JP4081762B2 - 焼結体の製造方法 - Google Patents
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しかしながら、金属容器内部に焼結素材とともにその接する部分にゲッター材を存在させるように封止し、加圧焼結をした場合には、ゲッター材が有する酸素除去の効力はゲッター材と接触した焼結体の表層部だけに現れやすく、焼結体の内部の酸素を充分に低減することができないため、焼結体の含有酸素を全体として均一に低減することはできないという課題が存在する。
本発明の目的は、上述の課題を解決し、焼結体を全体として均一に酸素を低減でき、また脱酸素の能力を著しく向上することができる焼結体の製造方法を提供することである。
また、金属粉末あるいは合金粉末からなる原料粉末と、該原料粉末よりも酸化活性の高いゲッター材と、水素供給源となる水素化合物とを、金属容器に減圧下で封止し、該金属容器を50MPa以下の圧力、かつ500℃以上の温度で1〜50時間保持した後に、50MPa超、かつ1340℃以下の温度で原料粉末を焼結する焼結体の製造方法である。
つまり、原料粉末表面の酸素はまず水素還元によってH2O分子となる。そしてH2O分子はゲッター材に還元され、H2となる。すなわち、水素は原料粉末の酸素をゲッター材に運ぶキャリアの役を果たして、より効率的に脱酸素を促進していると考えられる。
図2に示すHIP条件で焼結したTiH2水素化合物を金属容器内に配置した本発明例1、金属容器中に水素化合物を配置しなかった比較例1の焼結体をそれぞれ分析した結果を表1に示す。表1中の酸素量は質量ppmの単位で記している。
表1より金属容器中にゲッター材と水素化合物を配置し焼結させた本発明例1の焼結体は酸素量が十分に低下していることがわかる。
また、酸素を250質量ppm含有する平均粒径2μmのMo粉末を原料粉末4として、直径40mm、厚み0.1mmのNb箔8枚およびZr粉末17gをそれぞれゲッター材5とし、TiH2粉末3gを水素化合物6として、上記と同様に金属容器1に減圧脱気して封止した。
Claims (3)
- 金属粉末あるいは合金粉末からなる原料粉末と、該原料粉末よりも酸化活性の高いゲッター材と、水素供給源となる水素化合物とを、金属容器に減圧下で封止し、加熱しつつ加圧焼結することを特徴とする焼結体の製造方法。
- 金属粉末あるいは合金粉末からなる原料粉末と、該原料粉末よりも酸化活性の高いゲッター材と、水素供給源となる水素化合物とを、金属容器に減圧下で封止し、該金属容器を50MPa以下の圧力、かつ500℃以上の温度で1〜50時間保持した後に、50MPa超、かつ1340℃以下の温度で原料粉末を焼結することを特徴とする請求項1に記載の焼結体の製造方法。
- 前記ゲッター材として、元素周期律表のIVa族またはVa族の元素を選択することを特徴とする請求項1または2に記載の焼結体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003311148A JP4081762B2 (ja) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | 焼結体の製造方法 |
US10/810,673 US7135141B2 (en) | 2003-03-31 | 2004-03-29 | Method of manufacturing a sintered body |
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JP2005076112A JP2005076112A (ja) | 2005-03-24 |
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