JP4022307B2 - エアフィルタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体生産用クリーンルーム等の超清浄度空間を作り出すために使用されるエアフィルタに関する。
更に、詳しくは、クリーンルームに設置されてクリーンルーム稼働（通風開始）までの間、エアフィルタが汚染されるのを防止するための汚染防止シートを貼着されたエアフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、クリーンルーム等の超清浄度空間を作り出すために用いられるエアフィルタは、エアフィルタ全体を覆うように汚染防止用のシートを巻き付けるか、そのシートを粘着テープで固定するという方法がとられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記シートを巻き付ける方法は、汚染防止の観点からは、確実性の高い方法であるが、シートの取り外し作業に手間がかかるという不都合を有していた。
そこで、エアフィルタの金属枠体の流出側開口部にだけ、基材シートに粘着剤を塗布した汚染防止シートを貼着して汚染を防止することが考えられる。
しかしながら、この種のエアフィルタにおいては熱伝導率の大きな金属製の枠体を用いることが多く、温度変化のある環境下においても、クリーンルームの稼働前までは確実に汚染防止シートが金属枠体に貼着されてエアフィルタの汚染が防止され、稼働時には金属枠体から簡単に剥がせるようにすることができなければ実用化できないものであった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は温度差によるシート基材の収縮力と、粘着力のバランスを定量的に考察し、フィルタ設置後、クリーンルーム稼働まで確実にエアフィルタの金属枠体に貼着しており、稼働時には剥がしやすい汚染防止シートを備えたエアフィルタを提供することを目的とする。
本発明のエアフィルタはかかる目的を達成するため、金属枠体内に濾材パックを収容してなるエアフィルタの金属枠体流出側開口部に、基材シートに粘着剤を塗布した汚染防止シートを貼着してなるエアフィルタであって、前記粘着剤を、２００ｇ／２５ｍｍ以上６００ｇ／２５ｍｍ未満の粘着力を有するものとし、前記基材シートの外周に沿って３ｍｍ以上５ｍｍ未満の貼り代で設けたことを特徴とする。
また、請求項２記載のエアフィルタは、前記基材シートは低密度ポリエチレンであり、前記粘着剤はアクリル系粘着剤であることを特徴とする。
【０００５】
【実施例】
図１は本発明エアフィルタの一実施例の空気流出側開口部側から見た正面図である。
図示のエアフィルタ１は通常のＨＥＰＡフィルタであって、アルミ製の金属枠体２内に濾材パック３を収容してなるものであり、金属枠体２の外周に沿ってガスケット４が設けてある。
図中１０は汚染防止シートであって、厚み５０μｍの低密度ポリエチレンシートからなる基材シート１１に粘着力が１００〜６００ｇ／２５ｍｍの範囲のアクリル系粘着剤１２を基材シートの外周に沿って１〜１０ｍｍの巾の貼り代１３でもって塗布し、無空調、温度差−１．５〜２１℃の雰囲気下で貼着性について試験した。
その結果を、下記表１に示す。
【０００６】
【表１】
表中の評価は次の通りである。
○：必要時までは剥がれず、必要時には剥がしやすい
△：必要時までは剥がれず、必要時には剥がしづらい
×：必要時までに剥がれてしまう
表１から明らかなように、必要時までに剥がれないようにするには、粘着剤の粘着力を２００ｇ／２５ｍｍ以上とし、貼り代を３ｍｍ以上とすることが必要であることがわかる。また、必要時までは剥がれず、必要時には剥がしやすいようにするには、粘着力を６００ｇ／２５ｍｍ未満とし、貼り代を５ｍｍ未満とすることが必要であることがわかる。
【０００８】
前記金属枠体としては、アルミの他に、ステンレス等が使用される。
【０００９】
また、前記汚染防止シートを構成する基材シートとしては、塩素が入っていないため焼却時のダイオキシンの発生がないという無公害の観点から低密度ポリエチレンシートの使用が好ましい。
また、粘着剤としては、アクリル系粘着剤の使用が好ましい。
【００１０】
【発明の効果】
このように、本発明によれば、フィルタ設置後、クリーンルーム稼働まで確実にエアフィルタの金属枠体に貼着しており、稼働時には剥がしやすい汚染防止シートを備えたエアフィルタが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明エアフィルタの一実施例の空気流出側から見た正面図
【符号の説明】
１ エアフィルタ
２ 金属枠体
３ 濾材パック
４ ガスケット
１０ 汚染防止シート
１１ 基材シート
１２ 粘着剤
１３ 貼り代
Claims (2)
- 金属枠体内に濾材パックを収容してなるエアフィルタの金属枠体流出側開口部に、基材シートに粘着剤を塗布した汚染防止シートを貼着してなるエアフィルタであって、前記粘着剤を、２００ｇ／２５ｍｍ以上６００ｇ／２５ｍｍ未満の粘着力を有するものとし、前記基材シートの外周に沿って３ｍｍ以上５ｍｍ未満の貼り代で設けたことを特徴とするエアフィルタ。
- 前記基材シートは低密度ポリエチレンであり、前記粘着剤はアクリル系粘着剤であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05879698A JP4022307B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | エアフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05879698A JP4022307B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | エアフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11239705A JPH11239705A (ja) | 1999-09-07 |
| JP4022307B2 true JP4022307B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=13094554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05879698A Expired - Lifetime JP4022307B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | エアフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4022307B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9732970B2 (en) | 2010-08-11 | 2017-08-15 | Close Comfort Pty Ltd. | Localised personal air conditioning |
-
1998
- 1998-02-24 JP JP05879698A patent/JP4022307B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9732970B2 (en) | 2010-08-11 | 2017-08-15 | Close Comfort Pty Ltd. | Localised personal air conditioning |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11239705A (ja) | 1999-09-07 |
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