JP4043154B2 - レジスト除去方法および装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体基板、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微細加工物品の製造時において、不要となったレジストからなる画像(物品上に残った不要レジストパターン)を剥離除去するための方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体のデバイス製造において、シリコンウエハなどの半導体基板上にレジスト材を塗布し、通常のフォトプロセスにより、所定の画像(レジストパターン)が形成される。これをマスクとして、例えばイオン注入、エッチング、ドーピングなどの各種の処理がなされる。その後不要になった画像が除去され、所定の回路が形成される。次いで、次の回路を形成するため、再度レジスト材を塗布するというサイクルが繰り返し行われる。また、各種基板に回路を形成する場合も、画像形成後、不要になった画像が除去される。この際、不要になったレジスト材からなる画像の除去には、アッシング(灰化)や、溶剤(剥離液)、薬品などによって行われるのが一般的である。
【0003】
しかしながら、画像の除去にアッシングを用いると、その作業に多くの時間を要したり、レジスト中の不純物イオンがウエハに注入されるおそれがあった。また、溶剤や薬品を用いると、作業環境を害するという問題を生じていた。
【0004】
そこで、最近では、上記のような不具合なく不要となったレジスト画像の除去する手段として、例えば特開平8−88208号公報に開示されているように、粘着テープ類をレジスト膜画像の上面に貼付け、この粘着テープ類とレジストを一体に剥離して、レジスト膜画像を除去する方法が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
粘着テープを用いてウエハ表面の不要物を接着して剥離除去する上記手段は、従来のアッシング技術のように不純物によるウエハの汚染をもたらすことなく不要レジストの除去を行うことができる利点を有しているのであるが、次のような問題点があった。
すなわち、レジストパターンは微細な凹凸を有しているので、粘着テープとレジストパターンとの間に空気が残留しやすくなる。その結果、粘着テープの粘着剤とレジストパターンとが接触しない部分が発生して、この部分のレジストパターンが粘着テープに接着されて剥離除去されることなく残留することになってしまう。
【0006】
本発明は、このような事情に着目してなされたものであって、粘着テープを用いてレジスト除去を行う方法および装置において、粘着テープとレジストパターンとの間に介在する空気の影響を回避して、レジスト残留が発生しないようにすることを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をとる。すなわち、請求項1に記載の発明は、レジストパターンが形成された物品上に粘着テープを貼付ける工程と、前記粘着テープと物品の間に残留している空気泡を粘着剤中に拡散吸収させるよう粘着テープが貼付けられた物品を大気圧以上に加圧する工程と、貼付けられた粘着テープを物品から剥離する工程と、を含むことを特徴とする。
【0008】
また、請求項2に記載の発明によるレジスト除去装置は、レジストパターンが形成された物品上に粘着テープを貼付けるテープ貼付け手段と、粘着テープが貼付けられた物品を収容するチャンバーと、前記粘着テープと物品の間に残留している空気泡を粘着剤中に拡散吸収させるようチャンバー内を大気圧以上に加圧する加圧手段と、貼付けられた粘着テープを物品から剥離するテープ剥離手段と、を備えてあることを特徴とする。
【0009】
また、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記テープ貼付け手段を前記チャンバーに内装してある。
【0010】
また、請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記チャンバー内において前記物品を載置保持する貼付けテーブルに加熱手段を備えてある。
【0011】
【作用】
本発明の作用は次のとおりである。
請求項1に記載のレジスト除去方法によれば、先ず、レジストパターンが形成された物品上に粘着テープが貼付けられ、次いで、粘着テープが貼付けられた物品を加圧雰囲気中に置くことで、粘着テープの粘着剤が次第にレジストパターンの凹部にもゆきわたるとともに、粘着テープと物品との間に空気泡が残留していても、加圧工程の間に、空気泡は粘着剤中に拡散吸収されてしまう。その後、粘着テープが物品上から剥離されることで、物品上の不要レジストが粘着テープと一体に剥離除去される。
【0012】
また、請求項2に記載のレジスト除去装置によれば、レジストパターンが形成された物品上に粘着テープが貼付けられ、次いで、粘着テープが貼付けられた物品は、加圧手段によって適度に加圧されたチャンバー内に所定時間置かれる。
上記したように、粘着テープが貼付けられた物品を加圧雰囲気中に置くことで、粘着テープの粘着剤が次第にレジストパターンの凹部にもゆきわたるとともに、粘着テープと物品との間に空気泡が残留していても、加圧工程の間に、空気泡は粘着剤中に拡散吸収されてしまう。
【0013】
請求項3に記載のレジスト除去装置によれば、粘着テープの物品への貼付けと、その後の加圧工程が加圧雰囲気を形成するためのチャンバー内で行われる。
【0014】
請求項4に記載のレジスト除去装置によれば、貼付けテーブルに保持された物品が加温されることで、粘着テープの粘着剤も加熱軟化されてレジストパターンの凹凸にまで十分にゆきわたり、加圧雰囲気中に置かれていることと相まって、粘着剤が不要レジストに確実に密着する。
【0015】
【実施の形態】
以下、本発明を半導体基板に適用した場合のレジスト除去装置の実施形態の一例を図面を参照して説明する。
【0016】
図1は本発明に係るレジスト除去装置の全体平面図、図2はその正面図、図3は要部の縦断正面図である。図1,図2、および図3に示すように、本実施形態のレジスト除去装置は、基本的に、表面にレジストパターンが被着した半導体基板(物品)Wを積層収納しているカセットC1 が装填される基板供給部1、屈伸回動するロボットアーム2が装備された搬送機構3、基板Wを位置合わせするアライメントステージ4、粘着テープTをテープ貼付け/剥離部位へ供給するテープ供給部5、基板Wの表面に粘着テープTを貼付ける際に基板Wを保持する分割チャンバー6付きの貼付けテーブル7、基板Wの表面から粘着テープTを剥離する際に基板Wを保持する剥離テーブル8、分割チャンバー9を備えたテープ貼付け装置10、紫外線照射装置11、剥離テーブル8上の基板Wから粘着テープTを剥離する剥離ユニット12、基板Wの表面から剥離された粘着テープTを巻き取り回収するテープ回収部13、処理済みの基板Wを積層収納するためのカセットC2 が装填される基板回収部14、貼付けテーブル7と剥離テーブル8を一体に左右に往復移動させるテーブル移動機構15、剥離ユニット12を左右に往復移動させる剥離ユニット移動機構16、等が基台17の上部に配備され、基台17の手前からカセットの搬入搬出を行うよう構成されている。
【0017】
ここで、基台17上の前後中央部位には基壁18が立設され、基板供給部1、搬送機構3、アライメントステージ4、基板回収部14は、基壁18の手前側に配備されるとともに、貼付けテーブル7、剥離テーブル8、テーブル移動機構15、テープ供給部5、テープ貼付け装置10、紫外線照射装置11、剥離ユニット12、剥離ユニット移動機構16、等は基壁18の奥側に配備されており、基壁18に形成された左右に長い開口18aを通して基板Wが基壁18を通って前後に搬送されるようになっている。なお、図2において、図解し易くするために、基壁18は透かして表示されている。
【0018】
前記基板供給部1は、基板Wをレジストパターンが存在する表面を上向きにした水平姿勢でカセットC1 に積層収納するようになっており、また、基板回収部2は、レジスト除去処理が済んだ基板Wを同様に水平姿勢でカセットC2 に積層収納するようになっている。
【0019】
前記搬送機構3のロボットアーム2は屈伸および旋回可能に構成されており、基板供給部1からの基板Wの取り出し、アライメントステージ4への基板Wの搬送、アライメントステージ4から貼付けテーブル7への基板Wの搬送、剥離テーブル8から処理済み基板Wの搬出、および、処理済み基板Wの基板回収部14への搬入、等を行う。
【0020】
前記貼付けテーブル7と剥離テーブル8は左右に並列して装備されるとともに、共通のテーブル移動機構15によって一体に一定ストロークで左右移動可能に支持されている。テーブル移動機構15は、案内レール21に沿って左右移動可能な左右一組の可動台22,23と、この可動台22,23を一定ストロークで往復ネジ送りする送りネジ24、および、これを正逆駆動するモータ25によって構成されており、各可動台22,23に貼付けテーブル7および剥離テーブル8が夫々シリンダ26,27によって独立して昇降可能に支持されている。
【0021】
前記テープ供給部5は、原反ロールRから導出したセパレータ付きテープからセパレータsを剥離して巻き取り回収するとともに、下面に粘着面を露出した粘着テープTを貼付けテーブル7と剥離テーブル8の上方を通って剥離ユニット12にまで導くよう構成されている。
【0022】
図3に示すように、貼付けテーブル7は、上方に開放された半割り状の分割チャンバー6の内部に装備されており、その中央部位にはシリンダ31によって出退昇降する真空吸着パッド32が備えられるとともに、テーブル7内にはヒータ33が装備されている。また、分割チャンバー6には、圧縮空気を供給する加圧ポンプ34が制御弁35を介して連通接続されされている。また、剥離テーブル8の中央部位にも図示しないシリンダで出退昇降する真空吸着パッド36(図13参照)が備えられている。
【0023】
図3に示すように、テープ貼付け装置10は、分割チャンバー9の内部に装備した貼付けパッド37をシリンダ38によって昇降するよう構成されており、パッド内にはヒータ39が装備されている。
【0024】
紫外線照射装置11には、遮蔽用フード41、紫外線ランプ42、スライドシャッター43、等が装備されている。
【0025】
テープ剥離ユニット12は、剥離ローラ51を装備した可動台52を、モータ53によって正逆駆動される送りネジ54によって左右水平に一定ストロークで往復移動するよう構成されている。
【0026】
本発明に係るレジスト除去装置の各部は以上のように構成されており、以下に、基板W上の不要レジストの除去処理行程を、図4〜図6を参照しながら説明する。
【0027】
(1)先ず、ロボットアーム2が基板供給部1のカセットC1 から基板Wを1枚吸着保持して取り出してアライメントステージ4上に移載し、ここで基板Wのオリエンテーションフラットおよび/またはノッチ等の検出に基づいて、基板Wの位置合わせが行われる。
【0028】
(2)位置合わせが行われた基板Wは再びロボットアーム2に支持されて、下降待機位置にある貼付けテーブル7上に供給される。図4に示すように、貼付けテーブル7の中心には真空吸着パッド32が突出待機しており、この真空吸着パッド32上にロボットアーム2から基板Wが受け渡された後、真空吸着パッド32が下降退入して基板Wは貼付けテーブル5上に一定姿勢で保持される。
【0029】
(3)次に、図5に示すように、基板Wを吸着保持した貼付けテーブル7が分割チャンバー6と共に上昇するとともに、テープ貼付け装置10が分割チャンバー9と共に下降し、上下の両分割チャンバー6,9が密着されて外部から隔絶されたチャンバー60が形成される。なお、上側の分割チャンバー9の開口縁にはパッキン材9a(図3参照)が備えられており、接合部位での気密が図られる。
【0030】
(4)次に、図6に示すように、テープ貼付け装置10のシリンダ38が進出作動して、貼付けパッド37が粘着テープTを基板Wの上面に押圧して貼付ける。この際、貼付けテーブル7に内蔵したヒータ33によって基板Wを加温するとともに、貼付けパッド37に内蔵したヒータ39によって粘着テープTを加温することで、粘着テープTの粘着剤が軟化して基板表面のレジストパターンの凹凸内部に流れ込み、粘着剤とレジストパターンの接触面積が増加する。
【0031】
(5)以上のような粘着テープTの貼付けが完了すると、加圧ポンプ34から圧縮空気をチャンバー60に供給して、チャンバー内を2〜3kg/cm2 の加圧雰囲気で15〜20分程度維持する。
【0032】
(6)所定時間の加圧処理が完了すると、図7に示すように、テープ貼付け装置10が上昇退避するとともに、基板Wを保持した貼付けテーブル7、および剥離テーブル8が一体に左方に移動することにより、貼付けテーブル7が紫外線照射装置11の直下に位置する。
【0033】
(7)次に、図8に示すように、紫外線照射装置11が下降して、遮蔽用フード41が貼付けテーブル7の上にセットされて、紫外線照射が行われる。この紫外線照射によって粘着テープTの粘着剤が硬化し、基板W上の不要レジストと粘着剤との粘着力強化が図られる。
【0034】
(8)紫外線照射行程が終了すると、図9に示すように、紫外線照射装置10が上昇退避するとともに、粘着テープTの下面に基板Wを貼付け保持させた状態で、貼付けテーブル7が下降する。この際、水平揺動される保持アーム61が基板Wの下方に挿入されて、粘着テープTの下面に貼付け保持された基板Wを受け止め支持する。
【0035】
(9)次に、図10に示すように、貼付けテーブル7と剥離テーブル8が一体に右方に移動することにより、粘着テープTに貼付け保持された基板Wの下方に剥離テーブル8が位置する。
【0036】
(10)その後、図11に示すように、剥離テーブル8が上昇して、その上面に基板Wが吸着保持されるとともに、保持アーム61は待機位置に復帰する。
【0037】
(12)次に、図12に示すように、剥離テーブル8上に基板Wを吸着保持した状態でテープ剥離ユニット12が前進移動し、剥離ローラ51が粘着テープTを基板Wから剥離しながら転動移動してゆく。
【0038】
(13)基板Wからの粘着テープTの剥離が終了すると、図13に示すように、基板Wを吸着保持した剥離テーブル8が下降した後、レジスト除去処理の済んだ基板Wは真空吸着パッド36の上昇によって剥離テーブル8上に浮上され、搬送機構3のロボットアーム2によって搬出されて、基板回収部14のカセットC2 に収容される。
【0039】
以上で1回のレジスト除去処理が終了し、貼付けテーブル7、剥離テーブル8、およびテープ剥離ユニット12が元の位置に後退復帰移動して、次の基板搬入に備えることになる。
【0040】
因みに、貼付けパッド37を100kg/cm2 で押圧して粘着テープTを基板Wに貼付けた後、チャンバー60内を3kg/cm2 の加圧雰囲気に維持して20分間加圧し、その後、紫外線照射、およびテープ剥離処理を行った結果、基板Wの表面および周縁部の不要レジストを完全に除去できることが確認できた。
【0041】
なお、本発明は、以下のような形態で実施することも可能である。
▲1▼ テープ貼付け手段としては、上記のように、チャンバー60内で貼付けパッド37を昇降させる構造の他に、チャンバー60内に配備した貼付けローラを基板表面に沿って転動走行させて、粘着テープTを基板Wに貼付けるよう構成することも可能である。
【0042】
▲2▼ 上記実施形態では、チャンバー60内でテープ貼付けを行うようにしたが、チャンバー60外に配備したテープ貼付けユニットを用いて粘着テープTの貼付け処理を行った後、基板Wをチャンバー60内に収容して加圧処理を行うことも可能である。
【0043】
▲3▼ 剥離テーブル8に冷却機構を内蔵して、基板Wおよび粘着テープTを冷却するように構成しておくと、粘着テープTの粘着剤の硬化が一層促進されて、レジスト剥離が容易となる。
【0044】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明によると次のような効果を期待することができる。
【0045】
請求項1に係る発明のレジスト除去方法によると、粘着テープと物品との間に空気泡が残って不要レジストと粘着剤との密着が損なわれることが回避でき、不要レジストの剥離除去が確実に行うことができるようになった。
【0046】
請求項2に係る発明のレジスト除去装置によると、加圧手段を備えたチャンバーによって簡単に加圧雰囲気を形成して、粘着テープを貼付けた物品を加圧処理することができ、請求項1に係る発明のレジスト除去方法を効果的に実施することができる。
【0047】
請求項3に係る発明のレジスト除去装置によると、チャンバー内にテープ貼付け手段を装備しているので、チャンバー内で粘着テープ貼付け処理と加圧処理を一連に行うことができ、チャンバー外で粘着テープ貼付け処理を行った後、物品をチャンバー内に移して加圧処理を行う場合に比較して、装置全体が小型化できるとともに、物品の移動時間を節減して、処理能率を高めることもできる。
【0048】
請求項4に係る発明のレジスト除去装置によると、加熱によって軟化した粘着材をレジストパターンの凹凸に十分ゆきわたらせて不要レジストに密着させることができ、不要レジストの除去を一層確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレジスト除去装置の一実施例の全体平面図である。
【図2】レジスト除去装置の全体正面図である。
【図3】要部の縦断正面図である。
【図4】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図5】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図6】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図7】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図8】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図9】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図10】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図11】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図12】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【図13】不要レジストを剥離除去するための工程図である。
【符号の説明】
7 貼付けテーブル
60 チャンバー
T 粘着テープ
W 基板
Claims (4)
- レジストパターンが形成された物品上に粘着テープを貼付ける工程と、
前記粘着テープと物品の間に残留している空気泡を粘着剤中に拡散吸収させるよう粘着テープが貼付けられた物品を大気圧以上に加圧する工程と、
貼付けられた粘着テープを物品から剥離する工程と、
を含むことを特徴とするレジスト除去方法。 - レジストパターンが形成された物品上に粘着テープを貼付けるテープ貼付け手段と、
粘着テープが貼付けられた物品を収容するチャンバーと、
前記粘着テープと物品の間に残留している空気泡を粘着剤中に拡散吸収させるようチャンバー内を大気圧以上に加圧する加圧手段と、
貼付けられた粘着テープを物品から剥離するテープ剥離手段と、
を備えてあることを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項2記載のレジスト除去装置において、前記テープ貼付け手段を前記チャンバーに内装してあるレジスト除去装置。
- 請求項3記載のレジスト除去装置において、前記チャンバー内において前記物品を載置保持する貼付けテーブルに加熱手段を備えてあるレジスト除去装置。
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