JP3962726B2 - 光学装置 - Google Patents
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レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光を複数本のレーザ光に分割する分割手段と、
前記分割手段によって分割されたレーザ光がそれぞれ入射端から入射する複数本の光ファイバであって、該複数本の光ファイバの出射端から出射する複数本のレーザ光の強度のばらつきの度合いが、前記分割手段によって分割された複数本のレーザ光の強度のばらつきの度合いよりも小さくなるように、該複数本の光ファイバのうち相対的に強度の大きなレーザ光が入射する光ファイバと相対的に強度の小さなレーザ光が入射する光ファイバとでその曲率及び全長の少なくともいずれか一方を異ならせて構成した複数本の光ファイバと、
基板を保持する保持台と、
各々前記光ファイバの出射端を、該出射端から出射したレーザ光が前記基板の表面に入射する位置に保持する複数の第1の加工ヘッドであって、これら第1の加工ヘッド群を通して前記基板の表面に入射するレーザ光のビームスポットが該基板の表面上で第1の方向に離散的に配置される複数の第1の加工ヘッドと、
前記保持台を、前記第1の加工ヘッド群に対して、前記基板の表面と平行な方向であって前記第1の方向と交差する方向に移動させる第1の移動機構と、
各々自己に入射したレーザ光を前記基板の表面へ導く複数の第2の加工ヘッドであって、これら第2の加工ヘッド群によって前記基板の表面に導かれたレーザ光のビームスポットが該基板の表面上で前記第1の方向と交差する第2の方向に離散的に配置される複数の第2の加工ヘッドと、
前記保持台を、前記第2の加工ヘッド群に対して、前記第2の方向と交差する方向に移動させる第2の移動機構と、
前記光ファイバの出射端から出射したレーザ光が、対応する前記第1の加工ヘッドを通して前記基板に入射することを許容する状態と、前記光ファイバの出射端から出射したレーザ光をそれぞれ前記第2の加工ヘッドへ入射させるとともに、前記第1の加工ヘッド群を通して前記基板にレーザ光が入射することを阻止する状態とのいずれかの状態を選択的にとる切り替え光学系と
を備えた光学装置が提供される。
Claims (5)
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光を複数本のレーザ光に分割する分割手段と、
前記分割手段によって分割されたレーザ光がそれぞれ入射端から入射する複数本の光ファイバであって、該複数本の光ファイバの出射端から出射する複数本のレーザ光の強度のばらつきの度合いが、前記分割手段によって分割された複数本のレーザ光の強度のばらつきの度合いよりも小さくなるように、該複数本の光ファイバのうち相対的に強度の大きなレーザ光が入射する光ファイバと相対的に強度の小さなレーザ光が入射する光ファイバとでその曲率及び全長の少なくともいずれか一方を異ならせて構成した複数本の光ファイバと、
基板を保持する保持台と、
各々前記光ファイバの出射端を、該出射端から出射したレーザ光が前記基板の表面に入射する位置に保持する複数の第1の加工ヘッドであって、これら第1の加工ヘッド群を通して前記基板の表面に入射するレーザ光のビームスポットが該基板の表面上で第1の方向に離散的に配置される複数の第1の加工ヘッドと、
前記保持台を、前記第1の加工ヘッド群に対して、前記基板の表面と平行な方向であって前記第1の方向と交差する方向に移動させる第1の移動機構と、
各々自己に入射したレーザ光を前記基板の表面へ導く複数の第2の加工ヘッドであって、これら第2の加工ヘッド群によって前記基板の表面に導かれたレーザ光のビームスポットが該基板の表面上で前記第1の方向と交差する第2の方向に離散的に配置される複数の第2の加工ヘッドと、
前記保持台を、前記第2の加工ヘッド群に対して、前記第2の方向と交差する方向に移動させる第2の移動機構と、
前記光ファイバの出射端から出射したレーザ光が、対応する前記第1の加工ヘッドを通して前記基板に入射することを許容する状態と、前記光ファイバの出射端から出射したレーザ光をそれぞれ前記第2の加工ヘッドへ入射させるとともに、前記第1の加工ヘッド群を通して前記基板にレーザ光が入射することを阻止する状態とのいずれかの状態を選択的にとる切り替え光学系と
を備えた光学装置。 - 前記分割手段が、回折光学素子によって構成されている請求項1に記載の光学装置。
- さらに、前記回折光学素子と前記光ファイバの入射端との間に配置され、前記回折光学素子によって分割された複数本のレーザ光の光軸を相互に平行に近づけるレンズを備えた請求項2に記載の光学装置。
- 前記レンズが、前記回折光学素子によって分割された複数本のレーザ光のビーム断面が共通の仮想平面上で最小になるように該複数本のレーザ光を集光させ、
前記複数本の光ファイバの入射端が、前記仮想平面上に配置されている請求項3に記載の光学装置。 - 前記切り替え光学系が、
それぞれ前記第1の加工ヘッドに対応して配置された複数の第1のミラーと、
前記第1のミラーの各々を、対応する前記第1の加工ヘッドによって保持された前記光ファイバの出射端から出射したレーザ光の光路内に移動させ、又は該光路から退避させる切り替え機構と、
前記複数の第1のミラーが前記光路内に移動されているときに該複数の第1のミラーによって反射された複数本のレーザ光が入射する位置に配置され、自己に入射したこれら複数本のレーザ光を前記第2の方向に沿って反射させるコーナミラーとを有し、
前記第2の加工ヘッドの各々が、前記コーナミラーによって前記第2の方向に沿って反射されたレーザ光を前記基板に向けて反射する第2のミラーを有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学装置。
Priority Applications (1)
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JP2004124104A JP3962726B2 (ja) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | 光学装置 |
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JP2004124104A JP3962726B2 (ja) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | 光学装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005308967A JP2005308967A (ja) | 2005-11-04 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008152116A (ja) | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Lasertec Corp | 照明装置、及び照明方法 |
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2004
- 2004-04-20 JP JP2004124104A patent/JP3962726B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2005308967A (ja) | 2005-11-04 |
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