JP4070972B2 - X線像増強装置及びx線透過像撮像システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線像増強装置及びX線透過像撮像システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のX線透過像撮像システムは、特開昭49−10085号公報、特公昭53−48045号公報、特開昭63−100360号公報及び特開平10−206352号公報に記載されている。これらのシステムにおいては、時間的に移動する被測定対象の像をX線像増強管で増強して撮像し、その出力像が移動しないように、当該出力像をミラー等で時々刻々と移動方向とは逆方向に偏向することにより、出力像を同一位置に配置された固体撮像素子上に結像させていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような偏向は物理的振動を伴うため、高精度の撮像を行うことができなかった。
【0004】
そこで、X線電子変換材料及びX線電子変換材料に対向配置された出力蛍光面を備え、被測定対象の移動速度に同期した速度で、X線電子変換材料と出力蛍光面との間の電子像の流れを偏向するX線像増強管を開発した。電子像の流れを偏向する電磁気学的な偏向手段は、機械的偏向機構のように振動を伴わないため、高精度の撮像を行うことができる。すなわち、被測定対象の移動速度に同期した速度で、X線電子変換材料と出力蛍光面との間の電子像の流れを偏向すると、被測定対象の撮像時間を長くすることができ、したがって、解像度と感度を向上させることができるのである。
【0005】
ところが、電磁気学的な偏向手段を有するX線像増強管をX線透過像撮像システム内に組み込んだ場合、その電磁気学的な偏向方向と測定対象の移動方向とが一致しない場合には、撮像した被測定対象像にボケや滲みが発生するので、高解像度の撮像を行うことができない。
【0006】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、高解像度の撮像を行うことが可能なX線像増強装置及びX線透過像撮像システムを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するため、本発明に係るX線像増強装置は、通過経路上を移動する被測定対象の透過X線像を電子像に変換するX線電子変換材料、X線電子変換材料に対向配置され被測定対象の電子像が照射されるとこの被測定対象の蛍光像を出力する出力蛍光面、及び、被測定対象の移動速度に同期した速度で、X線電子変換材料と出力蛍光面との間の電子像の流れを偏向する偏向手段を有するX線像増強管と、X線像増強管の管軸から離隔し且つ管軸に平行な軸を回転軸としてX線像増強管を支持する回転移動機構とを備えることを特徴とする。
【0008】
X線電子変換材料に被測定対象のX線像が入射すると、これは電子像に変換され、この電子像は出力蛍光面上に照射され、電子像に応じた蛍光像がX線像増強管から出力される。被測定対象の移動速度に同期した速度で電子像の流れを偏向すると、蛍光像の結像位置は停止させることができ、したがって、このX線像増強管によれば、被測定対象の撮像時間を長くすることができる。撮像には適当な固体撮像素子等を用いる。
【0009】
このように、本X線像増強管を用いれば、解像度及び感度を向上させることができるが、回転移動機構によってX線像増強管の管軸をこれに平行な回転軸回りに回転させると、いずれかの回転位置で電子像の偏向方向と被測定対象の移動方向とを一致させることができる。これにより、撮像した被測定対象像のボケや滲みが減少するため、被測定対象のX線透過像を高解像度で撮像することができる。
【0010】
また、X線像増強装置は、回転軸と管軸との間の距離を調整する調整手段を更に備えることを特徴とする。管軸と回転軸とは離隔しているので、管軸の回転移動によって、管軸上の撮像位置が被測定対象の通過経路上からずれる場合がある。調整手段は、回転軸と管軸との間の距離を調整するので、管軸上の撮像位置を被測定対象の通過経路上に移動させることができ、的確に被測定対象を撮像することができる。
【0011】
X線透過像撮像システムは、このX線像増強装置と共に被測定対象の通過経路を挟んだ位置に配置されるX線源を備える。X線源から出射されたX線は上記通過経路上の被測定対象を透過し、X線像として対向位置に配置されたX線像増強装置に入射する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態に係るX線像増強装置を用いたX線透過像撮像システムについて説明する。なお、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。
【0013】
図1はX線透過像撮像システムの斜視図である。このX線透過像撮像システムは、X線像増強装置1を備えている。このX線透過像撮像システムは、X線像増強装置1と共に被測定対象2の通過経路(ベルトコンベア)3を挟んだ位置に配置されるX線源4を更に備えている。X線源4から出射されたX線は、通過経路3上の被測定対象2を透過し、X線像として、この対向位置に配置されたX線像増強装置1、詳細にはX線撮像装置を構成するX線像増強管のX線電子変換材料1xcに入射する。X線電子変換材料1xcは、これに入射した被測定対象2の透過X線像を電子像に変換する。
【0014】
X線像増強装置1はX線像増強管1tを備えている。X線像増強管1tは、X線電子変換材料1xc及びX線電子変換材料1xcに対向配置された出力蛍光面1sを備えており、被測定対象2の移動速度に同期した速度で、X線電子変換材料1xcと出力蛍光面1sとの間の電子像の流れを偏向する。偏向の方向は管軸Zに垂直な平面内において設定できる。被測定対象2の電子像が出力蛍光面1s上に照射されると、出力蛍光面1sからは被測定対象2の蛍光像が出力される。
【0015】
通過経路3上に載せられた被測定対象2が、管軸Zに垂直な方向Yに沿って移動し、通過経路3を幅方向に挟むように配置された光学式通過検出センサ5,5間を通過すると、この通過時刻t0を基準時刻として、電子像の偏向開始時刻が設定される。偏向開始時刻t1は、被測定対象2がX線像増強管1tの撮像視野内に入る時刻であり、通過検出センサ5,5と上記視野内の適当な位置との間の距離を被測定対象2の移動速度で割った時間Δtだけ、上記基準時刻t0から遅延させた時刻である。
【0016】
偏向開始時刻t1から電子像の偏向が開始される。偏向を行わない場合には、被測定対象2の移動に伴って出力蛍光面1s上で電子像が移動してしまう。本形態では、出力蛍光面1s上の電子像の移動速度が零となるように偏向の速度及び向きを設定する。したがって、出力蛍光面1sからは、被測定対象2の蛍光像が不動の状態で出力される。
【0017】
この蛍光像はX線像増強管1tの後段に設けられた撮像カメラ(CCDカメラ:固体撮像素子を内蔵したカメラ)1pによって撮像され、撮像カメラ1pは被測定対象2のX線透過像の映像信号を出力する。
【0018】
このように、X線電子変換材料1xcに被測定対象2のX線像が入射すると、これは電子像に変換され、この電子像は出力蛍光面1s上に照射され、電子像に応じた蛍光像がX線像増強管1tから出力され、撮像カメラ1pによって蛍光像の撮像が行われる。被測定対象2の移動速度に同期した速度で電子像の流れを偏向しているので、蛍光像の撮像カメラ撮像面内の結像位置は停止することとなる。したがって、このX線像増強管1tによれば、被測定対象2の撮像時間を長くすることができる。このように、本X線像増強管を用いれば、解像度及び感度を向上させることができる
【0019】
ところで、X線像増強装置1は、X線像増強管1tの管軸Zから離隔し且つ管軸Zに平行な軸ZRを回転軸としてX線像増強管1tを支持する回転移動機構1rを備えている。また、X線像増強装置1は、回転軸ZRと管軸Zとの間の距離を調整する直線移動機構(調整手段:Xステージ)1aを更に備えている。回転移動機構1rは直線移動機構1a上に設けられ直線移動機構1aに対して相対的に回転する一方で、直線移動機構1aは支持基体1b上に設けられ支持基体1bに対して相対的に直線移動する。
【0020】
回転移動機構1rによって、X線像増強管1tの管軸Zをこれに平行な回転軸ZRの回りに回転させると、いずれかの回転位置で電子像の偏向方向と被測定対象2の移動方向Yとを一致させることができる。これにより、被測定対象2の像が、出力蛍光面1s上で更に移動しなくなるため、画像のボケや滲みが減少する。したがって、本装置によれば、被測定対象2のX線透過像を高解像度で撮像することができる。
【0021】
管軸Zと回転軸ZRとは離隔しているので、管軸Zの回転移動によって、管軸Z上の撮像位置が被測定対象2の通過経路3上からずれる場合がある。直線移動機構1aは、回転軸ZRと管軸Zとの間の距離を調整するので、管軸Z上の撮像位置を被測定対象2の通過経路3上に移動させることができ、的確に被測定対象2を撮像することができる。
【0022】
図2はX線像増強管1tの縦断面図である。図3は図2に示したX線像増強管1tのIII−III矢印断面図である。筒状のハウジング1vの一端の開口は保護板1prによって、他端の開口は撮像カメラ1pによって封止されている。ハウジング1vの内部にはX線像増強管本体が配置されている。
【0023】
X線像増強管本体は、ベリリウムもしくはアルミニウム製のX線入射窓1wを有する真空容器1vcと、X線入射窓1wの内面に設けられたX線電子変換材料(陰極)1xcと、X線電子変換材料1xcから出力された電子像を管軸Zに沿って加速する加速電極1acと、電子像を集束する集束電極1fcと、集束された電子像が入射する筒状の陽極1anとを備えている。
【0024】
陽極1anの最深部には出力蛍光面1sが設けられており、出力蛍光面1s上に電子像が入射する。なお、出力蛍光面1sの表面上には図示しないメタルバック電極が設けられており、メタルバック電極の電位はX線電子変換材料1xcよりも高い電位に設定される。
【0025】
真空容器1vcの周囲には、その側面を挟むように一対の偏向コイル1ciが設けられている。偏向コイル1ciに、周期的に変動する電流(鋸波)を供給することによって、真空容器1vc内部に磁界を発生させ、管軸Zに垂直な方向に電子流を偏向する。この偏向の大きさは供給する電流量(振幅)によって、偏向の速度は電流量及びその変動周期によって調整することができる。
【0026】
すなわち、偏向の速度は電流量が大きいほど、周期が短いほど速くなる。管軸Zに垂直な1軸方向に磁界を発生させると、電子は管軸Zに沿って飛行しているので、これらの磁界及び電子移動方向の双方に垂直な方向に力を受けて偏向される。また、被測定対象2が撮像視野内に入った期間のみ撮像カメラ1pにて撮像を行う。更に、複数の被測定対象2間の隣接するもの同士の距離を、その移動速度で割った期間は撮像を行わず、また、偏向を行わないこととすることもできる。この場合、コイル1ciに供給される電流は間欠的な鋸波とすることができる。
【0027】
なお、電流は電圧に読み替えることもできる。また、電子流の偏向に電界を用いても良い。また、偏向コイルは二対以上設けることとしてもよい。
【0028】
次に、X線像増強管1tの位置調整について説明する。
【0029】
図4はX線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。なお、説明の簡略化のため、以下の平面図においては、図2及び図3に示したハウジング1vは省略してある。また、被測定対象2の形状は円形として示す。なお、図5は撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す。
【0030】
まず、通過経路3上にX線像増強管1tが位置するように支持基体1bを配置する。初期状態においては、被測定対象2の移動方向Yと電子像の流れの偏向方向はずれているものとする。この場合、固体撮像素子1ps上の被測定対象2の像2iは完全静止しないので、像2iにボケや滲みが発生することとなる(図5参照)。なお、図5中には、出力蛍光面1sの固体撮像素子撮像面への仮想的投影像、すなわち、撮像の視野1siも示している。像2iの形状は偏向の速度が移動速度に同期している場合は楕円となる。まず、偏向の速度を調整して、像2iの面積を最小化する。これは、被測定対象2の移動速度を調整してもよい。
【0031】
次に、回転移動機構1rによってX線像増強管1tを軸ZR回りに回転させる。
【0032】
図6は当該回転後のX線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。なお、図7は撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す。この回転によって、偏向コイル1ciによる電子像の流れの偏向方向と移動方向Yとを一致させる。この回転移動は、撮像カメラ1pから出力される映像信号を観察しながら、像2iの面積が最小となるように行う。この回転操作によって、X線像増強管1tの中心が被測定対象2の像2iの重心位置から離隔する。この最小化には、被測定対象2の基準像を用い、測定した像2iの面積が、所定の誤差範囲内で、基準像の面積に一致した場合に、最小化が行われたと判断する。
【0033】
しかる後、直線移動機構1aによってX線像増強管1tを直線移動させる。
【0034】
図8は当該直線移動後のX線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。なお、図9は撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す。
【0035】
この直線移動によって、被測定対象2の像2i重心位置と視野1siの中心(X線像増強管1tの管軸Z)とを一致させる。この移動は、撮像カメラ1pから出力される映像信号を観察しながら、像2iの重心が視野1siの中心に一致するまで、直線移動機構1aを移動させることにより行う。
【0036】
なお、偏向コイル1ciの経年変化等により、その偏向方向が移動方向Yからずれる場合が生じる。この場合には、上述の回転及び直線移動工程を行い、像2iの面積を最小とし、その重心位置を視野1siの中心に一致させる。すなわち、これらの移動機構を設けることによって、経時的に変化する偏向手段の特性を補正することができるのである。
【0037】
以上、説明したように、本装置によれば視野の中心で滲みやボケの抑制された像(被測定対象のX線透過像)2iを高解像度で撮像することができる。
【0038】
なお、回転及び直線移動機構としては、種々の構成が考えられる。以下、これらについて簡単に説明する。
【0039】
図10は回転移動機構1rの一例を示す当該回転移動機構の平面図である。回転移動機構1rには回転防止用の固定ピンPが設けられている。すなわち、固定ピンPを支持基体1bに設けられた孔内に挿入し、これを回転軸ZRに当接させ、上述の回転移動後に、X線像増強管1tの回転移動を禁止する。
【0040】
図11はX線増強装置1の移動機構の部分斜視図である。支持基体1bの頂面上に直線移動機構1aを設け、その上に回転移動機構1rを配置してある。この構成は、図1のものと比較して、支持基体1bが回転を妨げないので、回転移動範囲が大きくなるという利点がある。
【0041】
図12は回転移動機構1rの別の一例を示す当該回転移動機構の平面図である。この回転移動機構1rはゴニオステージ(傾斜ステージ)であり、回転角が分かるように回転移動機構に目盛が刻印されている。
【0042】
図13はX線増強装置1の移動機構の部分斜視図である。本例では、直線移動機構1aの移動方向及び回転軸ZRの双方に直交する方向に移動する直線移動機構1Aが支持基体1bと直線移動機構1aとの間に介在しており、微妙な移動調整を行うことができる。
【0043】
なお、上述の直線移動機構1aは、回転軸ZR及び移動方向Yの双方に垂直な方向に沿ってX線像増強管1tを移動させるものであってもよく、また、回転軸ZRに垂直であって且つアーム伸延方向(回転軸ZRから管軸Zに向かう方向:径方向)に平行な方向に沿ってX線像増強管1tを移動させるものであってもよい。
【0044】
また、測定するサンプルを被測定対象2としてもよいが、通過経路3上に目印(円形、三角形、四角形等)を設け、これを上記被測定対象2としてもよい。
【0045】
【発明の効果】
本発明のX線像増強装置及びX線透過像撮像システムによれば、高解像度の撮像を行うことできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】X線透過像撮像システムの斜視図である。
【図2】X線像増強管1tの縦断面図である。
【図3】図2に示したX線像増強管1tのIII−III矢印断面図である。
【図4】X線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。
【図5】撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す図である。
【図6】回転操作後のX線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。
【図7】撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す図である。
【図8】直線操作後のX線透過像撮像システムを上方から見た当該X線透過像撮像システムの平面図である。
【図9】撮像カメラ1p内に配置された固体撮像素子1psの撮像面を示す図である。
【図10】回転移動機構1rの一例を示す当該回転移動機構の平面図である。
【図11】X線増強装置1の移動機構の部分斜視図である。
【図12】回転移動機構1rの別の一例を示す当該回転移動機構の平面図である。
【図13】X線増強装置1の移動機構の部分斜視図である。
【符号の説明】
1v…ハウジング、1ac…加速電極、1r…回転移動機構、1ps…固体撮像素子、1p…撮像カメラ、1b…支持基体、1si…視野、1fc…集束電極、1s…出力蛍光面、1s…出力蛍光面上、1vc…真空容器、1t…X線像増強管、1…X線像増強装置、1xc…X線電子変換材料、1w…X線入射窓、1A…直線移動機構、1a…直線移動機構、1ci…偏向コイル、1pr…保護板、1an…陽極、2i…像、2…被測定対象、3…通過経路、3…通過経路、5…通過検出センサ、P…固定ピン、Z…管軸、ZR…回転軸。
Claims (3)
- 通過経路上を移動する被測定対象の透過X線像を電子像に変換するX線電子変換材料、前記X線電子変換材料に対向配置され前記被測定対象の電子像が照射されるとこの被測定対象の蛍光像を出力する出力蛍光面、及び、前記被測定対象の移動速度に同期した速度で、前記X線電子変換材料と前記出力蛍光面との間の電子像の流れを偏向する偏向手段を有するX線像増強管と、
前記X線像増強管の管軸から離隔し且つ前記管軸に平行な軸を回転軸として前記X線像増強管を支持する回転移動機構と、
を備えることを特徴とするX線像増強装置。 - 前記回転軸と前記管軸との間の距離を調整する調整手段を更に備えることを特徴とする請求項1に記載のX線像増強装置。
- 請求項1に記載の前記X線像増強装置と共に前記被測定対象の通過経路を挟んだ位置に配置されるX線源を備えたX線透過像撮像システム。
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JP2001310407A JP4070972B2 (ja) | 2001-10-05 | 2001-10-05 | X線像増強装置及びx線透過像撮像システム |
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- 2001-10-05 JP JP2001310407A patent/JP4070972B2/ja not_active Expired - Lifetime
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