JP4005981B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
図1〜図4は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造工程を模式的に示した断面図である。なお、以下の説明では、第1導電型をn型、第2導電型をp型として説明を行う。
図6は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造工程を模式的に示した断面図である。本実施形態は、第1の実施形態で説明したのと同様の基本構造を、プレーナ型の電力用MOSFETに適用したものである。なお、第1の実施形態の構成要素に対応する構成要素については同一の参照番号を付し、それらの詳細な説明は省略する。
14…ドレイン電極
20、30、40…半導体領域
21、31、41、51…n- 型エピタキシャル層
22、32、42…p型ドーピング層
52…上部電極(アノード) 54…p型ベース層
55…n型ソース層 56…ゲート絶縁膜
57…ゲート電極
Claims (4)
- 第1の導電部を有する下部領域と、
第2の導電部を有する上部領域と、
前記下部領域と上部領域との間に設けられ、第1導電型の第1のエピタキシャル層と、前記第1のエピタキシャル層内に設けられた第2導電型の第1のドーピング層とを有する第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域と前記上部領域との間に設けられ、第1導電型の第2のエピタキシャル層と、前記第2のエピタキシャル層内に設けられた第2導電型の第2のドーピング層とを有する第2の半導体領域と、
を備え、
前記第1のドーピング層のパターンと前記第2のドーピング層のパターンとは、前記第1の半導体領域と第2の半導体領域との境界面に平行な方向において互いにずれており、
前記第1のドーピング層のパターンと前記第2のドーピング層のパターンとは、前記境界面に平行な方向において互いにオーバーラップしていない
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の半導体領域と前記上部領域との間に設けられ、第1導電型の第3のエピタキシャル層と、前記第3のエピタキシャル層内に設けられた第2導電型の第3のドーピング層とを有する第3の半導体領域をさらに備え、
前記第1のドーピング層のパターンと前記第2のドーピング層のパターンと前記第3のドーピング層のパターンとは、前記境界面に平行な方向において互いにずれており、
前記第2のドーピング層のパターンと前記第3のドーピング層のパターンとは、前記境界面に平行な方向において互いにオーバーラップしていない
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記下部領域は、前記第1の導電部と前記第1の半導体領域との間に設けられた半導体基板をさらに有し、
前記上部領域は、前記第2の導電部と前記第2の半導体領域との間に設けられた第1導電型の上部エピタキシャル層をさらに有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記下部領域は、前記第1の導電部と前記第1の半導体領域との間に設けられた半導体基板をさらに有し、
前記上部領域は、前記第2の導電部を構成する第1導電型のソース層と前記第2の半導体領域との間に設けられた第1導電型の上部エピタキシャル層と、前記ソース層と前記上部エピタキシャル層との間に設けられた第2導電型のベース層と、前記上部エピタキシャル層及び前記ベース層上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とをさらに有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004144822A JP4005981B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004144822A JP4005981B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005327912A JP2005327912A (ja) | 2005-11-24 |
JP4005981B2 true JP4005981B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=35474005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004144822A Expired - Lifetime JP4005981B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4005981B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130078280A (ko) | 2011-12-30 | 2013-07-10 | 삼성전자주식회사 | 질화물계 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
JP7472477B2 (ja) * | 2019-12-02 | 2024-04-23 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素基板の製造方法 |
CN113555446B (zh) * | 2021-06-09 | 2023-08-11 | 浙江芯科半导体有限公司 | 一种基于金刚石终端结构的Ga2O3肖特基二极管及制作方法 |
CN117832284B (zh) * | 2024-03-01 | 2024-05-24 | 湖北九峰山实验室 | 一种功率器件及其制造方法 |
-
2004
- 2004-05-14 JP JP2004144822A patent/JP4005981B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005327912A (ja) | 2005-11-24 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070531 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
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