JP4058421B2 - 振動計測装置及びその計測方法 - Google Patents
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Description
11 配管
11a エッジ部
21 光学部
22 撮像部
23 画像入力部
24 画像データ処理部
25 レーザ距離計
26 距離入力部
27 距離データ処理部
30a,30b レーザ光発射手段
Claims (14)
- 振動計測対象物の特徴部を含む計測対象領域の画像を拡大又は縮小する光学部と、
前記光学部を介して前記計測対象領域の画像を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像を入力する画像入力部と、
前記画像入力部で入力された画像に基づいて前記特徴部の振動分析を行ない、前記特徴部の振動を計測する画像データ処理部と、
前記光学部及び前記撮像部の軸線と略平行の光軸をもち、前記計測対象領域との距離を測定する距離測定手段と、
前記距離測定手段で測定された距離を入力する距離入力部と、
前記距離入力部で入力された距離に基づいて前記特徴部の振動分析を行ない、前記特徴部に係り前記光学部及び前記撮像部の軸線方向の振動を計測する距離データ処理部とを備えたことを特徴とする振動計測装置。 - 前記距離測定手段として、レーザ距離計を備えたことを特徴とする請求項1に記載の振動計測装置。
- 前記距離測定手段として、超音波距離計を備えたことを特徴とする請求項1に記載の振動計測装置。
- 前記光学部及び前記撮像部の軸線並びに前記距離測定手段の光軸を、遠隔操作にて移動可能とするゴニオステージ又は回転ステージを設けたことを特徴とする請求項1に記載の振動計測装置。
- 振動計測対象物の特徴部を含む計測対象領域の画像を拡大又は縮小する光学部と、
前記光学部を介して前記計測対象領域の画像を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像を入力する画像入力部と、
前記画像入力部で入力された画像に基づいて前記特徴部の振動分析を行ない、前記特徴部に係り前記光学部及び前記撮像部の軸線方向の振動を計測する画像データ処理部と、
前記光学部及び撮像部の軸線と略平行の光軸をもつ対のレーザ光発射手段とを備えたことを特徴とする振動計測装置。 - 前記光学部及び前記撮像部の軸線並びに前記レーザ光発射手段の光軸を、遠隔操作にて移動可能とするゴニオステージ又は回転ステージを設けたことを特徴とする請求項5に記載の振動計測装置。
- 振動計測対象物の特徴部を含む計測対象領域の画像を拡大又は縮小する光学部を介して、撮像部にて前記計測対象領域が時系列で順次撮影される撮影工程と、
前記計測対象領域の画像が時系列で順次入力される画像入力工程と、
前記画像に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部の振動が順次計測される第1振動計測工程と、
前記第1振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第1保存工程と、
前記計測対象領域との距離が時系列で順次測定される距離測定工程と、
前記距離が時系列で順次入力される距離入力工程と、
前記距離に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部に係り前記光学部及び前記撮像部の軸線方向の振動が順次計測される第2振動計測工程と、
前記第2振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第2保存工程と、
前記第1保存工程及び第2保存工程の振動計測の結果をそれぞれ読み込んで出力する振動計測結果出力工程とを有することを特徴とする振動計測方法。 - 前記撮影における画角、画素密度及び前記距離から分解能が算出されることを特徴とする請求項7に記載の振動計測方法。
- 振動計測対象物の特徴部を含む計測対象領域との複数の既知の距離と、前記距離における前記輝度変位の傾きとの関係が記憶される対比表準備工程と、
前記計測対象領域との所要の距離から、
前記計測対象領域の画像を拡大又は縮小する光学部を介して、撮像部にて前記計測対象領域が時系列で順次撮影される撮影工程と、
前記計測対象領域の画像が時系列で順次入力される画像入力工程と、
前記計測対象領域の画像に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部の振動が順次計測される第1振動計測工程と、
前記第1振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第1保存工程と、
前記画像から輝度分布が時系列で順次作成され、この輝度分布から前記特徴部の像における輝度変位の傾きが求められ、この輝度変位の傾きが前記対比表に参照されて前記輝度変位の傾きに相当する距離が順次読み出される対比表参照工程と、
前記距離に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部に係り前記光学部及び前記撮像部の軸線方向の振動が順次計測される第2振動計測工程と、
前記第1振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第1保存工程と、
前記第1保存工程及び第2保存工程の振動計測の結果をそれぞれ読み込んで出力する振動計測結果出力工程とを有することを特徴とする振動計測方法。 - 振動計測対象物の特徴部を含む計測対象領域との複数の既知の距離と、前記画素間隔との関係が記憶される関係式準備工程と、
前記計測対象領域との所要の距離から、
前記計測対象領域に可視光線の対が時系列で順次発射される可視光線発射工程と、
前記計測対象領域の画像を拡大又は縮小する光学部を介して、撮像部にて前記計測対象領域が時系列で順次撮影される撮影工程と、
前記計測対象領域の画像が入力される画像入力工程と、
前記計測対象領域の画像に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部の振動が順次計測される第1振動計測工程と、
前記第1振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第1保存工程と、
前記可視光線の対によって前記画像中に現れるレーザマーカ対の画素間隔が時系列で順次求められ、この画素間隔が前記関係式に参照されて前記画素間隔に相当する距離が順次読み出される関係式参照工程と、
前記距離に基づいて前記特徴部の振動分析が時系列で順次行なわれ、前記特徴部に係り前記光学部及び前記撮像部の軸線方向の振動が順次計測される第2振動計測工程と、
前記第2振動計測工程にて計測された振動計測の結果を保存する第2保存工程と、
前記第1保存工程及び第2保存工程の振動計測の結果をそれぞれ読み込んで出力する振動計測結果出力工程とを有することを特徴とする振動計測方法。 - 前記特徴部として、前記振動計測対象物のエッジ部を用いることを特徴とする請求項7,9又は10に記載の振動計測方法。
- 前記特徴部として、前記振動計測対象物表面の模様部を用いることを特徴とする請求項7,9又は10に記載の振動計測方法。
- 前記振動分析は、所要時間で得られた画像中の前記特徴部の像におけるパターンが基準パターンとして認識され、以後に得られる画像中の前記特徴部の像におけるパターンが、前記基準パターンの移動量としてサーチされることを特徴とする請求項7,9又は10に記載の振動計測方法。
- 予め固有振動のデータが計測され、前記振動分析にて計測された前記特徴部の振動計測のデータが、前記固有振動のデータによってリアルタイムで補正されることを特徴とする請求項7,9又は10に記載の振動計測方法。
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