JP3991018B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

この発明は、受光素子と信号処理部を有する半導体装置に関し、例えば、TV(テレビ受像機),VTR(ビデオテープレコーダ),オーディオ用コンポーネント,エアコンディショナ等の電子機器に取り付けられ、送信機からの赤外線信号を受信して各電子機器の動作を制御する制御信号を発生する光通信用半導体装置に関する。
従来、光通信用半導体装置としては、基板上に受光チップおよび制御用ICチップを有し、それらのチップを赤外透過性樹脂で封止したものがある。
この光通信用半導体装置は、送信機から赤外線で送られてくる各種電子機器の制御信号を受信する。この赤外線で送られてくる信号は非常に微小であるので、上記光通信用半導体装置には、高ゲインのアンプが内蔵されており、このアンプで上記赤外線による光信号を増幅し、光信号をデジタル信号に変換して出力している。したがって、上記光通信用半導体装置は、ノイズには非常に敏感である。
そこで、このノイズ対策のため、上記赤外透過性樹脂を金属製のシールドケースでカバーし、上記光通信用半導体装置をユーザー側で基板に実装する際に、上記シールドケースの端部を上記基板のGND端子に電気的に接続して、ノイズを除去している。
ただし、この場合、次の(a)〜(c)の問題があった。
(a) シールドケースで装置を覆う為の工数がかかる。
(b) シールドケース自体にコストがかかる。
(c) シールドケースの形状によっては基板への実装自由度が制約を受ける。
そこで、上記シールドケースに代えて、導電性樹脂を有し、この導電性樹脂でもって、上記赤外透過性樹脂の受光領域以外を覆い、かつ、上記赤外透過性樹脂の端部から突き出させたリードフレームに上記導電性樹脂を電気的に接続することも提案されている(特開平9−84162号公報参照)。
ところが、上記従来例では、リードフレームと導電性樹脂との電気的接触が不十分に成り易くて、シールド効果が不十分に成り易いという問題があった。
特開平9−84162号公報
そこで、この発明の課題は、電磁シールド効果を十分に得られると共に、小型,低コストで基板への実装自由度が高い半導体装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の半導体装置は、リードフレームと、このリードフレームに搭載された受光素子と、上記リードフレームに搭載されると共に上記受光素子に電気的に接続された信号処理部と、上記受光素子と信号処理部を封止すると共に透光性樹脂で作製された第1封止部と、上記第1封止部を覆うと共に導電性樹脂で作製された第2封止部とを備えた半導体装置であって、
上記第2封止部は上記リードフレームが有するグランド接続用リードに接触する導電部を有し、
上記グランド接続用リードまたは上記第1封止部の少なくとも一方は、上記第2封止部の上記導電部が充填された充填孔を有することを特徴としている。
この発明によれば、透光性樹脂で作製された第1封止部を覆う第2封止部が導電性樹脂で作製されたから、この第2封止部は第1封止部で封止された受光素子と信号処理部に対する電磁波シールドの役割を果たす。また、この第2封止部の導電部は上記グランド接続用リードまたは第1封止部の少なくとも一方が有する充填孔に充填されて、第2封止部を上記グランド接続用リードに電気的に接続する。
これにより、上記第2封止部による電磁シールド効果を十分に得られると共に、金属製のシールドケースも不要であるので、小型,低コストで基板への実装自由度を高めることができる。なお、上記グランド接続用リードに充填孔が形成され、この充填孔に上記導電部が充填されている場合には、第2封止部とグランド接続用リードとの電気的接続の導電性を高めることができ、かつ、第2封止部とグランド接続用リードとの機械的接続を強固にできる。
なお、一例として、受光素子で受光する信号光が赤外光である場合には、上記透光性樹脂を赤外透過性樹脂とする。
また、一実施形態の半導体装置では、上記グランド接続用リードは、上記第1封止部から上記第2封止部内に突出している突出部を有し、
上記突出部が上記充填孔を有し、この充填孔は、多角柱形状の内周面を有する。
この実施形態では、上記グランド接続用リードの突出部が第2封止部内に突出していることで、この突出部が第2封止部に電気的に接続される。さらに、この突出部の充填孔に第2封止部の導電部が充填されることで、上記電気的接続の導電性をより向上でき、上記突出部と上記第2封止部との結合の機械的強度も向上できる。また、上記充填孔が多角柱形状の内周面を有することで、この充填孔が円柱形の内周面を有する場合に比べて、上記突出部の充填孔の多角柱形状の内周面と上記第2封止部の導電部との接続面積を増大させて、上記電気的接続の導電性および上記結合の機械的強度を一層向上できる。したがって、第2封止部による電磁シールド効果が確実に得られる。
また、一実施形態の半導体装置では、上記第1封止部は上記充填孔を有し、この充填孔は内周面が円柱形状である。
この実施形態では、上記第1封止部に形成した充填孔に第2封止部の導電部を充填することで、第2封止部の導電部をグランド接続用リードに接触させて電気的に接続する。したがって、グランド接続用リードを第1封止部から第2封止部に突出させる必要が無くて小型化を図れる。また、第1封止部の充填孔の内周面が円柱形であることによって、充填孔の外形寸法を抑えつつ導電部の容積を確保して一層の小型化を図れる。
また、一実施形態の半導体装置では、上記実施形態において、上記グランド接続用リードは、上記第2封止部の上記導電部から延長している延長部が充填される貫通孔を有する。
この実施形態では、上記第1封止部が上記充填孔を有する上に、上記グランド接続用リードは上記第2封止部の上記導電部の延長部が充填される貫通孔を有する。このグランド接続用リードの貫通孔の内周面と第2封止部の導電部の延長部との接触でもって、グランド接続用リードと第2封止部との接触面積を増大させて、グランド接続用リードと第2封止部との電気的接続の導電性を一層向上できる。
また、一実施形態の半導体装置では、上記第1封止部が上記充填孔を有し、この充填孔は内周面が多角柱形状である。
この実施形態では、第1封止部が有する充填孔の内周面が多角柱形状であることによって、この充填孔の内周面とこの内周面に充填する第2封止部の導電部との機械的な結合力を向上できる。また、上記導電部とグランド接続用リードとの接触面積の増加を図って、電気的接続の信頼性や導電特性の向上を図れる。
また、一実施形態の半導体装置では、上記グランド接続用リードは、上記第2封止部が接触する接触領域にノッチが形成された。
この実施形態では、上記グランド接続用リードの上記接触領域にノッチが形成されたことによって、上記グランド接続用リードと上記第2封止部との接触面積の増大を図れ、上記グランド接続用リードと上記第2封止部との間の電気的接続および機械的接続の特性向上を図れる。
また、一実施形態の半導体装置では、上記グランド接続用リードは、上記第2封止部が接触する接触領域が梨地にされた。
この実施形態では、上記グランド接続用リードの上記接触領域を梨地にしたことによって、上記グランド接続用リードと上記第2封止部との接触面積の増大を図れ、グランド接続用リードと第2封止部との間の電気的接続および機械的接続の特性向上を図れる。したがって、第2封止部による電磁シールド効果が確実に得られる。
また、一実施形態の半導体装置の製造方法では、上記第1封止部を樹脂モールドで作製する第1モールド工程と、上記第2封止部を樹脂モールドで作製する第2モールド工程とを有し、
上記第1モールド工程において、上記第1封止部の上記充填孔をイジェクトピンで形成し、
上記第2モールド工程において、上記第1封止部の上記充填孔に上記導電部となる導電性樹脂を注入する。
この実施形態では、上記第1モールド工程において、イジェクトピンによって、第1封止部のためのモールドのイジェクトと上記充填孔の形成とを同時に行えるので、製造工程が簡単になる。
また、一実施形態の電子機器は、上記半導体装置を備えた。
この実施形態では、上記半導体装置を備えたことで、電磁シールド効果を十分に得られてノイズに強くて、小型で低コストの電子機器を実現可能となる。
この発明によれば、第2封止部の導電部はリードフレームのグランド接続用リードまたは第1封止部の少なくとも一方が有する充填孔に充填されて、第2封止部をリードフレームのグランド接続用リードに電気的に接続する。これにより、上記第2封止部による電磁シールド効果を十分に得られると共に、小型,低コストで基板への実装自由度を高めることができる。
以下、この発明を図示の実施の形態によって詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1(A),(B)に、この発明の第1実施形態としての光通信用半導体装置を示す。図1(A)は、図1(B)におけるA−A’線断面図である。
この第1実施形態の半導体装置は、信号用の第1リード1a,電源用の第2リード1b,グランド接続用の第3リード1cからなるリードフレーム1と、グランド接続用の第3リード1cが有する搭載部2に搭載された受光素子である受光チップ3および信号処理部である制御用ICチップ5を備える。上記受光チップ3はフォトダイオードもしくはフォトトランジスタ等で構成される。また、上記制御用ICチップ5は高ゲインのアンプを内蔵している。
上記制御用ICチップ5と受光チップ3は導電性ワイヤ6aで接続され、受光チップ3は導電性ワイヤ6bで第3リード1cに接続されている。また、上記制御用ICチップ5は、導電性ワイヤ6cで第1リード1aに接続され、導電性ワイヤ6dで第2リード1bに接続され、導電性ワイヤ6eで第3リード1cに接続されている。
上記リードフレーム1と上記受光チップ3および制御用ICチップ5は、透光性樹脂としての赤外透過性樹脂で作製された第1封止部7によって一体に固定され、この第1封止部7は上記受光チップ3と制御用ICチップ5を封止している。この第1封止部7は、受光チップ3の受光面3Aに信号光としての赤外光を導くための凸湾曲面7Aを有する。そして、この第1封止部7の表面のうちの上記凸湾曲面7A以外の表面7Bは、導電性樹脂で作製された第2封止部8で覆われて封止されている。なお、図1では第2封止部8のみにハッチングを施している。
上記リードフレーム1は、第1封止部7内から第2封止部8内に突出した略四角形状の突出部10,11を有する。つまり、この突出部10,11は第2封止部8内に埋め込まれている。この突出部10,11は、第1封止部7の面取り部12,13と第2封止部8の角部14,15との間に配置されている。この配置により、突出部10,11が存在することによる外形寸法の増大を抑制して小型化を図れる。
また、この突出部10,11は、四角柱形状の周面16A,17Aを有する貫通孔16,17を有する。この貫通孔16,17は充填孔をなす。この貫通孔16,17内には上記第2封止部8の導電部21,22が充填され、この導電部21,22は上記貫通孔16,17の周面16A,17Aに密接している。なお、この第1実施形態では、上記突出部10,11の貫通孔16,17の周面16A,17Aだけでなく突出部10,11の表面10A,11Aの全体が第2封止部8に密接している。
上記構成の光通信用半導体装置では、上記第1封止部7の凸湾曲面7Aに、赤外光からなる信号光が入射すると、この信号光は上記受光チップ3の受光面3Aに導かれる。すると、受光チップ3は上記信号光を電気信号に変換し、この電気信号を導電性ワイヤ6aを経由して制御用ICチップ5に出力する。すると、この制御用ICチップ5は上記電気信号に対して所定の信号処理を行った出力信号を導電性ワイヤ6cを経由して第1リード1aに出力する。また、この制御用ICチップ5は導電性ワイヤ6dで第2リード1bに接続されている。この第2リード1bは、基板(図示せず)の電源に接続されて、この電源から第2リード1b,導電性ワイヤ6dを経由して制御用ICチップ5に電力が供給される。また、この制御用ICチップ5は導電性ワイヤ6eで第3リード1cに接続されている。この第3リード1cは上記基板のGND(グランド)端子に接続される。
この第1実施形態では、赤外透過性樹脂で作製された第1封止部7を覆う第2封止部8が導電性樹脂で作製され、この第2封止部8はリードフレーム1の第3リード1cの突出部10,11の表面10A,11Bの全体に密接して電気的に接続されている。したがって、この光通信用半導体装置を上記基板に実装し上記第3リード1cを上記GND端子に接続すれば、上記第2封止部8は第1封止部7で封止された受光素子3および制御用IC5に対する電磁波シールドの役割を果たす。また、この第2封止部8の導電部21,22はリードフレーム1の突出部10,11が有する貫通孔16,17に充填され、この貫通孔16,17の周面16A,17Aに密接しているので、突出部10,11と第2封止部8との接触面積の増大を図れ、突出部10,11と第2封止部8との電気的接続の導電性を向上して、電磁シールド効果の向上を図れる。また、突出部10,11と第2封止部8との機械的接続が強固になる。
さらに、上記周面16A,17Aが四角柱形状であるので円柱形状である場合に比べて上記接触面積の増大を図れ、突出部10,11と第2封止部8との電気的接続の導電性を向上でき、突出部10,11と第2封止部8との機械的接続もより強固になる。
なお、上記第1実施形態において、リードフレーム1の第3リード1cが第2封止部8に接触する接触領域である突出部10,11の表面にノッチを形成してもよい。また、突出部10,11の表面を梨地にしてもよい。これらの場合、突出部10,11と第2封止部8との接触面積の増大を図れ、第2封止部8と第3リード1cとの電気的接続の導電性をさらに向上できる。また、上記第1実施形態において、第1封止部7に、第3リード1cに達する充填孔を設けて、この充填孔に第2封止部8から延びる導電部を充填して、この導電部で第2封止部8を第3リード1cに電気的に接続させてもよい。この場合にも、第2封止部8と第3リード1cとの電気的接続の導電性を一層向上できる。また、上記第1実施形態では、受光チップ3が受光する信号光を赤外光としたが、赤外光以外の信号光であってもよい。この場合、上記第1封止部7は上記信号光を透過するような樹脂で作製すればよい。
(第2の実施の形態)
次に、図2,図3を参照して、この発明の光通信用半導体装置の第2実施形態を説明する。図2(A)はこの第2実施形態の外観を示す正面図であり、図2(B)はこの第2実施形態の側面図である。また、図3(A)は図3(B)のA−A’線断面図である。
この第2実施形態の半導体装置は、信号用の第1リード31a,グランド接続用の第2リード31b,電源用の第3リード31cからなるリードフレーム31と、グランド接続用の第2リード31bが有する搭載部32に搭載された受光素子である受光チップ33および信号処理部である制御用ICチップ35を備える。この制御用ICチップ35と受光チップ33は導電性ワイヤ36aで接続され、受光チップ33は導電性ワイヤ36bで第2リード31bに接続されている。また、上記制御用ICチップ35は、導電性ワイヤ36cで第1リード31aに接続され、導電性ワイヤ36dで第2リード1bに接続され、導電性ワイヤ36eで第3リード31cに接続されている。
上記リードフレーム31と受光チップ33および制御用ICチップ35は、赤外透過性樹脂で作製された第1封止部37によって一体に固定され、この第1封止部37は上記受光チップ33と制御用ICチップ35を封止している。この第1封止部37は、受光チップ33の受光面33Aに信号光としての赤外光を導くための凸湾曲面37Aを有する。そして、この第1封止部37の表面のうちの上記凸湾曲面37A以外の表面37Bは、導電性樹脂で作製された第2封止部38で覆われて封止されている。
この第2実施形態では、第1封止部37は、表面37Bから第2リード31bの四角形状部42に達する充填孔40を有する。この充填孔40は、内周面40Aが円柱形状である。そして、上記第2封止部38は上記充填孔40に充填された導電部41を有する。この導電部41は、上記第2リード31bの四角形状部42に接触して電気的に接続されている。なお、図3では第2封止部38のみにハッチングを施している。
この第2実施形態の基本動作は前述の第1実施形態と同様であるので、説明を省略する。この第2実施形態によれば、赤外透過性樹脂で作製された第1封止部37を覆う第2封止部38が導電性樹脂で作製され、この第2封止部38は導電部41でグランド接続用の第2リード31bに電気的に接続される。したがって、この第2実施形態を所定の基板(図示せず)に実装することで、この第2封止部38は第1封止部37で封止された受光チップ33および制御用ICチップ35に対する電磁波シールドの役割を果たす。また、この第2封止部38の導電部41は第1封止部37が有する充填孔40に充填されて、第2封止部38をリードフレーム31のグランド接続用の第2リード31bに電気的に接続する。これにより、上記第2封止部38による電磁シールド効果を十分に得られると共に、小型,低コストで基板への実装自由度を高めることができる。
また、この第2実施形態によれば、リードフレーム31の第2リード31bを第1封止部37から第2封止部38に突出させる必要が無くて小型化を図れる。また、第1封止部37の充填孔40の内周面40Aが円柱形であることによって、充填孔40の外形寸法を抑えつつ導電部41の容積を確保して一層の小型化を図れる。
なお、上記第2実施形態において、リードフレーム31の第2リード31bの四角形状部42のうちの上記導電部41に接触する部分42Aにノッチを形成してもよい。また、上記部分42Aを梨地にしてもよい。これらの場合、導電部41と第2リード31bとの接触面積を増大させて、導電部41と第2リード31bとの電気的接続の導電性を向上できる。
また、上記第2実施形態の半導体装置の製造方法において、上記第1封止部37を樹脂モールドで作製する第1モールド工程と、上記第2封止部38を樹脂モールドで作製する第2モールド工程とを有し、上記第1モールド工程において、上記第1封止部37の上記充填孔40をイジェクトピンで形成し、上記第2モールド工程において、上記第1封止部37の上記充填孔40に上記導電部41となる導電性樹脂を注入するようにしてもよい。この場合には、上記第1モールド工程において、イジェクトピンによって、第1封止部37のためのモールドのイジェクトと上記充填孔40の形成とを同時に行えるので、製造工程が簡単になる。また、上記第2実施形態では、受光チップ33が受光する信号光を赤外光としたが、赤外光以外の信号光であってもよい。この場合、上記第1封止部37は上記信号光を透過するような樹脂で作製すればよい。
(第3の実施の形態)
次に、図4,図5を参照して、この発明の光通信用半導体装置の第3実施形態を説明する。図4(A)はこの第3実施形態の外観を示す正面図であり、図4(B)はこの第3実施形態の側面図である。また、図5(A)は図5(B)のA−A’線断面図である。この第3実施形態は、次の(i)の点だけが前述の第2実施形態と異なる。
(i) 第1封止部37が、円柱形状の内周面40Aを有する充填孔40に替えて、四角柱形状の内周面44Aを有する充填孔44を備え、この充填孔44に第2封止部38の四角柱形状の導電部45が充填されている点。
この第3実施形態では、第1封止部37が有する充填孔44の内周面44Aが四角柱形状であることによって、この充填孔44の内周面44Aとこの内周面44Aに充填する第2封止部38の導電部45との機械的な結合力を向上できる。また、上記導電部45とリードフレーム31の第2リード31bとの接触面積の増加を図って、電気的接続の信頼性や導電特性の向上を図れる。
(第4の実施の形態)
次に、図6を参照して、この発明の光通信用半導体装置の第4実施形態を説明する。図6(A)は図6(B)のA−A’線断面図である。この第4実施形態は、次の(i),(ii)の点だけが前述の第2実施形態と異なる。
(i) 第2リード31bの四角形状部42は、第2封止部38の導電部41から延長している延長部47が充填された貫通孔46を有する。この貫通孔46は上記第1封止部37の充填孔40よりも小径である。
(ii) 第1封止部37は、上記四角形状部42に関して充填孔40の反対側にもう1つの充填孔48を有している。この充填孔48は、リードフレーム31に関して凸湾曲面37Aの反対側の裏側表面37Cから上記四角形状部42に達している。そして、この充填孔48には、第1封止部37の裏側表面37Cを覆う第2封止部38の裏側部38Aから延在する導電部50が充填されている。したがって、上記延長部47は上記導電部50の延長部でもある。
この第4実施形態によれば、上記第1封止部37が上記充填孔40を有する上に、上記グランド接続用リードである第2リード31bは上記第2封止部38の上記導電部41の延長部47が充填される貫通孔46を有する。この第2リード31bの貫通孔46の内周面と第2封止部38の導電部41の延長部47との接触でもって、グランド接続用の第2リード31bと第2封止部38との接触面積を増大させて、第2リード31bと第2封止部38との電気的接続の導電性を一層向上できる。また、第2封止部38の延長部47と第2リード31bの貫通孔46とが嵌合状態となるので、第2リード31bと第2封止部38との機械的な結合も強固にでき、信頼性の高い電気的接続を実現できる。なお、この第4実施形態では、上記貫通孔46の内周面を円柱形状にしたが四角柱形状等の多角形状にしてもよい。
また、この第4実施形態では、第2封止部38の裏面部38Aから延在する導電部50が第1封止部37の裏側表面37Cから四角形状部42に達する充填孔48に充填されている。これにより、上記導電部50と上記四角形状部42との接触による電気的な接続でもって、第2封止部38と第2リード31bとの電気的接続の導電性をさらに高めて、電磁シールド効果を一層向上できる。
尚、上記第3,第4実施形態において、グランド接続用の第3リード31bが第1封止部37内から第2封止部38内に突出する突出部を有した場合には、第2封止部38と第3リード31bとの電気的接続の導電性をさらに向上できる。また、この突出部が、前述の第1実施形態の突出部10,11と同様の貫通孔を備えても良い。この場合、この貫通孔に第2封止部38の導電部が充填されることで、上記電気的接続の導電性をさらに向上できる。また、上記第1〜第4実施形態のうちのいずれかの光通信用半導体装置を備えた電子機器によれば、赤外信号を受光するに際してS/N比を向上でき、ノイズの影響を受けにくくなる。上記電子機器としては、テレビ受像機、ビデオテープレコーダ、オーディオ用コンポーネント、エアコンディショナ等の赤外光を信号光として用いて遠隔制御される機器が挙げられる。
図1(A)はこの発明の光通信用半導体装置の第1実施形態の断面を模式的に示す図であり、図1(B)は上記第1実施形態のもう1つの断面を模式的に示す図である。 図2(A)はこの発明の第2実施形態の正面図であり、図2(B)は上記第2実施形態の側面図である。 図3(A)は上記第2実施形態の断面を模式的に示す図であり、図3(B)は上記第2実施形態のもう1つの断面を模式的に示す図である。 図4(A)はこの発明の第3実施形態の正面図であり、図4(B)は上記第3実施形態の側面図である。 図5(A)は上記第3実施形態の断面を模式的に示す図であり、図5(B)は上記第3実施形態のもう1つの断面を模式的に示す図である。 図6(A)はこの発明の第4実施形態の断面を模式的に示す図であり、図6(B)は上記第4実施形態のもう1つの断面を模式的に示す図である。
符号の説明
1,31 リードフレーム
1a,31a 第1リード
1b,31b 第2リード
1c,31c 第3リード
2,32 搭載部
3,33 受光チップ
5,35 制御用ICチップ
7,37 第1封止部
8,38 第2封止部
10,11 突出部
16,17,46 貫通孔
21,22 導電部
40,44 充填孔
41,45,50 導電部
42 四角形状部
44,48 充填孔
47 延長部

Claims (9)

  1. リードフレームと、このリードフレームに搭載された受光素子と、上記リードフレームに搭載されると共に上記受光素子に電気的に接続された信号処理部と、上記受光素子と信号処理部を封止すると共に透光性樹脂で作製された第1封止部と、上記第1封止部を覆うと共に導電性樹脂で作製された第2封止部とを備えた半導体装置であって、
    上記第2封止部は上記リードフレームが有するグランド接続用リードに接触する導電部を有し、
    上記グランド接続用リードまたは上記第1封止部の少なくとも一方は、上記第2封止部の上記導電部が充填された充填孔を有することを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    上記グランド接続用リードは、上記第1封止部から上記第2封止部内に突出している突出部を有し、
    上記突出部が上記充填孔を有し、この充填孔は、多角柱形状の内周面を有することを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項1に記載の半導体装置において、
    上記第1封止部は上記充填孔を有し、この充填孔は内周面が円柱形状であることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項3に記載の半導体装置において、
    上記グランド接続用リードは、上記第2封止部の上記導電部から延長している延長部が充填された貫通孔を有することを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項1に記載の半導体装置において、
    上記第1封止部が上記充填孔を有し、この充填孔は内周面が多角柱形状であることを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項1に記載の半導体装置において、
    上記グランド接続用リードは、上記第2封止部が接触する接触領域にノッチが形成されたことを特徴とする半導体装置。
  7. 請求項1に記載の半導体装置において、
    上記グランド接続用リードは、上記第2封止部が接触する接触領域が梨地にされたことを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項1に記載の半導体装置を製造する製造方法であって、
    上記第1封止部を樹脂モールドで作製する第1モールド工程と、上記第2封止部を樹脂モールドで作製する第2モールド工程とを有し、
    上記第1モールド工程において、上記第1封止部の上記充填孔をイジェクトピンで形成し、
    上記第2モールド工程において、上記第1封止部の上記充填孔に上記導電部となる導電性樹脂を注入することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  9. 請求項1に記載の半導体装置を備えた電子機器。
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