JP4091868B2 - 表面実装型温度補償水晶発振器 - Google Patents
表面実装型温度補償水晶発振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4091868B2 JP4091868B2 JP2003089364A JP2003089364A JP4091868B2 JP 4091868 B2 JP4091868 B2 JP 4091868B2 JP 2003089364 A JP2003089364 A JP 2003089364A JP 2003089364 A JP2003089364 A JP 2003089364A JP 4091868 B2 JP4091868 B2 JP 4091868B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode pads
- crystal
- container body
- electrode
- electrode pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 141
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 28
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯用通信機器等の電子機器に用いられる表面実装型温度補償水晶発振器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、携帯用通信機器等の電子機器に表面実装型温度補償水晶発振器が用いられている。
【0003】
かかる従来の表面実装型温度補償水晶発振器としては、例えば図10に示す如く、下面に複数個の外部端子22が被着されている枠状基体21の上面に、内部に水晶振動素子24が収容されている容器体23を取着させるとともに、前記枠状基体21の内壁面と容器体23の下面とで囲まれるキャビティ部25に前記水晶振動素子24の振動に基づいて発振出力を制御するIC素子26やコンデンサ等の電子部品素子27を配設し、これらのIC素子26や電子部品素子27を前記容器体23の下面に搭載した構造のものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
尚、前記容器体23は、その内部に収容されている水晶振動素子を大気と遮断して気密封止するためのものであり、電気絶縁性材料から成る基板の上面にシールリングを、該シールリングの内側に水晶振動素子をそれぞれ取着させ、前記シールリングの上面に金属製の蓋体をシーム溶接(抵抗溶接)等で接合することによって水晶振動素子が収容されている空間を気密封止している。
【0005】
また、このような容器体23の基板や上述した枠状基体21は、通常、ガラス−セラミック等のセラミック材料によって一体的に形成されており、その内部及び表面には配線導体が形成され、従来周知のセラミックグリーンシート積層法等を採用することによって製作されていた特開2000―151283号公報(図2、図5)。
【0006】
また、IC素子26の配置領域には、図11に示すように、例えばIC素子26の各電極と接続する複数の電極パッド28は、例えば特開2001−291742号に記載されているように、例えば2列で、一方の列に5つの電極パッド、もう一.方の列に6つの電極パッドが配置されていた。なお、図11中の矩形状の実線は、IC素子26のIC配置領域を示す。
【0007】
【特許文献1】
特開2000―151283号公報(図2、図5)
【0008】
【特許文献2】
特開2001―291742号公報(図1、図3、図4)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
IC素子26は、複数個の接続パッドを有したフリップチップ型のIC素子26が用いられており、かかるフリップチップ型のIC素子26を容器体23の下面に搭載する場合は、IC素子26の配置領域の電極パッド28に半田などの導電性接合材を介して、接続パッドに対応する電極パッドに当接させた上、半田等の導電性接合材を高温で加熱・溶融させることによってIC素子26を容器体23に電気的・機械的に接続させていた。
【0010】
しかし、上述した表面実装型温度補償水晶発振器において、その平面形状が7mm×5mm、5mm×3mm、さらに、3mm×2mmと小型化され、それに伴いIC素子26の小型化が強く求められる。その結果、IC素子26の配置領域が小さくなり、各電極パッド28の間隔も狭くしなくてはならず、接合信頼性が低下して、さらに、電極パッド28に接続する引き回し配線導体29の自由度が制約を受けてしまうという問題があった。
【0011】
また、表面実装型温度補償水晶発振器では、水晶振動素子24の固有温度特性に応じて、IC素子27の発振制御により発振出力を平坦化させるために、IC素子26を配置する前に、予め気密封止された水晶振動素子24の固有の温度特性を測定しておく必要があるものの、小型化に伴い水晶振動素子24の初期特性を測定する測定パッド領域も小型化してしまい、測定用プローブを当接させる領域が小さくなり、安定した測定が困難となってしまう。
【0012】
本発明は上述した課題に鑑み案出されたもので、その目的は、IC素子の接合信頼性を維持・向上させ、かつ発振器全体を小型化にすることができると同時に、IC素子が接合される電極パッドのうち、水晶振動素子が接続する水晶電極パッドの位置を特定することにより、水晶振動素子の初期特性を安定して測定できる表面実装型温度補償水晶発振器を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の表面実装型温度補償水晶発振器は、水晶振動素子が気密封止された容器体と、前記容器体の下面に接合され、且つ表面実装用外部端子が形成された一対の脚部と、前記容器体の下面に、少なくとも前記水晶振動素子に接続する2つの水晶電極パッド、表面実装用外部端子に接続する発振出力電極パッド、グランド電極パッド、電源電圧電極パッド及び複数の書き込み制御用電極パッドがマトリックス状に配置されるとともに、該各電極パッドに電気的に接続し、且つ前記水晶振動素子の温度特性を補償する温度補償データに基づいて所定発振出力を制御するIC素子とを有する表面実装型温度補償水晶発振器であって、前記一対の脚部のうち一方の脚部は、前記容器体下面の対向する一対の辺のうち一方の辺に沿って配置され、前記一対の脚部のうち他方の脚部は、前記容器体下面の一方の辺と対向する他方の辺に沿って配置され、前記2つの水晶電極パッドのうち一方の水晶電極パッドは、マトリックス状に配置された前記電極パッドの最外周の列で且つ前記容器体下面の一方の辺と略平行な列に配置されるとともに、前記一方の脚部と前記一方の水晶電極パッドが配置された電極パッドの列との間の領域に延出され、前記2つの水晶電極パッドのうち他方の水晶電極パッドは、マトリックス状に配置された前記電極パッドの最外周の列で且つ前記容器体下面の他方の辺と略平行な列に配置されるとともに、前記他方の脚部と前記他方の水晶電極パッドが配置された電極パッドの列との間の領域に延出されていることを特徴とする。
【0014】
また本発明の表面実装型温度補償水晶発振器は、前記容器体と前記脚部との接合部分に設けた凹部に、前記書き込み制御用電極パッドと電気的に接続される書込端子を設けたことを特徴とする。
【0015】
前記2つの水晶電極パッドは、前記電極パッド配置領域の対向する一対の外郭領域にそれぞれ延出している。
【0016】
前記容器体の下面領域のマトリックス状に配置された電極パッドは、IC素子に接続するダミー電極パッドを含むものである。
【0017】
前記水晶振動素子を気密封止する容器体は、複数の絶縁層を積層したベース基板、シールリング、蓋体とから構成されるとともに、前記水晶電極パッドは、前記複数のビアホール導体、2つの絶縁層の間には内部配線導体を介して前記水晶振動素子に接続されている。
【0018】
前記IC素子は、半導体素子と、該IC素子の各接続パッドを各電極パッド形成位置に対応させるための再配線基板とが一体的に形成されている。
【0019】
本発明の表面実装型温度補償水晶発振器によれば、容器体の下面領域には、少なくとも前記水晶振動素子に接続する複数、例えば2つの水晶電極パッド、表面実装用外部端子に接続する発振出力電極パッド、グランド電極パッド、電源電圧電極パッド、発振制御電極パッド及び少なくとも2つの書き込み制御用電極パッドが配置されている。即ち、少なくとも8つの電極パッドが形成され、しかも、これが縦横に、たとえば、それぞれ縦横にマトリックス状に形成されている。そして、IC素子の接続パッドは、該各電極パッドに対応して電気的に接続されている。従って、電極パッドは、3行3列以上の、3行4列などマトリックス状に均等に分散されるように配置されている。
【0020】
これにより、電極パッドをIC素子の配置領域の略全域を用いて形成できるため、IC素子が小型化しても、IC配置領域における電極パッドの占有率を高めることができ、容器体の無駄なスペース、ICチップの配置領域内のデッドスペースを防止でき、表面実装型温度補償水晶発振器の小型化に大きく寄与できる。
【0021】
このような電極パッドに対応したIC素子は、半導体素子の実装面に積層配線基板(再配線層)を一体的に設け、前記積層配線基板(再配線層)をエポキシ等の樹脂により保護された構造のものであり、この積層配線基板の実装面に、電極パッドの配置に対応するように接続パッドを形成する。このようなIC素子を用いることにより、非常に簡単に上述の電極パッドにIC素子を搭載し、電気的に接続することができる。
【0022】
また、容器体のIC素子の配置領域に縦横に配置された電極パッドは、IC素子に接続するダミー電極パッドを含むものである。たとえば、上述のように、最低数である8つの電極パッドが必要など、ダミー電極パッドを1つ設けることにより、電極パッドを3×3の正規なマトリックス状に配列することができる。これより、このダミー電極は、IC素子の全く機能しない接続パッドに対応させることにより、IC素子の接合強度が向上し、従来、広く用いられていたIC素子の接合強度を向上させるためのアンダーフィル樹脂が不要とすることも可能となる。
【0023】
また、前記水晶振動素子を気密封止する容器体は、複数の絶縁層を積層した積層基板、シールリング、蓋体とから構成されるとともに、前記2つの絶縁層の間には配線導体が形成され、且つ前記電極パッドの形成領域内には前記配線パターンに接続するビアホール導体が形成されている。即ち、電極パッドから容器体の下面に引き回す配線導体を排除することができるため、露出した配線導体に異物が付着することによるショートを防止でき、また、電極パッド領域から導電性接合部材の流れだしを防止できる。これによって、信頼性の高いIC素子の接合が可能となる。
【0024】
また、前記配線導体にビアホール導体を介して接続する電極パッドは、縦横に配置された電極パッドのうち内周側領域に配置された電極パッドである。これにより、マトリックス状に配置された電極パッドのうち、内部領域に位置する電極パッドから、容器体下面に引き回し配線導体を形成する必要がないため、電極パッド間のショートを防止することができる。
【0025】
特に、水晶振動素子と接続する水晶電極パッドが、縦横に配列された電極パッドの最外周位置に位置しているため、水晶電極パッドのみを縦横に配列された電極パッドから外周方向に延出して形成することができる。即ち、水晶電極パッドのみを他の電極パッドよりも大きくすることができる。このため、容器体に収容した水晶振動素子の初期特性の測定を、測定用治具であるプローブを当接させるにあたり、安定して当接させることができ、容易に測定ができる。しかも、縦横に配列した電極パッドであっても、外周部分及び電極パッド間には余白が存在する。また、外周方向には、他の電極パッドが存在することがないため、水晶電極パッドのみを外周方向に延出させたところで、表面実装型温度補償水晶発振器の形状を大型化させることがない。
【0026】
2つの水晶電極パッドが、縦横に配列された電極パッドの内、対向する一対の外周辺に位置させることにより、夫々の水晶電極パッドの形状を極大化させることができ、しかも、測定用のプローブを当接するにあたり、安定した接触が可能となる。
【0027】
これらにより、表面実装型温度補償水晶発振器の小型化に対応して、IC素子の小型化をおこなっても、IC素子の接合信頼性を維持向上させながら、発振器全体の小型化に大きく寄与できるとともに、水晶電極パッドの位置を縦横に配列された電極パッドの最外周領域としているため、水晶パッドに測定用プローブを当接させて確実に水晶振動素子の特性を測定することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の表面実装型温度補償水晶発振器を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【0029】
図1は本発明の表面実装型温度補償水晶発振器の実施形態を示す斜視図、図2は表面実装型水晶発振器の断面図であり、図3はその下面図である。
【0030】
これらの図に示す表面実装型水晶発振器は、内部に水晶振動素子5を収容した容器体1の下面に、一対の脚部6a,6bと、IC素子7とを取着させた構造を有している。
【0031】
前記容器体1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成る積層基板2と、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成るシールリング3と、シールリング3と同様の金属から成る蓋体4とから成り、前記積層基板2の上面にシールリング3を取着させ、その上面に蓋体4を載置・固定させることによって容器体1が構成され、シールリング3の内側に位置する基板2の上面に水晶振動素子5が実装される。
【0032】
前記容器体1は、積層基板2の上面、シールリング3の内面及び蓋体4の下面とで囲まれる空間を有し、この空間内に水晶振動素子5を収容して気密封止している。積層基板2の上面には水晶振動素子5の振動電極に接続される一対の搭載パッド8a、8b(尚、8bは図には現れない)が形成されている。
【0033】
容器体1の下面である積層基板2の下面は、図4に示すように、脚部6a,6bが接合する領域には、複数の基板側接合電極12が形成されている。また、一対の脚部6a、6bの間の積層基板2下面には、IC素子7の接続パッド11に接続される複数個の電極パッド10が形成されている。また、積層基板2の内部には、図2及び図7に示すように第1のビアホール導体9a、配線導体9b、第2及び第3のビアホール導体9c、9dを有しており、積層基板2の表面の水晶搭載パッド8aと所定電極パッド10、例えば水晶電極パッド10d、10fと、基板側接合電極12に接続している。
【0034】
尚、前記容器体1の積層基板2は、ガラス−セラミック等のセラミック材料から成る場合、例えば、セラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得たセラミックグリーンシートの表面等に搭載パッド8a、8bや配線導体9bとなる導体ペーストを所定パターンに印刷・塗布するとともに、第1乃至第3のビアホール導体9a、9c、9dとなる導体が形成され、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。
【0035】
また前記容器体1のシールリング3及び蓋体4は従来周知の金属加工法を採用し、42アロイ等の金属を所定形状に成形することによって製作され、得られたシールリング3を積層基板2の上面に予め被着させておいた導体層にロウ付けし、続いて水晶振動素子5を導電性接合部材16を用いて積層基板2の上面に実装・固定した後、水晶振動素子5の初期周波数調整を行なった後、所定雰囲気にして上述の蓋体4を従来周知の抵抗溶接等によってシールリング3の上面に接合することによって容器体1が組み立てられるこのようにシールリング3と蓋体4とを抵抗溶接によって接合する場合、シールリング3や蓋体4の表面には予めNiメッキ層やAuメッキ層等を被着させておく。
【0036】
また、容器体1の内部に収容される水晶振動素子5は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極を被着・形成してなり、所定の周波数で振動を起こす。水晶振動素子5は、一対の振動電極を導電性接合材16を介して積層基板2上面の搭載パッド8a、8bに電気的に接続させることによって積層基板2の上面に搭載され、これによって水晶振動素子5と容器体1との電気的接続及び機械的接続が同時になされる。
【0037】
また、容器体1の下面に取着される一対の脚部6a,6b及びIC素子7は、IC素子7が一対の脚部6a,6bの間に位置するようにして並設されている。
【0038】
前記一対の脚部6a,6bは、各々がガラス布基材エポキシ樹脂やポリカーボネイト,エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂等の樹脂材料やガラス−セラミック,アルミナセラミックス等のセラミック材料等によって矩形状をなすように形成されており、間にIC素子7を挟んで平行に配置される。
【0039】
前記一対の脚部6a、6b間に配置されるIC素子7が配置される領域には、図4に示すように、IC素子7の接続パッド11に半田などの導電性接合材17を介して接続する2つ水晶電極パッド10d、10f、発振出力電極パッド10a、グランド電極パッド10h、電源電圧電極パッド10c、発振制御電極パッド10i及び少なくもと2以上の書き込み制御用電極パッド10b、10e、10g(全体で符号10を付す)が、例えば3行3例となる縦横に配置されている。
【0040】
なお、上述の実施例のように、温度補償水晶発振の動作のために8つの電極パッドが必要とする場合、電極パッド全体を3×3の縦横に配列させるために、1つダミー電極パッドを設ける。また、書き込み制御用電極パッド10の増加によって、電極パッド数の全体が増える場合、ダミー電極パッドを含めて,3×4の縦横に配列させたり、4×4の縦横に配列させたり、4×5の縦横に配列させる。
【0041】
また、積層基板2は、図2に示すように、配線導体9bと、配線導体9bに接続し、積層基板2の上方に延びる第1のビアホール導体9aと、この配線導体9bから下方に延びる第2のビアホール導体9c及び第3のビアホール導体9dが形成されている。これらの配線導体9bや第1乃至第3のビアホール導体9a、9c、9dは、通常の積層基板2の製造方法によって形成される。
【0042】
ここで、第1のビアホール導体9aは、積層基板2の上面に位置する水晶振動素子5が接続される搭載パッド8と所定配線導体9bとを接続するものである。また、図示していないが、グランド電位となる配線導体9とシールリング3とを接続するものである。
【0043】
第2のビアホール導体9cは、積層基板2の下面の各電極パッド10と所定配線導体9bと接続するものである。
【0044】
また、第3のビアホール導体9dは、積層基板2の下面の基板側接合電極12と所定配線導体9bと接続するものである。
【0045】
従って、水晶電極パッド10d、10fは、図2の左側のように第2のビアホール導体9c、配線導体9b、第1のビアホール導体9aを介して水晶振動素子5の搭載パッド8に接続している。また、この配線導体9b、第3のビアホール導体9dを介して基板側接合電極12に接続している。
【0046】
また、発振出力電極パッド10aは、図2の右側のように、第2のビアホール導体9c、配線導体9b、第3のビアホール導体9dを介して基板側接合電極12に接続している。
【0047】
グランド電極パッド10hは、第2のビアホール導体9c、配線導体9b、第3のビアホール導体9dを介して基板側接合電極12に接続している。同時に、この配線導体9bは、第1のビアホール導体9aを介してシールリング3に接続している。
【0048】
電源電圧電極パッド10c、発振制御電極パッド10iは、発振出力電極パッド10aと同様に、第2のビアホール導体9c、配線導体9b、第3のビアホール導体9dを介して基板側接合電極12に接続している。
【0049】
さらに、書き込み制御用電極パッド10b、10e、10gは、図5の分解図のように、第2のビアホール導体9c、配線導体9b、第3のビアホール導体9cを介して基板側接合電極12に接続している。
【0050】
また、一対の脚部6a,6bは、図6に示すように、その上面には容器体1下面の対応する基板側接合電極12に電気的及びまたは機械的に接続される複数個の脚部側接合電極13(図面では、点線で示す)が形成されている。また脚部6a,6bの下面には4つの外部端子14a〜14d(発振出力端子14a、グランド端子14b、電源電圧端子14c、発振制御端子14d)が1対の脚部6a,6bに分かれて2個ずつ設けられており、これらの接合電極13と外部端子14とは各脚部6a,6bの角部に形成した溝部内面の導体膜等を介して電気的に接続されている。また、外部端子14と接合13とが厚み方向に重なる場合には、図2に示すビアホール導体15によって接続してもよい。
【0051】
ここで、容器体1の下面の基板側接合電極12と脚部6a、6bの脚部側接合電極13は、一対一に対応して、その間に導電性接合材18を介して強固に接合される。実施例では、1つの脚部6a、6bには5つの基板側接合電極12と5つの脚部側接合電極13が形成されている。これらの合計10つの脚部側接合電極13のうち、脚部6a、6bの下面に形成した外部端子14に接続する脚部側接合電極13は、上述のようにグランド電極パッド10hに接続した脚部側接合電極13、電源電圧電極パッドに接続した脚部側接合電極13、発振制御電極パッドに接続した脚部側接合電極13及び発振出力電極パッドに接続した脚部側接合電極13のみであり、その他の水晶電極パッド10d、10f及び書き込み電極パッド10b、10e、10gに接続する脚部側接合電極13は、脚部6a、6bの下面に延出されていない。
【0052】
水晶電極パッド10d、10fは、水晶振動素子5の気密封止状態の振動特性を測定する測定用パッドとして用いる。
【0053】
また、書き込み制御用電極パッドに接続する基板側接合電極13は、発振器の側面に設けた温度補償回路に温度補償データを書き込むための書込端子に接続している。例えば、図5に示すように、容器体1と脚部6a、6bとの接合部分の凹みを利用して、この凹部1a内に基板側接合電極11の一部を露出させておき、これらの書込端子にデータ書込装置のプローブ針を当て、IC素子7の温度補償回路内に設けられているメモリに水晶振動素子5の温度特性に応じた温度補償データを書き込むことができる。この経路は、基板側接合電極12または脚部側接合電極13から第3のビアホール導体9d、配線導体9b、第2のビアホール導体9bを介して接続されることになる。また、このような書込端子は、脚部6a,6b等と一体的に設けられる外部の捨代部に配置させておき、温度補償データの書き込みが終了した後でこの捨代部を脚部6a,6b等から切り離すようにしても良い。
【0054】
上述の4個の外部端子14は、表面実装型温度補償水晶発振器をマザーボードの所定回路配線と電気的に接続される。外部端子14bのうち、グランド外部端子14bと発振出力外部端子14aを一方の脚部6aに、電源電圧外部端子14cと発振制御外部端子14dを他方の脚部6bに設けておくようにすれば、発振出力にノイズの干渉するのを有効に防止することができる。
【0055】
前記容器体1の各電極パッド10に接続されるIC素子7は、図8(a)及び(b)に示すように、半導体素子7aと再配線を施した再配線層7bとを有した矩形状のフリップチップ型ICが用いられている。半導体素子7aには、周囲の温度状態を検知する感温度素子、水晶振動素子5の温度特性を補償する温度補償データが書き込まれる記憶素子、周囲の温度に対応する所定温度補償データに基づいて前記水晶振動素子5の振動特性を補正する温度補償回路、該温度補償回路に接続されて所定の発振出力を生成する発振回路等が設けられている。
【0056】
また、半導体素子7aの実装面側に内部接続電極7cが形成されている。この内部接続電極7cの配列は、半導体素子7aに集積された各素子、各回路形成領域に避けて形成されることから全く規則性がない。
【0057】
そこで、半導体素子7aの実装面には、複数の絶縁層7d、所定配線層(絶縁層の厚み方向のビアホール導体を含む)7e及び接続パッド11を有する再配線層7bが形成される。これにより、再配線層7bの実装面には、規則がなく形成された内部接続電極7cを電極パッド10の形成位置に対応するように縦横に変換した接続パッドが11形成されている。しかも、これらの接続パッド11は、実装面に均一に分散して形成されることになり、電極パッド10に接合されたときに、接合部分を均等に分散でき、接合強度の向上を図ることができる。
【0058】
なお、IC素子7と電極パッド10との接合強度を向上させるために、この接続パッド11として、内部接続電極7cに接続しないダミー接続パッドを形成してもよい。
【0059】
このようなIC素子7は、その上面に設けた複数の接続パッド11を、容器体下面の対応する電極パッド10に半田や金バンプ等の導電性接合材17を介して電気的に接続させることによって容器体1の下面に取着される。これによってIC素子7内の所定素子、回路が、容器体1の積層基板2の配線導体9bや脚部6a,6bの配線導体等を介して水晶振動素子5や脚部6a,6bの外部端子14等と電気的に接続される。
【0060】
以上のように、本発明の表面実装型温度補償水晶発振器によれば、水晶電極パッド10d、10f、外部端子14a、14b、14c、14dに接続する発振出力電極パッド10a、グランド電極パッド10h、電源電圧電極パッド10c、発振制御電極パッド10i及び少なくとも2つの書き込み制御用電極パッド10b、10e、10gが、それぞれ縦横にマトリックス状に形成されている。そして、IC素子7の接続パッド11は、該各電極パッド10に対応して形成されて、電気的に接続されている。従って、電極パッド10をIC素子7の配置領域の全域に、マトリックス状に均等に分散されるように配置されている。具体的には、図8(b)の点線の交点部分に接続パッド11が存在することになり、図4の点線の交点部分に存在する電極パッド10と対応している。
【0061】
本発明では、縦横に配列された電極パッド10のうち、水晶振動素子5が搭載される搭載パッド8a、8bに接続する水晶電極パッド10d、10fは、例えば左側列の中央部分の電極パッドと、右側列の中央部分の電極パッドとを夫々水晶電極パッド10d、10fとしている。即ち、外周領域であっても、互いに対向する一対の辺に夫々分けられて配置されている。
【0062】
さらに、この水晶電極パッド10d、10fは他の電極パッド10a〜10c、10e、10g〜10iに比較して、電極パッド面積が大きくなっている。例えば、平面視T字状となっている。
【0063】
しかも、IC素子7の接続パッド11は、隣接接続パッド11との間隔、またはピッチの同一値とすることが規則正しく設定することが多いが、電極パッド10においては、接続パッド11に対応し、さらに、隣接する電極パッド10間の短絡などを防止しながら、水晶電極パッド10d、10fのみを大型化させるために、マトリックス状の電極パッド10の最外周領域に配置している。
【0064】
これにより、水晶電極パッド10d、10fをIC素子7を搭載する前に、容器体1に収容した水晶振動素子5の特性を測定するにあたり、他の電極パッド10よりも大きい水晶電極パッド10d、10fを、特性測定用のパッドとして利用することができる。しかも、表面実装型温度補償水晶発振器の小型化に伴い、IC素子7の小型化、接続パッド11の狭ピッチ化がなされ、また、容器体1が小型化しても、水晶電極パッド10d、10fを水晶振動素子5測定用のパッドとして共用しても、安定して測定用のプローブ針をこの電極パッド10d、10fに当接させることができ、水晶振動素子の特性の測定を簡単に確実に行うことができる。
【0065】
尚、水晶電極パッド10d、10fについては、さらに、図9に示すように基板側接合電極12の一部と、容器体1の下面で連結させるようにして電極パッド面積の大型化を図っても構わない。このような構造も、水晶電極パッド10e、10fをマトリックス状の電極パッド10の最外周領域に位置させたことによりできるものであり、例えば、水晶電極パッド10d、10fについて配線導体9bと接続する第1のビアホール導体9aを省略することができ、容器体1の積層基板2の内部構造を簡素化することができる。
【0066】
以上のように、IC素子7が小型化しても、IC素子7の配置領域内に電極パッド10を効率よく形成でき、占有率を高めることができとともに、容器体1に収容された水晶振動素子5の特性を水晶電極パッド10d、10fを用いて簡単に、且つ確実に測定することができる。
【0067】
即ち、容器体1の無駄なスペースであるIC素子7配置領域内におけるデッドスペースを削減でき、表面実装型温度補償水晶発振器の小型化に大きく寄与できるとともに、水晶振動素子5の測定を確実に行うことも同時に達成される。
【0068】
また、IC素子7が導電性接合材17を介して電極パッド10に極接合するにあたり、この接合部分をIC素子7の配置領域内に均一に分散させることができるため、IC素子7の安定した接合が可能となる。
【0069】
IC素子7は、半導体素子7aの実装面に再配線層7bを一体的に設けた構造であり、接続パッド11を簡単、確実に電極パッド10に電気的に接続することができる。
【0070】
また、電極パッド10には、IC素子7に接続するダミー電極パッドを形成しても構わない。たとえば、電極パッド全体を3×3以上の正規なマトリックス状とすることができる。これより、このダミー電極は、IC素子7の全く機能しない接続パッド11に対応させることにより、IC素子7の接合強度が向上し、従来、広く用いられていたIC素子の接合強度を向上させるアンダーフィル樹脂が不要とすることも可能となる。
【0071】
また、図4の点線に示すように、電極パッドの形成位置を結ぶ縦横の仮想線の交点部分を含むように実際の電極パッド10を配置する。しかも、その各交点部分の間隔は、同一方向で実質的に同一間隔に設定すれば、IC素子7の接合点に偏りがなくなり、IC素子7の接合信頼性が向上するとともに、IC素子7の再配線層7bの設計が非常に簡単となる。
【0072】
また、脚部6a、6bの上面には、前記外部端子14に導通しない例えば水晶電極パッドなどのように脚部側接合電極13が形成され、前記積層基板2下面には、前記脚部側接合電極13に対応して基板側接合電極12が形成され、前記基板側接合電極12と前記脚部側接合電極13とが導電性接合部材18を介して接合されている。これらの構造により、容器体1と脚部6a、6bとの機械的な接合の強度を向上させることができる。
【0073】
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【0074】
また更に上述した実施形態においては、容器体1の蓋体4を、シールリング3を介して積層基板2に接合させるようにしたが、これに代えて、積層基板2の上面に接合用のメタライズパターンを形成しておき、このメタライズパターンに対して蓋体4をダイレクトに溶接するようにしても構わない。
【0075】
更に、また上述した実施形態においては、容器体1の積層基板2上面に直接シールリング3を取着させるようにしたが、これに代えて、積層基板2の上面に基板2と同材質のセラミック材料等から成る枠体を一体的に取着させた上、該枠体の上面にシールリング3を取着させるようにしても構わない。
【0077】
更にまた上述した実施形態においては、脚部6a,6bの間には、IC素子7のみを配置しているが、電源電圧の配線導体とグランド電位との間や、発振出力の配線導体とグランド電位との間に接続されるコンデンサなどの電子部品素子を配置させるようにしても構わない。
【0078】
【発明の効果】
本発明の表面実装型温度補償水晶発振器によれば、IC素子が配置される領域に、少なくとも8つ以上の電極パッドを縦横にマトリックス状に配置したため、IC素子の配置領域における電極パッドの占有率が向上する。このため、IC素子の小型化に寄与でき、発振器全体の小型化が可能となる。
【0079】
IC素子の接続パッドと電極パッドとの接続部分がIC素子の配置領域内に均等に分散されるため、IC素子の強固な接続が可能となる。
【0080】
また、電極パッドのうち水晶電極パッドは、マトリックス状に配置された電極パッドの最外周領域に配置されているため、水晶電極パッドのみを他の電極パッドの形状に比較して大きくすることができるため、水晶電極パッドを容器体に収容された水晶振動素子の特性を測定するために測定パッドとして用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を表面実装型水晶発振器に適用した実施形態を示す斜視図である。
【図2】図1の表面実装型水晶発振器の断面図である。
【図3】図1の表面実装型水晶発振器の下面図である。
【図4】図1の表面実装型水晶発振器を構成する容器体を下方より見た平面図である。
【図5】図1の表面実装型水晶発振器の別の分解断面図であり、書き込み制御用電極パッドの導出構造を示す。
【図6】図1の表面実装型水晶発振器を構成する脚部を下方より見た透視状態の平面図である。
【図7】容器体を構成する積層基板の内部の配線導体及びビアホール導体を示す平面図である。
【図8】図1の表面実装型水晶発振器に用いるIC素子の断面図であり、(b)は下方からみた平面図である。
【図9】他の電極パッドの配列を示す平面図である。
【図10】(a)は従来の表面実装型温度補償水晶発振器の断面図、(b)は(a)の表面実装型温度補償水晶発振器を下方から見た平面図である。
【図11】従来の表面実装型温度補償水晶発振器におけるIC素子の配置領域を示す平面図である。
【符号の説明】
1・・・容器体
2・・・積層基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5・・・圧電振動子(水晶振動素子)
6a,6b・・・一対の脚部
7・・・IC素子
11・・・接続パッド
9a・・・第1のビアホール導体
9b・・・積層基板の配線導体
9c・・・第2のビアホール導体
9d・・・第3のビアホール導体
8・・・搭載パッド
10・・・電極パッド
11・・・接続パッド
12・・・基板側接合電極
13・・・脚部側接合電極
14・・・外部端子
Claims (7)
- 水晶振動素子が気密封止された容器体と、
前記容器体の下面に接合され、且つ表面実装用外部端子が形成された一対の脚部と、前記容器体の下面に、少なくとも前記水晶振動素子に接続する2つの水晶電極パッド、表面実装用外部端子に接続する発振出力電極パッド、グランド電極パッド、電源電圧電極パッド及び複数の書き込み制御用電極パッドがマトリックス状に配置されるとともに、該各電極パッドに電気的に接続し、且つ前記水晶振動素子の温度特性を補償する温度補償データに基づいて所定発振出力を制御するIC素子とを有する表面実装型温度補償水晶発振器であって、
前記一対の脚部のうち一方の脚部は、前記容器体下面の対向する一対の辺のうち一方の辺に沿って配置され、
前記一対の脚部のうち他方の脚部は、前記容器体下面の一方の辺と対向する他方の辺に沿って配置され、
前記2つの水晶電極パッドのうち一方の水晶電極パッドは、マトリックス状に配置された前記電極パッドの最外周の列で且つ前記容器体下面の一方の辺と略平行な列に配置されるとともに、前記一方の脚部と前記一方の水晶電極パッドが配置された電極パッドの列との間の領域に延出され、
前記2つの水晶電極パッドのうち他方の水晶電極パッドは、マトリックス状に配置された前記電極パッドの最外周の列で且つ前記容器体下面の他方の辺と略平行な列に配置されるとともに、前記他方の脚部と前記他方の水晶電極パッドが配置された電極パッドの列との間の領域に延出されていることを特徴とする表面実装型温度補償水晶発振器。 - 前記容器体と前記脚部との接合部分に設けた凹部に、前記書き込み制御用電極パッドと電気的に接続される書込端子を設けたことを特徴とする請求項1記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
- 前記2つの水晶電極パッドは、前記電極パッド配置領域の対向する一対の外周領域にそれぞれ延出していることを特徴とする請求項2記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
- 前記容器体の下面領域のマトリックス状に配置された電極パッドは、IC素子に接続するダミー電極パッドを含むことを特徴とする請求項1記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
- 前記容器体の下面領域に配置される電極パッドは、該電極パッド形成位置を結ぶ縦横の仮想線の交点部分に位置するとともに、各交点部分の間隔は、同一方向で実質的に同一間隔に設定されていることを特徴とする請求項1記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
- 前記水晶振動素子を気密封止する容器体は、複数の絶縁層を積層した積層基板、シールリング、蓋体とから構成されるとともに、前記水晶電極パッドは、前記複数のビアホール導体、2つの絶縁層の間には内部配線導体を介して前記水晶振動素子に接続されていることを特徴とする請求項1記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
- 前記IC素子は、半導体素子と、該IC素子の各接続パッドを各電極パッド形成位置に対応させるための再配線基板とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項1記載の表面実装型温度補償水晶発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003089364A JP4091868B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 表面実装型温度補償水晶発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003089364A JP4091868B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 表面実装型温度補償水晶発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004297620A JP2004297620A (ja) | 2004-10-21 |
JP4091868B2 true JP4091868B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=33403223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003089364A Expired - Fee Related JP4091868B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 表面実装型温度補償水晶発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4091868B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH078258U (ja) * | 1993-07-02 | 1995-02-03 | オギハラ工業株式会社 | パイプ収納具 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4524659B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2010-08-18 | エプソントヨコム株式会社 | 表面実装型圧電モジュール用パッケージ、及び表面実装型圧電モジュール |
JP4525597B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2010-08-18 | エプソントヨコム株式会社 | 表面実装型圧電デバイス、及びその製造方法 |
JP5101119B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-12-19 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器 |
JP5188753B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2013-04-24 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器 |
JP2009130665A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Epson Toyocom Corp | 圧電発振器 |
JP2009188633A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装発振器 |
JP5210081B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2013-06-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器 |
CN108352812B (zh) * | 2015-11-05 | 2022-03-22 | 株式会社村田制作所 | 压电振荡器和压电振荡器件 |
JP6691005B2 (ja) * | 2016-06-28 | 2020-04-28 | 京セラ株式会社 | 水晶振動子 |
JP6691004B2 (ja) * | 2016-06-28 | 2020-04-28 | 京セラ株式会社 | 水晶振動子 |
-
2003
- 2003-03-27 JP JP2003089364A patent/JP4091868B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH078258U (ja) * | 1993-07-02 | 1995-02-03 | オギハラ工業株式会社 | パイプ収納具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004297620A (ja) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE44368E1 (en) | Temperature-compensated crystal oscillator | |
JP4795602B2 (ja) | 発振器 | |
US7098580B2 (en) | Piezoelectric oscillator | |
JP4091868B2 (ja) | 表面実装型温度補償水晶発振器 | |
US20050225406A1 (en) | Temperature-compensated quartz-crystal oscillator | |
JP2005244639A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
CN207868186U (zh) | 电子部件收纳用封装件、电子装置及电子模块 | |
JP2000114877A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2004260598A (ja) | 表面実装型温度補償水晶発振器 | |
JP2005020546A (ja) | 表面実装型水晶発振器 | |
JP2004296455A (ja) | 表面実装型電子装置および表面実装型発振器 | |
JP2005039791A (ja) | 温度補償水晶発振器 | |
JP2013143607A (ja) | 表面実装用水晶発振器 | |
JP2008072762A (ja) | 温度補償水晶発振器 | |
JP2005253007A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP4376148B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2005244641A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP4336213B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP4328225B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP4472479B2 (ja) | 圧電発振器、及びその製造方法 | |
JP2005244671A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP2005210673A (ja) | 表面実装型水晶発振器 | |
JP4328226B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP4471787B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2008042603A (ja) | 圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080229 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4091868 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140307 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |