JP4031631B2 - 遮熱コーティング材及びガスタービン部材並びにガスタービン - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐久性に優れた遮熱コーティング材及びガスタービン部材並びにガスタービンに係り、特に、遮熱コーティング材のトップコートとして用いられるセラミックス層の構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、省エネルギー対策の一つとして、火力発電の熱効率を高めることが検討されている。発電用ガスタービンの発電効率を向上させるためには、ガス入口温度を上昇させることが有効であり、その温度は1500℃程度とされる場合もある。そして、このように発電装置の高温化を実現するためには、ガスタービンを構成する静翼や動翼、あるいは燃焼器の壁材などを耐熱部材で構成する必要がある。しかし、タービン翼の材料は耐熱金属であるが、それでもこのような高温には耐えられないために、この耐熱金属の基材上に金属結合層を介して溶射等の成膜方法によって酸化物セラミックスからなるセラミックス層を積層した遮熱コーティング材(Thermal Barrier Coating,TBC)を形成して高温から保護することが行われており、そのセラミックス層としてはZrO2系の材料、特にY2O3で部分安定化又は完全安定化したZrO2であるYSZ(イットリア安定化ジルコニア)が、セラミックス材料の中では比較的低い熱伝導率と比較的高い熱膨張率を有しているためによく用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記YSZからなるセラミックス層を備えた遮熱コーティング材によりガスタービンの動翼や静翼などを被覆した場合、ガスタービンの種類によってはタービンの入口温度が1500℃を越える温度に上昇することが考えられるが、このような高温で運転された場合、過酷な運転条件の下ではガスタービンの運転中に上記セラミックス層の一部が剥離し、耐熱性が損なわれるおそれがあった。また、近年環境対策の関係から、二酸化炭素回収対応のクローズド型ガスタービンの開発が進められているが、この種のガスタービンではタービンの入口温度が1700℃にも達すると考えられており、タービン翼の表面温度は1300℃もの高温になることが予想される。従って、タービン翼の遮熱コーティングには、更に高い耐熱性が要求される状況にある。
【0004】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、高温下での使用の際の剥離を抑制でき、しかも高い熱遮蔽効果を有する遮熱コーティング材を提供することを目的の一つとする。
また本発明は、上記遮熱コーティング材により被覆されたタービン部材並びにガスタービンを提供することを目的の一つとする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記YSZからなるセラミックス層の剥離の問題は、高温環境下におけるYSZの結晶安定性が十分でなく、また大きな熱応力に対して十分な耐久性を有していないことによるものである。そこで本発明者は、上記の目的を達成するために、遮熱コーティング材のセラミックス層の高温での結晶安定性及び熱サイクル耐久性を高めるための遮熱コーティング材の構成について鋭意研究を重ね、Er2O3で安定化したZrO2によりセラミックス層を構成することで、遮熱コーティング材の耐久性を高められることを知見し、本発明を完成するに至った。
【0006】
すなわち、本発明に係る遮熱コーティング材は、高温用耐熱合金基材の耐熱性を高めるために、前記基材上に形成されたセラミックス層を含む遮熱コーティング材であって、前記セラミックス層が、安定化剤としてEr2O3を添加されたZrO2からなることを特徴とする。係る構成の遮熱コーティング材によれば、従来のYSZからなるセラミックス層に比して高温での優れた結晶安定性を得ることができ、これにより優れた熱サイクル耐久性を得ることができる。前記セラミックス層は、ZrO 2 粉末とEr 2 O 3 粉末をバインダー又は分散剤と共にスラリー状にしたものを、スプレードライヤーにより粒状にして乾燥させた後、拡散熱処理により固溶化させて作製された溶射粉末を用いて、溶射法で形成されたセラミックス層であることが好ましい。
【0007】
従来、タービン部材などの高温部品にYSZからなるセラミックス層を有する遮熱コーティング材を用いる場合には、長時間高温に曝されるためにYSZ内部に相変態が生じ、遮熱特性が低下したり、この相変態に起因する体積変化によりセラミックス層に応力が作用して亀裂が発生することが問題となっていた。これは、タービン部材の表面等に溶射法により形成されるYSZ層は、溶融又は半溶融状態から急冷されて形成された準安定正方晶相(t’相)であるが、このt’相のYSZが長時間高温環境に曝されると、YSZ層内部で準安定のt’相からt相(正方晶相)への相変態が生じ、このt相は高温相であるため、例えばタービンを停止させることによりYSZ層の温度が低下すると、m相(単斜晶相)へ変化して体積が変化するためである。このt相からm相への変化は、大きな体積変化を伴うためにYSZ層に大きな応力が作用し、亀裂を発生させる。この亀裂の進展によりYSZ層の一部が剥離し、遮熱コーティング材の遮熱特性を低下させる原因となると考えられる。
これに対して、本発明の採用したEr2O3を添加されたZrO2からなるセラミックス層によれば、優れた結晶安定性を備えているため、YSZを用いたセラミック層に比して上記の相変態が起こりにくく、従って相変態に起因する応力の発生も抑制することができる。これにより、本発明に係る遮熱コーティング材は、優れた熱サイクル耐性を実現している。
【0008】
本発明に係る遮熱コーティング材においては、前記セラミックス層のEr2O3添加量が、8重量%以上27重量%以下とされることが好ましい。
本発明に係る遮熱コーティング材においては、前記セラミックス層のEr2O3添加量が、10重量%以上25重量%以下とされることがより好ましい。
本発明に係る遮熱コーティング材においては、前記セラミックス層のEr2O3添加量が、15重量%以上20重量%以下とされることが更に好ましい。
【0009】
ErSZからなるセラミックス層のEr2O3添加量を上記範囲とすることで、より優れた結晶安定性と、熱サイクル耐久性を備えた遮熱コーティング材とすることができる。尚、本発明者は上記Er2O3添加量の範囲が適切であることを実験的に検証しており、その詳細は(実施例)において述べる。
【0010】
次に、本発明に係る遮熱コーティング材は、前記セラミックス層に微細な気孔が形成されており、該気孔の前記セラミックス層に対する占有率が、8%以上15%以下とされたことを特徴とする。すなわち、本発明に係る遮熱コーティング材において、セラミックス層に含まれる気孔の占有率(本明細書ではこれを気孔率と定義する。)が、上記範囲に制御されているならば、上記気孔によるセラミックス層の遮熱特性を向上させることができるとともに、熱サイクルに伴いセラミックス層に高い熱応力が作用した場合にもその応力を緩和することができるので、耐熱サイクル耐久性に優れた遮熱コーティング材とすることができる。
【0011】
次に、本発明に係る遮熱コーティング材においては、前記基材と、前記セラミックス層との間に耐酸化性に優れた金属結合層を備えることが好ましい。係る構成とするならば、通常、金属材料で構成される基材と、セラミックス層との線膨張係数の差に起因する応力を、この金属結合層により緩和することができるので、より優れた熱サイクル耐久性を得ることができる。また、この金属結合層は、基材とセラミックス層とをより強固に接合させ、遮熱コーティング材の強度の向上にも寄与するものである。
【0012】
次に、本発明は、上記課題を解決するために、先のいずれかに記載の遮熱コーティング材で被覆されたことを特徴とするガスタービン部材及びこれを備えたガスタービンを提供する。係る構成のガスタービン部材によれば、優れた耐熱性と、熱サイクル耐久性を備えたガスタービン部材やとすることができ、より信頼性に優れたガスタービンを構成することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は、本発明に係る遮熱コーティング材を適用した遮熱コーティング膜の断面構造を模式的に示す図である。この遮熱コーティング膜は、動翼等の高温用耐熱合金基材21上に、耐食性及び耐酸化性に優れた金属結合層としてMCrAlY合金などからなるボンドコート層22が積層され、さらにその上にトップコートとして、Er2O3で部分安定化させたZrO2(以下、ErSZと称する)からなるセラミックス層23が積層された構成とされている。ここで、上記ボンドコート層22を構成するMCrAlY合金の「M」は、金属元素を示し、例えばNiやCo、Fe等の単独の金属元素又はこれらのうち2種以上の組み合わせを示している。
【0014】
ボンドコート層22は、基材21とセラミックス層23との熱膨張係数差を小さくして熱応力を緩和する機能を有し、セラミックス層23がボンドコート層22から剥離するのを防止している。このボンドコート層22は、低圧プラズマ溶射法や、電子ビーム物理蒸着法等により形成することができる。
【0015】
ErSZにより構成されるセラミックス層23において、安定化剤であるEr2O3の添加割合は、8重量%以上27重量%以下である。Er2O3の添加量がこのような範囲とされていることで、本実施形態の遮熱コーティング材は、優れた熱サイクル耐久性を発揮することができる。Er2O3添加量が上記範囲を超える場合には、熱サイクル耐久性が著しく低下する。これは、上記添加量が8重量%未満の場合には、セラミックス層23に単斜晶相(m相)が残存するために耐久性が低下し、25重量%を越える場合には、セラミックス層23が正方晶となり、耐久性に優れるt’相の割合が低下するために耐久性が低下するからである。また、Er2O3添加量は、より好ましくは10重量%以上25重量%以下であり、15重量%以上20重量%以下とすることが最も好ましい。これらの範囲に添加量を制御することで、さらに熱サイクル耐久性に優れる遮熱コーティング材とすることができる。
【0016】
また、上記セラミックス層23の気孔率(セラミックス層23内に形成された気孔のセラミックス層23に対する体積占有率)は、8%以上15%以下とされることが好ましい。気孔率が8%未満では、緻密であるためヤング率が高くなり、熱応力が高くなった場合に剥離が生じやすくなる。また、15%を越える場合には、ボンドコートとの密着性が不足し、耐久性が低下するので好ましくない。
【0017】
上述のセラミックス層23は、ZrO2−Er2O3粉末を用いて、大気圧プラズマ溶射法若しくは電子ビーム物理蒸着法により積層することができ、大気圧プラズマ溶射において使用されるZrO2−Er2O3粉末は、以下の手順により製造することができる。
まず、ZrO2粉末と所定の添加割合のEr2O3粉末を用意し、これらの粉末を適当なバインダーや分散剤とともにボールミル中で混合してスラリー状にする。次に、これをスプレードライヤーにより粒状にして乾燥させた後、拡散熱処理により固溶化させ、ZrO2−Er2O3の複合粉末を得る。
そして、この複合粉末をボンドコート層22上に溶射することによりErSZからなるセラミックス層を得ることができる。また、セラミックス層23の成膜法として電子ビーム物理蒸着法を用いる場合には、所定の組成を有する原料を焼結又は電融固化して得られるインゴットを使用する。
【0018】
上述した構成の遮熱コーティング材は、産業用ガスタービンの動翼や静翼、あるいは燃焼器の内筒や尾筒などの高温部品に適用して有用である。また、産業用ガスタービンに限らず、自動車やジェット機などのエンジンの高温部品の遮熱コーティング膜にも適用することができる。これらの部材に本発明に係る遮熱コーティング材を被覆することで、熱サイクル耐久性に優れるガスタービン部材や高温部品を構成することができる。
【0019】
図4及び図5は、上述した実施の形態に係る遮熱コーティング膜を適用可能なタービン翼(タービン部材)の構成例を示す斜視図である。
図4に示すガスタービン動翼4は、ディスク側に固定されるタブテイル41、プラットフォーム42、翼部43等を備えて構成されている。また、図5に示すガスタービン静翼5は、内シュラウド51、外シュラウド52、翼部53等を備えて構成されており、翼部53にはシールフィン冷却孔54、スリット55等が形成されている。
【0020】
次に、図4,5に示すタービン翼4,5を適用可能なガスタービンについて図6を参照して以下に説明する。図6は、本発明に係るガスタービンの部分断面構造を模式的に示す図である。
このガスタービン6は、互いに直結された圧縮機61とタービン62とを備える。圧縮機61は、例えば軸流圧縮機として構成されており、大気又は所定のガスを吸込口から作動流体として吸い込んで昇圧させる。この圧縮機61の吐出口には、燃焼器63が接続されており、圧縮機61から吐出された作動流体は、燃焼器63によって所定のタービン入口温度まで加熱される。そして所定温度まで昇温された作動流体がタービン62に供給されるようになっている。図6に示すように、タービン62のケーシング内部には、上述したガスタービン静翼4が、数段(図6では4段)設けられている。また、上述したガスタービン動翼4が、各静翼5と一組の段を形成するように主軸64に取り付けられている。主軸64の一端は、圧縮機61の回転軸65に接続されており、その他端には、図示しない発電機の回転軸が接続されている。
【0021】
このような構成により、燃焼器63からタービン62のケーシング内に高温高圧の作動流体を供給すれば、ケーシング内で作動流体が膨張することにより、主軸64が回転し、このガスタービン6と接続された図示しない発電機が駆動される。すなわち、ケーシングに固定された各静翼5によって圧力降下させられ、これにより発生した運動エネルギは、主軸65に取り付けられた各動翼4を介して回転トルクに変換される。そして、発生した回転トルクは、主軸64に伝達され、発電機が駆動される。
【0022】
一般に、ガスタービン動翼に用いられる材料は、耐熱合金(例えばCM247L=キャノン マスケゴン社の市販の合金材料)であり、ガスタービン静翼に用いられる材料は、同様に耐熱合金(例えばIN938=インコ社の市販の合金材料)である。すなわち、タービン翼を構成する材料は、本発明による遮熱コーティング材において基材として採用可能な耐熱合金が使用されている。従って、本発明による遮熱コーティング材を、これらのタービン翼に被覆すれば、遮熱効果と、耐剥離性に優れたタービン翼を得ることができるので、より高い温度環境で使用することができ、また耐久性に優れ、長寿命のタービン翼を実現することができる。また、より高い温度環境において適用可能であることは、作動流体の温度を高められることを意味し、これによりガスタービン効率を向上させることも可能となる。
【0023】
上述した実施の形態によれば、トップコートが、YSZよりも結晶安定性に優れ、耐熱サイクル耐久性に優れるセラミックス層23により構成されているため、従来よりも高い遮熱効果と耐剥離性を得ることができる。従って、従来よりも高い温度環境で使用可能な、耐久性に優れた遮熱コーティング材を実現することができる。
また、ガスタービンの高温部品などを本発明に係る遮熱コーティング材で被覆することによって、従来よりも高い温度環境であっても十分な耐久性を有するガスタービン部材等を得ることができる。
【0024】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて、本発明をより詳細に説明するとともに本発明の効果をより明らかにする。
(実施例1)
本例では、Er2O3の添加量による熱サイクル寿命の変化を検証するために、ZrO2へのEr2O3添加量を種々に変化させたErSZ層を備える試料を形成し、熱サイクル寿命の測定を行った。各試料の作製において用いた基材は、Ni基耐熱合金とし、その合金組成は、Ni−16Cr−8.5Co−1.7Mo−2.6W−1.7T−0.9Nb−3.4Al−3.4Tiとした。そして、この基材の表面をAl2O3粒でグリッドブラストした後、その上に金属結合層としてCo−32Ni−21Cr−8Al−0.5Yなる組成のCoNiCrAlY合金からなるボンドコート層を低圧プラズマ溶射法により形成し、このCoNiCrAlYのボンドコート層上に大気圧プラズマ溶射法によりセラミックス層(ErSZ層)を積層して遮熱コーティング膜を形成した。各試料のセラミックス層におけるEr2O3添加量を表1に示す。(試料No.1〜12)
尚、各試料においてボンドコート層(CoNiCrAlY)の厚さは0.1mm、セラミックス層(ErSZ)の厚さは0.5mmで共通とした。
【0025】
次に、比較試料として、セラミックス層にYSZを用いた試料を作製した。このYSZからなるセラミックス層におけるY2O3の添加量は、8重量%とし、その気孔率は10%とした。(試料No.13)
尚、このYSZからなるセラミックス層が形成された試料No.13は、従来ガスタービンの動翼や静翼などに用いられてきた構成の遮熱コーティング膜である。
【0026】
以上により得られた各試料について熱サイクル耐久性の評価を行った。図2は、本実施例において熱サイクル耐久性の評価に用いたレーザ式熱サイクル試験装置の模式断面図である。この図に示すレーザ式熱サイクル試験装置は、本体部33上に配設された試料ホルダ32に、基材31A上に遮熱コーティング膜31Bが形成された試料31を、遮熱コーティング膜31Bが外側となるように配置し、この試料31に対してCO2レーザ装置30からレーザ光Lを照射することで試料31を、遮熱コーティング膜31B側から加熱するようになっている。また、レーザ装置30による加熱と同時に本体部33を貫通して本体部33の内部の試料31裏面側と対向する位置に配設された冷却ガスノズル34の先端から吐出されるガス流Fにより試料31をその裏面側から冷却するようになっている。
【0027】
以上の構成のレーザ式熱サイクル試験装置によれば、容易に試料31内部に温度勾配を形成することができ、ガスタービン部材などの高温部品に適用された場合の使用環境に即した評価を行うことができる。図3(a)は、図2に示す装置により熱サイクル試験に供された試料の温度変化を模式的に示すグラフである。この図に示す曲線A〜Cは、それぞれ図3(b)に示す試料31における温度測定点A〜Cに対応している。図3に示すように、図2に示す装置によれば試料31の遮熱コーティング膜31B表面(A)、遮熱コーティング膜31Bと基材31Aとの界面(B)、基材31Aの裏面側(C)の順に温度が低くなるように加熱することができる。従って例えば、遮熱コーティング膜31Bの表面を1200℃以上の高温とし、遮熱コーティング膜31Bと基材31Aとの界面の温度を800〜900℃とすることで、実機ガスタービンと同様の温度条件とすることができる。尚、本試験装置による加熱温度と温度勾配は、レーザ装置30の出力とガス流Fとを調整することで、容易に所望の温度条件とすることができる。
【0028】
本例では、図2に示す熱サイクル試験装置を用い、最高表面温度(遮熱コーティング膜表面の最高温度)を1300℃とし、最高界面温度(遮熱コーティング膜と基材との界面の最高温度)を950℃とする繰り返しの加熱を行った。その際、加熱時間3分、冷却時間3分の繰り返しとした。この熱サイクル試験において遮熱コーティング膜に剥離が生じた時点でのサイクル数を熱サイクル寿命として表1に併記する。
【0029】
表1に示すように、Er2O3添加量が8重量%〜27重量%の範囲とされたNo.5〜11の試料は、従来の構成のNo.14の試料に比して優れた熱サイクル耐久性を備えていることが確認された。また、Er2O3添加量が10重量%〜25重量%の範囲とされたNo.6〜10の試料は900サイクル以上の熱サイクル寿命であり、より優れた熱サイクル耐久性を備えていた。さらに、Er2O3添加量が15重量%〜20重量%とされたNo.7〜9の試料は2000サイクル以上の寿命であり、極めて優れた耐久性を備えていた。
【0030】
【表1】
【0031】
(実施例2)
次に、ErSZからなるセラミックス層におけるErSZの気孔率による耐久性の変化を検証するために、表2に示す気孔率を有するセラミックス層を備えた遮熱コーティング膜を基材上に形成して各試料を作製した。これらの試料のセラミックス層の気孔率は、溶射条件の溶射電流や溶射距離を調整することにより所定の気孔率が得られるようにした。また、前記気孔率の調整と、Er2O3添加量を18重量%とした以外は、上記実施例1と同様にして各試料(No.15〜23)を作製した。
表2に示すように、セラミックス層の気孔率が、8〜15%とされたNo.18〜20の試料において、表1に示す従来のYSZからなるセラミックス層を有する遮熱コーティング膜よりも優れた熱サイクル耐久性を示すことが確認された。
【0032】
【表2】
【0033】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の遮熱コーティング材は、トップコートとしてのセラミックス層が、従来のYSZよりも結晶安定性に優れるErSZで構成されていることで、長時間高温に曝された場合にも相変態を起こりにくすることができる。これにより、使用される温度環境が従来より高温であっても十分な耐久性を有する遮熱コーティング材を得ることができる。
【0034】
また、本発明に係るガスタービン部材は、トップコートとしてのセラミックス層が、従来のYSZよりも結晶安定性に優れるErSZで構成された遮熱コーティング材により表面を被覆されていることで、温度環境が従来より高温であっても充分な耐久性を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明に係る遮熱コーティング膜の模式断面図である。
【図2】 図2は、本発明の実施例において用いたレーザ式熱サイクル試験装置の模式断面図である。
【図3】 図3(a)は、図2に示す熱サイクル試験装置による熱サイクル試験時の試料の温度履歴を示すグラフであり、図3(b)は、図3(a)の各曲線に対応する試料上の測定点を示す説明図である。
【図4】 図4は、本発明に係るタービン部材の一例である動翼を示す斜視図である。
【図5】 図5は、本発明に係るタービン部材の一例である静翼を示す斜視図である。
【図6】 図6は、図4及び図5に示すガスタービン部材を備えたガスタービンの一例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
21 基材
22 ボンドコート層(金属結合層)
23 セラミックス層
4 動翼(タービン部材)
5 静翼(タービン部材)
6 ガスタービン
61 圧縮機
62 タービン
63 燃焼器
Claims (4)
- 高温用耐熱合金基材の耐熱性を高めるために、前記基材上に形成されたセラミックス層を含む遮熱コーティング材であって、前記セラミックス層が、安定化剤としてEr2O3を15重量%以上20重量%以下添加されたZrO2からなり、前記セラミックス層が、ZrO2粉末とEr2O3粉末をバインダー又は分散剤と共にスラリー状にしたものを、スプレードライヤーにより粒状にして乾燥させた後、拡散熱処理により固溶化させて作製された溶射粉末を用いて、溶射法で形成されたセラミックス層であり、該セラミックス層に微細な気孔が形成されており、該気孔の前記セラミックス層に対する占有率が、8%以上15%以下であることを特徴とする遮熱コーティング材。
- 前記基材と、前記セラミックス層との間に金属結合層を備えたことを特徴とする請求項1に記載の遮熱コーティング材。
- 請求項1または請求項2に記載の遮熱コーティング材で被覆されたことを特徴とするガスタービン部材。
- 請求項3に記載のガスタービン部材を備えたことを特徴とするガスタービン。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001326462A JP4031631B2 (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 遮熱コーティング材及びガスタービン部材並びにガスタービン |
EP02023380A EP1312693B1 (en) | 2001-10-24 | 2002-10-18 | Thermal barrier coating material, gas turbine parts and gas turbine |
CA002408881A CA2408881C (en) | 2001-10-24 | 2002-10-18 | Thermal barrier coating material, gas turbine parts and gas turbine |
DE60226397T DE60226397D1 (de) | 2001-10-24 | 2002-10-18 | Wärmedämmschichtmaterial, Gasturbinenteile und Gasturbine |
US10/274,132 US6916551B2 (en) | 2001-10-24 | 2002-10-21 | Thermal barrier coating material, gas turbine parts and gas turbine |
CNB021470065A CN1325762C (zh) | 2001-10-24 | 2002-10-22 | 隔热涂敷材料和燃气轮机构件以及燃气轮机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001326462A JP4031631B2 (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 遮熱コーティング材及びガスタービン部材並びにガスタービン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003129210A JP2003129210A (ja) | 2003-05-08 |
JP4031631B2 true JP4031631B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=19142839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001326462A Expired - Lifetime JP4031631B2 (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 遮熱コーティング材及びガスタービン部材並びにガスタービン |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6916551B2 (ja) |
EP (1) | EP1312693B1 (ja) |
JP (1) | JP4031631B2 (ja) |
CN (1) | CN1325762C (ja) |
CA (1) | CA2408881C (ja) |
DE (1) | DE60226397D1 (ja) |
Cited By (1)
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US10006355B2 (en) | 2013-02-21 | 2018-06-26 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Variable-geometry exhaust turbine |
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JP3631982B2 (ja) | 2000-06-16 | 2005-03-23 | 三菱重工業株式会社 | 遮熱コーティング材の製造方法 |
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-
2001
- 2001-10-24 JP JP2001326462A patent/JP4031631B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-10-18 EP EP02023380A patent/EP1312693B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-18 CA CA002408881A patent/CA2408881C/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-18 DE DE60226397T patent/DE60226397D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-21 US US10/274,132 patent/US6916551B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-22 CN CNB021470065A patent/CN1325762C/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2408881C (en) | 2006-08-08 |
CN1414216A (zh) | 2003-04-30 |
US6916551B2 (en) | 2005-07-12 |
DE60226397D1 (de) | 2008-06-19 |
EP1312693A2 (en) | 2003-05-21 |
EP1312693B1 (en) | 2008-05-07 |
JP2003129210A (ja) | 2003-05-08 |
EP1312693A3 (en) | 2004-06-09 |
CA2408881A1 (en) | 2003-04-24 |
US20030087120A1 (en) | 2003-05-08 |
CN1325762C (zh) | 2007-07-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050308 |
|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050930 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051005 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20051104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070830 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071019 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4031631 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131026 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |