JP4097702B2 - 単一ビアエッチングおよび二重充填プロセスによって形成された集積回路の多層配線構造 - Google Patents
単一ビアエッチングおよび二重充填プロセスによって形成された集積回路の多層配線構造 Download PDFInfo
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Description
1.発明の分野
この発明は半導体製造に関し、より特定的には、多層配線構造を形成するための改良されたプロセスに関する。この改良されたプロセスは単一の高さレベル内に1組の導体を製造するために用いられ、さらに単一ビアエッチングステップとそれに続いて単一または二重の充填ステップとを用いて、それらの導体のうち選択された数を下にある接触領域に接続するために用いられる。
2.関連技術の説明
集積回路は、モノリシック基板のトポグラフィ(topography)にわたって延在する多数の導体を含む。システム内の2つ以上の構成部品を電気的に接続する役割を果たす1組の配線(または導体)は一般に「バス」と呼ばれている。バス内の導体は、典型的には誘電体によって互いに分離され、さらに、下にある導電要素からも分離されている。半導体製造において用いられる適切な誘電体は、たとえば、二酸化シリコン(「酸化物」)を含む。したがって、導体は、半導体のトポグラフィにわたってリソグラフィパターニングされ、この場合のトポグラフィは基板の上に誘電体が設けられたものを含む。このトポグラフィはまた、1層以上の導体を含むことが可能で、導体の層の各々は典型的には誘電材料の層で覆われている。したがって、この誘電体で覆われた導体の層が上にさらなる導体の層をパターニングでき、多層配線構造を形成するトポグラフィを呈する。多層配線構造はしたがって、少なくとも2層(またはレベル)の導体を含まなければならず、この場合、あるレベルで選択された導体はコンタクトによって他のレベルで選択された導体に相互接続される。
信頼性のある多層配線構造の製造においては多くの難題が伴う。第1に、配線構造は、間隔のあいた導体を電気的に分離する層内および層間誘電体を有しなければならない。したがって、誘電材料はクリティカルパス導体および導体間のクロストークにおける伝搬の遅延を最小にする役割を果たす。第2に、多層配線構造は、オーム抵抗の低いコンタクトを有しなければならない。コンタクトの材料および接触子の形状は、相互接続が必要とされる導体間の抵抗を確実に最小にするために注意深く選ばれなければならない。レベル間に延在するビアを再生できるように形成した後、ビアが高い縦横比を有しているときでも、コンタクト材料によって再生できるように充填されなければならない。第3に、多層配線構造は実質的に平坦な形状で製造されなければならない。すなわち、段差の高さの問題を減少させ、小さな特徴のサイズの正確な投影印刷を確実にするために、層間誘電体はかなり平坦な上面を有さなければならない。非平坦性の問題はレベルの数が増加すると倍加する。したがって、多層配線構造(2つ以上のレベルを有するもの)は、次のレベルの導体に備えて誘電面の平坦化を必要とする。
多層配線構造の製造には多くの難題が伴う一方、近代のプロセスの多くで平坦化は特に重大な問題のように考えられる。極細線ジオメトリの投影印刷の際に伴う制限によって、平坦化の注目度が増大している。正確な投影印刷は、トポグラフィにわたって高さが急に変化する小さな特徴の印刷に伴う焦点深度の問題によって制限されている。装置ジオメトリ(すなわち特徴サイズ)が収縮し続けると、平坦な局所的誘電面だけでなく、より重要なことは、半導体のダイ全体とは言わないまでも、ダイの大部分にわたって延在する全域平坦面を有する層間誘電層を製造するという必要が生じる。
発明の概要
上記の問題の大部分は、改良された多層配線構造により解決される。多層構造は、単一ビアエッチングステップおよびそれに続く1対の充填ステップ(二重ステップ)、または単一ビアエッチングステップおよびそれに続く単一充填ステップのいずれかを用いてコンタクトを形成するプロセスによって製造される。最初の例では、層間誘電体は第1の組の導体(金属、ポリシリコンまたは注入領域)の上に形成される。誘電体はその中にエッチングされた多数のビアを有する上面を含む。2つの充填動作の1つ目は、ビアをプラグ材料で充填する役割を果たす。別の充填動作は、その後で導体を形成するのに用いられ、それらの導体のうちいくつかはプラグの上方に形成される。後の例では、ビアと近接する誘電体上面とは、第2の組の導体とは異なる材料として形成されるプラグとして、または第2の組の導体と同じ材料から形成されるプラグとしての役割を果たす導電材料を受取るのに用いられる。
ある実施例に従うと、この発明は、単一ビアエッチングステップおよび2つの充填ステップを用いて多層配線構造を形成するプロセスを意図する。このプロセスは、配線レベル内に形成された1組の導体の真上の領域にある第1の誘電体を取除くステップを含む。障壁層は、好ましくは次のビア内に第1の誘電体にわたって堆積される。その後、導電材料は障壁層にわたって、特に障壁に覆われたビア内に堆積される。障壁に覆われたビアはそれによって第1の充填領域を備え、そこで導電性充填材料を障壁層の上面まで平坦化した後に、プラグが製造される。プラグは、第1の充填プロセスの結果として障壁に覆われたトレンチ内に単独で存在する。しかしながら、プラグに電気的に接続した2組の導体を完成するために第2の充填プロセスが必要とされる。第2の充填シーケンスは、選択されたプラグ対の間の第1の誘電体の上に第2の誘電体を製造することによって開始する。第2の誘電体はそれによって、中に第2の導電材料が堆積された充填領域を囲む。堆積および平坦化後の第2の導電材料は、第2の組の導体を形成し、それらのうちのいくつかはプラグの上に在する。したがって、プラグは、第2および第1の組の導体のうち選択されたものの間に延在する。
別の実施例に従うと、多層配線構造は単一ビアエッチングおよび単一充填プロセスによって形成される。この実施例では、第2の組の導体の導電材料とは異なるプラグの導電材料を必要としない。より特定的には、単一導電材料は、ビアの内部および第2の誘電体によって局限された領域内に堆積され得る。したがって、この実施例では、第2の組の導体は障壁層にわたって横方向に延在し、それだけでなく第1の組の導体の上面で下方向にも延在する。この単体構造は、第1および第2の組の導体の間で垂直スペーサとして、また第2の導体そのものとして働き、いかなる電気的に導電性の材料からも制作できるが、好ましい材料はアルミニウム銅合金または銅である。
【図面の簡単な説明】
この発明のその他の目的および利点は、以下の詳細な説明を読み添付の図面を参照することにより明らかになるであろう。
図1は、ある実施例に従って配線の3つのレベルを示した多層配線構造の部分上面図である。
図2は、図1の面Aに沿った断面図であり、1組の導電領域(たとえば第1の組の導体)が半導体トポグラフィの上で形成される。
図3は、図2のステップに続く処理ステップを示し、第1の誘電体は第1の組の導体にわたって堆積される。
図4は、図3のステップに続く処理ステップを示し、第1の誘電体が選択的に取除かれ、第1の組の導体の真上にビアを形成する。
図5は、図4のステップに続く処理ステップを示し、障壁層が第1の誘電体およびビアの上に堆積される。
図6は、図5のステップに続く処理ステップを示し、プラグが、障壁に覆われたビアを第1の導電材料で充填し、その後でその導電材料を平坦化することによってビア内で形成される。
図7は、図6のステップに続く処理ステップを示し、障壁層が選択的に取除かれる。
図8は、図7のステップに続く処理ステップを示し、第2の誘電体が、障壁層が選択的に取除かれる領域内で形成される。
図9は、図8のステップに続く処理ステップを示し、第2の誘電材料が堆積されその後で平坦化されて、この発明のある実施例に従った単一ビアエッチングおよび二重充填プロセスによって第1の組の導体に電気的に結合された第2の組の導体を形成する図2から9に示されたステップを締めくくる。
図10は、図9のステップに続く処理ステップを示し、第3の組の導体が誘電的に間隔をあけて第1の組の導体の上に形成され、図1の例示的な多層配線構造の3つの配線レベルを完成する。
図11は、図1の面Aに沿った断面図であって、第1の組の導体が半導体トポグラフィの上に形成されている。
図12は、図11のステップに続く処理ステップを示し、障壁層が第1の組の導体の間で選択的に取除かれる。
図13は、図12のステップに続く処理ステップを示し、第2の誘電体が障壁層の取除かれた領域内に形成される。
図14は、図13のステップに続く処理ステップを示し、第2の誘電体に近接した第1の組の導体の上方にある選択された領域が取除かれる。
図15は、図14のステップに続く処理ステップを示し、第1の誘電体が選択的に取除かれ、第1の組の導体のうち選択されたものの真上にビアを形成する。
図16は、図15のステップに続く処理ステップを示し、ビアおよび第2の誘電体によって局限された領域が、単一の導電材料によって充填され、その後で平坦化され、この発明のある実施例に従って単一ビアエッチングおよび単一充填プロセスによって第1の組の導体に電気的に結合された第2の組の導体を形成する図11から図16に示されたステップを締めくくる。
図17は、図16のステップに続く処理ステップを示し、第3の組の導体が誘電的に間隔をあけて第2の組の導体の上方に形成され、図1の例示的な多層配線構造の3つの配線レベルを完成する。
この発明から種々の変形例および代替例が生じるが、図面において具体的な実施例を示し、以下において詳細に説明する。しかしながら、図面および詳細な説明はこの発明を開示した特定的な形式に限定することを意図したものではなく、逆に、この発明は、添付の請求の範囲において規定されたこの発明の精神および範囲内のすべての変形例、等価物、および代替例を包含することを意図している。
発明の詳細な説明
図面を参照して、図1は、多層配線構造10の上面図である。構造10は、ある実施例に従って、3つのレベルの配線を有して示される。各配線レベルは他の配線レベルとは異なる高さレベルに形成される。したがって、各配線レベルは第1の組の導体12、第2の組の導体14、および第3の組の導体16として図1に示される1組の導体を備える。別のレベルに形成された各組の導体は、さまざまな技術を用いてパターニング(たとえば、選択的に取除かれた単一層からのパターニングまたは材料を充填領域に加えることからのパターニング)される。第1、第2、および第3の導体はさらに、一連の層間誘電体を用いて互いに誘電的に間隔をあけられている。
次に図2から10を参照して、構造10は、ある実施例に従って形成され、この実施例では、第2の組の導体14がパターニングされ、単一ビアエッチングおよび二重充填プロセスを用いて下にある第1の組の導体12に結合される。このプロセスは、図2に示されるように第1の組の導体12を半導体トポグラフィ18の上に形成することによって開始する。代替的には、点線12′で示されるように、第1の組の導体12は内部に位置するドーパント団によって導電性にされたイオン注入領域を含み得る。したがって、第1の組の導体は選択的にパターニングされた高融点金属(またはポリシリコン)12またはイオン注入領域12′であり得るということがわかる。さらに、半導体トポグラフィ18は、半導体基板か、半導体基板の上に位置する誘電体か、または1つ以上のレベルの配線の上に位置する誘電体かのいずれかを含むことがわかる。したがって、第1の組の導体は、イオン注入領域の標的位置か、一連の配線レベルの第1のレベルか、または下にある配線の多数のレベルの第2もしくはそれに続くレベルかのいずれかが可能である。
図3では、第1の誘電体22は、第1の組の導体12にわたっておよびその間で堆積される。第1の誘電体22は、いかなる電気的絶縁性材料も含み、好ましくは、たとえば、シラン、テトラエチルオルトケイ酸塩(TEOS)、またはオゾン源を用いる化学蒸着(CVD)室からの堆積された酸化物を含む。図4では、第1の誘電体22の上面がフォトレジストを用いてパターニングされるので、第1の誘電体22の選択された領域は第1の組の導体12の真上で取除かれる。第1の誘電体22の取除かれた領域をこれ以降、ビア24と呼ぶ。ビア24は好ましくはプラズマエッチ技術を用いて形成され、これによって第1の誘電体22内に実質的にまっすぐな側壁が作られる。ビア24は第1の誘電体22の上面から導体12の上面へ延在する。プラズマエッチング技術が実質的に導体12の上面からすべての誘電体22を取除くことによって次の接触構造中のいかなる抵抗をも最小にするということは重要である。
図5は、第1の誘電体22の上およびビア24内に堆積した障壁層26を示す。障壁層26は、第1の誘電体22とその上の導電材料との間の密着度を高める役割を果たす。好ましくは、障壁層26はチタン(Ti)を含み、それだけでなくさらにタングステン(W)、窒素(N)、またはそれらの組合せをも含み得る。ある実施例に従うと、障壁層26はおよそ1000Å(1000×10-10m)の厚さに堆積された窒化チタンからなる。図6は、障壁26上に堆積された第1の導電材料28を示す。導電材料28は、ビア24を完全に充填するように堆積される。好ましくは、第1の導電材料28はWを含む。平坦化プロセスを用いて、材料28の上面は障壁層26の上面と実質的に等しい高さレベルまで取除かれる。したがって、プラグ30は障壁層26の上面と釣り合った上面を有して形成される。障壁層26はしたがって、接着層としての役割を果たすだけでなく、エッチングストップまたはポリッシュストップも提供する。
図7は、フォトレジスト層32を堆積し、かつ選択的にパターニングすることによりプラグ30の間で露出した障壁層28を示している。フォトレジスト32を取除いた領域で、下にある障壁層26は、下にある第1の誘電体22を保持する一方、障壁26を選択的に取除くエッチング溶液にさらされている。障壁26の除去は点線34によって表わされる。図8は、障壁26が取除かれた領域上に次に、第2の誘導体36を堆積したところを示す。第2の誘導体36は、障壁26だけでなくプラグ30の上面の上方に延在することにより第2の誘電体36によって仕切られた充填電領域を形成する。充填領域(より特定的には第2の充填領域であって、第1の充填領域はビア24を充填するのに用いられる)は、その後で、図9に示されるように第2の導電材料38を容易に受入れる。好ましい実施例に従うと、第2の誘電体36は一面に堆積され、その後選択的に取除かれて障壁26の取除かれた領域(図8に示す)の上に材料を残す。充填領域(より特定的には第2の充填領域であって、第1の充填領域はビア24を充填するのに用いられる)は、その後で、図9に示されるように第2の導電材料38を容易に受入れる。
図9は、第2の充填材料38の堆積を示し、さらに、上方の高さ領域でエッチバックまたはポリッシュシーケンスを用いて材料38の次の除去を示す。エッチバックまたはポリッシュすることにより、第2の誘電体36の上面と釣り合った材料38の上面が取除かれる。したがって、第2の誘電体36はエッチストップを提供する。第2の誘電体36はまた、次の第2の組の導体14の厚みを規定する。導体14の上面はこの結果、第2の誘電体36の上面と共面になる。上面が共面であるため、高密度の多層配線構造に必要な平坦化の利点を提供する。図9は、プラグ30によって選択的に相互接続された2つのレベルの導体を形成する処理シーケンスの結果としてできた完成品を示す。単一ビアエッチングステップおよび二重(2つの)充填ステップを用いた配線構造を形成する一実施例を示すために、図2から9に表わされたシーケンスが提供される。第2の導電材料38は、所望の抵抗の特徴によっては第1の導電材料28と異なり得る。
図10は図9のステップに続く処理ステップシーケンスを示す。より特定的には、図10は第2の組の導体14の上に位置する第3の誘電体40を示す。第3の誘電体はしたがって第2の組の導体14と第3の組の導体16との間に挟まれている。図10はよって、より多数が可能の配線レベルのうちの3つを表わし、図1に例として示すものを説明する。プラグ30(図6に示す)と同様のプラグは、もちろん所望であれば第3の導体16の下に使用することが可能である。このプラグを、誘電体40内で、下にある第2の導体14まで形成して、その間の導電性を高めることができる。
次に図11から図16を参照すると、代替的実施例が示される。図11から16は、多層配線構造10の製造において有用なステップの別のシーケンスを表わす。より特定的には、図11から図16は、単一ビアエッチングおよび単一充填プロセスを表わし、同じプロセスは、図2から図9に表わされるシーケンスよりも複雑でなく、また扱いやすい。しかしながら、図11から図16のシーケンスでは、プラグ材料が第2の組の導体と同じ組成であることが必要である。選ばれた材料およびコンタクトの所望されたオーム特徴によって、この制限は実行可能な代替法である。
次に図11から図16を参照すると、図11に示された第1の誘電体22aが第1の組の導体12aの上に堆積される。第1の組の導体12aは、半導体トポグラフィ18aの上に形成され、障壁層26aは、第1の誘電体22aの上に堆積される。
図12は、第1の組の導体12aの上方および間の領域での障壁層26aの選択的な除去を示す。図13は、障壁26aが取除かれた領域で次に形成される第2の誘電体36aを表わす。誘電体36aは好ましくは、誘電材料を一面に堆積し、さらにその後で誘電体36a(図13に示す)を実質的に完全に残すよう、同材料を選択的に取除くことによって形成される。
図14は、選択的に取除かれて障壁層26aを第1の組の導体12aの真上の領域で露出するフォトレジスト層42を示す。その後、露出された障壁層26aは、点線44で表わされるように取除かれる。障壁26aの選択的除去により、下にある第1の誘電体22aが露出され、かつ、図15に示されるステップに従い、下にある誘電体が除去される。第1の誘電体22aは、図15に示される第1の組の導体12aの上面をできるだけ露出するよう十分取除く。第1の誘電体22aの除去および下にある導体12aの露出によってビア24aが形成される。
ビア24aおよび第2の誘電体36aを形成することにより、第1かつ唯一の充填領域を規定する。充填領域は、第1の組の導体12aの上面と等しい、より低い高度を有する第2の誘電体36aによって横方向に仕切られている。したがって、規定された充填ジオメトリ内に、第1かつ唯一の導電材料46を与えるには、単一充填堆積サイクルが必要とされる。導電材料46は、好ましくは銅または銅合金であり、ビア24aおよび、障壁26aの上面と第2の導体36aの上面との間の高さの不均衡を完全に充填する。それゆえ、引き続き平坦化ステップを行なって導電材料の上面を第2の誘電体36aの上面と釣り合った高さレベルまで取除く。その結果できる製品が、第2の組の導体14aである。したがって、図11から始まった処理シーケンス、詳細には多層配線構造を形成するのに用いられる、単一エッチングおよび単一充填プロセスを用いる処理シーケンスは図16で完結する。単一エッチングはビア24を設けるのに用いられ、単一充填ステップは第2の組の導体14aを設けるのに用いられる。図17は、図16に表わされるステップに続く処理ステップであって、第3の誘電体40aは導体14aの上に形成され、第3の組の導体16aは第3の誘電体40aの上に形成される。
もちろん、図2から図10に示すステップおよび図11から図17に示すステップのシーケンスは、3よりもっと多くの配線レベルを保持する多層配線構造を製造するために繰返すことができる。さらに、障壁26または26aは、いずれの場合にも、誘電体(第1の誘電体22または22a)と上にある導体(第2の組の導体14または14a)との間で有利に配置されることは言うまでもない。したがって、処理ステップのこのシーケンスは、障壁層を有利に形成し、単一エッチングステップとそれに続くビアの充填とによって、上にある配線から分離するかまたはその配線の一部として形成されたビアの中に低い抵抗の接触子を形成する。したがって、この開示の利益を受ける当業者には、この発明はいかなる集積回路の製造プロセスにも応用可能であるとされていることが認識される。さらに、図示されかつ記載されたこの発明は、現在の好ましい実施例として解釈されるべきであることもまた理解される。当業者には、請求の範囲で述べられるこの発明の精神および範囲から離れることなく、種々の変形例および変更例が生じ得ることが明らかであろう。以下の請求の範囲は上記のような変形および変更例をすべて包含することが意図されており、したがって、明細書および図面は限定的な意味ではなく例示的な意味として捉えられるべきものである。
Claims (8)
- 第1の組の導体(12)を有する集積回路の多層配線構造(10)を形成する方法であって、前記第1の組の導体(12)は、第1の組の導体(12)と異なる面上に形成された第2の組の導体(14)に電気的に接続されており、前記方法が、
半導体トポグラフィ(18)の上に形成された第1の組の導体(12)にわたり、かつその間に第1の誘電体(22)を堆積するステップと、
前記第1の誘電体(22)を、前記第1の組の導体(12)の上面まで延在する複数のビア(24)を形成するために、前記第1の組の導体(12)の真上の領域内のみで前記第1の誘電体(22)を取除くステップとを含み、前記方法はさらに、
障壁に覆われた第1の誘電体および障壁に覆われた複数のビアを形成するために、障壁層(26)を前記第1の誘電体(22)および前記複数のビア(24)の上に堆積するステップと、
導電材料(28)のプラグ(30)を前記障壁に覆われた複数のビア内に形成するステップと、
前記障壁層(26)の、1対の前記プラグ(30)を横方向に分離するスペースの真上の部分(34)を取除き、さらにその後に前記障壁層(26)の取除かれた前記部分(34)の領域内に第2の誘電体(36)を形成するステップと、第2の組の導体(14)を、前記プラグ(30)および前記第2の誘電体(36)の両側にある前記障壁に覆われた第1の誘電体(22、26)の上に形成するステップとを含むことを特徴とする、方法。 - 前記第1の組の導体(12)が前記プラグ(30)によって前記第2の組の導体(14)に接続される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の組の導体(12、12a)の各導体が、半導体基板(18、18a)内にイオン注入領域を含むかまたは、前記半導体基板(18、18a)の上に堆積された金属から形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記障壁層(26、26a)がチタンを含む、請求項1に記載の方法。
- 複数のプラグ(30)を形成する前記ステップが、高融点金属(28)を、障壁に覆われた第1の誘電体(22、26)にわたり、かつ障壁に覆われたビア(24、26)内に堆積するステップと、
前記高融点金属(28)の上面を前記障壁に覆われた第1の誘電体(22、26)の高さレベルと同等またはそれ以下の高さレベルまで取除くステップとを含む、請求項1に記載の方法。 - 第2の組の導体(14)を形成する前記ステップが、
高融点金属(38)を、障壁に覆われた第1の誘電体(22、26)とプラグ(30)と第2の誘電体(36)とにわたって堆積するステップと、
前記高融点金属(38)の上面を前記第2の誘電体(36)の上面と同等かまたはそれ以下の高さレベルまで取除くステップとを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記高融点金属の上面を取除く前記ステップが、エッチングまたはポリシングを含む、請求項6に記載の方法。
- 第3の誘電体(40、40a)を前記第2の組の導体(14、14a)の上に堆積するステップと、
第3の組の導体(16、16a)を前記第3の誘電体(40、40a)の上に形成するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/658,458 US5679605A (en) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Multilevel interconnect structure of an integrated circuit formed by a single via etch and dual fill process |
US08/658,458 | 1996-06-05 | ||
PCT/US1997/002503 WO1997047034A1 (en) | 1996-06-05 | 1997-02-18 | A multilevel interconnect structure of an integrated circuit formed by a single via etch and dual fill process |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000511699A JP2000511699A (ja) | 2000-09-05 |
JP4097702B2 true JP4097702B2 (ja) | 2008-06-11 |
Family
ID=24641322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50054698A Expired - Fee Related JP4097702B2 (ja) | 1996-06-05 | 1997-02-18 | 単一ビアエッチングおよび二重充填プロセスによって形成された集積回路の多層配線構造 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5679605A (ja) |
JP (1) | JP4097702B2 (ja) |
WO (1) | WO1997047034A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-06-05 US US08/658,458 patent/US5679605A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-18 WO PCT/US1997/002503 patent/WO1997047034A1/en active IP Right Grant
- 1997-02-18 JP JP50054698A patent/JP4097702B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000511699A (ja) | 2000-09-05 |
US5679605A (en) | 1997-10-21 |
WO1997047034A1 (en) | 1997-12-11 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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