JP4055821B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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また、電極間の機械的寸法誤差や、外部からの漏洩磁場、特に荷電粒子線の方向と同じ成分の磁場も仮想陰極位置の制御誤差を生む原因になる。
また、コンタミネーションの量を増やす原因にもなる。
本発明の目的は、上述した従来技術の問題点を解決し、電子銃の条件、例えば引出電圧V1および加速電圧V0を変化させた場合に所望の光学条件が再現よく設定され、また、陰極周辺の状態の変化や機械的寸法誤差分を考慮した光学条件の設定が可能な荷電粒子線装置を提供することにある。
図1は本発明の1つの実施の形態による荷電粒子線装置の概略構成図である。100は、電子銃を表す。陰極1と引出電極3の間に印加される電圧V1により陰極1から放出された一次荷電粒子線2は、陰極1と加速電極4の間に印加される加速電圧V0で加速される。電圧V1および加速電圧V0を印加する電圧を制御する電圧制御装置21、22が別々に、または単一の手段として設けられる。一次荷電粒子線2は、絞り10により一次荷電粒子線2の不要な領域を除去され、レンズ制御電源11、すなわち集束レンズ励磁制御装置で制御された集束レンズ5と対物レンズ7により絞られて試料8上に照射される。そして対物レンズ7よりも陰極1側に配置された偏向器6aおよび6bによって試料8上を二次元的に走査される。偏向器6a、6bは偏向器制御装置17によって制御される。一次荷電粒子線2の照射によって試料8から発生する情報信号12は、信号検出器13aまたは13bによって検出される。検出された信号は像表示手段18を介してCRT等の画像表示装置14の輝度変調信号とすることができ、画像表示装置14に試料8の拡大像が表示される。以上の構成は、記載されていないが、一次荷電粒子線を照射するのに、適するよう真空雰囲気を保った容器に収納される。
このとき集束レンズ5の制御は像表示手段18によって像の移動量を計測し、選択(設定)された最小の移動量でもってレンズ制御電源11で集束レンズ5の励磁を自動で制御する方法がある。
集束レンズ5は物点(荷電粒子放出点)と像点(フォーカス点、すなわちフォーカス状態)がわかれば、そのレンズ特性から励磁を算出することができる。言い換えれば、励磁と像点がわかっていれば、物点を算出することができる。よって、一旦対物レンズ7よりも電子銃側に配置された集束レンズ5で、例えば絞り10にフォーカスさせるように、フォーカス状態を像表示手段18で検出しながら集束レンズ5の励磁を制御する。絞り10にフォーカスが合う集束レンズ5の励磁がわかれば、集束レンズ5と絞り10の機械的位置関係から、物点(この場合は仮想陰極位置)が算出できる。仮想陰極位置を正確に算出することができれば、集束レンズ5のレンズ特性より、集束レンズ5の集束点(クロスオーバポイント)を制御することが可能になる。
例えばクロスオーバポイントを偏向電極19の位置だけでなく、他の位置に設定する光学条件である場合にも、前述した方法により正確に光学条件が設定できる。
更に、偏向電極19に電圧を印加し、像表示手段18上の像の移動量が最小になるように集束レンズ5を制御する手段を有する荷電粒子線装置が構成される。
更に、集束レンズ5の励磁を少なくとも2点以上変化させて、像表示手段18上の像の移動量を計測し、移動量が最小になる励磁条件を算出する手段を有する荷電粒子線装置が構成される。
更に、像移動量を算出する過程の像移動画像を像表示手段18上に表示させる手段を有する荷電粒子線装置が構成される。
更に、引出電極3と加速電極4の間に制御電極15を設け、陰極1から引出電極3によって引き出された一次荷電粒子線2の広がりを制御するよう制御電極15へ電圧を印加する手段を備えている荷電粒子線装置が構成される。
(1)(Ic1、ds1)、(Ic2、dS2)を結ぶ直径(c)式の作成
(2)(Ic3、ds3)、(Ic4、ds4)を結ぶ直径(d)式の作成
を行い(S15)、(c)、(d)の交点の算出から、Ic0の決定を行い、制御信号を得る(S16)。Ic0が決定したことで、仮想陰極位置Sが算出され、これにより集束レンズのレンズ特性から励磁条件と集束点の関係が計算できる(S17)。前記調整を行うことで、集束レンズを含む所望の条件を設定すれば、より正確な条件で像観察が可能になる。制御信号に基づいた集束レンズ5の制御を行って像観察または検査を行う(S18)。
(1)(Ic5、ds5)、(Ic6、dS6)を結ぶ直径(e)式の作成
(2)(Ic7、ds7)、(Ic8、ds8)を結ぶ直径(f)式の作成
を行い(S25)、(e)、(f)の交点の算出からIc0の決定を行う(S26)。Ic0を使用して集束レンズ5の制御を行って像観察または検査を行う(S27)。
Claims (3)
- 電子銃と、該電子銃から放出された一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する2段以上からなる集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で二次元的に操作する偏向器と、前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生する信号を検出する信号検出器と、および該検出信号器の信号を像として表示させる像表示手段とを備えた荷電粒子線装置において、
前記電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置と、前記集束レンズの励磁電流を制御する集束レンズ励磁制御装置と、前記集束レンズの励磁電流を複数変えたときの前記像表示手段上での像の移動量または絞りの像の大きさが最小になるように選択した集束レンズの励磁電流からフォーカス状態を定め、該フォーカス状態によって定められた集束レンズの励磁電流を用いて仮想陰極位置を算出する仮想陰極算出手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記算出された仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバ位置を制御すること
を特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記像表示手段上の像の移動量が最小になるように集束レンズを制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、前記仮想陰極算出手段は、集束レンズの励磁電流を少なくとも2点以上変化させることを特徴とする荷電粒子線装置。
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