JP4058002B2 - 材料加工システム - Google Patents
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Description
Claims (9)
- 加工室(7)と、
前記加工室(7)内で、被加工物(3、3a)を、前記被加工物(3、3a)の表面部分が対物面(19、19a)内に位置するように保持する被加工物ホルダ(5、5a)と、
電子ビームを生成するための電子源(23)と、前記電子ビームを前記対物面(19、19a)に集束させるための少なくとも1つの集束レンズ(27、27a)と、前記対物面(19、19a)の一部分から発せられる電子を検出するための少なくとも1つの電子検出器(41、41a)とを備えた電子顕微鏡(15、15a)と、
集束された前記電子ビームによって誘発されて前記被加工物(3、3a)と反応し得る少なくとも1種の反応ガスを供給するためのガス供給装置(53、53a)とを備えた材料加工システムであって、
前記電子顕微鏡(15、15a)が、前記電子ビームを通過させるための開口(49)をそれぞれ有する少なくとも一対の圧力ダイアフラム(121、131、47a)を備え、
前記2つの圧力ダイアフラムのうちの第1の圧力ダイアフラム(121、47a)は、前記加工室(7)の真空セクションを中間真空セクション(123)から分離させ、
前記2つの圧力ダイアフラムのうちの第2の圧力ダイアフラム(131)は、前記中間真空セクション(123)を前記電子源(23)を含む真空セクション(123、125、127)から分離させ、
真空ポンプ装置が前記中間真空セクション(123、123a)への第1の連結部を備え、
前記電子検出器(41、41a)が前記中間真空セクション(123、123a)内に配置され、
前記対物面(19、19a)に接近して配置された前記電子顕微鏡の部品(47a)が、前記電子ビームを環状に包囲し、かつ、前記対物面(19、19a)に向けて配置された実質的に平坦な端面(143)を有する環状の突起(141)を備え、前記端面(143)が、前記対物面(19、19a)から100μm未満の距離(d2 )だけ離間し、前記部品(47a)と前記被加工物(3、3a)との間に真空サブセクションを形成するように構成され、
前記ガス供給装置(53、53a)が、前記真空サブセクション内に終端を有する中空針(57a)を備えていることを特徴とする材料加工システム。 - 前記対物面(19、19a)に接近して配置された前記部品(47a)が、アパーチャ電極(47a)である請求項1に記載の材料加工システム。
- 前記対物面(19、19a)に接近して配置された前記電子顕微鏡(15、15a)の集束レンズ(27、27a)が、前記電子検出器(41、41a)と前記対物面(19、19a)との間に配置されている請求項1または2に記載の材料加工システム。
- 前記中間真空セクション(123)を真空状態にするため、さらに別のターボ分子ポンプ(129)が前記第1の連結部へと割り当てられている請求項1〜3のいずれか1項に記載の材料加工システム。
- 前記真空ポンプ装置は前記加工室(7、7a)の前記真空セクションへの第2の連結部を備えている請求項1〜4のいずれか1項に記載の材料加工システム。
- 前記真空ポンプ装置を第1の操作モードと第2の操作モードとの間で切り替えるための制御器(37)をさらに備え、
前記第1の操作モードにおける場合は、前記第2の操作モードにおける場合よりも、前記第2の連結部を介して前記加工室(7)を高い真空度とすることができる請求項5に記載の材料加工システム。 - さらに別のターボ分子ポンプ(9、9a)が前記第2の連結部に割り当てられ、前記ターボ分子ポンプ(9、9a)は前記第2の操作モードにおいては動作しない請求項6に記載の材料加工システム。
- 前記第1の操作モードにおいては、前記加工室(7)内のガス圧力が約0.05mbar未満であり、
前記第2の操作モードにおいては、前記加工室(7)内のガス圧力が0.1mbarより高い請求項6または7に記載の材料加工システム。 - 前記ガス供給装置が、
第1の内部断面を有するチューブ(65)と、前記チューブ(65)内部で移動可能であり、かつ前記チューブ(65)を通るガス流を可能にする第1の位置と前記チューブ(65)を通るガス流を実質的に遮断する第2の位置との間で往復運動可能なバルブ本体(75)とを備え、
前記チューブ(65)に連結された前記ガス流の入口側端部(61)と前記ガス流の出口側端部(59)とを備えた中空針(57、57a)が、その出口側端部(59)の部分において、前記第1の内部断面よりも小さい第2の内部断面を有し、
少なくとも前記中空針(57、57a)と、前記中空針(57、57a)の前記出口側端部(59)における前記内部断面と、前記第2の位置にある前記バルブ本体(75)とによって規定される、つながったガス空間の容積(V)が、以下の関係を満たす請求項1〜8のいずれか1項に記載の材料加工システム。
V<c*A*l
ただし、Aは前記中空針(57、57a)の前記出口側端部(59)における前記内部断面の面積であり、
lは、前記中空針(57、57a)の前記出口側端部(59)と、前記第2の位置にある前記バルブ本体(75)との間の距離であり、
cは、c<5を満たす定数である。
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Families Citing this family (30)
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ATE512455T1 (de) * | 2004-04-15 | 2011-06-15 | Zeiss Carl Sms Gmbh | Vorrichtung und methode zur untersuchung oder modifizierung einer oberfläche mittels ladungsträgerstrahls |
US7232997B2 (en) | 2004-04-15 | 2007-06-19 | Nawotec Gmbh | Apparatus and method for investigating or modifying a surface with a beam of charged particles |
US20060022136A1 (en) * | 2004-07-29 | 2006-02-02 | Moore Thomas M | Multiple gas injection system for charged particle beam instruments |
US7312448B2 (en) | 2005-04-06 | 2007-12-25 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method and apparatus for quantitative three-dimensional reconstruction in scanning electron microscopy |
DE102006043895B9 (de) * | 2006-09-19 | 2012-02-09 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Elektronenmikroskop zum Inspizieren und Bearbeiten eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen |
DE102006054695B4 (de) * | 2006-11-17 | 2014-05-15 | Carl Von Ossietzky Universität Oldenburg | Verfahren zur Regelung nanoskaliger elektronenstrahlinduzierter Abscheidungen |
DE102007054074A1 (de) | 2007-11-13 | 2009-05-14 | Carl Zeiss Nts Gmbh | System zum Bearbeiten eines Objekts |
DE102007054073A1 (de) | 2007-11-13 | 2009-05-14 | Carl Zeiss Nts Gmbh | System und Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts |
TWI479570B (zh) | 2007-12-26 | 2015-04-01 | Nawotec Gmbh | 從樣本移除材料之方法及系統 |
DE102008009640A1 (de) | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Prozessierungssystem |
DE102008011530B4 (de) * | 2008-02-28 | 2012-05-03 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen |
DE102008011531B4 (de) * | 2008-02-28 | 2011-12-08 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen |
EP2511764B1 (en) * | 2008-02-28 | 2020-04-01 | Carl Zeiss SMT GmbH | Method for processing an object with miniaturized structures |
DE102008040426B4 (de) * | 2008-07-15 | 2015-12-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Untersuchung einer Oberfläche eines Objekts |
DE102008049655A1 (de) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Partikelstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben desselben |
DE102009045008A1 (de) | 2008-10-15 | 2010-04-29 | Carl Zeiss Smt Ag | EUV-Lithographievorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten einer Maske |
DE102009033319B4 (de) | 2009-07-15 | 2019-02-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Partikelstrahl-Mikroskopiesystem und Verfahren zum Betreiben desselben |
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JP5481401B2 (ja) | 2011-01-14 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
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DE102012001267A1 (de) | 2012-01-23 | 2013-07-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Partikelstrahlsystem mit Zuführung von Prozessgas zu einem Bearbeitungsort |
DE102018222522A1 (de) * | 2018-12-20 | 2020-06-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Gaszuführungseinrichtung sowie Gaszuführungseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens und Teilchenstrahlgerät mit einer Gaszuführungseinrichtung |
DE102020120940B4 (de) | 2020-08-07 | 2023-12-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Bearbeitungsanordnung, Vorrichtung, Verfahren, Spülplatte und Verwendung |
DE102020124306B4 (de) | 2020-09-17 | 2022-08-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung zum Analysieren und/oder Bearbeiten einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren |
DE102021120913B3 (de) | 2021-08-11 | 2023-02-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung zum Analysieren und/oder Bearbeiten einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren |
DE102021132834A1 (de) | 2021-12-13 | 2023-06-29 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Gasreservoir, Gaszuführungseinrichtung mit einem Gasreservoir und Teilchenstrahlgerät mit einer Gaszuführungseinrichtung |
DE102021132832A1 (de) | 2021-12-13 | 2023-06-15 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Gaszuführungseinrichtung, Teilchenstrahlgerät mit einer Gaszuführungseinrichtung sowie Verfahren zum Betrieb der Gaszuführungseinrichtung und des Teilchenstrahlgeräts |
DE102021132833A1 (de) | 2021-12-13 | 2023-06-15 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Gaszuführungseinrichtung, System mit einer Gaszuführungseinrichtung sowie Teilchenstrahlgerät mit einer Gaszuführungseinrichtung oder dem System |
DE102021214447A1 (de) | 2021-12-15 | 2023-06-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Elektronenmikroskop zum Untersuchen einer Probe |
DE102022118006B3 (de) | 2022-07-19 | 2023-11-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten einer Probe, Teilchenstrahlsystem und Computerprogrammprodukt |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0106510B1 (en) * | 1982-10-19 | 1991-11-13 | Varian Associates, Inc. | Envelope apparatus for localized vacuum processing |
US4698236A (en) * | 1984-10-26 | 1987-10-06 | Ion Beam Systems, Inc. | Augmented carbonaceous substrate alteration |
DE3890362T1 (de) * | 1987-05-11 | 1989-10-19 | Microbeam Inc | Maskenreparatur unter verwendung eines optimierten fokussierten ionenstrahlsystems |
JPH0262039A (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-01 | Hitachi Ltd | 多層素子の微細加工方法およびその装置 |
EP0361460A3 (en) * | 1988-09-29 | 1990-08-01 | Sony Corporation | A method for forming a pattern |
JPH03124463U (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-17 | ||
US5683547A (en) * | 1990-11-21 | 1997-11-04 | Hitachi, Ltd. | Processing method and apparatus using focused energy beam |
US5188705A (en) * | 1991-04-15 | 1993-02-23 | Fei Company | Method of semiconductor device manufacture |
DE4204650C1 (ja) * | 1992-02-15 | 1993-07-08 | Hoffmeister, Helmut, Dr., 4400 Muenster, De | |
DE4421517A1 (de) * | 1993-06-28 | 1995-01-05 | Schlumberger Technologies Inc | Verfahren zum Abtrag oder Auftrag von Material mittels eines Partikelstrahls und Vorrichtung zu seiner Durchführung |
US5435850A (en) | 1993-09-17 | 1995-07-25 | Fei Company | Gas injection system |
DE4340956C2 (de) * | 1993-12-01 | 2002-08-22 | Advantest Corp | Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung einer Probe |
JP3310136B2 (ja) * | 1994-09-17 | 2002-07-29 | 株式会社東芝 | 荷電ビーム装置 |
US5747818A (en) * | 1996-10-21 | 1998-05-05 | Schlumberger Technologies Inc. | Thermoelectric cooling in gas-assisted FIB system |
US6042738A (en) * | 1997-04-16 | 2000-03-28 | Micrion Corporation | Pattern film repair using a focused particle beam system |
CA2322803A1 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Northern Edge Associates Inc. | Method and apparatus for deposition of three dimensional object |
US5911711A (en) * | 1998-06-29 | 1999-06-15 | Becton, Dickinson And Company | Lubricant system for hypodermic needles and method for its application |
DE19851622A1 (de) * | 1998-11-09 | 2000-05-18 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Untersuchen und/oder zum Modifizieren von Oberflächenstrukturen einer Probe |
US6268608B1 (en) * | 1998-10-09 | 2001-07-31 | Fei Company | Method and apparatus for selective in-situ etching of inter dielectric layers |
WO2001003145A1 (en) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for examining specimen with a charged particle beam |
DE10042098A1 (de) * | 2000-08-26 | 2002-03-14 | Deutsche Telekom Ag | Gasversorgung für Additive Lithographie |
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