JP4103136B2 - データ記録再生装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、走査プローブ顕微鏡を応用したデータ記録再生装置に関し、例えば相変化膜を記録媒体とするデータ記録再生装置に利用して有用な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、探針を試料の表面に近接させた状態で走査させて観測を行う走査プローブ顕微鏡により、物質の表面をナノオーダーで観察することが可能になっている。さらに、走査プローブ顕微鏡を用いて例えば個々の原子を操作することで、物質の表面にナノオーダーのマークを形成し、それにより非常に高い記録密度でデータ記録を行うことが可能であることも知られている。
【0003】
一方、現在、記録型のDVD(デジタル多用途ディスク)や青紫色レーザを用いて記録再生を行う記録ディスクなど、相変化型の記録媒体が多く用いられることもあって、このような記録媒体の研究開発が大いに進展している。
【0004】
そこで、本発明者は、走査プローブ顕微鏡を用いて相変化型の記録膜にデータの記録と再生が出来ないか検討した。相変化型の記録膜は、様々な研究開発が進められているため、高精度のものや多種多様な性質のものを比較的容易に得ることが出来ると考えたからである。
【0005】
走査プローブ顕微鏡を応用したデータ記録再生装置の中で記録媒体に相変化型の記録膜を用いた従来技術としては、特許文献1の光記録再生装置があった。この光記録再生装置は、レーザをその波長以下の微小な開口から放出させてなる近接場光を用いてデータ記録を行うものである。すなわち、近接場光により光の分解能を超える微小なスポットで記録膜にレーザ出力を行い、それにより微小なスポットで相変化をさせてデータ記録を行う。データの再生は、相変化に付随して記録膜の表面電位が変化することを利用して、走査プローブ顕微鏡で用いられる手法により記録膜の表面電位を検出することで行う。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−184751号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように近接場光を用いたデータ記録では、光の分解能を超えるとはいえ記録ビットを10nm(ナノメートル)のオーダーにまで小さくすることは未だ現実的でない。
【0008】
この発明の目的は、相変化型の記録媒体に10nmや1nmのオーダーの微小な記録ピットを形成でき、それにより1T(テラ)bit/in2(=1.5G(ギガ)bit/mm2)やそれ以上の高い記録密度でデータの記録再生が行えるデータ記録再生装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、表面電位が変調可能な記録膜を有する記録媒体を保持するテーブルと、探針を有し該探針の先を上記記録膜の近傍に位置させるように伸びるカンチレバーと、上記記録膜に垂直なZ方向へ上記テーブル又は上記カンチレバーを変位させるZ駆動手段と、上記記録膜と平行なX−Y方向へ上記テーブル又は上記カンチレバーを変位させるXY駆動手段と、上記探針が上記記録膜にほぼ接する位置に保たれるように上記Z駆動手段を制御するZ制御手段と、記録信号を受けて上記カンチレバーに記録用の電圧を出力する書込回路と、上記カンチレバーに表れる変化に基づき上記記録膜の走査位置の表面電位を検出する表面電位検出手段とを備え、上記XY駆動手段とZ駆動手段およびZ制御手段により上記探針を上記記録膜表面に沿って移動させながら上記書込回路により上記カンチレバーと上記探針を介して上記記録膜に電圧を印加し、この電圧印加により走査位置の表面電位を変調させてデータを記録する一方、上記表面電位検出手段の検出出力に基づき上記記録膜の走査位置の表面電位を検出することでデータを読み出すように構成したものである。
【0010】
現在、走査プローブ顕微鏡に使用される探針はその先端の半径が15nm程度にまで小さく形成することができ、さらに、カーボナノチューブを用いることで5nm程度にまで小さくすることが出来る。従って、記録膜に15nmや5nm程度の大きさの記録ピットを形成することが可能であり、それにより1Tbit/in2(ピット寸法25nm)以上の記録密度を実現することが出来る。また、探針から記録膜に電圧を印加することで記録ピットを形成する構成なので、記録媒体として相変化型の記録膜を用いることが出来る。
【0011】
すなわち、上記記録膜としては熱により相変化を生じる相変化型を適用することができ、その場合、上記探針を介して上記記録膜に流される電流により上記記録膜の走査位置の部位が発熱・相変化されてデータの書込みを行う一方、相変化に付随して変化される表面電位を上記表面電位検出手段により検出することでデータの読出しを行うことが出来る。
【0012】
また、上記記録膜として強誘電体を適用することもでき、この場合、上記探針の電圧により記録膜の走査位置の部位を変調させてデータ書込みを行う一方、その変調された表面電位を検出することでデータ読出しを行うことが出来る。
【0013】
具体的には、上記Z制御手段は、上記カンチレバーを上記Z方向の成分を含む向きで振動させる振動手段と、上記カンチレバーの振動による変位を検出する変位検出手段と、該変位検出手段の検出出力から特定周波数成分を導出する第1周波数フィルタと、この特定周波数成分の大きさに応じて上記Z駆動手段をコントロールするZ駆動用フィードバック回路とから構成すると良い。
【0014】
このような手段によれば、上記Z駆動用フィードバック回路の制御により上記探針の振動運動の中心位置と上記記録膜との距離が一定に保たれるようにすることが出来る。
【0015】
また、上記表面電位検出手段は、上記カンチレバーに所定周波数の交流電圧を印加する電圧出力回路と、上記変位検出手段の検出出力から上記所定周波数又はその近傍の周波数成分を導出する第2周波数フィルタと、この第2周波数フィルタから導出された周波数成分の大きさに応じて上記カンチレバーに印加されるバイアス電圧を変化させる電圧用フィードバック回路とを備え、上記電圧用フィードバック回路により上記探針の中心電位と上記記録膜の走査位置の表面電位との電位差が一定に保たれるように制御され、上記バイアス電圧により上記記録膜の走査位置の表面電位を検出するように構成すると良い。このような構成により、記録ピットが形成されそれにより表面電位が変調されている記録膜上を走査する場合でも、探針と記録膜上の電位差を一定に保つことができ、それにより、記録膜の表面電位が探針の高さ制御に及ぼす影響を減らすことも出来る。
【0016】
また、上記Z駆動用フィードバック回路と上記電圧用フィードバック回路による帰還制御を行いながら上記書込回路により記録用の電圧を上記カンチレバーに印加することで上記探針を介して上記記録膜に電流を流しこの電流により発生される発熱により上記記録膜の走査位置の部位を相変化させてデータを記録するように構成すると良い。さらに、上記のZ駆動用フィードバック回路の出力を外部出力する第1出力部と、電圧用フィードバック回路の出力を外部出力する第2出力部とを備えるように構成すると良い。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態のデータ記録再生装置の全体構成図、図2は記録膜の断面構成と探針先端とを示す説明図である。
この実施の形態のデータ記録再生装置1は、先端に探針hを有するカンチレバー11と、ピエゾ素子を用いてカンチレバー11を振動させる振動手段としてのピエゾ駆動部12と、振動によるカンチレバー11の変位量を検出する変位検出手段としての光梃子13と、相変化型の記録膜を有する記録媒体20と、記録媒体20が載置されるとともに記録膜に水平なX−Y方向の駆動と記録膜に垂直なZ方向の微小駆動が可能な駆動テーブル21と、カンチレバー11の固有振動数(例えば1MHz)と同じ周波数ωγの交流電圧“Vγsinωγt”をピエゾ駆動部12に出力する第1電圧回路15と、カンチレバー11に所定周波数ω(例えば10MHz)の電圧“VAsinωt”を印加する電圧出力回路としての第2電圧回路16と、カンチレバー11に可変的なバイアス電圧VBを供給する可変バイアス回路17と、アンプ14を介した光梃子13の出力から周波数ωγの成分を導出する第1周波数フィルタ31と、アンプ14を介した光梃子13の出力から周波数ωの成分を導出する第2周波数フィルタ32と、第1周波数フィルタ31の出力に応じて駆動テーブル21のZ方向の駆動量を制御するZフィードバック回路33と、第2周波数フィルタ32の出力に応じて可変バイアス回路17の出力を制御するVフィードバック回路34等から構成される。
【0018】
このデータ記録再生装置1においては、外部から記録信号INが入力され、この記録信号INが書込回路としての書込みアンプ18を介してカンチレバー11に出力されるようになっている。また、Vフィードバック回路34の出力が再生信号OUTとして外部に出力され、さらに、Zフィードバック回路33の出力が記録膜の表面状態を表わす検出信号OUT2として外部に出力されるようになっている。
【0019】
上記のカンチレバー11は、固有振動数ωγを有する板バネ状のレバーであり導電体から構成される。また、探針hは、図2にも示されるように先端が半径15nm程度に細くされた導電体である。
【0020】
記録媒体20は、その表面に例えばGeSbTe(ゲルマニウム・アンチモン・テルル)やInAgSbTe(インジウム・銀・アンチモン・テルル)等からなる相変化型の記録膜20Aが、その下層に導電層20Bが形成されたものである。記録膜20Aは6nm程度の厚さに形成され、導電層20Bは例えば接地される。
【0021】
光梃子13は、半導体レーザ13aからカンチレバー11の背面にレーザ光を照射し、その反射光の光量をフォトダイオード13b等により測定することで、カンチレバー11の変位を高精度に検出するものである。
【0022】
次に、上記構成のデータ記録再生装置1によりデータの記録再生を行う場合の動作について説明する。
このデータ記録再生装置1においては、Zフィードバック回路33の帰還制御と駆動テーブル21をX−Y方向へ駆動させることにより、探針hが記録膜20Aの表面と僅かに接する高さで探針hが記録膜20Aの表面に沿って移動すなわち記録膜20Aの表面を走査しながら、データの記録又は再生が行われる。
【0023】
探針hが記録膜20Aの表面を走査する際には、ピエゾ駆動部12に電圧Vγsinωγtが入力され、カンチレバー11はピエゾ駆動部12の駆動によりZ方向の成分を含む向きに微小振動される。そして、この微小振動によるカンチレバー11の変位が光梃子13により検出される。
【0024】
探針hが記録膜20Aから離れた上方位置にある場合、探針hはピエゾ駆動部12の駆動力により固有振動数ωγで共振運動する。このとき光梃子13からの検出信号Sdの周波数ωγの成分は最大値となる。この周波数成分はZフィードバック回路33に供給され、Zフィードバック回路33はそれが最大値である場合に駆動テーブル21が上方に微小変位されるように制御する。
【0025】
一方、探針hが記録膜20Aと接する程度に近づくと、探針hと記録膜20Aの表面間に原子間力等が働いて探針hに固有振動数からずれた振動数(ωγ−δω)の振動が発生する。そして、その分、固有振動数ωγの成分が減少し、この変化がZフィードバック回路33に送られる。Zフィードバック回路33は、送られた固有振動数ωγの成分量が最大値より所定値小さいところで駆動テーブル21のZ方向の駆動を停止させ、減少量がそれ以上に大きい場合には駆動テーブル21が下方に微小変位されるように制御する。
【0026】
このようなピエゾ駆動部12によるカンチレバー11の振動駆動とZフィードバック回路33による帰還制御により、探針hは記録膜20Aと僅かに接する距離で上下に振動した状態で記録膜20A上を走査することになる。
【0027】
また、このように探針hが記録膜20A上を走査する際には、可変バイアス回路17とVフィードバック回路34の帰還制御により、探針hの中心電位と記録膜20Aの走査位置の表面電位との差が一定になるように制御される。
【0028】
すなわち、カンチレバー11と探針hに電圧回路16から上記固有振動数ωγよりも例えば10倍程度高い周波数ωで変化する交流電圧VAsinωtが印加され、さらに、可変バイアス回路17により可変的なバイアス電圧VBが印加される。そして、これらの電圧(VB+VAsinωt)により、探針hと記録膜20A表面との間にクーロン力が働き、カンチレバー11はピエゾ駆動部12による振動に加えて10倍程度高い周波数ωの振動が重ね合わされたような振動を行う。そして、このような振動運動のうち振動数ωの成分第2周波数フィルタ32により導出されてVフィードバック回路34に送られる。
【0029】
ここで、探針hの中心電位と記録膜20Aの走査位置の表面電位との電位差が所定値(例えば0V)であるときと、所定値からずれたときとでは、探針hと記録膜20Aとの間に働くクーロン力が変化して、カンチレバー11の運動が変化する。そして、この運動の変化が、振動数ωの成分量の変化となって現れる。
【0030】
Vフィードバック回路34では、カンチレバー11の運動の振動数ωの成分量を監視しながら、この成分量が所定値で一定になるように、可変バイアス回路17を制御する。それにより、探針hの中心電位と記録膜20Aの走査位置の表面電位との電位差が所定値(例えば0V)に保たれる。
【0031】
上述のような探針hのZ方向の位置制御と電位制御は、各々の制御のために用いるピエゾ駆動部12の振動の周波数ωγと、電圧回路16の出力の周波数ωとを大きく異ならせることで、それぞれの振動が互いに干渉してしまうのを防ぎ、Z方向の位置制御と電位制御とをそれぞれ独立した状態で実行することが出来る。
【0032】
データの記録は、上記のような制御により探針hが記録膜20Aの表面を走査している際に、その走査位置に対応させて入力端子から記録信号INを入力することで行われる。例えば、ハイレベルの信号INが入力されるとアンプ18を介して比較的な大きな電圧が瞬間的にカンチレバー11に印加され、探針hの先端から直下の記録膜20Aの部位に瞬間的に大きな電流が流される。この電流はその後導電層20Bへと流される。そして、この電流により記録膜20Aの走査位置の部位が例えば600℃以上に発熱されて結晶状態Cからアモルファス状態Aへと相変化され、それにより記録ピットが形成される。
【0033】
なお、アンプ18の出力調整により記録膜20Aを通して流される電流量を減らして発熱温度を例えば300℃まで下げることによりアモルファス状態Aから結晶状態Cへ戻すことも可能であり、これによりデータの消去やデータの上書きも可能となる。
【0034】
データの再生は、探針hのZ方向の位置制御と電位制御とを行いながら探針hをデータの記録された記録膜20Aの表面を走査させることで行われる。そして、この走査の際にVフィードバック回路34から出力される信号が再生信号OUTとなる。
【0035】
すなわち、記録膜20Aの表面電位はアモルファス状態Aと結晶状態Cとで異なってくるが、上記の電位制御により探針hの中心電位と記録膜20Aの走査位置の表面電位との電位差は一定に保たれる。つまり、探針hがアモルファス状態Aの部分に位置するときには、その表面電位に合わせて探針hのバイアス電圧が下げられ、他方、探針hが結晶状態Cの部分を位置するときには、その表面電位に合わせて探針hのバイアス電位が上げられる。この探針hのバイアス電圧の上げ下げはVフィードバック回路34の制御出力により行われているので、この出力である再生信号OUTにより探針hの走査位置がアモルファス状態Aか結晶状態Cかが示されることとなる。
【0036】
なお、Zフィードバック回路33の出力を検出信号OUT2として外部出力させることで、この検出信号OUT2により記録膜20Aの表面の凹凸状態を観測することも出来る。
【0037】
以上のように、この実施の形態のデータ記録再生装置1によれば、先端を15nmや5nm程度まで細くすることが可能な探針hを用いて記録ピットを形成するので1Tbit/in2といった高い記録密度の記録再生が実現できる。さらに、探針hから記録膜20Aへ電流を流してその部位を発熱させる構成なので、記録媒体に熱により相変化がなされる相変化型の記録膜20Aを使用することが出来る。相変化型の記録媒体は、研究開発が特に進んでいるため、高精度で且つ高い記録密度に適した特性の記録膜が比較的容易に得ることが出来る。
【0038】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、実施の形態では、カンチレバーの振動による変位を検出するのに光梃子を用いているが、その他の種々の検出手段を用いることも出来る。また、記録膜は熱相変化型のものに限られず強誘電体を用いることも出来る。
【0039】
その他、探針のZ方向の位置制御や電位制御を行う構成も、上記実施の形態で示したZフィードバック回路33やVフィードバック回路34のみの構成に限られず、これらの構成を基本構成として精度や応答性能をより向上させるような様々な補正回路を組み合わせて用いることも出来る。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に従うと、先端を15nmや5nm程度まで細くすることが可能な探針を用いて記録膜に記録ピットを形成するので1Tbit/in2といった高い記録密度でデータ記録および再生を行えるという効果がある。
【0041】
さらに、探針から記録膜に電圧を印加して記録ピットを形成する構成なので、記録媒体として相変化型の記録膜を用いることが出来る。それにより、高精度で高い記録密度に適した特性の記録膜を比較的容易に得ることが出来るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のデータ記録再生装置を示す全体構成図である。
【図2】記録膜の断面構成と探針の先端部分を示す説明図である。
【符号の説明】
1 データ記録再生装置
11 カンチレバー
12 ピエゾ駆動部
13 光梃子
15 第1電圧回路
16 第2電圧回路(電圧出力回路)
17 可変バイアス回路
18 書込みアンプ(書込回路)
20 記録媒体
20A 記録膜
20B 導電層
21 駆動テーブル(テーブル、X−Y駆動手段、Z駆動手段)
31 第1周波数フィルタ
32 第2周波数フィルタ
33 Zフィードバック回路(Z駆動用フィードバック回路)
34 Vフィードバック回路(電圧用フィードバック回路)
h 探針
IN 記録信号
OUT 再生信号
Claims (1)
- 相変化型の記録膜を有する記録媒体を保持するテーブルと、
探針を有し該探針の先を上記記録膜の近傍に位置させるように伸びるカンチレバーと、
上記記録膜に垂直なZ方向へ上記テーブル又は上記カンチレバーを変位させるZ駆動手段と、
上記記録膜と平行なX−Y方向へ上記テーブル又は上記カンチレバーを変位させるXY駆動手段と、
上記カンチレバーをZ方向の成分を含む向きで振動させる振動手段と、
上記カンチレバーの振動による変位を検出する変位検出手段と、
該変位検出手段の検出出力から特定周波数成分を導出する第1周波数フィルタと、
この特定周波数成分の大きさに応じて上記探針が上記記録膜にほぼ接する位置で上記探針の振動運動の中心位置と上記記録膜との距離が一定に保たれるように上記Z駆動手段をコントロールするZ駆動用フィードバック回路と、
記録信号を受けて上記カンチレバーに記録用の電圧を出力する書込回路と、
上記カンチレバーに所定周波数の交流電圧を印加する電圧出力回路と、
上記変位検出手段の検出出力から上記所定周波数又はその近傍の周波数成分を導出する第2周波数フィルタと、
この第2周波数フィルタから導出された周波数成分の大きさに応じて上記探針の中心電位と上記記録膜の走査位置の表面電位との電位差が一定に保たれるように上記カンチレバーに印加されるバイアス電圧を変化させる電圧用フィードバック回路とを備え、
上記Z駆動用フィードバック回路と上記電圧用フィードバック回路による帰還制御を行いながら上記書込回路により記録用の電圧を上記カンチレバーに印加することで、上記探針を介して上記記録膜に電流を流しこの電流により発生される発熱により上記記録膜の走査位置の部位を相変化させてデータを記録することを特徴とするデータ記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003118524A JP4103136B2 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | データ記録再生装置 |
US10/830,890 US7292520B2 (en) | 2003-04-23 | 2004-04-23 | Data recording and reproducing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003118524A JP4103136B2 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | データ記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004326886A JP2004326886A (ja) | 2004-11-18 |
JP4103136B2 true JP4103136B2 (ja) | 2008-06-18 |
Family
ID=33296368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003118524A Expired - Fee Related JP4103136B2 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | データ記録再生装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7292520B2 (ja) |
JP (1) | JP4103136B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7750333B2 (en) * | 2006-06-28 | 2010-07-06 | Intel Corporation | Bit-erasing architecture for seek-scan probe (SSP) memory storage |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950024146A (ko) * | 1994-01-31 | 1995-08-21 | 모리시타 요이찌 | 정보기록재생장치 및 정보기록재생방법 |
JPH09120593A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-05-06 | Sony Corp | 記録再生装置 |
JPH1048224A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-02-20 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10334525A (ja) | 1996-12-19 | 1998-12-18 | Sony Corp | 記録及び/又は再生方法、記録及び/又は再生装置 |
JP3925991B2 (ja) * | 1997-07-08 | 2007-06-06 | 日本電子株式会社 | 走査プローブ顕微鏡 |
US6185991B1 (en) * | 1998-02-17 | 2001-02-13 | Psia Corporation | Method and apparatus for measuring mechanical and electrical characteristics of a surface using electrostatic force modulation microscopy which operates in contact mode |
FR2786005B1 (fr) | 1998-11-17 | 2002-04-12 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'ecriture et de lecture d'un support d'informations comprenant un materiau avec une succession de zones presentant respectivement un premier et un deuxieme etats physiques |
JP4169466B2 (ja) | 1999-10-15 | 2008-10-22 | 株式会社リコー | 記録再生方法及び記録再生装置 |
-
2003
- 2003-04-23 JP JP2003118524A patent/JP4103136B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-04-23 US US10/830,890 patent/US7292520B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004326886A (ja) | 2004-11-18 |
US20040213101A1 (en) | 2004-10-28 |
US7292520B2 (en) | 2007-11-06 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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