CN220709543U - 一种多自由度反射镜调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种多自由度反射镜调整装置，包括：基座、第一调节组件和第二调节组件，基座设有反射镜座，反射镜座的上表面固设有反射镜；第一调节组件固设于基座，能够驱动反射镜座沿第一方向移动、沿第二方向移动以及绕第三方向转动；以及，第二调节组件连接于基座，具有3组且呈三角形布置，能够驱动基座沿第三方向移动以及相对于反射镜座的上表面俯仰。本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，设置第一调节组件，实现反射镜座沿第一方向和第二方向的移动以及绕第三方向的转动；设置第二调节组件，实现基座沿第三方向的移动以及相对于反射镜座的上表面俯仰，进而实现无接触地进行反射镜的多自由度调节，避免对反射镜造成污染。

Description

一种多自由度反射镜调整装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种多自由度反射镜调整装置。

背景技术

随着调焦调平传感器广泛应用在半导体加工工艺中，例如在超大集成电路制造的投影光刻技术中，通常使用调焦调平传感器减少硅片表面形貌对投影物镜焦平面的影响，以保证光刻效果。

现有技术中，调焦调平传感器通常安装在主基板下方，可以通过螺纹匹配锁紧螺母的方式垂向调节锁紧，来调节调焦调平传感器的反射镜的垂向位置，以保证反射镜和焦平面的重合度，然而随着半导体加工和投影光刻技术的发展，对于反射镜的调节需求也并不仅限于垂向调节，而需要对其多自由度可调，以满足对于调焦调平传感器中反射镜的位置精确的定位，然而现有技术中没有一种机构可以对调焦调平传感器中反射镜多自由度可调的设计，不能满足光刻技术中调焦调平传感器对反射镜多自由度调节需求。因此，亟需一种多自由度反射镜调整装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种多自由度反射镜调整装置，用以解决现有技术中，反射镜的调节仅限于垂向调节，不能满足光刻技术中调焦调平传感器对反射镜多自由度调节需求的技术问题。

本实用新型提供一种多自由度反射镜调整装置，包括：

基座，设有反射镜座，所述反射镜座的上表面固设有反射镜；

第一调节组件，固设于所述基座，能够驱动所述反射镜座沿第一方向移动、沿第二方向移动以及绕第三方向转动；以及，

第二调节组件，活动连接于所述基座，具有3组且呈三角形布置，能够驱动所述基座沿所述第三方向移动以及俯仰；

其中，所述第一方向和所述第二方向位于平行于所述反射镜座的上表面的平面内且所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第三方向均垂直于所述第一方向和所述第二方向。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调节组件，实现反射镜座沿第一方向和第二方向的移动以及绕第三方向的转动；设置第二调节组件，实现基座沿第三方向的移动以及相对于反射镜座的上表面俯仰，进而实现无接触地进行反射镜的多自由度调节，避免对反射镜造成污染。

进一步地，3个所述第二调节组件呈直角三角形布置，且直角三角形的直角边分别沿所述第一方向和所述第二方向，所述第二调节组件能够驱动所述基座绕所述第一方向的转动以及绕所述第二方向的转动。

进一步地，所述第一调节组件包括第一调整螺钉和第一弹性件，分别设于所述反射镜座沿第一方向的两端，所述第一调整螺钉连接于所述基座且抵接于所述反射镜座的侧面，用于驱动所述反射镜座沿所述第一方向的移动；所述第一弹性件连接于所述基座且抵接于所述反射镜座的侧面，始终具有驱动所述反射镜座沿所述第一方向的反方向移动的趋势；

所述第一调节组件还包括第二调整螺钉和第二弹性件，分别设于所述反射镜座沿第二方向的两端，所述第二调整螺钉连接于所述基座且抵接于所述反射镜座的侧面，用于驱动所述反射镜座沿所述第二方向的移动；所述第二弹性件连接于所述基座且抵接于所述反射镜座的侧面，始终具有驱动所述反射镜座沿所述第二方向的反方向移动的趋势。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调整螺钉和第二调整螺钉，实现反射镜座沿第一方向和第二方向的移动，进而实现无接触地进行反射镜的二维调节，避免对反射镜造成污染；此外设置第一弹性件和第二弹性件，实现反射镜座的回弹，可单向调整，方便高效；此外，具备调整和锁定功能，满足当前集成电路制造的投影光刻技术中调焦调平传感器对反射镜调节的需求。

进一步地，所述第一调整螺钉的数量为1个，所述第二调整螺钉的数量为2个，且2个所述第二调整螺钉间隔设置，所述第二弹性件位于所述第二调整螺钉之间；2个所述第二调整螺钉用于驱动所述反射镜座沿所述第二方向的移动或绕所述第三方向的转动。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调整螺钉和第二调整螺钉实现反射镜座沿第一方向的移动，第二方向的移动以及第三方向的转动，进而实现无接触地进行反射镜的三维调节，避免对反射镜造成污染；满足当前集成电路制造的投影光刻技术中调焦调平传感器对反射镜调节的需求。

进一步地，所述第一调整螺钉和所述第一弹性件相对设置，且所述第一调整螺钉和所述第一弹性件的中心连线穿过所述反射镜座的中心；所述第二弹性件的数量为1个，所述第二弹性件的中心线穿过所述反射镜座的中心，2个所述第二调整螺钉对称设置于所述第二弹性件的中心线的两侧。

进一步地，所述基座设有第一孔，所述反射镜座容纳于所述第一孔，所述反射镜座通过第一锁紧螺钉连接于所述基座。

进一步地，所述基座还设有连通于所述第一孔的第二孔，所述第二孔用于容纳所述反射镜，所述第二孔的开口尺寸小于所述第一孔的开口尺寸。

进一步地，以所述反射镜座的中心为基准，在所述反射镜座上以预设半径的圆周上均布3个螺纹孔；在所述基座上以所述预设半径的圆周上均布个3安装孔，所述安装孔和所述螺纹孔一一对应，所述第一锁紧螺钉穿过所述安装孔与所述螺纹孔连接。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过将第一锁紧螺钉直接接触基座，而非反射镜座，从而避免反射镜座的上表面受力发生变形或产生偏移，从而避免对反射镜的精密调节产生误差。

进一步地，所述第一锁紧螺钉套设有弹垫；和/或，所述反射镜粘接于所述反射镜座的上表面。

进一步地，所述第一弹性件为弹簧柱塞，和/或所述第二弹性件为弹簧柱塞，所述弹簧柱塞包括壳体和滑动连接于所述壳体的活动部，所述壳体固连于所述基座的开孔，所述活动部的端部抵接于所述反射镜座的侧面。

进一步地，每组所述第二调节组件包括螺柱，所述螺柱螺纹连接于所述基座且所述螺柱的两端均伸出所述基座的端面，所述螺柱的两端分别螺纹连接有螺母；

所述螺母具有松开工位和锁紧工位，若所述螺母处于松开工位，所述螺柱能够转动并带动所述基座沿所述第三方向的移动、绕所述第一方向的转动以及绕所述第二方向的转动；若所述螺母处于锁紧工位，所述螺母抵接于所述基座的端面。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过设置与基座螺纹连接的螺柱，实现基座沿第三方向的移动、绕第一方向的转动以及绕第二方向的转动，调节螺柱和基座之间的相对位置，实现无接触调节反射镜的位姿，避免对反射镜造成污染；此外，通过螺母锁紧，锁定位置。

进一步地，每组所述第二调节组件还包括螺杆，所述螺柱内螺纹连接于所述螺杆，所述螺杆的底端具有驱动部，所述驱动部能够驱动所述螺杆转动，使所述螺杆的顶端伸出所述螺柱的顶端且螺纹连接于光刻机的基板，使所述螺柱的顶端抵接于所述光刻机的基板。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过设置与基座螺纹连接的螺柱以及与螺柱螺纹连接的螺杆，实现沿第三方向调节螺柱和基座之间的相对位置，无接触实现对反射镜沿第三方向的移动调节，避免对反射镜造成污染；此外，通过螺母锁紧，锁定位置。

进一步地，所述基座具有连接柱，所述连接柱沿所述基座的所述第三方向延伸，所述连接柱的数量为3个，分别位于所述基座的角点处，所述螺柱螺纹连接于所述连接柱，且所述螺柱的两端均伸出所述连接柱的端面。

进一步地，所述连接柱具有开槽，所述开槽的延伸方向垂直于所述第三方向，所述开槽内设有第二锁紧螺钉，所述第二锁紧螺钉能够抵接于所述螺柱的外壁面。

本实用新型提供的多自由度反射镜调整装置，通过在连接柱上设置开槽，在开槽内设置第二锁定螺钉，实现对螺柱的临时锁紧。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置的整体装配结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置的主视结构示意图；

图3为图2中A-A剖视图；

图4为图3中B-B剖视图；

图5为本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置的俯视结构示意图；

图6为图5中C-C剖视图；

附图标记说明：

10、基座；101、第一孔；102、第二孔；103、安装孔；110、连接柱；120、螺柱；121、螺母；130、螺杆；131、驱动部；132、第三锁紧螺钉；133、调节垫片；140、开槽；

20、反射镜座；201、第一调整螺钉；202、第一弹性件；203、第二调整螺钉；204、第二弹性件；205、螺纹孔；206、第一锁紧螺钉；207、弹垫；

30、反射镜。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图1-6对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

本实用新型提供一种多自由度反射镜调整装置。参见附图1和3，该多自由度反射镜调整装置，包括：基座10、第一调节组件和第二调节组件，其中，基座10，设有反射镜座20，反射镜座20的上表面固设有反射镜30；第一调节组件，固设于基座10，能够驱动反射镜座20沿第一方向移动、沿第二方向移动以及绕第三方向转动；第二调节组件，活动连接于基座10，具有3组且呈三角形布置，能够驱动基座10沿第三方向移动以及俯仰；其中，第一方向和第二方向位于平行于反射镜座20的上表面的平面内且第二方向垂直于第一方向；第三方向均垂直于第一方向和第二方向。

需要说明的是，如图3所示，OX所指方向为第一方向，OY所指方向为第二方向，OZ所指方向为第三方向。

需要说明的是，多自由度反射镜调整装置调节时，放置在三坐标平台上，驱动基座10沿第三方向的移动指调节基座上表面与三坐标平台上表面之间的距离。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调节组件，实现反射镜座20沿第一方向和第二方向的移动以及绕第三方向的转动；设置第二调节组件，实现基座10沿第三方向的移动以及相对于反射镜座20的上表面俯仰，进而实现无接触地进行反射镜30的多自由度调节，避免对反射镜30造成污染。

本实用新型实施例，3个第二调节组件呈直角三角形布置，且直角三角形的直角边分别沿第一方向和第二方向，第二调节组件能够驱动基座10沿第三方向的移动、绕第一方向的转动以及绕第二方向的转动。

需要说明的是，同步调节第二调节组件，能够实现驱动基座10沿第三方向的移动；不同步调节第二调节组件，能够实现驱动基座10绕第一方向的转动或沿第二方向的转动。

参见附图3，本实用新型实施例，第一调节组件包括第一调整螺钉201和第一弹性件202，分别设于反射镜座20沿第一方向的两端，第一调整螺钉201连接于基座10且抵接于反射镜座20的侧面，用于驱动反射镜座20沿第一方向的移动；第一弹性件202连接于基座10且抵接于反射镜座20的侧面，始终具有驱动反射镜座20沿第一方向的反方向移动的趋势；

第一调节组件还包括第二调整螺钉203和第二弹性件204，分别设于反射镜座20沿第二方向的两端，第二调整螺钉203连接于基座10且抵接于反射镜座20的侧面，用于驱动反射镜座20沿第二方向的移动；第二弹性件204连接于基座10且抵接于反射镜座20的侧面，始终具有驱动反射镜座20沿第二方向的反方向移动的趋势。

需要说明的是，进行第一方向和第二方向的调节时，第一锁紧螺钉201使用很小的力矩将反射镜座20固定于基座10，使得反射镜座20和基座10之间可以相对移动。旋转第一锁紧螺钉201使第一锁紧螺钉201驱动反射镜座20沿第一方向移动，同时进一步压缩第一弹性件202使反射镜座20保持于某一位置；旋转第一锁紧螺钉201使第一锁紧螺钉201沿第一方向的反方向移动，第一弹性件202释放弹性势能，驱动反射镜座20沿第一方向的反方向移动并保持于某一位置；旋转第二锁紧螺钉203使第二锁紧螺钉203驱动反射镜座20沿第二方向移动，同时进一步压缩第二弹性件204；旋转第二锁紧螺钉203使第二锁紧螺钉203沿第二方向的反方向移动，第二弹性件204释放弹性势能，驱动反射镜座20沿第二方向的反方向移动并保持于某一位置。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调整螺钉201和第二调整螺钉203，实现反射镜座20沿第一方向和第二方向的移动，进而实现无接触地进行反射镜30的二维调节，避免对反射镜30造成污染；此外设置第一弹性件202和第二弹性件204，实现反射镜座20的回弹，可单向调整，方便高效；此外，具备调整和锁定功能，满足当前集成电路制造的投影光刻技术中调焦调平传感器对反射镜20调节的需求。

参见附图3，本实用新型实施例，第一调整螺钉201的数量为1个，第二调整螺钉203的数量为2个，且2个第二调整螺钉203间隔设置，第二弹性件204位于第二调整螺钉203之间；2个第二调整螺钉203用于驱动反射镜座20沿第二方向的移动或绕第三方向的转动。

需要说明的是，同步旋转2个第二调整螺钉203使第二调整螺钉203驱动反射镜座20沿第二方向移动，同时进一步压缩第二弹性件204使反射镜座20保持于某一位置；同步旋转2个第二调整螺钉203使第二调整螺钉203均沿第二方向的反方向移动，第二弹性件204释放弹性势能，驱动反射镜座20沿第二方向的反方向移动并保持于某一位置。不同步旋转2个第二调整螺钉203，驱动反射镜座20沿第三方向发生偏转，同时进一步压缩第二弹性件204使反射镜座20保持于某一位置。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过调节第一调整螺钉201和第二调整螺钉203实现反射镜座20沿第一方向的移动，第二方向的移动以及第三方向的转动，进而实现无接触地进行反射镜30的三维调节，避免对反射镜30造成污染；满足当前集成电路制造的投影光刻技术中调焦调平传感器对反射镜30调节的需求。

参见附图3，本实用新型实施例，第一调整螺钉201和第一弹性件202相对设置，且第一调整螺钉201和第一弹性件202的中心连线穿过反射镜座20的中心；第二弹性件204的数量为1个，第二弹性件204的中心线穿过反射镜座20的中心，2个第二调整螺钉203对称设置于第二弹性件204的中心线的两侧。

参见附图6，本实用新型实施例，基座10设有第一孔101，反射镜座20容纳于第一孔101，反射镜座20通过第一锁紧螺钉206连接于基座10。

需要说明的是，第一孔101的内壁和反射镜座20之间具有间隙，实现反射镜座20沿第一方向和第二方向的位移的微调。

参见附图6，本实用新型实施例，基座10还设有连通于第一孔101的第二孔102，第二孔102用于容纳反射镜30，第二孔102的开口尺寸小于第一孔101的开口尺寸。

本实用新型实施例，以反射镜座20的中心为基准，在反射镜座20上以预设半径的圆周上均布3个螺纹孔205；在基座10上以预设半径的圆周上均布3个安装孔103，安装孔103和螺纹孔205一一对应，第一锁紧螺钉206穿过安装孔103与螺纹孔205连接。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过将第一锁紧螺钉206直接接触基座10，而非反射镜座20，从而避免反射镜座20的上表面受力发生变形或产生偏移，从而防止对反射镜30的精密调节产生误差。

参见附图6，本实用新型实施例，安装孔103为阶梯孔，包括相互连通的第一安装孔103和第二安装孔103，第一安装孔103用于容纳第一锁紧螺钉206的螺帽，所述第二安装孔103用于容纳第一锁紧螺钉206的连接杆。

参见附图6，本实用新型实施例，第一锁紧螺钉206套设有弹垫207。如此设置，第一锁紧螺钉206锁紧时，增大第一锁紧螺钉206和基座10之间的摩擦力，能够适应第一锁紧螺钉206的变形，起到缓冲和隔离的作用。

本实用新型实施例，反射镜30粘接于反射镜座20的上表面。

本实用新型实施例，第一弹性件202为弹簧柱塞，和/或第二弹性件204为弹簧柱塞，弹簧柱塞包括壳体和滑动连接于壳体的活动部，壳体固连于基座10的开孔，活动部的端部抵接于反射镜座20的侧面。

参见附图4，本实用新型实施例，每组第二调节组件包括螺柱120，螺柱120螺纹连接于基座10且螺柱120的两端均伸出基座10的端面，螺柱120的两端分别螺纹连接有螺母121，螺母121具有松开工位和锁紧工位，若螺母121处于松开工位，螺柱120能够转动带动所述基座10沿第三方向的移动、绕第一方向的转动以及绕第二方向的转动；若螺母121处于锁紧工位，螺母121抵接于基座10的端面。

需要说明的是，调节时，先松开螺母121，螺母121沿远离基座10的端面移动，旋转螺柱120，用以调节螺柱120的顶端与基座10的上表面之间的距离，也是用以调节螺柱120的底端与基座10的上表面之间的距离；调节完后，锁紧螺母121，螺母121抵接于基座10的端面。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过设置与基座10螺纹连接的螺柱120，实现基座10沿第三方向的移动、绕第一方向的转动以及绕第二方向的转动，调节螺柱120和基座10之间的相对位置，实现无接触调节反射镜的位姿，避免对反射镜30造成污染；此外，通过螺母121锁紧，锁定位置。

参见附图4，本实用新型实施例，每组第二调节组件还包括螺杆130，螺柱120内螺纹连接于螺杆130，螺杆130的底端固设有驱动部131，驱动部131能够驱动螺杆130转动，使螺杆130的顶端伸出螺柱120的端面且螺纹连接于光刻机的基板，使螺柱120的顶端抵接于光刻机的基板。

需要说明的是，调节完成后，通过螺杆130将基座10固设于光刻机的基板上。通过旋转螺柱120，用以调节螺柱120的顶端与基座10的上表面之间的距离，实际上，也是调节光刻机的基板与基座10的上表面之间的距离。

参见附图4，本实用新型实施例，驱动部131和螺柱120的端面之间设有调节垫片133，调节垫片133套设于螺杆130上。

参见附图4，本实用新型实施例，驱动部131与螺杆130通过第三锁紧螺钉132紧固连接。

参见附图2、图4和图6，本实用新型实施例，基座10具有连接柱110，连接柱110沿基座10的第三方向延伸，连接柱110的数量为3个，分别位于基座10的角点处，螺柱120螺纹连接于连接柱110，且螺柱120的两端均伸出连接柱110的端面。

参见附图4，本实用新型实施例，连接柱110具有开槽140，开槽140的延伸方向垂直于第三方向，开槽140内设有第二锁紧螺钉，第二锁紧螺钉能够抵接于螺柱120的外壁面。

本实用新型实施例提供的多自由度反射镜调整装置，通过在连接柱110上设置开槽140，在开槽140内设置第二锁定螺钉，实现对螺柱120的临时锁紧。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (14)

1.一种多自由度反射镜调整装置，其特征在于，包括：

基座(10)，设有反射镜座(20)，所述反射镜座(20)的上表面固设有反射镜(30)；

第一调节组件，固设于所述基座(10)，能够驱动所述反射镜座(20)沿第一方向移动、沿第二方向移动以及绕第三方向转动；以及，

第二调节组件，活动连接于所述基座(10)，具有3组且呈三角形布置，能够驱动所述基座(10)沿所述第三方向移动以及俯仰；

其中，所述第一方向和所述第二方向位于平行于所述反射镜座(20)的上表面的平面内且所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第三方向均垂直于所述第一方向和所述第二方向。

2.根据权利要求1所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，3个所述第二调节组件呈直角三角形布置，且直角三角形的直角边分别沿所述第一方向和所述第二方向，所述第二调节组件能够驱动所述基座绕所述第一方向的转动以及绕所述第二方向的转动。

3.根据权利要求1或2所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述第一调节组件包括第一调整螺钉(201)和第一弹性件(202)，分别设于所述反射镜座(20)沿第一方向的两端，所述第一调整螺钉(201)连接于所述基座(10)且抵接于所述反射镜座(20)的侧面，用于驱动所述反射镜座(20)沿所述第一方向的移动；所述第一弹性件(202)连接于所述基座(10)且抵接于所述反射镜座(20)的侧面，始终具有驱动所述反射镜座(20)沿所述第一方向的反方向移动的趋势；

所述第一调节组件还包括第二调整螺钉(203)和第二弹性件(204)，分别设于所述反射镜座(20)沿第二方向的两端，所述第二调整螺钉(203)连接于所述基座(10)且抵接于所述反射镜座(20)的侧面，用于驱动所述反射镜座(20)沿所述第二方向的移动；所述第二弹性件(204)连接于所述基座(10)且抵接于所述反射镜座(20)的侧面，始终具有驱动所述反射镜座(20)沿所述第二方向的反方向移动的趋势。

4.根据权利要求3所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述第一调整螺钉(201)的数量为1个，所述第二调整螺钉(203)的数量为2个，且2个所述第二调整螺钉(203)间隔设置，所述第二弹性件(204)位于所述第二调整螺钉(203)之间；2个所述第二调整螺钉(203)用于驱动所述反射镜座(20)沿所述第二方向的移动或绕所述第三方向的转动。

5.根据权利要求4所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述第一调整螺钉(201)和所述第一弹性件(202)相对设置，且所述第一调整螺钉(201)和所述第一弹性件(202)的中心连线穿过所述反射镜座(20)的中心；所述第二弹性件(204)的数量为1个，所述第二弹性件(204)的中心线穿过所述反射镜座(20)的中心，2个所述第二调整螺钉(203)对称设置于所述第二弹性件(204)的中心线的两侧。

6.根据权利要求1所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述基座(10)设有第一孔(101)，所述反射镜座(20)容纳于所述第一孔(101)，所述反射镜座(20)通过第一锁紧螺钉(206)连接于所述基座(10)。

7.根据权利要求6所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述基座(10)还设有连通于所述第一孔(101)的第二孔(102)，所述第二孔(102)用于容纳所述反射镜(30)，所述第二孔(102)的开口尺寸小于所述第一孔(101)的开口尺寸。

8.根据权利要求6所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，以所述反射镜座(20)的中心为基准，在所述反射镜座(20)上以预设半径的圆周上均布3个螺纹孔(205)；在所述基座(10)上以所述预设半径的圆周上均布3个安装孔(103)，所述安装孔(103)和所述螺纹孔(205)一一对应，所述第一锁紧螺钉(206)穿过所述安装孔(103)与所述螺纹孔(205)连接。

9.根据权利要求8所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述第一锁紧螺钉(206)套设有弹垫(207)；和/或，所述反射镜(30)粘接于所述反射镜座(20)的上表面。

10.根据权利要求3所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述第一弹性件(202)为弹簧柱塞，和/或所述第二弹性件(204)为弹簧柱塞，所述弹簧柱塞包括壳体和滑动连接于所述壳体的活动部，所述壳体固连于所述基座(10)的开孔，所述活动部的端部抵接于所述反射镜座(20)的侧面。

11.根据权利要求2所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，每组所述第二调节组件包括螺柱(120)，所述螺柱(120)螺纹连接于所述基座(10)且所述螺柱(120)的两端均伸出所述基座(10)的端面，所述螺柱(120)的两端分别螺纹连接有螺母(121)；

所述螺母(121)具有松开工位和锁紧工位，若所述螺母(121)处于松开工位，所述螺柱(120)能够转动并带动所述基座(10)沿所述第三方向的移动、绕所述第一方向的转动以及绕所述第二方向的转动；若所述螺母(121)处于锁紧工位，所述螺母(121)抵接于所述基座(10)的端面。

12.根据权利要求11所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，每组所述第二调节组件还包括螺杆(130)，所述螺柱(120)内螺纹连接于所述螺杆(130)，所述螺杆(130)的底端具有驱动部(131)，所述驱动部(131)能够驱动所述螺杆(130)转动，使所述螺杆(130)的顶端伸出所述螺柱(120)的顶端且螺纹连接于光刻机的基板，使所述螺柱(120)的顶端抵接于所述光刻机的基板。

13.根据权利要求12所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述基座(10)具有连接柱(110)，所述连接柱(110)沿所述基座(10)的所述第三方向延伸，所述连接柱(110)的数量为3个，分别位于所述基座(10)的角点处，所述螺柱(120)螺纹连接于所述连接柱(110)，且所述螺柱(120)的两端均伸出所述连接柱(110)的端面。

14.根据权利要求13所述的多自由度反射镜调整装置，其特征在于，所述连接柱(110)具有开槽(140)，所述开槽(140)的延伸方向垂直于所述第三方向，所述开槽(140)内设有第二锁紧螺钉，所述第二锁紧螺钉能够抵接于所述螺柱(120)的外壁面。