JP4040852B2 - 窒化物半導体レーザ装置とその光学装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドを形成した窒化物半導体レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子チップがジャンクションダウンでステムに設置した窒化物半導体レーザ装置の電極引出しは、窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドを施すことにより行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
窒化物半導体レーザ素子チップがジャンクションダウンでステムに設置された窒化物半導体レーザ装置は、窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドを行うと、ワイヤーボンドが形成される位置に依存して素子不良が発生する問題があった。この不良発生は以下の理由と思われる。
【0004】
窒化物半導体レーザ素子は、格子定数の異なる複数の窒化物半導体層を含む積層構造から構成される。そのため、GaN基板(窒化物半導体基板の一例)上に熱膨張係数がほぼ同じである窒化物半導体レーザ素子が成長されたとしても、複数のクラックが発生する。発明者らの詳細な実験の結果、このクラックには2種類あり、一つは窒化物半導体レーザ素子の表面までクラックが到達しているもの、もう一つはクラックが表面まで到達せずに窒化物半導体レーザ素子の内部で止まっているものがあった。前者は窒化物半導体レーザ素子がチップに加工される前に容易に素子不良として省くことが可能であるが、後者の素子の良否判定は難しい。電流狭窄構造と窒化物半導体基板の間で、素子内部に潜伏しているクラックは、発光パターン等を観察することによって調べることは可能であるが、それ以外の素子内部に潜伏しているクラックは見分けにくい。このようなクラックは、横方向に電流が広がることを妨げ、素子電圧を増大させてしまう。
【0005】
窒化物半導体基板がn型の極性を有する場合、p型のそれと比較して電流の広がりが大きいため、窒化物半導体基板の裏面のどの位置にワイヤーボンドが形成されても素子電圧は本来同じである。しかしながら、このようなクラックが素子内部に潜伏していると、窒化物半導体レーザ素子の電流狭窄構造と実質的に対向する窒化物半導体基板の裏面の位置から、ワイヤーボンドの位置が遠くなるほど、クラックによる上記弊害を受けやすく、素子電圧が高くなる(素子不良率が増加する)傾向にあったと思われる。また、窒化物半導体レーザ素子チップがジャンクションダウンでステムに設置される場合、ステムと窒化物半導体レーザ素子チップとの熱膨張係数差が窒化物半導体レーザ素子チップに応力歪を与え、その歪が素子内部に潜伏していたクラックを拡大してしまった可能性もある、と考えられる。
【0006】
本発明は、上記のような理由と思われる窒化物半導体レーザ装置の素子不良率を改善することを主目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る窒化物半導体レーザ装置は、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる窒化物半導体基板に溝と丘が形成された加工基板上に、又は、窒化物半導体基板上に形成された窒化物半導体層に溝と丘が形成された加工基板上に形成された電流狭窄構造を有する窒化物半導体レーザ素子に係る。上記溝と丘が窒化物半導体の膜で完全に被覆されずに残っている。上記窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが、30μm以上150μm以下である。ワイヤーボンドが、上記電流狭窄構造と対向する上記窒化物半導体基板の裏面に、上記電流狭窄構造の短手方向の中央から両側150μm以内に形成されている上記窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが、30μm以上150μm以下である。ワイヤーボンドが、上記電流狭窄構造と対向する上記窒化物半導体基板の裏面に、上記電流狭窄構造の短手方向の中央から両側150μm以内に形成されている。
このことによって、窒化物半導体レーザ装置の素子不良率が低減し得る。
【0008】
ここで、窒化物半導体基板とは、少なくともAlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)を含む基板である。また、前記窒化物半導体基板はn型もしくはp型の極性を有する。また、ワイヤーボンドとは、金属製のワイヤーと金属製のボールを含む(図1)。前記の金属製は、具体的にAu、Sn、Al、Pb、Agなどである。また、電流狭窄構造部分とは、p型層もしくはn型層に形成した電流狭窄構造によって発光層に実質的に電流が注入される部分である。また、電流狭窄構造の短手方向の中央とは、前記電流狭窄構造の幅方向の中心である。具体的に図5を用いて電流狭窄構造を説明する。例えば、一定幅を有する細長いリッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子チップの場合、前記電流狭窄構造は、図5(a)で示されたリッジストライプ部26に該当する。かくして、リッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子チップの、前記電流狭窄構造の中央c1とは、図5(a)で示された一定幅を有する細長いリッジストライプ幅28の中央線に該当する。図5(a)において、21はn電極、22は窒化物半導体基板、23はn型層、24は発光層、25はp型層、27はp電極である。
【0009】
同様に、例えば、電流狭窄層を有する窒化物半導体レーザ素子チップの場合、前記電流狭窄構造は図5(b)で示された2つの電流阻止層36、36に挟まれた部分に該当する。かくして、電流狭窄層を有する窒化物半導体レーザ素子チップの前記短手方向の中央c2とは、図5(b)で示された一定幅を有する細長い電流阻止層間幅39の中央線に該当する。図5(b)において、31はn電極、32は基板、33はn型層、34は発光層、35はp型層、38はp電極、39は電流阻止間幅、40は2つの電流阻止層36、36に挟まれた部分を示す。
【0010】
本発明は、窒化物半導体基板が、窒化物半導体基板に溝と丘が形成された加工基板、又は窒化物半導体基板上に形成された窒化物半導体基層に溝と丘が形成された加工基板であることを特徴とする。この加工基板を用いた窒化物半導体レーザ素子チップは、溝と丘が形成されていない窒化物半導体基板を用いたそれと比較して、本発明に係わるワイヤーボンドの形成位置による、素子不良率の低減効果が大きいため好ましい。
【0011】
ここで加工基板15は、窒化物半導体基板11に、もしくは窒化物半導体基板上に積層された窒化物半導体層に、溝12と丘13を形成して作製される(図3)。前記溝の幅cおよび前記丘の幅dは、一定の周期を有していても良いし、種々異なる幅を有していても構わない。また、前記溝の深さeに関しても、常に一定の深さを有していも良いし、種々異なる溝深さを有していても構わない。ここで、溝とは、例えば図3で示されるような、基板表面をストライプ状に加工した凹凸のうち凹部を指し、丘とは同じくストライプ状に加工された凸部を指すものとする。また、溝と丘の形状は必ずしも図3で示されるような矩形形状である必要は無く、凹凸の段差を有していれば良い。このようにして作製された加工基板の溝12と丘13の方向は窒化物半導体レーザ装置の電流狭窄構造の方向と一致させるのが望ましい。
【0012】
本発明は、ワイヤーボンドが電流狭窄構造の短手方向の中央から両側150μm以内の範囲を含むように形成されることが好ましい。
【0013】
本発明は、ワイヤーボンドが電流狭窄構造の短手方向の中央から加工基板の溝と丘の5周期分に相当する距離以内の範囲を含むように形成されることが好ましい。
【0014】
本発明は、加工基板の、溝と丘の1周期が8μm以上40μm以下であることが好適である。
【0015】
本発明は、窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが30μm以上150μm以下であることが好適である。ここで、窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みとは、窒化物半導体基板の裏面に形成された一方の電極から電流狭窄構造の上方に形成された他方の電極までの厚みである(図1のCを参照)。また、前記窒化物半導体基板は前記加工基板に置き換えて、加工基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが30μm以上150μm以下であっても構わない。
【0016】
本発明に係る窒化物半導体レーザ装置は、光学装置に好ましく用いられる。
【0017】
【発明の実施の形態】
<実施の形態1>
窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子チップをジャンクションダウンでステムに設置する場合、窒化物半導体レーザ素子チップの一方の電極を引出すために窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドを施す必要がある。その際、ワイヤーボンドが形成される位置によって素子不良率に違いがあることを見出した。この素子不良率は、窒化物半導体レーザ素子チップの電流狭窄構造と実質的に対向する、窒化物半導体基板の裏面の位置を含むようにワイヤーボンドが形成されることによって、解決することが可能であった。また、この素子不良率は、ワイヤーボンドの位置が電流狭窄構造の短手方向の中央に近いほど効果的であった。
【0018】
窒化物半導体基板上に成長した電流狭窄構造を有する窒化物半導体レーザ素子チップに、電流狭窄構造の短手方向の中央から両側150μm以内の範囲を含むように、窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドが形成されると、素子不良率が低減した。さらに好ましくは、電流狭窄構造の短手方向の中央から両側75μm以内の範囲を含むように、窒化物半導体基板の裏面にワイヤーボンドが形成されると良い。
【0019】
例えば、ワイヤーボンドを構成している金属製のボールの直径の一端が前記範囲内に含まれる場合(即ち、図1中に示すように電流狭窄構造の短手方向の中央CLから紙面右側に金属製のボール端Eまでの距離Aが150μm以内の場合)と、そうでない場合(即ち、図1の距離Aが150μm以上の場合)と比較して素子不良率は約3%〜18%に減少した。さらにワイヤーボンドを構成している金属製のワイヤーの直径の一端Wが前記範囲内に含まれる場合(図1中に示すように電流狭窄構造の短手方向の中央CLから紙面右側のワイヤーの一端Wまでの距離Bが150μm以内の場合)は、素子不良率は約5%〜18%に減少した。このときのワイヤーボンドの底面の大きさは70μm〜100μmである。
(本発明に係る加工基板について)
本発明は、加工基板を用いた電流狭窄構造を有する窒化物半導体レーザ素子においても、上述と同様の効果を得ることができる。この加工基板を用いた窒化物半導体レーザ素子チップは、上記の窒化物半導体基板を用いたそれと比較して、ワイヤーボンドの形成位置による素子不良率の低減効果が大きかった。これは、おそらく、以下の理由からであると思われる。
【0020】
窒化物半導体基板11の一方の表面に公知のリソグラフィー技術と反応性イオンエッチング法(RIE法)を用いて、例えば図3のように、溝12を加工形成して溝12と丘13が形成され、加工基板15を得る。そして、この加工基板15の上に図4のように窒化物半導体膜14を完全且つ平坦に被覆する。ここで窒化物半導体基板11は、窒化物半導体基板上に窒化物半導体層を積層したものであってもよい。この加工基板15の上に、加工基板の溝と丘の方向と窒化物半導体レーザ素子の電流狭窄構造の方向が一致するように窒化物半導体レーザ素子が形成される。この窒化物半導体膜14を溝12と丘13に被覆する工程において、溝幅の中央上方(図4の溝中央a)と丘幅の中央上方(図4の丘中央b)に、窒化物半導体膜が堆積されずに残ったボイド(空洞)が形成されやすい。また、加工基板の溝と丘が窒化物半導体膜で被覆される成長機構の関係から、溝中央aと丘中央bには不連続な境界壁が形成されやすい。前者のボイドは、ステムと窒化物半導体レーザ素子チップとの間の熱膨張係数差によって生じる応力歪が新たなクラックを発生させる原因となりやすく、後者の不連続な境界壁は、電流注入の弊害となる。さらに、これらは上述の窒化物半導体基板に潜伏するクラックと比較して周期的かつ必然的に現れるため、本発明による素子不良率の低減効果は、加工基板に適用した方が大きかったものと思われる。
【0021】
加工基板上に成長した電流狭窄構造を有する窒化物半導体レーザ素子において、電流狭窄構造の短手方向の中央から加工基板の溝と丘の5周期分に相当する距離以内の範囲を含むように、加工基板の裏面にワイヤーボンドが形成されることによって、素子不良率が低減した。さらに好ましくは、ワイヤーボンドが2周期分に相当する距離以内の範囲を含むように形成されると良い。
【0022】
例えば、ワイヤーボンドを構成している金属製のボールの直径の一端が前記範囲内に含まれる場合(図1中の距離Aが5周期以内の場合)と、そうでない場合と比較して素子不良率は約5%〜24%に減少した。さらにワイヤーボンドを構成している金属製のワイヤーの直径の一端が前記範囲内に含まれる場合(図1中の距離Bが5周期以内の場合)は、約11%〜24%に減少した。
【0023】
さらに、加工基板の溝と丘の1周期が8μm以上40μm以下であることが好適である。溝と丘の1周期が40μm以下であれば、上記ボイドの発生率若しくはその大きさを小さくすることが可能である。また、溝と丘の1周期を8μm以上にすることによって、加工基板上に作製した窒化物半導体レーザ素子中に、格子不整合によるクラックが発生することを抑制することが可能である。
【0024】
上記では、窒化物半導体基板の表面に形成した溝と丘が窒化物半導体膜で完全に被覆される加工基板の場合について説明されたが、溝と丘が完全に窒化物半導体膜で被覆されなくとも本発明による効果を得ることは可能である。むしろ、溝と丘が窒化物半導体膜で完全に被覆されていない方が、完全に被覆された場合と比較して、本発明による効果は大きい(被覆されずに残った溝と丘は、横方向の電流を絶縁してしまう)。
(窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みについて)
本発明は、例えば、図1のCで示される、窒化物半導体基板の裏面に形成した一方の電極から電流狭窄構造の上方に形成した他方の電極までの窒化物半導体レーザ素子の厚みが30μm以上150μm以下であることが好適である。さらに好ましくは50μm以上120μm以下である。本発明に係るワイヤーボンドの上記効果は、前記厚みが薄くなるにつれて大きくなる傾向にあり、150μm以下が好ましかった。他方、前記厚みが30μmよりも薄くなると、レーザ素子のチップ化工程で破損する確率が高く、歩留まり率が低下しやすいという問題があった。
【0025】
窒化物半導体基板のへき開面を利用してレーザ素子の共振器ミラー端面を形成するためには、窒化物半導体基板の裏面を研削して薄くする必要がある。本発明者らの実験によると、窒化物半導体基板を薄く研削すると(約120μm以下)、基板が次第に反りあがっていくことが確認された。このような反りは、素子中にクラックを潜伏させる要因となり得る。このことから、へき開による共振器ミラーを有する窒化物半導体レーザ素子チップの素子不良率を低減するために、本発明が好ましく用いられる。
【0026】
また、前記窒化物半導体基板は前記加工基板に置き換えて、加工基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが30μm以上150μm以下であっても構わない。
<実施の形態2>
本実施の形態2では、本発明に係わる窒化物半導体レーザ装置を図1、図2を用いて説明する。その他の本発明に係わる事柄は、実施の形態1と同様である。
【0027】
図1の窒化物半導体レーザ素子チップは、(0001)面n型GaN基板100、n型In0.07Ga0.93N層101、n型Al0.1Ga0.9Nクラッド層102、n型GaN光ガイド層103、発光層104、 p型Al0.3Ga0.7Nキャリアブロック層105、p型GaN光ガイド層106、p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層107、p型GaNコンタクト層108、n電極109、p電極110およびSiO2誘電体膜111によって構成される。そして、前記窒化物半導体レーザ素子チップは、Cu製ステム112にジャンクションダウンでマウントされ、Au製ボール(直径70μm)113とAu製ワイヤー114(直径23μm)からなるワイヤーボンドがn電極109の上に施され、ワイヤー114の他端は図2に示すようにピン122に接続される。p電極はステム112を介してピン121に導出される。図2においてモニター用フォトダイオード123が窒化物半導体レーザ素子チップ200に対向してマウント台124に搭載され、このフォトダイオード123の端子がピン125に接続される。レーザ光はキャップ126のガラス窓127から出射する。
【0028】
本発明の窒化物半導体レーザ素子チップは以下のようにして作製される。
【0029】
有機金属気相成長(MOCVD)装置を用いてGaN基板100に、V族原料のNH3とIII族原料のTMGaまたはTEGa(トリエチルガリウム)に、TMIn(トリメチルインジウム)のIII族原料とSiH4が加えられ、800℃の成長温度でn型In0.07Ga0.93N層101を40nm成長した。次に、基板温度が1050℃に上げられ、TMAlまたはTEAl(トリエチルアルミニウム)のIII族原料を用いて、1.2μm厚のn型Al0.1Ga0.9Nクラッド層102(Si不純物濃度1×1018/cm3)を成長し、続いてn型GaN光ガイド層103(Si不純物濃度1×1018/cm3)を0.1μm成長した。
【0030】
その後、基板温度が800℃に下げ、3周期の、厚さ4nmのIn0.15Ga0.85N井戸層と厚さ8nmのIn0.01Ga0.99N障壁層から構成された発光層(多重量子井戸構造)104を、障壁層/井戸層/障壁層/井戸層/障壁層/井戸層/障壁層の順序で成長した。その際、障壁層と井戸層の両方にSiH4(Si不純物濃度は1×1018/cm3)を添加した。発光層にAsを添加する場合はAsH3(アルシン)またはTBAs(ターシャリブチルアルシン)を、発光層にPを添加する場合はPH3(ホスフィン)またはTBP(ターシャリブチルホスフィン)を、発光層にSbを添加する場合はTMSb(トリメチルアンチモン)またはTESb(トリエチルアンチモン)をそれぞれ添加すると良い。発光層104にAs、PもしくはSbが含まれると、発光層の電子とホールの有効質量が小さくなって、レーザ発振閾値電流密度が低減し得るために好ましい。また、発光層が形成される際、N原料として、NH3以外にジメチルヒドラジンを用いても構わない。
【0031】
次に、基板温度を再び1050℃まで昇温して、厚み20nmのp型Al0.2Ga0.8Nキャリアブロック層105、厚み0.1μmのp型GaN光ガイド層106、厚み0.5μmのp型Al0.1Ga0.9Nクラッド層107と厚み0.1μmのp型GaNコンタクト層108を順次成長した。前記のp型不純物としてMg(EtCP2Mg:ビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム)を添加した。
【0032】
続いて、上記で成長されたエピウエハーをMOCVD装置から取り出して、電極を形成する。p電極を形成する部分はストライプ状にエッチングされ、リッジストライプ部(図1)が形成された。リッジストライプ部の幅は1.7μmであった。その後、SiO2誘電体膜111を200nm蒸着し、p型GaNコンタクト層108が露出されて、p電極110(厚み250nm)をPd/Mo/Auの順序で蒸着して形成した。
【0033】
次に、n型GaN基板100の裏面を、その厚みが100μmになるまで研削し、n電極109を形成した。n電極109(厚み300nm)は、基板の裏面側からにHf/Al/Auの順序で形成された。前記n電極材料はこの他に、Ti/Al/Au、Ti/Al/Ti/Au、Ti/Al/Mo/AuまたはHf/Au等を用いても構わない。n電極にHfが用いられるとn電極のコンタクト抵抗が下げられるため好ましい。
【0034】
最後に、前記エピウエハーは、リッジストライプ方向に対して垂直方向にへき開され、共振器ミラー端面が形成された。
【0035】
上記では、MOCVD装置による結晶成長方法を説明したが、分子線エピタキシー法(MBE)、ハイドライド気相成長法(HVPE)を用いても構わない。(パッケージ実装)
次に、上記半導体レーザ素子チップをパッケージに実装する方法について述べる。上記窒化物半導体レーザ素子チップは、Inはんだ材を用いて、ジャンクションダウンでパッケージ本体のステム112にマウントする。
【0036】
そして、Au製ボール(直径70μm)113とAu製ワイヤー114(直径23μm)からなるワイヤーボンドがn電極109の上に、図1の距離Aが30μm、距離Bが53μmになるように形成した。また、図1の距離Cは103μmであった。ワイヤー114の他方はピン122に接蔵される。
【0037】
本実施の形態2で説明した窒化物半導体レーザ装置は、本発明によるワイヤーボンドを用いることによって、素子不良率が約17%程度低減され、素子電圧も低くなって歩留まり率が向上した。
【0038】
本実施の形態2では、リッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子について説明されたが、電流阻止層を有する窒化物半導体レーザ素子に適用しても同様の効果を得ることが可能である。
【0039】
このようにして作製された窒化物半導体レーザ素子チップは、レーザプリンター、バーコードリーダー、光の三原色(青色、緑色、赤色)レーザによるプロジェクター等に好ましく用いられる。
<実施の形態3>
本実施の形態3は、窒化物半導体レーザ素子の基板として、加工基板を用いたこと以外は、実施の形態1および実施の形態2と同様である。
【0040】
まず、加工基板の作製方法を図3を用いて説明する。図4は加工基板15の上に窒化物半導体膜が被覆された場合の模式図を示す。図3に示す加工基板は、以下のようにして作製される。
【0041】
図3に示すように、面方位が(0001)面であるn型GaN基板(窒化物半導体基板の一例)11の表面に、公知のリソグラフィー技術を用いてGaN基板に対して<1−100>方向に沿ってストライプ状のSiO2製マスクパターンを形成する。次に、前記マスクパターンに沿ってドライエッチング法を用いて溝12を形成した。このようにして形成された加工基板15の溝12と丘13は、溝幅18μm、溝深さ2.5μm、丘幅8μmで形成された。
【0042】
上記加工後、十分に有機洗浄され、MOCVD装置に搬送されて図4に示すようにn型Al0.05Ga0.95N膜(本発明の窒化物半導体膜の一例)14を膜厚6μmで被覆積層した。そして、このn型Al0.05Ga0.95N膜14の上に実施の形態1、2と同様の窒化物半導体レーザ素子チップを形成した。このとき加工基板の溝と丘の方向は窒化物半導体レーザ素子の電流狭窄構造の方向と一致させた。
【0043】
最後に、このようにして作製された窒化物半導体レーザ素子チップはステムにジャンクションダウンでマウントされ、Au製ボール(直径100μm)とAu製ワイヤー(直径23μm)からなるワイヤーボンドがn電極の上に形成された。本実施の形態では、図1の距離Aに相当する値が30μm(図1のリッジストライプ部の中央から紙面に向かって左に30μm)、距離Bが20μm、距離Cは80μmであった。
【0044】
本実施の形態3で説明した窒化物半導体レーザ装置は、本発明によるワイヤーボンドを用いることによって、素子不良率が約22%程度低減され、素子電圧も低くなって歩留まり率が向上した。
【0045】
本実施の形態では、ドライエッチング法による溝形成方法を説明したが、その他の溝形成方法を用いても構わない。例えば、ウエットエッチング法、スクライビング法、ワイヤーソー加工、放電加工、スパッタリング加工、レーザ加工、サンドブラスト加工、フォーカスイオンビーム加工等が挙げられる。
【0046】
本実施の形態では、GaN基板(窒化物半導体基板の一例)に対して<1-100>方向に沿って溝を形成したが、GaN基板に対して<11−20>方向に沿って溝を形成しても構わない。
【0047】
本実施の形態では、(0001)面を有するGaN基板を用いたが、その他の面方位およびその他の窒化物半導体基板を用いても構わない。窒化物半導体基板の面方位に関しては、C面{0001}、A面{11−20}、R面{1−102}、M面{1−100}、{1−101}面等が好ましく用いられる。また、上記面方位から2度以内のオフ角度を有する基板であれば表面モフォロジーが良好であって好ましい。
【0048】
【発明の効果】
本発明によれば、窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子チップがジャンクションダウンで設置された窒化物半導体レーザ装置の素子不良率を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の窒化物半導体レーザ装置の一例を表した図である。
【図2】本発明の窒化物半導体レーザ装置の概観図である。
【図3】加工基板の一例を示した模式図である。
【図4】加工基板上に窒化物半導体膜を被覆した模式図である。
【図5】窒化物半導体レーザ素子チップの模式図を示し、(a)はリッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子チップの一例、(b)は電流阻止層を有する窒化物半導体レーザ素子チップの一例である。
【符号の説明】
100…n型GaN基板
101…n型In0.07Ga0.93N層
102…n型Al0.1Ga0.9Nクラッド層
103…n型GaN光ガイド層
104…発光層
105…p型Al0.3Ga0.7Nキャリアブロック層
106…p型GaN光ガイド層
107…p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層
108…p型GaNコンタクト層
109…n電極
110…p電極
111…SiO2誘電体膜
112…ステム
113…ボール
114…ワイヤー
Claims (4)
- AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる窒化物半導体基板に溝と丘が形成された加工基板上に、又は、窒化物半導体基板上に形成された窒化物半導体層に溝と丘が形成された加工基板上に形成された電流狭窄構造を有する窒化物半導体レーザ素子であって、
前記溝と丘が窒化物半導体の膜で完全に被覆されずに残っており、
前記窒化物半導体基板を含む窒化物半導体レーザ素子の厚みが、30μm以上150μm以下であり、
ワイヤーボンドが、前記電流狭窄構造と対向する前記窒化物半導体基板の裏面に、前記電流狭窄構造の短手方向の中央から両側150μm以内に形成されていることを特徴とする窒化物半導体レーザ装置。 - 前記ワイヤーボンドが、前記電流狭窄構造の短手方向の中央から、前記溝と前記丘の5周期分に相当する距離以内に形成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体レーザ装置。
- 前記溝と丘の1周期が、8μm以上40μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の窒化物半導体レーザ装置。
- 請求項1から3の何れかに記載の窒化物半導体レーザ装置を用いた光学装置。
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