JP4064546B2 - 電気部品テストシステム - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の電気部品を並列にテストする電気部品テストシステムに関する。特に本発明は、複数の半導体メモリを並列にテストする電気部品テストシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は、電気部品テストシステムの一例としての、従来のメモリテストシステムを示すブロック図である。本メモリテストシステムは、メモリデバイス52〜56をテストする複数のメモリテストユニット90A、90B、・・・と、メモリデバイス52〜56のテスト結果を評価するホストコンピュータ(EWS)10と、複数のメモリテストユニット90A、90B、・・・及びホストコンピュータ(EWS)10を接続する共有メモリユニット12とを備える。各メモリテストユニット90は、複数のメモリデバイス52〜56をテストするメモリテスタ50と、各メモリデバイス52〜56のテスト結果を受信して格納するRMEM32〜36と、各RMEM32〜36にテスト結果を書き込むローカルCPUであるRCPU42〜46と、RCPU42〜46を接続するVMEバスと、VMEバスを共有メモリユニット12に接続するVME I/F80とを有する。
【0003】
共有メモリユニット12は、各メモリテストユニット90に割り当てられた共有メモリ(SMEM)16A〜16Bと、各共有メモリ16A〜16B及びホストコンピュータ(EWS)10を接続するホストコンピュータインタフェース(EWS I/F)20とを有する。RCPU42〜46が、RMEM32〜36から読み出した各メモリデバイス52〜56のテスト結果をSMEM16に書き込む。EWS10はEWS I/F20を介してSMEM16に格納された各メモリのテスト結果を読み出す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の構成においては、各RCPU42〜46がVMEバスのバスマスタとなってSMEM16にテスト結果を書き込むので、VMEバス上でバス競合が生じ、競合の解決のためにデータの転送が遅れていた。EWS10からRCPU42〜46Aコマンドを通知する場合に、EWS10は各RCPU42〜46に対するコマンドをそれぞれSMEM16に書き込まなくてはならないので、コマンドの書き込みに多くの時間がかかっていた。RCPU42〜46は、コマンドに対する応答をEWS10へ通知するが、この応答をSMEM16に書き込むためにも、RCPU42〜46はいったんバスマスタとなる必要がある。そのためVMEバス上の競合解決に多くの時間がかかっていた。また、EWS10からのコマンドに対するRCPU42〜46のレスポンスは同一である場合もあるにも関わらず、EWS10はそれらの各レスポンスをSMEM16から読みとる必要があり、EWS10の負荷が大きかった。
【0005】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる電気部品テストシステムを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、複数の電気部品をテストすることのできる電気部品テストシステムにおいて、電気部品テストシステムによる電気部品のテスト結果を評価するホストコンピュータと、ホストコンピュータにより制御され、電気部品のテスト結果をホストコンピュータに通知する複数のスレーブプロセッサと、スレーブプロセッサによるデータの書き込み及びホストコンピュータによるデータの読み出しを行うことのできる共有メモリと、スレーブプロセッサの全てから割り込み信号が生成された場合に、ホストコンピュータに割り込み通知を行う手段とを備え、複数のスレーブプロセッサの各々は、電気部品のテスト結果を共有メモリに書き込んで、割り込み信号を生成し、ホストコンピュータは、割り込み通知を受けたことを条件として、共有メモリからテスト結果を読み取る電気部品テストシステムを提供する。
【0007】
本発明の第2の形態においては、共有メモリにおける連続した複数のメモリ空間が、それぞれ複数のスレーブプロセッサに割り当てられている。また複数の電気部品の各々に対して設けられ、各々が複数のスレーブプロセッサのうちいずれか1のスレーブプロセッサに接続され、対応する電気部品のテスト結果を受信する複数のローカルプロセッサを更に備え、複数のスレーブプロセッサの各々が、接続されたローカルプロセッサからテスト結果を受け取り、受け取ったテスト結果を共有メモリに書き込む。
【0008】
本発明の第3の形態においては、スレーブプロセッサの各々と、1以上の対応するローカルプロセッサとが共通のバスで結合されており、スレーブプロセッサの各々が、バス上のメモリ空間が割り当てられたローカルメモリを有し、バス上において、複数のローカルメモリのメモリ空間が連続している。また1つのスレーブプロセッサに対して設けられた複数のローカルプロセッサが所定の処理を終えたときに、ホストコンピュータに処理の終了を通知する手段を、スレーブプロセッサが有する。また、複数のスレーブプロセッサの各々は、対応するローカルプロセッサの全てから割り込み信号を受け付けたことを条件として、対応するローカルプロセッサの全てからテスト結果を読み取り共有メモリにコピーして、割り込み信号を生成する。また、ホストコンピュータは、複数のローカルプロセッサに与えるべきコマンドを共有メモリに書き込み、複数のスレーブプロセッサは、共有メモリに書き込まれたコマンドを、当該コマンドの宛先となるローカルプロセッサにコピーする。
【0009】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0011】
図2は、本発明のメモリテストシステムの構成を示すブロック図である。図1と同一の構成には図1と同一の符号を付したのでそれらの説明は省略する。図1に示した従来の構成と比較して、本メモリテストシステムには共有メモリユニット12の中に割り込みコントローラINT CNT22が設けられている。また図1のVME I/F80に変えてスレーブプロセッサ(MCPU)40及びスレーブプロセッサ用メモリ(MEM)14が設けられている。
【0012】
MCPU40は各ローカルプロセッサ(RCPU)42〜46のRMEM32〜36に格納されたレスポンス及びメモリテスト結果を読み取り、読みとったデータをVME転送によってSMEM16に転送して格納する。またEWS10が生成しSMEM16に書き込んだコマンドを読み取り、各RCPU42〜46へ与える。MEM14にはMCPU40が動作するために必要なデータが格納される。このようなデータには例えばEWS10からRCPU42〜46へ送られるコマンドの内容、各コマンドをいずれのRCPU42〜46へ転送するかを示すデータ等が含まれる。
【0013】
図3は、EWS10からみた共有メモリユニット12のメモリマップである。共有メモリユニット12中に設けられた、複数の共有メモリ(SMEM)16には連続したアドレス空間が割り当てられている。例えばこの図では、アドレス0からアドレス10,00000までの16メガバイトの空間はVMEバスA用のSMEM16Aに割り当てられ、アドレス10,00000から20,00000までのアドレス空間はVMEバスB用のSMEM16Bに割り当てられている。以下同様に16メガバイトの空間がVMEバスC用に、またさらに次の16メガバイトの空間がVMEバスD用に割り当てられている。なお本実施例ではメモリテストユニット90の数を4(90A〜90D)としているが、本発明の範囲は、テストユニット90の数が4である場合に限定されるものではない。
【0014】
図4は、各VMEバス上におけるRMEM32〜36、MEM14及びSMEM16のアドレス空間を示すメモリマップである。各RMEM32〜36、MEM14及びSMEM16には連続したメモリ空間が割り当てられている。具体的には、本実施形態においては、図3に示すポートA用共有メモリの16メガバイトのアドレス空間00,00000から0F,FFFFFが、図4に示すVMEバスA上のアドレス空間300,00000から31F,FFFFFに割り当てられている。同様に、図3に示すポートB共有メモリ用のアドレス10,00000から1F,FFFFFの16メガバイトのアドレス空間がVMEバスB上の310,00000から31F,FFFFFの16メガバイトのアドレス空間に割り当てられている。
【0015】
図5は、図4に示すSMEM16のVME側からみたメモリ空間を詳細に示す詳細メモリマップである。アドレス310,00000から310,FFFFFまでは、EWS10とMCPU40との通信に用いられる通信用アドレス空間である。この通信用アドレス空間には、EWS10とMCPU40との通信を制御するために必要な、EWS10からMCPU40へのコマンド、MCPU40及びRCPU42〜46のステータス、MCPU40からEWS10へのレスポンス、並びにコマンド及びレスポンスに伴うデータが格納される。
【0016】
複数のRCPU42〜46へ転送すべきデータが、SMEM16上の連続したアドレス空間に格納される。この実施例では、RCPU42用のデータがアドレス311,00000から311,1FFFFまでの空間に、RCPU44用のデータがアドレス311,20000から311,3FFFFまでのアドレス空間に格納されている。この様に各RCPU42〜46用のデータを連続したアドレス空間に割り当てることにより、EWS10は各RCPU42〜46用のデータを一括してSMEM16に転送しやすくなる。特にEWS10がDMAコントローラを有する場合には、一つの単純なDMA転送命令によって連続したデータをSMEM16に書き込むことができる。またMCPU40がDMAコントローラを有する場合、MCPU40は、1つの単純なDMA転送命令によって各RCPU42〜46へのコマンドをSMEM16からRMEM32〜36へ転送することができる。
【0017】
図6は、図2に示す割り込みコントローラ(INT CNT)22及びI/Oポート(I/O Port)24の詳細な構成を示すブロック図である。INTCNT22は、MCPU40が生成した各割り込み信号iA〜iDをマスクするANDゲート62A〜62Dと、ANDゲート62A〜62Dを通過した割り込み信号のORを取るORゲート70と、ANDゲート62A〜62Dを通過した割り込み信号のANDを取るANDゲート72と、ORゲート70およびANDゲート72が生成した信号の一方を選択する選択回路82とを有する。
【0018】
I/Oポート24は、MCPU40が生成した各割り込み信号iA〜iDをマスクするマスク信号MASK−A〜MASK−Dと、選択回路80を制御する選択信号SELECTを生成する。選択回路82は、ORゲート70が出力した信号をマスクするANDゲート74と、ANDゲート72が生成した信号をマスクするANDゲート76と、ANDゲート74及び76の信号のORを取るORゲート78と、I/Oポート24が生成した選択信号SELECTを反転するインバータ80とを有する。
【0019】
各MCPU40は、EWSにレスポンス又はステータスを通知するときに割り込み信号(iA〜iD)を生成する。各MCPUが生成した割り込み信号iA〜iDは、それぞれANDゲート62A〜62Dに入力される。ANDゲート62A〜62Dが有するもう一方の入力端子には、I/Oポート24から出力されたマスク信号が入力されているので、マスク信号をLAW(0)とすることによって、各割り込み信号iA〜iDをマスクすることができる。また割り込み信号iA〜iDはI/Oポート24に入力されているので、EWS10はI/Oポート24を通じて割込み信号iA〜iDの状態を読みとることができる。割り込み信号INTがEWS10に通知されたときに、EWS10が再度I/Oポート24を通じて割り込み信号iAからiDの状態を読み取ることによって、割り込み信号iA〜iDの状態を確認することができるので、このMCPUが割込信号をあげたか識別することができる。
【0020】
割り込み信号iA〜iDのいずれかが生成された場合に、ORゲート70の出力がHIGH(1)となる。また全ての割り込み信号iA〜iDが生成された場合にANDゲート72の出力がHIGH(1)となる。選択信号SELECTは、MCPU40A〜40Dのいずれかが割り込みを生成したことをEWS10に通知するORモードと、MCPU40A〜40Dのすべてが割り込みを生成したとをEWS10に通知するANDモードの、いずれを選択するかを示す。
【0021】
ANDモードは、同一かつ多数のメモリデバイスをテストする場合のように、各RCPU42〜46の処理時間がほぼ同じである場合に適している。一方、異なる種類のメモリを並列して試験する場合のように、各電気部品の試験時間が異なる場合にはORモードが適している。従って、実際に試験する電気部品によって、ANDモード又はORモードのいずれかが選択される。選択信号SELECTがHIGH(1)である場合にはANDモードが選択され、SELECTがLOW(0)である場合には、ORモードが選択される。通常選択信号SELECTは1なので、全てのMCPU40A〜40Dが割込み信号iA〜iDを生成した場合にのみ、割り込み信号INTがEWS10へ伝達される。
【0022】
図7は、本実施例におけるメモリテストシステムの初期化プロセスを示すフローチャートである。まずMCPU40がSMEM16を初期化し(S10)、各RCPU42〜46がそれぞれに対して設けられたRMEM32〜36を初期化する(S12)。各RCPU42〜46は、RMEM32〜36の初期化を終了すると、初期化終了時の状態を示すステータス情報をRMEM32〜36の所定のエリアに格納する(S14)。またRCPU42〜46は、初期化の終了を通知するレスポンスを割り込みによってMCPU40に通知する。
【0023】
MCPU40は、全RCPU42〜46から割り込み信号を受け取ったか異なかを判断する(S16)。MCPU40は、すべてのRCPU42〜46から割り込み信号を受けつけた場合に、各RMEM32〜36に格納されているステータス情報を読み取りSMEM16Aにコピーし(S18)、EWS10への割り込み信号iを生成する。割り込み信号iは共有メモリユニット12の割り込みコントローラ(INT CNT)22に入力される。
【0024】
S10〜S20間での処理は全てのメモリテストユニット90で並行して行われる。INT CNT22の割り込みモードはANDモードに設定されており、すべてのMCPU40A〜40Dから割り込みiA〜iBが通知された場合に、割り込み信号INTをEWS10に通知する(S22)。割り込み信号INTを受け取るとEWS10は、SMEM16A〜16Dから一括してステータス情報を読み込む。従ってEWS10は一回の割り込み信号INTを受信することによって、すべてのRCPU42〜46が生成したステータス情報を読み込むことができる。
【0025】
従来は、各メモリテストユニット90に設けられたRCPU42〜46が、初期化を終了したときにそれぞれ割り込みをEWS10に通知していた。極めて多くの割り込みEWS10に通知されるので、割り込み処理の開始及び終了に多くの時間がかかっていた。それと比較して本実施形態によれば、短い時間で、各RCPU42〜46が生成したステータス情報をEWS10が読み取り処理することができる。
【0026】
図8は、EWS10が各RCPU42〜46に対してコマンドを送信する場合のメモリテストシステム全体の動作を示すフローチャートである。コマンドを生成する場合、EWS10はまず全RCPU42〜46がREADY(処理可能状態)であるかどうかを判断する(S30)。この判断は、SMEM16に格納されたステータス情報をEWS10が読み取ることによって行うことができる。全RCPU42〜46がREADY状態でない場合には待機し、READYであった場合には、RCPU42〜46に対するコマンドをEWS10がSMEM16A〜16Dに書き込む。
【0027】
するとMCPU40は、EWS10から通知されたコマンドが全RCPU42〜46に対する共通のコマンドであるかどうかを判断する(S34)。共通のコマンドであった場合には、そのコマンドを各RCPU42〜46用のRMEM32〜36にコピーする(S26)。EWS10が単一の共通コマンドをSMEM16に書き込んだ場合であっても、各MCPUがその単一の共通コマンドを読み取って各RCPU42〜46へ転送する。これにより、EWS10の負荷を軽減するとともにコマンドを伝達する際のメモリテストシステム全体の処理時間を短くすることができる。
【0028】
S34においてコマンドが各RCPU42〜46宛であった場合には、宛先のRCPU42〜46に対してもうけられたRMEM32〜36にそれぞれのコマンドをコピーする(S38)。MCPU40はコマンドのRCPU42〜46への転送を終了すると、コマンドの転送が終了したことを割り込み信号iによってEWS10へ通知する。S34からS40の処理は全てのMCPU40で行われる。各MCPUが生成した割り込み信号iA〜iDはINT CNT22で受け取られ、すべての割り込み信号iA〜iDが有効(1)となった場合に、割り込み信号INTがEWS10へ通知される(S42)。割り込み信号INTを受け取るとEWS10は、SMEM16A〜16Dから一括してレスポンスを読みとる。
【0029】
従来は、各メモリテストユニット90に設けられた多数のRCPU42〜46が、直接、コマンドの受信を確認する割り込み信号をEWS10へ通知していた。これと比較して本実施例においては、一つの割り込み信号INTが通知されることによって、各RCPU42〜46がコマンドの受信を完了したことをEWS10が確認することができる。従ってEWS10の負荷が小さくなるとともに、コマンドの伝達にかかるメモリテストシステム全体の処理時間を短くすることができる。
【0030】
図9は、RCPU42〜46がEWS10へレスポンスを通知する場合の、メモリテストシステム全体の動作を示すフローチャートである。まずRCPU42〜46は、与えられたコマンド(例えばメモり試験)の実行が終了したかを判断する(S50)。与えられたコマンドの実行が終了するとRCPU42〜46は作業の終了をMCPU40に通知する。MCPU40は、全てのRCPU42〜46がコマンドの実行を終了したか否かを判断し(S54)、すべてのRCPU42〜46がコマンドの実行を終了すると、コマンドに対する応答の内容をSMEM16に書き込んで、割り込み信号iを生成する(S56)。S50〜S56の処理は各メモリテストユニット90で行われ、割り込み信号iA〜iDがINT CNT22に入力される。すべての割り込み信号iA〜iDがHIGH(1)になると、単一の割り込み信号INTがEWS10に通知される(58)。するとEWS10は、SMEM16からコマンド終了時の応答を示すレスポンスを一括して読み取る(S60)。
【0031】
従来は、各RCPU42〜46がコマンドの終了を示すレスポンスをEWS10に直接通知していた。EWS10には多くの割り込み信号が入力されるので、各割り込み処理の順位の決定、タスクの切り替え等に多くの時間がかかっていた。またEWS10は各RCPU42〜46に対する処理をそれぞれ独立に行わなければならなかったので、EWS10の負荷が大きかった。本実施例によれば、1つの割り込み信号INTを受け取ることによって、EWS10は各RCPU42〜46が生成したレスポンスを処理することができる。従って、従ってEWS10の負荷が小さくなるとともに、レスポンスの伝達にかかるメモリテストシステム全体の処理時間を短くすることができ、メモリ試験に要する時間を短縮することができる。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本実施形態によればEWS10は単一の割り込み信号INTによって多数のメモリデバイス52〜56からの、レスポンスの処理及びステータス情報の読み取りを行うことができる。このため、割り込み信号が入力された際に必要なプロセスの切り替え処理等が少なく、メモリテストにかかる時間を短縮することができる。さらにEWS10は単一の割り込み信号INTの入力によって多数のメモリデバイス52〜56に対する処理を行うことができるので、EWS10におけるメモリの評価プログラムが作りやすい。また多数のメモリデバイス52〜56のテスト結果に基づいて生成すべき統計的な評価データをEWS10は容易に生成する事ができる。
【0033】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0034】
特に、上記実施例においてはメモリをテストするシステムを電気部品テストシステムの例として用いたが、メモリ以外の半導体や半導体以外の電気部品をテストする場合においても本発明を適用することができることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 電気部品テストシステムの一例としての、従来のメモリテストシステムを示すブロック図である。
【図2】 本発明のメモリテストシステムの構成を示すブロック図である。
【図3】 EWSからみた共有メモリユニットのメモリマップである。
【図4】 各VMEバス上におけるRMEM、MEM及びSMEMのアドレス空間を示すメモリマップである。
【図5】 SMEMのメモリ空間を詳細に示す詳細メモリマップである。
【図6】 割り込みコントローラ(INT CNT)及びI/Oポート(I/O Port)の詳細な構成を示すブロック図である。
【図7】 実施例におけるメモリテストシステムの初期化プロセスを示すフローチャートである。
【図8】 EWSが各RCPUに対してコマンドを送信する場合のメモリテストシステム全体の動作を示すフローチャートである。
【図9】 RCPUがEWSへレスポンスを通知する場合の、メモリテストシステム全体の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10 EWS(ホストコンピュータ)
12 共有メモリユニット
14 MCPU用メモリ
16 共有メモリ
20 EWSインタフェース
22 割り込みコントローラ
32、34、36 RCPU用メモリ
40 MCPU(スレーブCPU)
42、44、46 RCPU
50 メモリテスタ
52、54、56 メモリデバイス
80 VMEインタフェース
90 メモリテストユニット

Claims (7)

  1. 複数の電気部品をテストすることのできる電気部品テストシステムにおいて、
    前記電気部品テストシステムによる前記電気部品のテスト結果を評価するホストコンピュータと、
    前記ホストコンピュータにより制御され、前記電気部品のテスト結果を前記ホストコンピュータに通知する複数のスレーブプロセッサと、
    前記スレーブプロセッサによるデータの書き込み及び前記ホストコンピュータによる前記データの読み出しを行うことのできる共有メモリと、
    前記スレーブプロセッサの全てから割り込み信号が生成された場合に、前記ホストコンピュータに割り込み通知を行う手段とを備え、
    前記複数のスレーブプロセッサの各々は、前記電気部品のテスト結果を前記共有メモリに書き込んで、前記割り込み信号を生成し、
    前記ホストコンピュータは、前記割り込み通知を受けたことを条件として、前記共有メモリから前記テスト結果を読み取る
    電気部品テストシステム。
  2. 前記共有メモリにおける連続した複数のメモリ空間が、それぞれ前記複数のスレーブプロセッサに割り当てられていることを特徴とする請求項1に記載の電気部品テストシステム。
  3. 複数の前記電気部品の各々に対して設けられ、各々が前記複数のスレーブプロセッサのうちいずれか1の前記スレーブプロセッサに接続され、対応する前記電気部品のテスト結果を受信する複数のローカルプロセッサを更に備え、
    前記複数のスレーブプロセッサの各々が、接続された前記ローカルプロセッサから前記テスト結果を受け取り、受け取った前記テスト結果を前記共有メモリに書き込むことを特徴とする請求項1に記載の電気部品テストシステム。
  4. 前記スレーブプロセッサの各々と、1以上の対応する前記ローカルプロセッサとが共通のバスで結合されており、
    前記スレーブプロセッサの各々が、前記バス上のメモリ空間が割り当てられたローカルメモリを有し、
    前記バス上において、複数の前記ローカルメモリのメモリ空間が連続していることを特徴とする請求項に記載の電気部品テストシステム。
  5. 1つの前記スレーブプロセッサに対して設けられた複数の前記ローカルプロセッサが所定の処理を終えたときに、前記ホストコンピュータに処理の終了を通知する手段を、前記スレーブプロセッサが有することを特徴とする請求項に記載の電気部品テストシステム。
  6. 前記複数のスレーブプロセッサの各々は、対応する前記ローカルプロセッサの全てから割り込み信号を受け付けたことを条件として、対応する前記ローカルプロセッサの全てから前記テスト結果を読み取り前記共有メモリにコピーして、前記割り込み信号を生成する請求項4に記載の電気部品テストシステム。
  7. 前記ホストコンピュータは、前記複数のローカルプロセッサに与えるべきコマンドを前記共有メモリに書き込み、
    前記複数のスレーブプロセッサは、前記共有メモリに書き込まれたコマンドを、当該コマンドの宛先となる前記ローカルプロセッサにコピーする請求項4に記載の電気部品テストシステム。
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