JP4051639B2 - 薄膜光電変換素子の製造装置 - Google Patents
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Description
前記排気ブロックは、その貫通孔内にガスの導通を遮断する隔壁を備え、かつ前記真空排気口は、前記隔壁により区分された各貫通孔にまたがって連通して設けたことを特徴とする(請求項1)。
図1は本発明の実施例の概略構成を示し、成膜時の状態を拡大して示す。図1において、図2および図3に示す部材と同一の部材には同一の記号を付して説明を省略する。図1に示す装置においては、図示しないが、図2に示す装置と同様に、送り室11、予備室12、成膜用真空室13、巻き取り室14を備え、2つの可撓性基板1は、送り室11から巻き取り室14へ搬送される。
Claims (2)
- 並行して搬送される2列の可撓性基板の間に,各基板にそれぞれ対応して設けられ,基板面に平行な背面部と基板に気密に接触可能な端面を備える側壁部とを有し,かつ前記背面部は開口を有してなる二つの高電圧電極と、この高電圧電極に対向して前記各基板の外側にそれぞれ設けられ,基板加熱用のヒータを有する二つの接地電極と、前記二つの高電圧電極の背面部間に設けられ,シール材により前記背面部の開口と気密に連通する貫通孔を有し,かつこの貫通孔に連通する真空排気口を有する電気絶縁体からなる排気ブロックとを備え、前記高電圧電極と各基板との間に形成される成膜空間に成膜用のガスを導入して,高電圧電極と接地電極間への高周波電圧の印加によって前記基板と高電圧電極間に放電を発生させ,各基板の一面上に薄膜を形成するように構成した薄膜光電変換素子の製造装置において、
前記排気ブロックは、その貫通孔内にガスの導通を遮断する隔壁を備え、かつ前記真空排気口は、前記隔壁により区分された各貫通孔にまたがって連通して設けたことを特徴とする薄膜光電変換素子の製造装置。 - 請求項1に記載の薄膜光電変換素子の製造装置において、前記排気ブロックは、フッ素樹脂,ガラスまたはセラミックスの内の少なくともいずれか一つの材料からなることを特徴とする薄膜光電変換素子の製造装置。
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