JP4093016B2 - フラッシュランプ用の電極ユニットとその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光パルスによる紫外線殺菌の光源として利用されるフラッシュランプとその電極ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
紫外線殺菌の光源としては、殺菌に有効とされる波長２５４ｎｍの紫外線を効率良く放射し、ランプ寿命も長い低圧水銀ランプが一般的に使用されているが、該ランプは、紫外線出力が低いため短時間で大量の被処理物を殺菌処理することができず、また、高出力を得ようとすればランプの使用本数を多くしなければならないので、その設置スペースが大きくなり、更に、被処理物の光透過率が低い場合や、菌が高濃度で存在して被処理物の表面等に重なり合って付着している場合、菌がバイオフィルムを生成してその中に潜んでいる場合、あるいは厚い皮膜で覆われた芽胞菌等のように紫外線の被照射耐性が高い菌の場合には、滅菌レベル（９９．９９９９％以上の殺菌）の殺菌効果を得ることができないという欠点があった。
【０００３】
このため、加熱殺菌に適さない食品、飲料、医薬品等やその容器、包装資材等の殺菌処理は、薬液を用いて行なうのが一般的であるが、薬液を使用すると、殺菌処理した被処理物の表面に付着残存する薬液を洗浄除去しなければならないので、被処理物を無菌水で洗浄する洗浄設備や、その無菌水を作って供給する給水設備、使用済みの薬液が含まれた排水を無害化する排水処理設備等が必要となり、それらの設備費やランニングコストが嵩むと同時に、設備の設置スペースも著しく大きくなるという問題があった。また、近時は、世界的な環境保全運動の高まりに伴って、薬液を使用しない無公害な殺菌処理技術の開発が待望されている。
【０００４】
以上のような事情に鑑みて、低圧水銀ランプよりも高出力、高照度の紫外線を放射するフラッシュランプ（閃光放電灯）を用いた殺菌処理技術が種々提案されている。この技術は、例えば図４に示すようなキセノンフラッシュランプ４０によって瞬間的に高照度の紫外線を照射するもので、該ランプ４０は、希ガスのキセノンガスを封入したガラス製発光管４１の両端に一対の電極ユニット４２、４３が対向して配置された構造になっている。
【０００５】
発光管４１は、紫外線透過率の高い石英ガラスによって円筒形に成形され、その両端に配置される各電極ユニット４２、４３は、夫々電極リード棒４４、４５の外周に溶着された封止用ガラス４６、４７によって、キセノンガスが封入された発光管４１の端部を気密に封止すると同時に、その発光管４１の端部に固定されるようになっている。
【０００６】
電極ユニット４２の電極リード棒４４は、電極（陽極）となる先端部４８をバルク状に成形加工したタングステンロッドで形成され、また、電極ユニット４３の電極リード棒４５は、先端に電極（陰極）となる電子放出性物質の燒結体４９が固着されたタングステンロッドで形成されている。
【０００７】
以上の如く構成されたキセノンフラッシュランプ４０は、電極リード棒４４、４５の後端部に接続されたリード線（図示せず）を介してパルス電力が供給されると、発光管４１内に生ずる瞬間的な放電プラズマ中でキセノンガスが励起されて、殺菌効果を奏する２００〜３００ｎｍの短波長紫外線を強力に発するようになっている。
【０００８】
これにより、例えば発光長２５０ｍｍ、発光管外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）のキセノンフラッシュランプ４０を用いた殺菌試験では、該ランプの中心から被処理物の表面までの照射距離を１００ｍｍとしたときに、その被処理物の表面に付着した微生物の滅菌処理に必要なランプ出力と照射回数は、枯草菌芽胞の場合：５００Ｊを６回又は２０００Ｊを１回で足り、また、黒麹カビの場合：５００Ｊを１６回又は２０００Ｊを３回で足り、その処理時間も、僅か数秒〜数十秒で足りるという優れた殺菌効果を奏することが確認されている。
【０００９】
なお、上記フラッシュランプ４０と同様、光パルス殺菌に用いられる従来のフラッシュランプは、いずれもガラス製発光管の両端に一対の電極ユニットが対向して配置され、各電極ユニットは、電極リード棒の先端に電極が設けられ、その電極リード棒の外周に発光管の端部を封止する封止用ガラスが溶着された基本構造を有する点で共通しており（例えば、特許文献１参照）、電子放出性物質の燒結体を電極（陰極）とする電極ユニットも、従来品は一定の太さを有する電極リード棒の先端に電極が設けられ、その電極リード棒の外周に発光管の端部を封止する封止用ガラスが溶着された基本構造において共通している。
【００１０】
【特許文献１】
特許第２７２３５７３号公報（第１−３頁、第１−３図）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】

しかし、大量の被処理物を短時間で殺菌処理するために、上記フラッシュランプ４０を１秒間に数回という短いインターバルで連発的に発光させると、燒結体４９で成る電極ユニット４３の電極が短期間で放電不能となる不具合が生じて、ランプ寿命が著しく短くなるという問題があり、これがフラッシュランプによる光パルス殺菌の実用化と普及を妨げる大きな要因の一つとなっていた。
【００１２】
電極が放電不能となる原因を究明すると、主たる原因は二つあり、その一つは、フラッシュランプ４０を連発的に発光させると、該ランプの点灯・消灯に伴って電極リード棒４５が頻繁に熱膨張と収縮を繰り返し、その膨張収縮作用によるストレスで電極リード棒４５の先端に固着された燒結体４９が割れるためであると判明した。
【００１３】
つまり、フラッシュランプ４０は、瞬間的に大電流を流して高出力で発光させるために、電極となる燒結体４９は、大型化され、また、ランプ点灯の際に先端部が１０００℃以上の高温に達する電極リード棒４５は、その熱膨張によってガラス製発光管４１の封止部に歪みやクラックが生じないようにするため、例えば先端部の温度が１２００℃に達しても、封止用ガラス４７が溶着された発光管４１の封止部付近における温度は１５０〜２００℃程度となるように、全体的に太くて熱容量の大きいタングステンロッドで形成されている。しかし、電極リード棒４５が太ければ、その先端部の熱膨張量が大きいので、ランプの点灯・消灯に伴う膨張収縮によって先端部に固着された燒結体４９が受けるストレスも大きくなり、そのストレスで燒結体４９が割れて放電不能となるおそれがある。
【００１４】
また、電極が放電不能となるもう一つの原因は、燒結体４９が分解して不活性化することにある。そして、燒結体４９が分解する原因を究明したところ、電極ユニット４３の製造過程で、電子放出性物質の粉末を電極形の圧粉塊にプレス成形して電極リード棒４５の先端に取り付け、その圧粉塊を真空熱処理炉内で千数百度に加熱して燒結させ、これにより先端に燒結体４９が固着生成された電極リード棒４５を真空熱処理炉から取り出した際に、燒結体４９が大気に触れてその表面に大気中の水分が吸着され、次いで、先端に燒結体４９が固着された電極リード棒４５の後端側に封止用ガラス４７となるビーズ状のガラスを外嵌して、これを水素雰囲気中で加熱して電極リード棒４５の外周に溶着させる際に、その熱で、燒結体４９の表面に吸着された水分と水素が該燒結体４９の内部に拡散するため、フラッシュランプ４０の点灯動作時に燒結体４９の内部から水分及び水素ガスが放出されることが原因であると判明した。
【００１５】
そこで本発明は、フラッシュランプによる光パルス殺菌技術の実用化と普及を図るために、電極リード棒の先端に固着された燒結体が割れたり、分解して不活性化することを確実に防止し、フラッシュランプの寿命を飛躍的に向上させることを技術的課題としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、電極リード棒の先端に電極となる電子放出性物質の燒結体が固着され、その電極リード棒の外周にガラス製発光管の端部を気密に封止する封止用ガラスが溶着された電極ユニットにおいて、前記電極リード棒が、先細に形成され、その先端に前記燒結体が固着された細ロッドと、外周に前記封止用ガラスが溶着された太ロッドとを継手で接合させて成ることを特徴とする。
【００１７】
本発明の電極ユニットを用いたフラッシュランプは、これを連発的に発光させたときに、電極となる燒結体が固着された電極リード棒の先端が１０００℃以上の高温に達しても、電極リード棒は先細に形成されているため、その先端における熱膨張の絶対量は小さい。したがって、電極リード棒の先端に固着された燒結体がランプの点灯・消灯に伴う電極リード棒の膨張収縮作用によって受けるストレスも小さいので、そのストレスで燒結体が割れるおそれがない。また、先細に形成された電極リード棒は、先端側の熱容量が小さく、後端側の熱容量が大きいので、燒結体が固着された先端部分が高温に達しても、封止用ガラスが溶着された部分の温度は低く抑えられて、その部分の熱膨張量は小さいので、ガラス製発光管の封止部に熱膨張による歪みやクラックを生ずるおそれもない。
【００１９】
次に、請求項４の発明は、電極リード棒の先端に電極となる電子放出性物質の燒結体が固着され、その電極リード棒の外周にガラス製発光管の端部を気密に封止する封止用ガラスが溶着された電極ユニットの製造方法において、前記電極リード棒を細ロッドと太ロッドの２パーツに分かち、その細ロッドの先端に前記燒結体を固着させる加工を施し、太ロッドの外周に前記封止用ガラスを溶着させる加工を施して、当該両ロッドを継手で接合することを特徴する。
【００２０】
本発明方法によれば、電極ユニットの電極リード棒が細ロッドと太ロッドを継手で接合して組み立てられるので、電極ユニットの製造過程で、細ロッドの先端に固着された燒結体が、太ロッドの外周に封止用ガラスを溶着させる水素雰囲気中で加熱されることを回避して、その燒結体の内部に水分と水素が拡散することを確実に防止できる。したがって、ランプの点灯動作時に燒結体の内部から水分や水素ガスが放出されて該燒結体が分解するおそれがない。また、電極リード棒は、燒結体を固着させる部分が熱膨張の絶対量が小さい細ロッドで成るから、ランプの点灯・消灯に伴う膨張収縮作用によって燒結体が割れるおそれが少ない。更に、封止用ガラスを溶着させる部分が細ロッドより熱容量の大きい太ロッドで成るため、細ロッドの先端が高温に達しても太ロッドの温度は低く抑えられてその熱膨張量は小さいので、該太ロッドの外周に溶着された封止用ガラスで封止されたガラス製発光管の封止部に歪みやクラックが生ずるおそれが少ない。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面によって具体的に説明する。
図１は本発明によるフラッシュランプの一例を示す断面図、図２はそのフラッシュランプに用いる電極ユニットの断面図、図３はフラッシュランプの点灯回路を示す図である。
【００２２】
図１のフラッシュランプ１は、紫外線透過率の良い石英ガラスで成形されたガラス製発光管２の内部にキセノンガスが常温で約４０ｋＰａ封入されると共に、その発光管２の両端に一対の電極ユニット３及び４が対向して配置されている。
【００２３】
電極ユニット３は、電極（陽極）となる先端部６をバルク状に成形加工したタングステンロッドで成る電極リード棒５の外周にガラス製発光管２の片端部を気密に封止する封止用ガラス７が溶着されている。
【００２４】
一方、電極ユニット４は、電極リード棒８の先端に電極（陰極）となる電子放出性物質の燒結体９が固着されると共に、その電極リード棒８の外周にガラス製発光管２の他端部を気密に封止する封止用ガラス１０が溶着されている。
【００２５】
そして、電極ユニット４は、図２の如く、電極リード棒８が、先端に燒結体９が固着された細ロッド１１と、外周に封止用ガラス１０が溶着された太ロッド１２とで形成され、これら両ロッド１１及び１２が継手１３で接合される構造になっている。
【００２６】
つまり、電極ユニット４は、電極リード棒８を例えば共にタングステンロッドで成る細ロッド１１と太ロッド１２の２パーツに分ち、細ロッド１１には予めその先端に電子放出性物質の燒結体９を固着させる加工を施し、太ロッド１２には予めその外周に封止用ガラス１０を溶着させる加工を施してから、それら両ロッド１１及び１２を継手１３で接合することにより製造されている。
【００２７】
なお、燒結体９は、タングステン粉末及びタングステンとアルカリ土類金属の複合酸化物の粉末を電極の形にプレス成形した圧粉塊を細ロッド１１の先端に取り付け、その圧粉塊を１６００℃で真空燒成させて形成されている。また、封止用ガラス１０は、太ロッド１２に外嵌したビーズ状のガラスを水素雰囲気中で加熱してその太ロッド１２の外周に溶着させたものである。
【００２８】
継手１３は、例えば線径０．８ｍｍのタングステン線によって、内径０．９８ｍｍの小径コイル部ＳＣと内径１．６８ｍｍの大径コイル部ＬＣとを連続的に形成した段型のタングステンコイルで成り、片側の小径コイル部ＳＣ内に外径１．０ｍｍの細ロッド１１の端部を嵌め入れると共に、反対側の大径コイル部ＬＣ内に外径１．７ｍｍの太ロッド１２の端部を嵌め入れて、両ロッド１１及び１２を接合させるようになっている。
【００２９】
以上のように、電極ユニット４は、電極リード棒８が、先端に燒結体９が固着された細ロッド１１と、外周に封止用ガラス１０が溶着された太ロッド１２とを継手１３で接合させる構造になっているため、封止用ガラス１０を溶着させる際に、その封止用ガラス１０と一緒に燒結体９が水素雰囲気中で加熱されて該燒結体９の内部に水分と水素が拡散することを回避でき、これにより、フラッシュランプ１の点灯動作時に燒結体９の内部から水分や水素ガスが放出されて燒結体９が分解することを防止できるので、ランプ寿命が飛躍的に向上し、フラッシュランプ１を図３の回路を用いて点灯させる寿命試験によれば、１０００万回の点灯でも焼結体９が分解することなく安定した点灯特性を示すことが確認された。
【００３０】
すなわち、図３に示すフラッシュランプ１の点灯回路は、充電用コンデンサ１４、充電用電源１５、波形調整用コイル１６及びトリガ発生回路１７とで構成され、まず、充電用電源１５からコンデンサ１４に直流電圧が印加されて、５００Ｊの充電エネルギーが蓄えられる（充電電圧２０００Ｖ、コンデンサ容量２５０μＦ）。そして、トリガ発生回路１７に点灯信号が入力されると、スイッチＳが閉じてパルス状のトリガ電圧（ピーク電圧１５ｋＶ、半値幅２μｓ）が誘起され、該トリガ電圧がフラッシュランプ1の電極間に印加されると、発光管２の内部に封入されたキセノンガスの一部が電離して種放電が生じ、コンデンサ１４に蓄えられた電荷が一気に流れて、瞬間的に高強度の光パルスが発せられる。なお、電流は波形調整用コイル１６で制御されるが、本寿命試験におけるピーク電流は８００Ａとした。
【００３１】
この点灯回路によりフラッシュランプ１を１秒間に２回の頻度で点灯させて、コンベアにより３０ｍ／ｍｉｎの速度でランプ長手方向に連続的に搬送されるゼリー物質の包装容器（口径６０ｍｍ、深さ４５ｍｍ、底面径５０ｍｍ）を一回の照射で枯草菌芽胞を９９．９％殺菌することができる照射距離１０ｍｍで毎分４８０個の割合で殺菌処理すると、燒結体９で成る電極の温度が上昇して１２００℃で動作するようになる。
【００３２】
燒結体９は、水分または水素の介在によって分解しやすいが、本発明のフラッシュランプ１は、その焼結体９で成る電極が高温動作しても、該燒結体９がその内部からの水分や水素ガスの放出によって分解することがない。
【００３３】
したがって、例えば図4に示す従来のフラッシュランプ４０は、１００万回の点灯で燒結体４９が分解して不点灯となるものがあり、２００万回の点灯では燒結体４９の分解により不点灯となる確率が約５％にも達するのに対し、上記の如く構成されたフラッシュランプ１は、１０００万回の点灯でも燒結体９の分解による不活性化が原因で不点灯となることはなかった。
【００３４】
そして、上記の如くランプ寿命に各段の差異がある従来品のフラッシュランプ４０と本発明品のフラッシュランプ１を各々１万回ずつ点灯動作（エージング）させた後、その発光管を真空チャンバ内で破壊して、マススペクトル分析装置により封入ガスの全圧中の不純ガス分圧から発光管内に混入している水分と水素ガスの量を求めた結果、表１のとおり、本発明品は、ランプ１本当たりの水分と水素の混入量が従来品に比べて桁違いに少ないことが確認された。
【００３５】
【表１】

【００３６】
表１の実験データは、図１の燒結体９に吸着された水分及び水素の量が、図４の燒結体４９に吸着された量より各段に少ないことを示している。これにより、電極ユニット４の構造及び製造方法に工夫を凝らして電極となる燒結体９の内部に水分や水素を拡散させないようにすれば、その燒結体９が早期に分解して不活性化することがなく、フラッシュランプの寿命が飛躍的に向上することが実証されている。
【００３７】
更に、上記の如くフラッシュランプ１を連発的に発光させると、燒結体９で成る電極先端の温度が上昇して１２００℃で動作するようになり、燒結体９が固着された電極リード棒８の先端部は、ランプの点灯・消灯に伴って膨張と収縮を繰り返すが、その先端部は熱膨張の絶対量が小さい細ロッド１１で形成されているため、燒結体９に加わる膨張収縮のストレスは小さいので、その燒結体９がランプの点灯動作時に割れるおそれが少ない。
【００３８】
また、電極リード棒８は、外周に封止用ガラス１０を溶着した部分が、先端に燒結体を固着した細ロッド１１より熱容量の大きい太ロッド１２で形成されているため、細ロッド１１の先端が高温に達しても太ロッド１２の温度は低く抑えられて、該太ロッド１２の熱膨張量は小さいので、封止用ガラス１０で封止されたガラス製発光管２の端部に歪みやクラックを生ずるおそれが少ない。特に、細ロッド１１と太ロッド１２をタングステンコイルで成る継手１３によって接合すれば、該継手１３の放熱作用で太ロッド１２の温度をより低く抑えることができるため、該太ロッド１２の熱膨張量が更に低減されて、ガラス製発光管２の封止部に歪みやクラックを生ずることが確実に防止される。
【００３９】
なお、実験によれば、図４に示す従来のフラッシュランプ４０は、燒結体４９を外径５ｍｍ、全長６ｍｍとし、電極リード棒４５を外径１．７ｍｍとして、これを図３の点灯回路によりランプ出力５００Ｊ、ピーク電流８００Ａの条件で１００万回点灯させると、電極リード棒４５の外周に溶着された封止用ガラス４７により封止されたガラス製発光管４１の端部にクラック等は生じないものの、電極リード棒４５の先端に固着された燒結体４９に約５０％の確率で割れが生じた。
【００４０】
これに対し、図１に示すように電極リード棒８が継手１３で接合した細ロッド１１と太ロッド１２とで成るフラッシュランプ１は、上記と同じ通電条件で１００万回点灯させても、表２に示す如く、細ロッド１１の外径が１．０ｍｍ以下であれば、ランプ１０本中１本も燒結体９に割れを生ずることがなく、また、表３に示す如く、太ロッド１２の外径が１．７ｍｍ以上であれば、該太ロッド１２の外周に溶着された封止用ガラス１０で封止されたガラス製発光管２の封止部にクラックを生ずるものが１本もなかった。
【００４１】
【表２】

【００４２】
【表３】

【００４３】
なお、表２の実験データは、外径０．５〜２．０ｍｍの細ロッドをいずれも外径２．０ｍｍの太ロッドと接合させたときのものであり、また、表３の実験データは、外径１．２〜５．０の太ロッドをいずれも外径１．０ｍｍの細ロッドと接合させたときのものである。
【００４４】
上記実験データに基づき、細ロッド１１の外径を１．０ｍｍ以下に選定し、太ロッド１２の外径を１．７ｍｍ以上に選定したフラッシュランプ１を図３の点灯回路を用いて１秒間に２回の頻度で点灯させる寿命試験を実施したところ、１０００万回の点灯でも安定した点灯特性を示すことが確認された。
【００４５】
以上のとおり、電極ユニット４の電極リード棒８が、先端に燒結体９が固着された細ロッド１１と、外周に封止用ガラス１０が溶着された太ロッド１２とを継手１３で接合して成る場合は、フラッシュランプ１の点灯動作時に燒結体９が割れることを防止できると同時に、電極ユニット４の製造過程で燒結体９の内部に水分や水素を拡散させないようにして、その焼結体９がランプの点灯動作時に分解することも防止できるので、フラッシュランプ１の寿命と信頼性が飛躍的に向上する。
【００４６】
なお、電極リード棒８は、細ロッド１１と太ロッド１２がタングステンコイルで成る継手１３によって接合されているが、この継手１３は、タングステン以外の導電性耐熱材料で成形された例えばモリブデンコイル等を用いても良い。また、継手は、細ロッド１１と太ロッド１２とを互いに接合させることができる機構になっていれば良く、コイルに限らずスリーブあるいはネジその他の手段を用いるものであっても良い。
【００４７】
また、電極リード棒８の膨張収縮による燒結体９の割れと、発光管封止部のクラックの発生を防止するだけなら、細ロッド１１と太ロッド１２を溶接手段により接合して先細の電極リード棒とする場合や、電極リード棒８を１本のタングステンロッドで形成して、該ロッドの先端に切削加工を施すことにより先細の電極リード棒とする場合でも良い。ただし、前者の場合は、熱容量の異なる細ロッド１１と太ロッド１２の溶接部が馴染まないために、製品不良率が高くなり、ランプの点灯動作時に燒結体９が細ロッド１１と共に落下するおそれがあると同時に、溶接の際に、燒結体９が大気中で熱的作用を受けて変質するおそれもある。また、後者の場合は、高硬度のタングステンロッドを切削する高価な加工装置が必要となるばかりか、封止用ガラス１０を溶着させる際に、燒結体９が水素雰囲気中で熱的作用を受けることを避けられないという不利があるので、細ロッド１１と太ロッド１２を継手１３で接合して先細の電極リード棒８を形成するのが最も好ましい。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、光パルス殺菌に用いる高出力のフラッシュランプを短いインターバルで連続的に点灯させても、電極となる電子放出性物質の燒結体が短期間で割れたり、分解して不活性化するおそれがなくなり、そのランプ寿命が飛躍的に向上するので、光パルス殺菌技術の実用化と普及に資することができるという大変優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフラッシュランプの一例を示す断面図
【図２】本発明による電極ユニットの一例を示す断面図
【図３】本発明によるフラッシュランプの点灯回路を示す図
【図４】従来のフラッシュランプとその電極ユニットを示す断面図
【符号の説明】
１……………フラッシュランプ １０……………封止用ガラス
２……………ガラス製発光管 １１……………細ロッド
４……………電極ユニット １２……………太ロッド
８……………電極リード棒 １３……………継手
９……………電子放出性物質の燒結体

Claims (4)

1. 電極リード棒の先端に電極となる電子放出性物質の燒結体が固着され、その電極リード棒の外周にガラス製発光管の端部を気密に封止する封止用ガラスが溶着された電極ユニットにおいて、前記電極リード棒（８）が、先細に形成され、その先端に前記燒結体（９）が固着された細ロッド（１１）と、外周に前記封止用ガラス（１０）が溶着された太ロッド（１２）とを継手（１３）で接合させて成ることを特徴とする電極ユニット。
2. 前記細ロッド（１１）が外径１．０ｍｍ以下のタングステンロッドで成り、前記太ロッド（１２）が外径１．７ｍｍ以上のタングステンロッドで成る請求項１記載の電極ユニット。
3. 前記継手（１３）が、片側の小径コイル部（ＳＣ）に前記細ロッド（１１）の端部を嵌め入れ、反対側の大径コイル部（ＬＣ）に前記太ロッド（１２）の端部を嵌め入れて、両ロッド（１１、１２）を接合させる段型のタングステンコイルで成る請求項１又は２記載の電極ユニット。
4. 電極リード棒の先端に電極となる電子放出性物質の燒結体が固着され、その電極リード棒の外周にガラス製発光管の端部を気密に封止する封止用ガラスが溶着された電極ユニットの製造方法において、前記電極リード棒（８）を細ロッド（１１）と太ロッド（１２）の２パーツに分かち、その細ロッド（１１）の先端に前記燒結体（９）を固着させる加工を施し、太ロッド（１２）の外周に前記封止用ガラス（１０）を溶着させる加工を施して、当該両ロッド（１１、１２）を継手（１３）で接合することを特徴する電極ユニットの製造方法。

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