JP4063838B2 - 半導体発光素子の転位密度低減方法 - Google Patents
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C面サファイア基板上に、窒化物半導体からなる表面粗さ(Ra)が2Å以下である下地層と、前記下地層と接触するn型導電層を少なくとも具えている窒化物半導体層群を含む発光素子構造とを順次に具える半導体発光素子の転位密度低減方法であって、
前記下地層は成長初期からMOCVD法により1100℃〜1150℃の温度でエピタキシャル成長させた窒化物半導体AlNを転位密度10 11 /cm 2 から8×10 9 /cm 2 で形成する工程と、
前記発光素子構造を構成する前記窒化物半導体層群の前記n型導電層を、前記下地層を構成する前記窒化物半導体よりも少ないAl含有量原子%に設定する工程とを具え、
前記下地層と前記窒化物半導体層群の前記n型導電層とのAl組成差に起因して、前記下地層からの貫通転位を前記窒化物半導体層群内で低減させ、前記窒化物半導体層群の転位密度を前記下地層の転位密度よりも小さく、かつ1×1010/cm2 から5×10 7 /cm 2 とすることを特徴とする、半導体発光素子の転位密度低減方法に関する。
本実施例においては、図2に示すPIN型の半導体発光素子を作製した。基板11として2インチ径の厚さ500μmのC面サファイア単結晶を用い、これをMOCVD装置の中に設置した。MOCVD装置には、ガス系としてH2、N2、TMA、TMG、Cp2Mg、NH3、SiH4が取り付けてある。圧力を100Torrに設定した後、H2を平均流速1m/secで流しながら、基板11を1150℃まで昇温した。
本比較例においては、図1に示すPIN型の半導体発光素子を作製した。基板1としてのサファイア単結晶基板を用い、実施例と同様のMOCVD装置内に設置した。基板1を600℃に加熱した後、TMG及びNH3を供給してバッファ層2としてのGaN層を厚さ0.03μmに形成した。
本実施例においては、図3に示すリッジ型のレーザダイオードを簡略化したものを作製した。具体的には、発光層25、p型導電層27、n型電極28及びp型電極29を形成することなく、下地層23を発光層として機能させ、所定の励起光を用いることにより誘導放出を実施した。
本比較例においては、実施例2同様に、リッジ型のレーザダイオードを作製した。但し、基板21を600℃に加熱し、TMG及びNH3を供給することにより、基板21上にバッファ層してのGaN層を厚さ0.03μmに設けた。このとき、前記バッファ層上に形成したn−GaN層の転位密度をTEMによって観察したところ、2×1010/cm2であった。
Claims (3)
- C面サファイア基板上に、窒化物半導体からなる表面粗さ(Ra)が2Å以下である下地層と、前記下地層と接触するn型導電層を少なくとも具えている窒化物半導体層群を含む発光素子構造とを順次に具える半導体発光素子の転位密度低減方法であって、
前記下地層は成長初期からMOCVD法により1100℃〜1150℃の温度でエピタキシャル成長させた窒化物半導体AlNを転位密度10 11 /cm 2 から8×10 9 /cm 2 で形成する工程と、
前記発光素子構造を構成する前記窒化物半導体層群の前記n型導電層を、前記下地層を構成する前記窒化物半導体よりも少ないAl含有量原子%に設定する工程とを具え、
前記下地層と前記窒化物半導体層群の前記n型導電層とのAl組成差に起因して、前記下地層からの貫通転位を前記窒化物半導体層群内で低減させ、前記窒化物半導体層群の転位密度を前記下地層の転位密度よりも小さく、かつ1×1010/cm2 から5×10 7 /cm 2 とすることを特徴とする、半導体発光素子の転位密度低減方法。 - 前記発光素子構造を構成する前記窒化物半導体層群の、全III族元素に対するGa含有量が80%以上であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光素子の転位密度低減方法。
- 前記窒化物半導体層群を、常圧で成長させることを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体発光素子の転位密度低減方法。
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