JP4027873B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
被加工物を加工するための加工用レーザビーム(波長355nm)は、ビーム発生部2のレーザ発振器45から放射される。レーザ発振器45としては、従来から知られるエキシマレーザ、YAGレーザ、CO2レーザ等を用いる。
φd=(f0/f1)×φb
3、5、14 コリメータレンズ
29 fθレンズ
31、47 xyガルバノスキャナ
35 グリーンシート
45 レーザ発振器
Claims (3)
- 被加工物にレーザビームを用いて穴開け加工するためのレーザ加工装置であって、
前記レーザビームを放射するための光源と、
前記レーザビームを所定の形状に成形するために前記レーザビームの光路上に配置されたマスクと、
前記レーザビームの光路に対して挿脱可能であって、入射するレーザビームを拡大すると共に平行光束に成形可能な複数のレンズ部材と、を備え、
前記マスクと、前記複数のレンズ部材の少なくとも1つと、の順にこれらを介して前記レーザビームを前記被加工物に導くことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記レンズ部材は、コリメータレンズであることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 被加工物にレーザビームを用いて穴開け加工するレーザ加工方法であって、前記レーザビームを放射するための光源と、前記レーザビームを所定の形状に成形するために前記レーザビームの光路上に配置されたマスクと、前記レーザビームの光路に対して挿脱可能であって、入射するレーザビームを拡大すると共に平行光束に成形可能な複数のレンズ部材と、を備える加工装置を用い、
前記マスクと、前記複数のレンズ部材の少なくとも1つと、の順にこれらを介して前記レーザビームを前記被加工物に導くことを特徴とするレーザ加工方法。
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