釣り鐘状に形成された部分を備えることを特徴とする請求項2乃至3の化合物半導体単結晶の製造方法。
- 前記下軸と前記下端外周面との接点において、前記下軸の延長線と前記下端外周面とのなす角度が20〜80度であることを特徴とする請求項4乃至5の化合物半導体単結晶の製造方法。
- 温度揺らぎが±0.05℃以下である請求項1〜6のいずれか一項の化合物半導体単結晶の製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15541698A JP4117813B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-05-21 | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
EP99910741A EP0992618B1 (en) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Method of manufacturing compound semiconductor single crystal |
PCT/JP1999/001581 WO1999050481A1 (fr) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Procede de fabrication d'un monocristal de compose semiconducteur |
DE69934643T DE69934643T2 (de) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Verfahren zur herstellung eines einkristalls mit halbleitender zusammensetzung |
US09/424,794 US6334897B1 (en) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Method of manufacturing compound semiconductor single crystal |
EP05076255A EP1571240B1 (en) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Method for producing compound semiconductor single crystal |
DE69942919T DE69942919D1 (de) | 1998-03-31 | 1999-03-29 | Verfahren zur Herstellung eines Verbindungshalbleiter-Einkristalls |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10185998 | 1998-03-31 | ||
JP10-101859 | 1998-03-31 | ||
JP15541698A JP4117813B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-05-21 | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11343193A JPH11343193A (ja) | 1999-12-14 |
JP4117813B2 true JP4117813B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
ID=26442637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15541698A Expired - Lifetime JP4117813B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-05-21 | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4117813B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114808107B (zh) * | 2022-03-31 | 2024-01-12 | 威科赛乐微电子股份有限公司 | 一种晶体生长单晶炉、坩埚及晶体生长方法 |
-
1998
- 1998-05-21 JP JP15541698A patent/JP4117813B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11343193A (ja) | 1999-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1571240B1 (en) | Method for producing compound semiconductor single crystal | |
JP4117813B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
CN116516463A (zh) | 一种溶液法生长碳化硅单晶的热场结构及方法 | |
JP2690419B2 (ja) | 単結晶の育成方法及びその装置 | |
JPH01317188A (ja) | 半導体単結晶の製造方法及び装置 | |
JP3120662B2 (ja) | 結晶育成用るつぼ | |
JP2013119500A (ja) | 単結晶成長方法およびその装置 | |
JP3788077B2 (ja) | 半導体結晶の製造方法および製造装置 | |
JP2733898B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JPH09315881A (ja) | 半導体結晶の製造方法 | |
JPH061692A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造装置 | |
JP2726887B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP2014156373A (ja) | サファイア単結晶の製造装置 | |
JPH06340493A (ja) | 単結晶育成装置および育成方法 | |
JPS63319286A (ja) | 単結晶の成長方法 | |
JPS60122791A (ja) | 液体封止結晶引上方法 | |
JPS63285183A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JPS63274684A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JPS63270379A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法および装置 | |
JPH02311390A (ja) | 単結晶の製造装置 | |
JPH07206589A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JPH01145395A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP2003267795A (ja) | シリコン単結晶引上装置 | |
JPH09278582A (ja) | 単結晶の製造方法およびその装置 | |
JPH02212390A (ja) | 単結晶製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080317 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080317 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |