JP3995730B2 - アクチュエータの部片移動方法及びその方法の実施に使用するアクチュエータ - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はアクチュエータを局部的に加熱し冷却することによりアクチュエータを局部的に塑性変形させてその部片を互いに相対的に動かすことによりアクチュエータの少なくとも２個の部片を相互に移動させるアクチュエータの部片移動方法及びその方法の実施に使用するアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ２第４８８６５８号に開示されたような方法及びアクチュエータの場合には、２個の相互に連結した板状部片の一方をレーザによって局部的に加熱し次に冷却し得るようこれ等２個の板状部片を相互に相関位置に設置し、これにより一方の板状部片を局部的に塑性変形させている。板状部片の主表面を横切ってレーザを指向させ、板状部片の厚さの一部にわたりこの板状部片を加熱する。塑性変形により板状部片の主表面を横切る方向に板状部片が湾曲する。板状部片が湾曲した方向の衝撃、又は振動により板状部片に曲げ負荷、又は捩じり負荷が加わる。曲げや捩じりに対する板状部片の剛性は比較的低いから、板状部片が湾曲した方向の相互の位置決め精度は衝撃負荷が加わっている間、又は振動中、比較的低い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は比較的高い剛性を有し或る方向に比較的高い位置決め精度を有するアクチュエータの部片をこの方向に互いに相対的に動かすアクチュエータの部片移動方法、及び既知のアクチュエータの欠点を除去しこの方法の実施に使用するアクチュエータを得るにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明方法は、主表面に平行に延び２個の部片を連結する橋絡片を温度勾配が主表面を横切ってあくまでも最小になるよう加熱し、次に冷却し、発生する塑性変形に起因し部片間の橋絡片の長さを減少させ、前記橋絡片によって相互に連結した部片を主表面に平行な方向に互いに相対的に動かすことを特徴とする。橋絡片は主表面を横切ってその全厚さにわたり局部的に均一に加熱されるから、橋絡片は主表面の横方向に湾曲せず、主表面に平行な方向である橋絡片の縦方向に短くなるだけである。橋絡片が短くなった方向に衝撃、又は振動が発生した場合、この橋絡片は引張り力、又は圧縮力の負荷を受ける。引張り力と圧縮力とに対する橋絡片の剛性は比較的大きい。橋絡片を数回、加熱し冷却すると部片は一層長い距離を移動する。例えば水噴射によって橋絡片を積極的に冷却してもよいが、最も簡単には橋絡片を大気に露出してもよい。
【０００５】
本発明方法の一実施例は、部片を互いに連結する数個の橋絡片を加熱し、冷却することを特徴とする。このようにすればアクチュエータの部片を移動させる方向の数、及び自由度の数の範囲を増大することができる。
比較的大きな距離に互いに設置した多数の橋絡片を交互に、又は同時に短くすることによって部片を相互に並進運動させ、又は回転させ、又はその両方を行わせることができ、これにより種々の程度の自由度が得られ、対向する方向の移動を実現することができる。
本発明の他の実施例においてはアクチュエータの部片を移動させる範囲を増大することができ、その実施例は、比較的短い距離に互いに位置している少なくとも２個の橋絡片を交互に短くし、部片の互いに相対的な不所望の移動を一方の橋絡片により防止しながら、他方の橋絡片をその全幅と全厚さとにわたり局部的に加熱することを特徴とする。
【０００６】
第１橋絡片の全厚さと全幅とにわたり第１橋絡片を局部的に加熱している間、熱膨張により橋絡片の材料に応力が発生する。加熱された材料内で、これ等の応力は材料の降下した降伏点を越え、加熱された材料は塑性変形を起こす。アクチュエータの加熱されていない周囲の材料においては、上記応力は材料の弾性変形を発生させるだけである。材料の降伏点は、この点以上に高い圧力が作用するとこの材料が塑性変形を起こす点である。温度が上昇するにつれて、降伏点は低くなる。この段階中は、部片が互いに相対的に自由に移動するのをまだ加熱されていない第２の橋絡片が防止する。第１橋絡片の塑性変形した材料は、冷却中に収縮する。冷却後は、第１橋絡片は以前より短い長さを有し、部片は互いに接近するように移動し、第２橋絡片は圧縮歪を受け、第１橋絡片は引張り歪を受ける。次に第２橋絡片を加熱する。第２橋絡片の材料が十分に加熱されると直ちに、第１橋絡片内に存在する引張り力の結果、部片は更に互いに接近するよう移動する。部片のこれ以外のいかなる相互の移動も第１橋絡片によって防止される。加熱中、第１橋絡片の熱応力と引張り力とに起因し、第２橋絡片の材料は塑性変形をする。冷却後、第２橋絡片は一層短くなり、部片は互いに接近するようになお引っ張られると共に、第１橋絡片は圧縮歪を受け、第２橋絡片は引張り歪を受ける。このプロセスは数回繰り返され、従って、１個の橋絡片のみを使用する場合に比較し（２０倍から１００倍の割合で）著しく大きな距離にわたり部片を互いに相対的に動かすことができる。
【０００７】
本発明アクチュエータは、アクチュエータを局部的に加熱し冷却する際のアクチュエータの塑性変形によって互いに相対的に移動する少なくとも２個の部片を設けたアクチュエータにおいて、主平面に平行な方向に互いに相対的に部片が移動できるようこれ等部片を橋絡片によって相互に連結し、橋絡片を主平面に平行に指向させると共に、主平面を横切って全厚さにわたりこの橋絡片を加熱し冷却できるよう構成し、発生する塑性変形の結果として部片間の橋絡片の長さを減少させることを特徴とする。主平面に平行に縦方向に変形し得る橋絡片によって部片を相互に連結しているから、主平面に平行な方向のアクチュエータの部片の移動が可能である。
【０００８】
本発明アクチュエータの他の実施例は、数個の橋絡片により部片を相互に連結したことを特徴とする。このように構成することによって、アクチュエータの部片を移動させる方向の数と、自由度の数との範囲を増大することができる。
本発明アクチュエータの更に他の実施例は、少なくとも２個のほぼ平行な橋絡片と、これ等平行な橋絡片間に斜めに位置する第３橋絡片とを具え、平行な橋絡片に対し鋭角を形成するよう第３橋絡片を平行な橋絡片の端部間に配置したことを特徴とする。このようなアクチュエータの場合には、第３橋絡片、又は一方の平行な橋絡片の長さを短くすることによって、部片を互いに平行に移動させることができ、互いに相対的に回転させることができる。両方の平行な橋絡片が短くなった時、第３橋絡片が比較的長くなり、第３橋絡片が伸長した際に生ずる移動にほぼ相当する移動が得られる。平行な橋絡片の一方、又は他方が短くなることによって互いに反対方向の回転が得られる。
【０００９】
本発明アクチュエータの他の実施例は、各部片を２個のヒンジによって２個の案内に連結し、これ等４個のヒンジによって実質的に１個の平行四辺形の頂点を形成することにより部片が互いに平行に移動可能であることを特徴とする。橋絡片が塑性変形した時、部片は案内に対し回動し、部片は互いに平行に移動する。
本発明の更に他の実施例のアクチュエータは主平面内で上記部片のうちの第１部片によって第２部片を包囲し、この第２部片の相互に対向する側に繋止した多数の橋絡片によって第２部片を第１部片に連結したことを特徴とする。橋絡片の数に応じて、主平面に平行な実質的にすべての方向に第２部片を移動させることができる。
図面につき本発明の実施例を説明する。
【００１０】
【実施例】
図面中、同一部分を同一符号にて示す。
ネオジウムヤグレーザ発生装置３（ネオジウムを含むイットリウム、アルミニウム、ガーネット結晶を用いたレーザの発生装置）とｘ、ｙ方向に移動可能なテーブル５とを設けたアクチュエータ調整装置１を図１に示す。調整すべきアクチュエータ７は、レーザ発生装置３から発生したレーザビーム９の下方に希望する位置にテーブル５とカメラ（図示せず）とによって配置される。アクチュエータ７の移動は位置トランスジューサ１１によって測定される。
図２（ａ）は本発明によるアクチュエータ１３を示し、このアクチュエータは、３個の板状ストリップ橋絡片１９、２１、２３によって相互に連結した第１板状部片１５と第２板状部片１７とを具える。橋絡片１９、２３は平行に指向し、同一長さを有する。第３の橋絡片２１は平行な橋絡片１９、２３の間に斜めに配置され、平行な橋絡片と２個の板状部片１５、１７とに連結されている。この第３の橋絡片２１は平行な橋絡片１９、２３に対しαの鋭角を形成する。橋絡片１９、２１、２３と板状部片１５、１７とによってトラスを形成するが、このトラスの第１三角形２５は第１板状部片１５と橋絡片２１、２３とによって形成されており、第２三角形２７は第２板状部片１７と橋絡片１９、２１とによって形成されている。
【００１１】
このアクチュエータの作動は次の通りである。レーザ発生装置３（図１参照）はテーブル５上のｘｙ平面内に設置した主平面上に比較的長いパルス時間で空間を横切ってレーザビーム９を指向させ、第１位置における全厚さにわたりあくまでもｚ方向に橋絡片のうちの１個を部分的に均一に加熱する。この場合、厚さ方向の温度勾配は最小である。加熱中、熱膨張から生ずる応力は橋絡片の加熱される材料の降伏点を越え、橋絡片の塑性変形が起こる。次にレーザを止め、橋絡片を冷却する。冷却後、橋絡片の長さは一層短くなる。この長さの変化は数マイクロメートルである。次にこの橋絡片の他の第２位置を非常に局部的に加熱し、再び冷却すると、この橋絡片は再び僅かに一層短くなる。この橋絡片の同一位置を加熱しなければならないことがあると、その位置に発生した収縮応力は消滅する。２回目の冷却中に、収縮応力が再び発生し、橋絡片は局部的に短くなる。しかし、全体としての作用としては、橋絡片は一層短くならず、第２回目の加熱前と同一の長さを有することである。橋絡片をその全幅にわたり加熱しないのが好適である。橋絡片をその全幅にわたって加熱すると、橋絡片を加熱した瞬間に外部負荷に起因して、板状部片１５、１７が互いに相対的にずれる危険が実際上発生する。橋絡片の幅の一部を加熱すれば、加熱されていない部分がこのようなずれを防止する。
【００１２】
橋絡片１９の長さが減少した時、第１三角形２５は変化せずに留まるが、第２板状部片１７は実質的な枢着点２９の周りに第１板状部片１５に対し正の角φだけ回転する。
橋絡片２３の長さが減少した時、第２三角形２７は変化せずに留まるが、第２板状部片１７は実質的な枢着点３１の周りに第１板状部片１５に対し負の角φだけ回転する。
【００１３】
図２（ｂ）に示すアクチュエータ１３では、レーザスポット３３の区域において、橋絡片２１を局部的に加熱し冷却する。この場合、平行な橋絡片１９、２３と板状部片１５、１７とは平行四辺形の形で作用する。第２板状部片１７は第１板状部片１５に対しプラスｙ方向に並進運動をする。この間に、マイナスｘ方向の移動も生ずるが、この移動はプラスｙ方向の移動に比較し小さい。
２個の平行な橋絡片１９、２３が同時に短くなった時、第３の橋絡片２１は比較的長くなり、第２板状部片は第１板状部片に対しマイナスｙ方向に並進運動をする。
【００１４】
これ等の橋絡片を数回加熱し冷却することによって、板状部片１５、１７を数１０マイクロメータにわたり互いに相対的に動かすことが可能であり、互いに相対的に２．５〜５マイクロラジアンだけ回転させることが可能である。
板状アクチュエータ１３の板平面に平行な平面内で板状部片１５、１７は互いに相対的に移動する。板状素子は、これ等の方向の寸法変化に対して比較的大きな剛性を有する。この結果と、三角形２５、２７から成るトラスとしてアクチュエータ１３が構成されていることとにより、アクチュエータ１３はｘ方向、ｙ方向及びφ方向の移動と負荷とに対し比較的大きな剛性を有する。
【００１５】
図３に本発明アクチュエータ３５を示し、このアクチュエータは４個の弾性板ヒンジ４１によって２個の板状案内４３に連結した第１板状部片３７と第２板状部片３９とを具える。板状案内４３は板状部片３７、３９のための平行案内を形成している。開口４９によって分離した２個の板状橋絡片４５、４７を介して板状部片３７、３９を更に相互に連結する。アクチュエータ３５を単一板で造り、例えば打抜き、腐食、レーザ切断、又はスパーク浸食法により溝孔５１、開口４９を設ける。弾性ヒンジ４１は平行四辺形の４個の頂点を形成しており、従って板状部片３７、３９はｙ方向に互いに相対的に移動することができ、非常に限定されているがｘ方向にも互いに相対的に移動することができる。
【００１６】
アクチュエータ３５の作動は次の通りである。第１橋絡片４５の全厚さ及び全幅にわたり第１橋絡片を局部的に加熱している間、熱膨張に起因し、橋絡片４５の材料に応力が発生する。加熱された材料内のこれ等の応力は材料の低下した降伏点を越え、加熱された材料は塑性変形する。アクチュエータの加熱されていないその周りの材料内では、上記の応力によって材料の弾性変形のみを発生させる。この段階中、加熱されていない第２板状橋絡片４７は板状部片が互いに相対的に自由にずれるのを防止する。第１橋絡片４５の塑性変形した材料は冷却中に収縮する。冷却後、第１橋絡片４５は以前より一層短い長さを有し、第１板状部片３７にマイナスｙ方向に力Ｆ₁ が作用し、第２板状部片３９にプラスｙ方向に力Ｆ₂ が作用する。これ等の力Ｆ₁ 、Ｆ₂ によって板状案内４３に力のモーメントを生じ、そのため板状案内４３はプラスφ方向に回転し、板状部片３７、３９は互いに接近するよう移動する。これにより第２橋絡片４７は圧縮歪を受け、第１橋絡片４５は引張歪を受ける。
【００１７】
次に第２橋絡片４７を加熱する。第２橋絡片４７の材料が十分に加熱された瞬間に、板状部片３７、３９は、なお互いに接近するように動く。これは第１橋絡片４５内になお引張応力が存在するためである。板状部片３７、３９がこれ以上相互に移動しようとしても第１橋絡片４５によってその動きは防止される。加熱中、第２橋絡片４７の材料は第１橋絡片４５内の引張り力と、熱応力とのため塑性変形をし、冷却後、第２橋絡片４７は一層短くなり、力Ｆ₁ 、Ｆ₂ が再び板状部片３７、３９に作用する。これによりこれ等板状部片は再び互いに接近するように動く。ここで、第１橋絡片４５は圧縮歪を受けており、第２橋絡片４７は引張り歪を受ける。希望する移動が実現されるまで、それぞれ橋絡片４５、４７の同一位置の加熱を通じてこのプロセスが繰り返される。加熱されつつある他方の橋絡片が加熱される前の以前に有していた長さにならないように一方の橋絡片が防止する。
【００１８】
図３に示したアクチュエータ３５とほぼ同一のアクチュエータ５３を図４に示す。但し、板状部片３７、３９は６個の橋絡片５５により相互に連結されている。１個の橋絡片が短くなった時、板状部片３７、３９に生ずる相互の移動は図３に示すアクチュエータ３５におけるよりも小さい。これは唯１個の橋絡片でなく、５個もある橋絡片がこの移動を防止するからである。このようにして、アクチュエータの一層小さい移動を実現することができる。多数の橋絡片を有しているため、アクチュエータ５３はアクチュエータ３５より一層剛固である。
【００１９】
図５は本発明アクチュエータ５７を示し、このアクチュエータは６個の板状橋絡片６３によって相互に連結した第１板状部片５９と第２板状部片６１とを具える。アクチュエータ５７を１個の板から造り、橋絡片６３を互いに分離している細長い開口６５をこの板に打抜き、又はスパーク浸食法によって設ける。複数個の開口６５は１個の円の上に位置している。この円の中心に位置するように第２板状部片６１に孔６７を設ける。位置決めすべき対象物をこの孔６７を通じて第２板状部片６１に緊締することができる。例えば橋絡片６３ａを加熱し、次に冷却することによって、孔６７を橋絡片６３ａの方向に移動させる。次に、他の橋絡片６３を加熱し冷却する時、孔６７をこの他の橋絡片の方向に移動させる。各橋絡片を１度だけ短くすることができる。或る橋絡片が２回目に加熱された時、他の橋絡片がこの或る橋絡片から孔６７を引っ張るが、冷却後は実際上何も変化を生じていない。
【００２０】
図６は１個の壁７１がアクチュエータとして構成されているスチール長方形箱６９を示す。壁７１、７３を薄い可撓性板で造る。溝孔７５によって壁７１を４個の表面７７、７９、８１、８３に分割し、表面７７、８１を２個の橋絡片８５によって相互に連結する。壁７１の開口８７によって２個の橋絡片８５を相互に分離する。橋絡片８５を加熱し次に冷却することによって、これ等橋絡片は収縮し、表面８１はマイナスｚ方向に表面７７に向け移動する。これにより箱６９の残りの壁７３は湾曲し、箱６９はｘ軸線の周りに捩じれる。このようなアクチュエータは構成部片のハウジングに使用することができる。
【００２１】
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すようなアクチュエータ１３を適用した場合のそれぞれ前面斜視図と背面斜視図とである。図７（ａ）及び図７（ｂ）は、支持体９１を介してアクチュエータ１３に取り付けた磁気ヘッド８９を示す。カセットリコーダに使用される磁気ヘッドはテープ（図示せず）に対して希望する高さ（ｚ方向）に希望するいわゆる方位角（φ方向）に位置する必要がある。アクチュエータ１３の板状部片１７は磁気ヘッドのハウジング（図示せず）に連結される。アクチュエータ１３の板状部片１５に２個の湾曲脚９３、９５を設け、これ等の脚を磁気ヘッド８９のハウジングに連結する。これ等の脚９３、９５によって磁気ヘッド８９はｙ方向に十分剛強になる。脚９３、９５に弾性ヒンジを設け、アクチュエータ１３の板状部片１５がｚ方向に移動した時、脚９３、９５がｚ方向に容易に湾曲することができるようにする。アクチュエータ１３は次のような寸法である。即ち、橋絡片１９、２３の長さは２ｍｍ、幅は０．６ｍｍ、角度αは６０度、アクチュエータの厚さは０．３ｍｍである。
【００２２】
図８は図２（ａ）に示すアクチュエータ１３の代案としての実施例のアクチュエータ９７を示す。このアクチュエータ９７は細長い開口９９によって分離された２個の平行な橋絡片２１ａ、２１ｂによって橋絡片２１を構成している点で図２（ａ）のアクチュエータ１３と相違している。この場合の板状部片１５、１７は図２（ａ）に示すアクチュエータ１３におけるよりも一層大きい距離にわたり互いに相対的に移動することができ、図３に示した橋絡片４５、４７に加えた加熱と同様に、橋絡片２１ａ、２１ｂをその全幅ｂにわたり交互に加熱する。この場合、橋絡片２１ａ、２１ｂは圧縮負荷と引張負荷とを交互に受ける。
【００２３】
橋絡片を繰り返し加熱し冷却する代わりに、一層大きな移動、又は一層小さな移動を実現するように適合したレーザスポットの寸法を使用することもできる。加熱中、小さな直径のレーザスポットを橋絡片に対し移動させることにより、調整自在のレーザスポット寸法を得ることができ、これにより一層大きな直径のレーザスポットの効果が得られる。その他、迅速に調整可能なビーム拡大装置を使用するか、レーザビームをデフォーカスすることによってもこのことを達成することができる。更に、続くレーザパルス間が例えば８ミリ秒である分離した短いレーザパルスでレーザスポットを構成してもよい。このような迅速な連続状態でスポットを設けるから、１個の大きな高温スポットを得ることができる。
【００２４】
橋絡片は金属、又は合成樹脂のように適切な熱伝導性を有し、塑性変形できる任意の材料で造ることができる。
外部負荷、又は外力によって希望しないのに板状部片が互いに移動することがないようになっていれば、複数個の橋絡片を同時に加熱してもよい。
金属の橋絡片の加熱された材料の温度は８００〜１５００℃の間にある。
本発明アクチュエータは、製品の比較的小さな構成部片の位置決めのため、例えばＣＣＤ（電荷結合デバイス）のチップ、ＤＣＣヘッド、又は電子銃の構成部片を位置決めするのに適する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施するのに適する装置の側面図である。
【図２】本発明アクチュエータの第１実施の平面図で、（ａ）はまだ塑性変形していないアクチュエータを示し、（ｂ）は塑性変形したアクチュエータを示す。
【図３】本発明アクチュエータの第２実施例を示す平面図である。
【図４】本発明アクチュエータの第３実施例を示す平面図である。
【図５】本発明アクチュエータの第４実施例を示す平面図である。
【図６】本発明アクチュエータの第５実施例を示す平面図である。
【図７】図２（ａ）に示す本発明アクチュエータを適用した状態を示す図で（ａ）はその前面斜視図、（ｂ）は後面斜視図である。
【図８】本発明アクチュエータの第６実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１ アクチュエータ調整装置
３ ネオジウムヤグレーザ発生装置
５ テーブル
７、１３、３５、５３、５７、９７ アクチュエータ
９ レーザビーム
１５、３７、５９ 第１板状部片、第１部片
１７、３９、６１ 第２板状部片、第２部片
１９、２１、２３ 板状ストリップ橋絡片
２５ 第１三角形
２７ 第２三角形
２９、３１ 枢着点
４１ 弾性板ヒンジ
４３ 板状案内
４５ 第１板状橋絡片
４７ 第２板状橋絡片
４９、８７ 開口
５１ 溝孔
５５ 橋絡片
６３ 板状橋絡片
６５、９９ 細長い開口
６７ 孔
６９ 長方形箱
７１、７３ 壁
７５ 溝孔
７７、７９、８１、８３ 表面
８５ 橋絡片
８９ 磁気ヘッド
９１ 支持体
９３、９５ 湾曲脚

Claims (8)

1. アクチュエータを局部的に加熱し冷却することによりアクチュエータを局部的に塑性変形させてその部片を互いに相対的に動かすことによりアクチュエータの少なくとも２個の部片を相互に移動させるに当たり、主表面に平行に延び前記２個の部片を連結する橋絡片を温度勾配が前記主表面を横切ってあくまでも最小になるよう加熱し、次に冷却し、発生する塑性変形に起因し前記部片間の前記橋絡片の長さを減少させ、前記橋絡片によって相互に連結した前記部片を前記主表面に平行な方向に互いに相対的に動かすことを特徴とするアクチュエータの部片移動方法。
2. 前記部片を互いに連結する数個の橋絡片を加熱し、冷却することを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 比較的短い距離に互いに位置している少なくとも２個の橋絡片を交互に短くし、前記部片の互いに相対的な不所望の移動を一方の橋絡片により防止しながら、他方の橋絡片をその全幅と全厚さとにわたり局部的に加熱することを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. アクチュエータを局部的に加熱し冷却する際のアクチュエータの塑性変形によって互いに相対的に移動する少なくとも２個の部片を設けたアクチュエータにおいて、主平面に平行な方向に互いに相対的に前記部片が移動できるようこれ等部片を橋絡片によって相互に連結し、前記橋絡片を前記主平面に平行に指向させると共に、前記主平面を横切って全厚さにわたり前記橋絡片を加熱し冷却できるよう構成し、発生する塑性変形の結果として前記部片間の前記橋絡片の長さを減少させる請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の方法の実施に使用するアクチュエータ。
5. 前記部片を数個の橋絡片により相互に連結したことを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 少なくとも２個のほぼ平行な橋絡片と、これ等平行な橋絡片間に斜めに位置する第３橋絡片とを具え、前記平行な橋絡片に対し鋭角を形成するよう前記第３橋絡片を前記平行な橋絡片の端部間に配置したことを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 各前記部片を２個のヒンジによって２個の案内に連結し、これ等４個のヒンジによって実質的に１個の平行四辺形の頂点を形成することにより前記部片が互いに平行に移動可能であることを特徴とする請求項４、又は５に記載のアクチュエータ。
8. 前記主平面内で前記部片のうちの第１部片によって第２部片を包囲し、この第２部片の相互に対向する側に繋止した多数の橋絡片によって前記第２部片を前記第１部片に連結したことを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

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