JP5350754B2 - 物体を加工するシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 物体を加工するためのシステムであって、該システムは、
対物レンズを有する粒子ビームカラムと、
前記対物レンズの前に被加工物体を配置するための物体ホルダと、
前記対物レンズの前に配置された物体にガスを供給するためのカニューレを備えるガス供給装置と
を備え、前記物体ホルダが、
粒子ビームカラムに対して静止している基台と、
該基台に備え付けられ、かつ、前記基台に対して第1方向に平行移動可能な第1テーブルと、
前記第1テーブルに備え付けられ、かつ、前記第1テーブルに対して第2方向に平行移動可能な第2テーブルと、
前記第2テーブルに備え付けられ、該第2テーブルに対して、移動可能な第3テーブルと
を備え、
前記カニューレが前記第1テーブルに固定されていることを特徴とするシステム。 - 前記第3テーブルは、前記第2テーブルに対して回転移動可能であることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記基台に対して前記第1テーブルを移動させるための第1アクチュエータをさらに備える、請求項1または2に記載のシステム。
- 前記第1テーブルに対して前記第2テーブルを移動させるための第2アクチュエータをさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記第2テーブルに対して前記第3テーブルを移動させるための第3アクチュエータをさらに備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記基台に対して前記第1テーブルを移動させるための第1アクチュエータと、
前記第1テーブルに対して前記第2テーブルを移動させるための第2アクチュエータと、
前記第2テーブルに対して前記第3テーブルを移動させるための第3アクチュエータと
を備え、
前記第1、第2および第3アクチュエータのうち少なくとも1つは、前記粒子ビームカラムの動作中に作動され得る、請求項1または2に記載のシステム。 - 前記カニューレの位置および方向の少なくとも一方が、前記第1テーブルに対して調節可能である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記ガス供給装置が物質リザーバを備え、カニューレを経て気体として供給され得る物質の蓄積を収容できる、請求項1〜7のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記粒子ビームカラム及び前記物質リザーバが共通の真空容器内に配置されている、請求項8に記載のシステム。
- 前記物質リザーバが前記カニューレと共に前記第1テーブルに備え付けられている、請求項8または9に記載のシステム。
- 前記ガス供給装置が前記物質リザーバと前記カニューレの間に配置されたロック弁を備えている、請求項8〜10のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記物質リザーバが、前記粒子ビームカラムの動作中に前記ロック弁を作動させるためのアクチュエータを備えている、請求項11に記載のシステム。
- 加工方法であって、
a. カニューレの出口開口が近くに配置されている、粒子ビームカラムの物体フィールドに、物体の部分を配置し、次いで、
b. 前記カニューレを経てガスを供給し、前記粒子ビームカラムを用いて該ガスを活性化することにより、前記物体を加工し、
c. 前記カニューレを遠ざけ、前記カニューレの出口開口を前記粒子ビームカラムの前記物体フィールドから離間して配置することにより加工を完了させ、
d. 前記粒子ビームカラムの前記物体フィールドに前記物体の一部を配置し、前記カニューレの出口開口を前記物体フィールドから離間して配置し、
e. 前記粒子ビームカラムを用いて前記物体の部分の顕微鏡画像を取得する
ことを含み、
請求項1〜12のいずれか1項に記載のシステムを用いて実施されることを特徴とする加工方法。 - 前記物体の加工中および前記電子顕微鏡画像の取得中に、ガスがカニューレから排出される、請求項13に記載の加工方法。
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