JP4044515B2 - エアロゾルデポジッション成膜装置 - Google Patents
エアロゾルデポジッション成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4044515B2 JP4044515B2 JP2003399973A JP2003399973A JP4044515B2 JP 4044515 B2 JP4044515 B2 JP 4044515B2 JP 2003399973 A JP2003399973 A JP 2003399973A JP 2003399973 A JP2003399973 A JP 2003399973A JP 4044515 B2 JP4044515 B2 JP 4044515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- aerosol
- film
- injection
- introduction path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 title claims description 134
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims description 32
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 99
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 99
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 14
- 239000011236 particulate material Substances 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 180
- 239000010408 film Substances 0.000 description 108
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 37
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 3
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910015802 BaSr Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008651 TiZr Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012387 aerosolization Methods 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052661 anorthite Inorganic materials 0.000 description 1
- NWXHSRDXUJENGJ-UHFFFAOYSA-N calcium;magnesium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Mg+2].[Ca+2].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O NWXHSRDXUJENGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N dialuminum;calcium;disilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052637 diopside Inorganic materials 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910001678 gehlenite Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 glass epoxy resins Chemical class 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 229910052882 wollastonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010456 wollastonite Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Description
平均粒径0.15μmのBaTiO3粉末(堺化学社製)を、エアロゾル発生器の容器内に充填し、圧力19.6Paの高純度酸素ガス(純度99.9%)をキャリアガスとして、キャリアガスの流量を4L/分に設定してエアロゾル化した。
噴射ノズルに40kHz、振幅50μmの振動を印加した以外は実施例1と同様にして成膜を行った。
図7に示すガス合流部の内壁に溝を形成した噴射ノズルを用い、アシストガスとして圧力4Paの窒素ガスを用いて窒素ガスの全流量を5L/分に設定した以外は実施例2と同様にして成膜を行った。
アシストガスにヘリウムガスを用いた以外は実施例3と同様にして成膜を行った。
図1に示したアシストガスを使用しない噴射ノズルを用いた以外は実施例1と同様にして成膜を行った。
BaTiO3粉末の代わりに、平均粒径0.5μmのAl2O3粉末(高純度化学研究所社製)を用いた以外は比較例1と同様にして成膜を行った。
(付記1) 基板を保持する保持台と、
エアロゾル化した微粒子材料を含むエアロゾルガスを生成するエアロゾルガス供給部と、
アシストガス供給部と、
前記エアロゾルガス供給部及びアシストガス供給部が連結され、前記エアロゾルガスを該基板に吹き付ける噴射ノズルと、
を備えたエアロゾルデポジッション成膜装置であって、
前記噴射ノズルは、
前記エアロゾルガスを導入する第1の導入路と、
アシストガスを導入する第2の導入路と、
前記第1の導入路から導入したエアロゾルガスと前記第2の導入路から導入したアシストガスとが合流するガス合流部と、
前記ガス合流部と連通し下流に向かって次第に流路が狭窄されると共に噴射口を有する噴射部とよりなることを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記2) 前記第1の導入路のガス導入方向と、第2の導入路のガス導入方向とが形成する角度は0度より大きく90度未満の範囲であることを特徴とする付記1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記3) 前記第1の導入路の周囲に複数の前記第2の導入路が設けられ、
前記ガス合流部において、エアロゾルガスに対してアシストガスが囲むように流動することを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記4) 前記アシストガスは、アルゴン、ヘリウム、ネオン、窒素、空気、酸素の群のうち少なくともいずれか一種のガスからなることを特徴とする付記1〜3のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記5) 前記アシストガスはガス合流部の内壁に沿って流れることを特徴とする付記1〜4のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記6) 前記アシストガスの圧力はエアロゾルガスの圧力と同じかそれよりも大きいことを特徴とする付記1〜5のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記7) 前記噴射ノズルの内壁であって、前記第1の導入路の内壁側の周辺が、外側に向かって凸の曲面形状を形成してなることを特徴とする付記1〜6のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記8) 前記噴射部は、噴射口方向に頂点を有する略円錐の形状の内壁を有し、
複数の前記第2の導入路が前記円錐の軸を中心とする円周上に等間隔で配置されていることを特徴とする付記1〜7のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記9) 前記ガス合流部及び噴射部の内壁の表面に螺旋状の溝が形成されてなることを特徴とする付記1〜8のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記10) 前記噴射ノズルに対する加振手段が設けられていることを特徴とする付記1〜9のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
11 エアロゾル発生器
12 アシストガス供給部
13 基板
14、50 噴射ノズル
15 成膜室
16、23 ガスボンベ
17 振動機
18、24 バルブ
28 基板保持台
29 XYZステージ
30 排気系
33 エアロゾルガス
34 アシストガス
41 ガス導入部
42 ガス合流部
42a 内壁
43 噴射部
43a 傾斜部分
44 噴射口
45 第1導入路
46a〜46d 第2導入路
51 溝
Claims (5)
- 基板を保持する保持台と、
エアロゾル化した微粒子材料を含むエアロゾルガスを生成するエアロゾルガス供給部と、
アシストガス供給部と、
前記エアロゾルガス供給部及びアシストガス供給部が連結され、前記エアロゾルガスを該基板に吹き付ける噴射ノズルと、
を備えたエアロゾルデポジッション成膜装置であって、
前記噴射ノズルは、
前記エアロゾルガスを導入する第1の導入路と、
アシストガスを導入する第2の導入路と、
前記第1の導入路から導入したエアロゾルガスと前記第2の導入路から導入したアシストガスとが合流するガス合流部と、
前記ガス合流部と連通し下流に向かって次第に流路が狭窄されると共に噴射口を有する噴射部とよりなることを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記第1の導入路のガス導入方向と、第2の導入路のガス導入方向とが形成する角度は0度より大きく90度未満の範囲であることを特徴とする請求項1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
- 前記第1の導入路の周囲に複数の前記第2の導入路が設けられ、
前記ガス合流部において、エアロゾルガスに対してアシストガスが囲むように流動することを特徴とする請求項1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記アシストガスの圧力はエアロゾルガスの圧力と同じかそれよりも大きいことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
- 前記ガス合流部及び噴射部の内壁の表面に螺旋状の溝が形成されてなることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003399973A JP4044515B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | エアロゾルデポジッション成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003399973A JP4044515B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | エアロゾルデポジッション成膜装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005163058A JP2005163058A (ja) | 2005-06-23 |
JP2005163058A6 JP2005163058A6 (ja) | 2006-04-06 |
JP4044515B2 true JP4044515B2 (ja) | 2008-02-06 |
Family
ID=34724366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003399973A Expired - Lifetime JP4044515B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | エアロゾルデポジッション成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4044515B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7938341B2 (en) * | 2004-12-13 | 2011-05-10 | Optomec Design Company | Miniature aerosol jet and aerosol jet array |
JP5778373B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-09-16 | 富士通株式会社 | 成膜方法 |
EP2402480A4 (en) * | 2009-02-24 | 2013-11-20 | Ulvac Inc | DEVICE FOR GENERATING ORGANIC COMPOUND VAPOR AND DEVICE FOR MAKING ORGANIC FINE MEMBRANE |
JP5617291B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-11-05 | 富士通株式会社 | エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 |
EP2692911B1 (en) | 2011-03-31 | 2017-02-22 | Kunimine Industries Co., Ltd. | Use of agent for searching for protein crystallization conditions, and method for searching for protein crystallization conditions |
WO2013158178A2 (en) * | 2012-01-27 | 2013-10-24 | Ndsu Research Foundation | Micro cold spray direct write systems and methods for printed micro electronics |
WO2016068332A1 (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-06 | 日本発條株式会社 | ノズル、成膜装置および被膜の形成方法 |
JP7204276B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2023-01-16 | エルジー・ケム・リミテッド | 吐出装置、成形装置、及び成形体の製造方法 |
-
2003
- 2003-11-28 JP JP2003399973A patent/JP4044515B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005163058A (ja) | 2005-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4044515B2 (ja) | エアロゾルデポジッション成膜装置 | |
JP5099468B2 (ja) | 成膜装置及び電子部品の製造方法 | |
JP2007225950A (ja) | パターン膜の製造方法 | |
JP2005163058A6 (ja) | エアロゾルデポジッション成膜装置 | |
JP5263915B2 (ja) | キャパシタ素子の製造方法 | |
JP6944544B2 (ja) | ノズル装置およびその製造方法 | |
JP4785945B2 (ja) | 未焼結多層セラミック基板及び多層セラミック基板の製造方法 | |
JP2006326523A (ja) | 成膜方法、該成膜方法により形成された圧電膜、および該圧電膜を備えた圧電素子、ならびに該圧電素子を用いたインクジェット装置 | |
JP4077372B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP2008045191A (ja) | 被膜形成装置および被膜形成方法 | |
JP2007162077A (ja) | 成膜装置、成膜方法、セラミック膜、無機構造体、及び、デバイス | |
JP5617291B2 (ja) | エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 | |
JP2007035909A (ja) | 電子デバイスおよび電子デバイスの製造方法 | |
JP5401960B2 (ja) | 成膜方法及びその成膜装置 | |
JP2006102571A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP2007510300A (ja) | 電気回路を製造する方法及び装置 | |
JP2008110293A (ja) | エアロゾル吐出ノズルおよび被膜形成装置 | |
JP4289908B2 (ja) | セラミック系薄膜形成用霧化器及びそれを用いた薄膜製造方法 | |
JP2008029977A (ja) | エアロゾル吐出ノズルおよび被膜形成装置 | |
JP2008285743A (ja) | 被膜形成装置 | |
JP2007105739A (ja) | 溶融金属吐出装置及び溶融金属吐出方法並びにバンプ形成方法 | |
JP4496380B2 (ja) | エアロゾルデポジッション成膜装置 | |
JP2006297270A (ja) | 構造物の製造方法及び製造装置、構造物 | |
JP4088199B2 (ja) | 膜状形成体を含む構造体の形成方法 | |
JP5664075B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4044515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |