JP4053296B2 - 黒色画素を有する画像センサ - Google Patents

黒色画素を有する画像センサ Download PDF

Info

Publication number
JP4053296B2
JP4053296B2 JP2002017131A JP2002017131A JP4053296B2 JP 4053296 B2 JP4053296 B2 JP 4053296B2 JP 2002017131 A JP2002017131 A JP 2002017131A JP 2002017131 A JP2002017131 A JP 2002017131A JP 4053296 B2 JP4053296 B2 JP 4053296B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
black
image sensor
active pixel
pixel region
pixel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002017131A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002314758A (ja
Inventor
クレーン マクデルモット ブルース
オスカー モバーグ グレゴリー
Original Assignee
イーストマン コダック カンパニー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by イーストマン コダック カンパニー filed Critical イーストマン コダック カンパニー
Publication of JP2002314758A publication Critical patent/JP2002314758A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4053296B2 publication Critical patent/JP4053296B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/19Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays
    • H04N1/191Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays the array comprising a one-dimensional array, or a combination of one-dimensional arrays, or a substantially one-dimensional array, e.g. an array of staggered elements
    • H04N1/192Simultaneously or substantially simultaneously scanning picture elements on one main scanning line
    • H04N1/193Simultaneously or substantially simultaneously scanning picture elements on one main scanning line using electrically scanned linear arrays, e.g. linear CCD arrays
    • H04N1/1934Combination of arrays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14603Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14609Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/1462Coatings
    • H01L27/14623Optical shielding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
    • H04N25/633Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current by using optical black pixels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像センサに関するものであり、より具体的には、邪魔にならず、かつより効果的な位置に配置された黒色参照画素を有する様な画像センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
現在使用されている画像センサは、活性画素を近接して取り囲む領域に配置された黒色参照画素を有する。この技術分野においては、周知の様に、その様な黒色参照画素は、一連の画像処理の校正のために使用される。これらの黒色参照画素は、横方向拡散によって汚染されることが有り、その場合、活性画素領域からの赤色光生成電子が、黒色参照画素の最初の数行と数列を汚染する。これによって、所要の画像の複製が不正確になってしまう。
【0003】
現在使用されているCCD画像処理センサは、画素に追加の列と行を加えて、これらのバッファ画素列と行が横方向拡散のエネルギを吸収することによって、横方向拡散の悪影響を補償する。この方法では、バッファ画素列と行の照明を防止する二次的光線遮蔽体を使用する必要がある。これに代わる方法では、黒色画素の個数を、通常必要な個数以上に増加させる。これらの追加の黒色画素は、横方向拡散からのエネルギを吸収するために使用される。この場合、二次的光線遮蔽体は必要でない。
【0004】
CMOS画像センサにおいては、中間挿入材料(通常は金属)の数個の層が、光を黒体参照画素から遮断するために使用される。これらの中間挿入層は、しかし、そこを通過して光線を漏洩させ、黒色画素を照明するので、黒色画素が光に感じてしまう結果になる。明らかに、これは望ましくない現象である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
横方向拡散の補償に対して、現在、周知でかつ利用されている方法と装置は、満足のいく程度であるけれども、それらには欠点もある。すなわち、バッファ画素行と列を追加することは、かなりの面積のシリコンを使用することになる。同様に、黒色参照画素の追加行と列も、また、かなりの面積のシリコンを使用することになり、これはコストの面で効率的でない。
【0006】
CMOS画像センサにおいては、黒色遮蔽のために使用される前記中間挿入材料層は、光線に対して完全には不透明ではない。この問題に対する解決方法は、二次的光線遮蔽体を追加することであるけれども、この方法は、今度は、コストを高める結果になる。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の諸問題の一つ以上を克服することを目指したものである。手短かに要約すると、本発明の一態様によれば、本発明は、CMOS画像センサであって、画像捕捉のための活性画素領域と、前記活性画素領域から所定の距離だけ離して配置された複数の黒色画素領域と、前記活性画素領域内の画素に電気的に接続され、総ての前記黒色画素領域のそれぞれと前記活性画素領域との間に少なくとも一部分が配置される補助回路と、光が前記黒色画素領域を照明することを防ぐための二次的光線遮蔽体と、を具備し、前記複数の黒色画素領域は、前記画像センサの領域のうち前記活性画素領域の周辺に分散して配置されている複数の領域であることを特徴とする画像センサである。
【0008】
本発明のこれらの、およびその他の態様、目的、特徴、および長所は、好適な実施態様の以下の詳細な説明と添付された請求の範囲を良く吟味し、かつ附属の図を参照することによって、さらに明白に理解、認識出来るであろう。
【0009】
本発明は、電子画像処理装置において黒色参照画素の性能が改善される長所を有する。これは、カバーグラス二次的光線遮蔽体を使用することと、前記黒色画素領域を活性画素領域から所定の距離だけ離して配置すること、複数の黒色画素領域を、画像センサの領域のうち活性画素領域の周辺に分散して配置することによって達成される
【0010】
【発明の実施の形態】
図1を参照すれば、本発明のカバーグラス10が示されている。このカバーグラス10は、光が通過する透明中央部20と、光が通過しない光線遮蔽外周部30と、を含む。この二次的光線遮蔽外周部30は、エポキシ、ペイント、接着剤、金属、または酸化物の様な不透明材料によって形成される。この不透明材料は、二つの目的に役立つ。第1の目的は、カバーグラス10を画像処理パッケージに取り付けることであり、第2の目的は、黒色画素を入射光線から遮蔽することである。カバーグラス10と接着剤とは、1体であることに留意することは有益である。この技術分野では周知の様に、同じ結果を、別個の二次的光線遮蔽体とカバーグラスを用いて実現することも可能である。この二次的光線遮蔽体30は、また、画像センサの表面上に直接コーティングされた不透明材料から形成することも出来る。
【0011】
図2を参照すれば、本発明のCMOS画像センサ40が示されている。この画像センサ40は、長方形に配置された活性画素50のアレイを含む。この技術分野では周知の様に、この活性画素50は、入射光を受光し、受光された光は電子に変換され、やがて電圧に変換され、画像のディジタル表示の捕捉を可能にする。
【0012】
図2にはまた、複数の黒色参照画素60と、それに対応する出力多重化回路部70とが、共に、活性画素領域から所定の顕著な距離だけ離して配置されていることが、示されている。この顕著な距離の大きさは、結像画像の光線の円錐角によって実現される。黒色画素60は、二次的光線遮蔽体の影響のもとに、画像の光線がこの黒色画素を照明出来ない様に、「充分に遠く」配置される。黒色参照画素60は、一般に一つ以上の金属層が溶着された活性画素を使用することによって生成される。この一つ以上の金属層は、黒色画素60に対する基本的光線遮蔽体と考えられる。この黒色参照画素60を活性画素領域から顕著に離れた位置に配置することによって、図1に示されたカバーグラス10上の不透明接着剤部30は、光線をこの黒体画素から遮蔽することを可能にする。
【0013】
この顕著な距離の大きさは、黒色画素の信号が、横拡散によっても、また中間挿入光遮蔽層に起因する感光性によっても、影響を受けない様な光学系の設計によって決定される。これは、黒色画素60を活性画像感知画素50から物理的に分離し、その結果、光がこの黒色画素60を照明しないことによって達成される。さらに距離を追加して、全体の設計を、カバーグラス10の位置決めの不正確さに対して、鈍感にさせることも出来る。
【0014】
この解決方法を、低コストで生産し易い解決方法にするためには、これはゆるやかに強制されるものであれば良い。すなわち、精密な機械的位置決めの必要性が無いことが望ましい。黒色画素領域(複数も含む)60から活性画素領域50までの距離は、上述の要求を満たす様に充分大きく、この技術分野における当業者が決定できる様に、決定される。カバーグラス10は、光学的設計によって要求される最小値よりも大きく選定されている前記の顕著な距離に起因する「ゆるやか」な公差で位置決めすることが出来る。
【0015】
これとは反対に、現在利用されている周知の画像処理装置は、それらの黒色画素領域(複数も含む)を、それらの活性画像画素に近接して配置している。
【0016】
一つ以上の黒色参照画素部60と、これに対応する出力多重化回路部とが、設計に応じて使用出来ることを知るのは有益である。多重黒色参照画素部60は、追加の黒色画素情報を提供する。例えば、処理のばらつきや画像処理ダイ内の温度差に起因して、黒色参照信号は、画像処理装置の領域内で変動し得る。これは、多重黒色参照画素領域60を、画像処理ダイ上の様々な位置に配置することによって補償される。要約すれば、これらの多重黒色参照画素領域60は、全体の画像に対する黒色信号のより正確な測定を可能にするものである。図示された位置は単に例であり、追加の黒色参照画素領域60を使用しても良いことに言及することは有益である。
【0017】
ディジタル制御回路網80、アナログ出力回路網90、およびアナログ/ディジタル変換器100は、現状のこの技術分野では典型的な構成部品であり、参考のために図示してある。これらの構成部品は、周知のものであるから本明細書では詳述しない。
【0018】
図3を参照すれば、本発明のCCDまたはCMOSいずれかの画像処理装置に対する別な実施態様が示されている。この実施態様においては、黒色参照画素部60は、複数の位置に配置されている。この黒色参照画素部60の1個所の位置は、ワイヤボンドパッド110の中間であり、もう1個所の位置は、このボンドパッド110のいずれか一方の側である。これらの位置は、一般に画像領域50のいずれか、または、全ての側に、画像領域50から顕著な距離だけ離して配置されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のカバーグラスの図である。
【図2】 本発明のCMOS画像処理実施態様の平面図表示である。
【図3】 図2に対応する別の実施態様である。
【符号の説明】
10 カバーグラス、20 中央部、30 光線遮蔽外周部、40 センサ、50 画素、60 黒色参照画素、70回路網部、80 ディジタル制御回路網、90 出力回路網、100 A/D変換器、110 ボンドパッド。

Claims (2)

  1. CMOS画像センサであって、
    画像捕捉のための活性画素領域と、
    前記活性画素領域から所定の距離だけ離して配置された複数の黒色画素領域と、
    前記活性画素領域内の画素に電気的に接続され、総ての前記黒色画素領域のそれぞれと前記活性画素領域との間に少なくとも一部分が配置される補助回路と、
    光が前記黒色画素領域を照明することを防ぐための二次的光線遮蔽体と、
    を具備し、
    前記複数の黒色画素領域は、前記画像センサの領域のうち前記活性画素領域の周辺に分散して配置されている複数の領域であることを特徴とする画像センサ。
  2. 請求項1に記載の画像センサにおいて、前記二次的光線遮蔽体は、前記活性画素領域の少なくとも部分を被覆して前記活性画素領域の照明を許すための透明部分と、不透明材料から形成され、光が複数の黒色画素領域を照明することを防ぐための不透明部分と、を有するカバーグラスであることを特徴とする画像センサ。
JP2002017131A 2001-02-09 2002-01-25 黒色画素を有する画像センサ Expired - Lifetime JP4053296B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US26784901P 2001-02-09 2001-02-09
US09/953,846 US6744526B2 (en) 2001-02-09 2001-09-17 Image sensor having black pixels disposed in a spaced-apart relationship from the active pixels
US60/267,849 2001-09-17
US09/953,846 2001-09-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002314758A JP2002314758A (ja) 2002-10-25
JP4053296B2 true JP4053296B2 (ja) 2008-02-27

Family

ID=26952688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002017131A Expired - Lifetime JP4053296B2 (ja) 2001-02-09 2002-01-25 黒色画素を有する画像センサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6744526B2 (ja)
EP (1) EP1237353A1 (ja)
JP (1) JP4053296B2 (ja)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6786420B1 (en) 1997-07-15 2004-09-07 Silverbrook Research Pty. Ltd. Data distribution mechanism in the form of ink dots on cards
US6618117B2 (en) 1997-07-12 2003-09-09 Silverbrook Research Pty Ltd Image sensing apparatus including a microcontroller
US6690419B1 (en) 1997-07-15 2004-02-10 Silverbrook Research Pty Ltd Utilising eye detection methods for image processing in a digital image camera
AUPO802797A0 (en) 1997-07-15 1997-08-07 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (ART54)
US7110024B1 (en) 1997-07-15 2006-09-19 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system having motion deblurring means
US6985207B2 (en) 1997-07-15 2006-01-10 Silverbrook Research Pty Ltd Photographic prints having magnetically recordable media
AUPO850597A0 (en) 1997-08-11 1997-09-04 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (art01a)
US6624848B1 (en) 1997-07-15 2003-09-23 Silverbrook Research Pty Ltd Cascading image modification using multiple digital cameras incorporating image processing
US20040119829A1 (en) 1997-07-15 2004-06-24 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead assembly for a print on demand digital camera system
US6879341B1 (en) 1997-07-15 2005-04-12 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system containing a VLIW vector processor
AUPP702098A0 (en) 1998-11-09 1998-12-03 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ART73)
AUPQ056099A0 (en) 1999-05-25 1999-06-17 Silverbrook Research Pty Ltd A method and apparatus (pprint01)
US6744526B2 (en) * 2001-02-09 2004-06-01 Eastman Kodak Company Image sensor having black pixels disposed in a spaced-apart relationship from the active pixels
US7084912B2 (en) * 2001-09-20 2006-08-01 Yuen-Shung Chieh Method for reducing coherent row-wise and column-wise fixed pattern noise in CMOS image sensors
KR100448244B1 (ko) * 2002-03-29 2004-09-13 주식회사 하이닉스반도체 이미지센서의 화소배열부 및 그를 포함하는 이미지센서 및이미지센서의 자동 블랙 레벨 보상 방법
US7053458B2 (en) * 2002-04-30 2006-05-30 Ess Technology, Inc. Suppressing radiation charges from reaching dark signal sensor
JP4246964B2 (ja) * 2002-05-27 2009-04-02 浜松ホトニクス株式会社 固体撮像装置及び固体撮像装置アレイ
JP4018456B2 (ja) * 2002-06-03 2007-12-05 富士フイルム株式会社 撮像装置
US20050243193A1 (en) * 2004-04-30 2005-11-03 Bob Gove Suppression of row-wise noise in an imager
JP4625685B2 (ja) * 2004-11-26 2011-02-02 株式会社東芝 固体撮像装置
KR100654342B1 (ko) * 2005-02-07 2006-12-08 삼성전자주식회사 이미지 센서
US7247829B2 (en) * 2005-04-20 2007-07-24 Fujifilm Corporation Solid-state image sensor with an optical black area having pixels for detecting black level
KR100734272B1 (ko) * 2005-08-30 2007-07-02 삼성전자주식회사 옵티컬 블랙 영역의 크기를 줄인 cmos 이미지 센서
US20080054320A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Micron Technology, Inc. Method, apparatus and system providing suppression of noise in a digital imager
US20080239111A1 (en) * 2007-03-26 2008-10-02 Micron Technology, Inc. Method and appratus for dark current compensation of imaging sensors
US7969494B2 (en) 2007-05-21 2011-06-28 Aptina Imaging Corporation Imager and system utilizing pixel with internal reset control and method of operating same
KR100881200B1 (ko) * 2007-07-30 2009-02-05 삼성전자주식회사 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법
GB2453544B (en) 2007-10-08 2012-02-29 Keymed Medicals & Ind Equip Black level control apparatus and method
JP5172362B2 (ja) * 2008-01-10 2013-03-27 シャープ株式会社 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法
JP2010093753A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Sony Corp 固体撮像素子及び信号処理システム
DE102009004409A1 (de) * 2009-01-13 2010-07-15 Arnold & Richter Cine Technik Gmbh & Co. Betriebs Kg Bildsensor
TWI393428B (zh) 2009-04-20 2013-04-11 Pixart Imaging Inc 影像校正方法及使用此方法的影像處理系統
CN101883219B (zh) * 2009-05-07 2014-02-19 原相科技股份有限公司 图像校正方法及使用此方法的图像处理系统
US8836835B2 (en) 2010-10-04 2014-09-16 International Business Machines Corporation Pixel sensor cell with hold node for leakage cancellation and methods of manufacture and design structure
US8492214B2 (en) 2011-03-18 2013-07-23 International Business Machines Corporation Damascene metal gate and shield structure, methods of manufacture and design structures
KR101442962B1 (ko) * 2013-03-04 2014-09-23 주식회사 동부하이텍 이미지 센서
US9526468B2 (en) 2014-09-09 2016-12-27 General Electric Company Multiple frame acquisition for exposure control in X-ray medical imagers
US9560294B2 (en) 2014-12-10 2017-01-31 Semiconductor Components Industries, Llc Systems and methods for pixel-level dark current compensation in image sensors
US9628730B2 (en) 2015-01-27 2017-04-18 Semiconductor Components Industries, Llc Dark current gradient estimation using optically black pixels

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5153421A (en) 1991-11-04 1992-10-06 Xerox Corporation Architecture for analog and digital image sensor arrays
US5521639A (en) * 1992-04-30 1996-05-28 Sony Corporation Solid-state imaging apparatus including a reference pixel in the optically-black region
US6445413B1 (en) * 1998-08-24 2002-09-03 Xerox Corporation System for determining a video offset from dark photosensors in an image sensor array
US6744526B2 (en) * 2001-02-09 2004-06-01 Eastman Kodak Company Image sensor having black pixels disposed in a spaced-apart relationship from the active pixels

Also Published As

Publication number Publication date
EP1237353A1 (en) 2002-09-04
US20020140997A1 (en) 2002-10-03
US6744526B2 (en) 2004-06-01
JP2002314758A (ja) 2002-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4053296B2 (ja) 黒色画素を有する画像センサ
US8848047B2 (en) Imaging device and endoscopic apparatus
EP1051032A2 (en) Cmos imager with light shield
US4922117A (en) Photoelectric conversion device having a constant potential wiring at the sides of the common wiring
JP2018084485A (ja) 放射線画像撮影装置
US8445986B2 (en) Image pickup apparatus, radiation image pickup apparatus and radiation image pickup system
EP0397272B1 (en) Radiation-sensitive means or sensor in retina-like configuration
CN100511693C (zh) 辐射检测设备、辐射成像设备和辐射成像系统
US6753915B1 (en) Photoelectric Conversion Apparatus and Image Pickup Apparatus having an Optimally Positioned Driving Wire
CN113826104B (zh) 平铺图像传感器
US7723695B2 (en) Imaging apparatus and radiation imaging system
EP0524714A1 (en) A solid-state camera device
JPH0226080A (ja) 半導体素子
EP0590598A1 (en) Semiconductor photodiode comprising a light shielding layer
JP2002124676A (ja) 半導体装置
JPH05191733A (ja) 固体撮像装置
JPH0685221A (ja) 固体撮像装置
JP2003249637A (ja) 画像検出器
JPH05335539A (ja) 画像読取りデバイスおよび画像読取り装置
JPH0430853Y2 (ja)
JP3090203B2 (ja) 赤外線センサ
JPH06261257A (ja) 固体撮像素子
JPS62130560A (ja) 密着型イメ−ジセンサの構造
JPH0637296A (ja) イメージセンサ
JPS63220214A (ja) 電子内視鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040713

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041006

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041109

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050203

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20050308

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20050408

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20070615

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20070622

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071205

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4053296

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111214

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111214

Year of fee payment: 4

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111214

Year of fee payment: 4

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121214

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131214

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term