CN111235550B - 基座调节装置及腔室 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的基座调节装置及腔室，基座调节装置包括：第一调节件、第二调节件以及推拉组件；推拉组件分别连接第一调节件和第二调节件，其中，第一调节件用于固定基座，第一调节件与第二调节件连接并且能在推拉组件的驱动下相对第二调节件沿第一水平方向移动；其中，第二调节件与腔室底壁连接并且能在推拉组件的驱动下相对腔室底壁沿第二水平方向移动。通过推拉组件以推拉的方式分别驱动第一调节件和第二调节件移动，仅需要调节两次即可完成基座的水平位置的调整，整体调节性高，操作简单。
Description
技术领域
本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种基座调节装置及腔室。
背景技术
原子层沉积技术是一种基于真空环境下的薄膜沉积方法，其最大特点是膜层厚度稳定、生长层数可控。图1为一种常见的基座及其提升结构的结构示意图。如图1所示，腔室内设置有工艺套件8，工艺套件8在工艺过程中保持静止状态，基座9随工艺需求在提升机构7的驱动下做升降运动，运动过程中要求基座9与工艺套件8中心保持对中。其中，工艺套件8是一组零件的装配体，多件配合装配于腔室内部以构成气道，整个装配体存在一定的加工误差和装配误差，基座9与提升机构7也是一组零件的装配体，同样存在加工误差和装配误差，单纯靠零件尺寸配合获得对中精度比较困难，对加工精度要求也比较高，因此，需要采用可调节方式实现对中。另外，基座9本身也要求具有一定的水平度，以确保与机械手衔接及与工艺套件相对平行，由于基座9具有一定的高度，其底部的微小角度会在顶端放大为明显角度的倾斜，因此，也需要进行水平度的调整。
图2a为现有技术提供的一种基座调节机构的主视示意图；图2b为图2a中I区域的局部示意图；图2c为图2a中的俯视示意图。如图2a-图2c所示，在框架1上具有三个调整结构2，基座通过三个调整结构2实现与腔室的连接固定，在框架1上开设有左右方向、前后方向的长孔，调整结构2包括偏心导向柱6，通过旋转偏心导向柱6带动调整结构2沿左右方向或前后方向移动，从而实现对中调节。调平功能由调平螺钉3实现，三个调平螺钉3确定一个共同平面，通过调节调整结构2中的球头结构9来调节调平螺钉3的高度，从而实现水平度的调整。
在上述结构中，存在如下问题：
其一，由于前后或左右对中调节时需要三个调整结构2分别进行调节，整体一致性差，操作繁琐，还会发生步调不一致导致较劲情况；
其二，偏心导向柱6不够灵活，偏心移动旋转时往往产生阻力，使对中过程受到阻碍。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种基座调节装置及腔室，能进行整体调整，简化操作。
为解决上述问题，本发明提供了一种基座调节装置，用于调节基座相对于腔室的位置，所述基座调节装置包括：第一调节件、第二调节件以及推拉组件；
所述推拉组件分别连接所述第一调节件和所述第二调节件；
所述第一调节件用于固定所述基座，所述第一调节件与所述第二调节件连接并且能在所述推拉组件的驱动下相对所述第二调节件沿第一水平方向移动；
所述第二调节件与腔室底壁连接并且能在所述推拉组件的驱动下相对所述腔室底壁沿第二水平方向移动；
其中，所述第一水平方向与所述第二水平方向相互垂直。
进一步地，所述推拉组件包括固定块和调节螺钉；
其中，所述推拉组件设有两组，所述固定块分别固定在所述第二调节件和所述腔室底壁；
所述调节螺钉分别沿第一水平方向和第二水平方向设置在对应的所述固定块中，相应的所述调节螺钉的一端分别与所述第一调节件和所述第二调节件螺纹连接；所述调节螺钉与所述固定块之间的连接结构配置为：所述调节螺钉相对自身轴线转动的同时在该轴线方向上固定。
进一步地，所述连接结构包括设置在所述固定块的卡合部以及设置在所述调节螺钉的凸缘；
所述卡合部设有卡槽，所述卡槽沿所述调节螺钉的轴线方向贯穿所述卡合部，从而在所述卡槽的两侧形成止挡面；
所述调节螺钉沿其轴线方向设有至少两个所述凸缘；所述调节螺钉穿过所述卡槽且相邻两个所述凸缘分别抵靠在所述卡槽两侧的止挡面。
进一步地，所述连接结构包括设置在所述固定块的卡合部、轴承和设置在所述调节螺钉的凸缘；
所述卡合部设有安装孔，所述安装孔沿所述调节螺钉的轴线方向贯穿所述卡合部；
所述调节螺钉通过所述轴承穿设在所述安装孔中，所述轴承的一个端面抵靠在所述凸缘上，所述轴承的另一个端面通过弹性挡圈止挡在所述安装孔中。
进一步地，所述第一调节件和所述第二调节件均为板状件；
所述第一调节件上设有贯穿板厚度的第一长孔，所述第一长孔的延伸方向与第一水平方向一致；连接螺栓穿过所述第一长孔并螺纹连接在所述第二调节件，所述第一调节件由所述连接螺栓支撑；
所述第二调节件上设有贯穿板厚度的第二长孔，所述第二长孔的延伸方向与第二水平方向一致；所述连接螺栓穿过所述第二长孔并螺纹连接在所述腔室底壁，所述第二调节件由所述连接螺栓支撑。
进一步地，所述第二调节件上还设有至少三个调平螺纹通孔，所述调平螺纹通孔内螺纹连接调平螺钉，所述调平螺钉的一端用于抵靠在所述腔室底壁。
进一步地，所述第一长孔和所述第二长孔的数量均为四个，且分别均匀分布于所述第一调节件和所述第二调节件的四个角部；
所述调平螺钉的数量为三个，三个所述调平螺钉围绕所述基座的周向均匀排列；所述腔室底壁对应所述调平螺钉的位置为平整面，通过调节所述调平螺钉的松紧，以使所述基座调平。
进一步地，所述第一调节件和所述第二调节件之间设有第一导向结构，所述第一导向结构将所述第一调节件相对所述第二调节件的移动限定在第一水平方向；
所述第二调节件和所述腔室底壁之间设有第二导向结构，所述第二导向结构将所述第二调节件相对所述腔室底壁的移动限定在第二水平方向。
进一步地，所述第一导向结构包括设置在所述第二调节件底部并沿第一水平方向延伸的第一凸台；所述第一调节件抵靠在所述第一凸台的侧面进行导向；
所述第二导向结构包括设置在所述腔室底壁的底部并沿第二水平方向延伸的第二凸台；所述第二调节件抵靠在所述第二凸台的侧面进行导向。
本发明还提供了一种腔室，在所述腔室内设置有基座，在所述腔室的下方还设置有基座调节装置，所述基座调节装置与所述基座连接，用于调节所述基座的位置，其采用本发明提供的基座调节装置。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的基座调节装置及腔室，基座调节装置包括：第一调节件、第二调节件以及推拉组件；推拉组件分别连接第一调节件和第二调节件，其中，第一调节件用于固定基座，第一调节件与第二调节件连接并且能在推拉组件的驱动下相对第二调节件沿第一水平方向移动；其中，第二调节件与腔室底壁连接并且能在推拉组件的驱动下相对腔室底壁沿第二水平方向移动。通过推拉组件以推拉的方式分别驱动第一调节件和第二调节件移动，仅需要调节两次即可完成基座的水平位置的调整，整体调节性高，操作简单。
附图说明
图1为一种常见的基座及其提升结构的结构示意图；
图2a为现有技术提供的一种基座调节机构的主视示意图；
图2b为图2a中I区域的局部示意图；
图2c为图2a中的俯视示意图；
图3为本发明实施例提供的基座调节装置的主视图；
图4为图3中基座调节装置的侧视图；
图5为图3中第一调节件的俯视图；
图6为图3中第二调节件的俯视图；
图7a为本发明实施例中采用的固定块的结构示意图；
图7b为本发明实施例中采用的固定块的另一角度的结构示意图；
图8为本发明实施例中采用的调节螺钉的结构示意图；以及
图9为本发明实施例中固定块与调节螺钉另一配合方式的结构示意图。
其中，
1-框架；2-调整结构；3-调平螺钉；7-提升机构；8-工艺套件；9-基座；6-偏心导向柱；
10-第一调节件；11-调节螺钉；12-凸缘；14-第一长孔；15-基座固定板；16-第一导向结构；20-第二调节件；22-第一固定螺纹孔；23-第二长孔；24-第二导向结构；25-调平螺钉；30-固定块；31-卡合部；32-通孔；4-腔室底壁；51-弹性挡圈；52-轴承。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的真空系统的调度方法及调度系统进行详细描述。
本发明提供了一种基座调节装置，其用于调节基座相对于腔室的位置，基座调节装置包括：第一调节件、第二调节件以及推拉组件，其中，推拉组件分别连接第一调节件和第二调节件；第一调节件用于固定基座，第一调节件与第二调节件连接并且能在推拉组件的驱动下相对第二调节件沿第一水平方向移动；第二调节件与腔室底壁连接并且能在推拉组件的驱动下相对腔室底壁沿第二水平方向移动；其中，第一水平方向与第二水平方向相互垂直。
在本发明中，采用推拉组件作为驱动结构，推拉组件能够分别整体性推动第一调节件和第二调节件进行移动，因而，整体调节性高，另外，由于调节方向精确、且整体调节性高，因此，仅需要调节两次即可完成基座位置的调整，操作简单。
下面结合附图对本发明中采用的推拉组件进行详细说明。
图3为本发明实施例提供的基座调节装置的主视图；图4为图3中基座调节装置的侧视图；图5为图3中第一调节件的俯视图；图6为图3中第二调节件的俯视图。
本发明提供了一种基座调节装置，用于调节基座相对于腔室的位置，如图3-图6所示，在本实施例中，包括推拉组件包括固定块30和调节螺钉11。其中，推拉组件设有两组，两组推拉组件的固定块30分别固定在第二调节件20和腔室底壁4上，两组推拉组件的调节螺钉11分别沿第一水平方向和第二水平方向设置在对应的两个固定块30中，相应的调节螺钉11的一端分别与第一调节件10和第二调节件20螺纹连接。调节螺钉11与固定块30之间的连接结构配置为：调节螺钉相对自身轴线转动的同时在该轴线方向上固定。
借助本实施例提供的推拉组件，调节螺钉11由于固定块30的作用，能够使得调节螺钉在旋转中在轴向方向上的位置保持不变，从而使得通过旋转一组调节螺钉11以驱动第一调节件10沿第一水平方向相对第二调节件20移动，通过旋转另一组调节螺钉21以驱动第二调节件20沿第二水平方向相对腔室底壁4移动。
下面将结合附图对本实施例中的连接结构的具体结构进行详细说明。
图7a为本发明实施例中采用的固定块的结构示意图；图7b为本发明实施例中采用的固定块的另一角度的结构示意图；图8为本发明实施例中采用的调节螺钉的结构示意图。
请一并参见图7a、图7b和图8，连接结构包括设置在固定块30上的卡合部31以及设置在调节螺钉11的凸缘12，其中，在卡合部31上设有卡槽，卡槽沿调节螺钉11的轴线方向贯穿卡合部31，从而在卡槽的两侧形成止挡面。调节螺钉11沿其轴线方向设有至少两个凸缘12，调节螺钉11穿过卡槽且相邻两个凸缘12分别抵靠在卡槽两侧的止挡面。借助连接结构，当调节螺钉11旋转时，调节螺钉11被卡合部31固定其轴向位置，从而推动第一调节件10或第二调节件20移动。
图9为本发明实施例中另一连接结构的结构示意图。作为连接结构的另一种实施方式，连接结构包括设置在固定块30上的卡合部31、轴承52和设置在调节螺钉11上的凸缘12。其中，卡合部31设有安装孔，安装孔沿调节螺钉11的轴线方向贯穿卡合部。调节螺钉11通过轴承52穿设在安装孔中，轴承52的一个端面抵靠在凸缘12上，轴承52的另一个端面通过弹性挡圈51止挡在安装孔中。
另外，如图7a、图7b所示，固定块30还包括固定部，固定部上设置有通孔32，通过紧固件穿过通孔32，以将固定块30固定在第二调节件20或腔室底壁4上。其中，通孔32可以为光孔。
下面对本发明中第一调节件和第二调节件的结构进行详细描述。
在本实施例中，第一调节件10和第二调节件20均为板状件。其中，第一调节件10上设有贯穿板厚度的第一长孔14，第一长孔14的延伸方向与第一水平方向一致；连接螺栓穿过第一长孔14并螺纹连接在第二调节件20的第一固定螺纹孔22上，第一调节件10由连接螺栓支撑。其中，在第二调节件20上设有贯穿板厚度的第二长孔23，第二长孔23的延伸方向与第二水平方向一致，连接螺栓穿过第二长孔23并螺纹连接在腔室底壁4，第二调节件20由连接螺栓支撑。
在本实施例中，优选地，第一长孔14和第二长孔23的数量均为四个，且分别均匀分布于第一调节件10和第二调节件20的四个角部。
通过设置第一长孔14和第二长孔23，使得第一调节件10和第二调节件20分别在第一水平方向和第二水平方向上具有一定的移动行程，可以理解的，该移动行程即为第一长孔14和第二长孔23长度方向的长度。另外，第一长孔14和第二长孔23在一定程度上起到导向的作用，使得第一调节件10仅能在第一水平方向移动，第二调节件20仅能在第二水平方向移动。此外，在调节第一调节件10和第二调节件20的位置之后，可以通过拧紧该连接螺栓以将第一调节件10和第二调节件20的位置锁紧，避免第一调节件10和第二调节件20带动基座发生移动。
在本实施例中，基座调节装置还用于调节基座上表面相对腔室底壁的平行度。具体地，在第二调节件20上设有至少三个调平螺纹通孔，调平螺纹通孔的内螺纹连接调平螺钉25，调平螺钉25的一端抵靠在腔室底壁4上。由于三点确定一个平面，调平螺钉25的数量至少为三个，且三个调平螺钉25呈三角形排列，调平螺钉25的拧紧力产生推斥第二调节件20的作用，使其远离腔室底壁4，通过调节多个调平螺钉25的松紧程度，产生不对称的推斥力，使以使第二调节件20与腔室底壁4平行。
优选地，调平螺钉25的数量为四个，对称的设置在第二调节件20上。
在本实施例中，为了限定第一调节件10的移动方向，还包括第一导向结构16，其中，第一导向结构16设置在第一调节件10与第二调节件20之间，第一导向结构16将第一调节件10相对第二调节件20的移动限定在第一水平方向。类似地，为了限定第二调节件20的移动方向，还包括第二导向结构24，第二导向结构24设置在第二调节件20与腔室4之间，第二导向结构24将第二调节件20相对腔室底壁4的移动限定在第二水平方向。
其中，第一导向结构16包括设置在述第二调节件20底部并沿第一水平方向延伸的第一凸台，第一调节件10抵靠在第一凸台的侧面，以进行导向。类似地，第二导向结构20包括设置在腔室底壁4的底部并沿第二水平方向延伸的第二凸台，第二调节件20抵靠在第二凸台的侧面，以进行导向。
在本实施例中，基座调节装置还包括升降机构，其与基座连接，用于驱动基座进行升降运动，此时，推拉组件还包括基座固定板15，基座固定板15垂直于第一调节件10竖直向下设置，用以固定升降机构。
其中，升降机构包括移动导轨副、滚珠丝杠副、联轴器、减速器和电机。
作为本发明的另一方面，本发明还提供了一种腔室，在腔室内设置有基座，在腔室的下方还设置有基座调节装置，基座调节装置与基座连接，用于调节所述基座的位置，其中，基座调节装置采用本发明实施例提供的基座调节装置。
本发明中，通过螺钉与螺纹配合的方式调节基座的水平位置，一组螺钉与螺纹调节一个方向上的位置，因而，仅需要调节两次即可调整基座的位置，整体调节性高，操作简单。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种基座调节装置，用于调节基座相对于腔室的位置，其特征在于，所述基座调节装置包括：第一调节件、第二调节件以及推拉组件；
所述推拉组件分别连接所述第一调节件和所述第二调节件；
所述第一调节件用于固定所述基座，所述第一调节件与所述第二调节件连接并且能在所述推拉组件的驱动下相对所述第二调节件沿第一水平方向移动；
所述第二调节件与腔室底壁连接并且能在所述推拉组件的驱动下相对所述腔室底壁沿第二水平方向移动；
其中，所述第一水平方向与所述第二水平方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的基座调节装置，其特征在于，所述推拉组件包括固定块和调节螺钉；
其中，所述推拉组件设有两组，所述固定块分别固定在所述第二调节件和所述腔室底壁；
所述调节螺钉分别沿第一水平方向和第二水平方向设置在对应的所述固定块中，相应的所述调节螺钉的一端分别与所述第一调节件和所述第二调节件螺纹连接；所述调节螺钉与所述固定块之间的连接结构配置为：所述调节螺钉相对自身轴线转动的同时在该轴线方向上固定。
3.根据权利要求2所述的基座调节装置，其特征在于，所述连接结构包括设置在所述固定块的卡合部以及设置在所述调节螺钉的凸缘；
所述卡合部设有卡槽，所述卡槽沿所述调节螺钉的轴线方向贯穿所述卡合部，从而在所述卡槽的两侧形成止挡面；
所述调节螺钉沿其轴线方向设有至少两个所述凸缘；所述调节螺钉穿过所述卡槽且相邻两个所述凸缘分别抵靠在所述卡槽两侧的止挡面。
4.根据权利要求2所述的基座调节装置，其特征在于，所述连接结构包括设置在所述固定块的卡合部、轴承和设置在所述调节螺钉的凸缘；
所述卡合部设有安装孔，所述安装孔沿所述调节螺钉的轴线方向贯穿所述卡合部；
所述调节螺钉通过所述轴承穿设在所述安装孔中，所述轴承的一个端面抵靠在所述凸缘上，所述轴承的另一个端面通过弹性挡圈止挡在所述安装孔中。
5.根据权利要求1至4任一项所述的基座调节装置，其特征在于，所述第一调节件和所述第二调节件均为板状件；
所述第一调节件上设有贯穿板厚度的第一长孔，所述第一长孔的延伸方向与第一水平方向一致；连接螺栓穿过所述第一长孔并螺纹连接在所述第二调节件，所述第一调节件由所述连接螺栓支撑；
所述第二调节件上设有贯穿板厚度的第二长孔，所述第二长孔的延伸方向与第二水平方向一致；所述连接螺栓穿过所述第二长孔并螺纹连接在所述腔室底壁，所述第二调节件由所述连接螺栓支撑。
6.根据权利要求5所述的基座调节装置，其特征在于，所述第二调节件上还设有至少三个调平螺纹通孔，所述调平螺纹通孔内螺纹连接调平螺钉，所述调平螺钉的一端用于抵靠在所述腔室底壁。
7.根据权利要求6所述的基座调节装置，其特征在于，所述第一长孔和所述第二长孔的数量均为四个，且分别均匀分布于所述第一调节件和所述第二调节件的四个角部；
所述调平螺钉的数量为三个，三个所述调平螺钉围绕所述基座的周向均匀排列；所述腔室底壁对应所述调平螺钉的位置为平整面，通过调节所述调平螺钉的松紧，以使所述基座调平。
8.根据权利要求5所述的基座调节装置，其特征在于，所述第一调节件和所述第二调节件之间设有第一导向结构，所述第一导向结构将所述第一调节件相对所述第二调节件的移动限定在第一水平方向；
所述第二调节件和所述腔室底壁之间设有第二导向结构，所述第二导向结构将所述第二调节件相对所述腔室底壁的移动限定在第二水平方向。
9.根据权利要求8所述的基座调节装置，其特征在于，所述第一导向结构包括设置在所述第二调节件底部并沿第一水平方向延伸的第一凸台；所述第一调节件抵靠在所述第一凸台的侧面进行导向；
所述第二导向结构包括设置在所述腔室底壁的底部并沿第二水平方向延伸的第二凸台；所述第二调节件抵靠在所述第二凸台的侧面进行导向。
10.一种腔室，在所述腔室内设置有基座，在所述腔室的下方还设置有基座调节装置，所述基座调节装置与所述基座连接，用于调节所述基座的位置，其特征在于，所述基座调节装置采用权利要求1-9任意一项所述的基座调节装置。
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