JP3964571B2 - 記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置 - Google Patents

記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録膜や光磁気記録膜に磁界と光スポットによって記録し、磁気ヘッドによって再生する光アシスト磁気(OAM:Optically Assisted Magnetic )記録方式を採用した記録再生ヘッド、記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置に関し、特に、高記録密度化を可能とし、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化を図った記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ヘッドにより磁気記録膜に対して記録・再生を行うハードディスク装置(HDD)では、再生用に磁気抵抗効果を用いた磁気抵抗センサすなわちMR(Magnetoresistive)センサやさらに高感度・高解像度のGMR(Giant-magnetoresistive)センサ(これらのセンサを含めて磁気センサと総称する。)が開発され、この数年、年率60%の割合で高密度化が図られてきた。しかし、ここにきてSuper Para−magnetic効果、すなわちある磁区の磁化の方向が、熱的擾乱に基づき隣接する反対方向の磁化により反転させられる効果のため、面密度がほぼ30Gbits/inch2 で限界であることが判明してきた。
【0003】
これを解決する有力な手段として、OAM(Optically assisted Magnetic )記録方式が提案されている。この方式は、磁気記録膜や光磁気記録膜に磁界と光スポットによって記録し、GMRセンサ等の磁気センサによって再生する光アシスト磁気記録方式であり、記録時にレーザ光の照射により磁化膜を加熱し、その膜の磁化強度を下げたところで記録する。この方式により、磁化の強い磁性膜への記録が可能となり、常温での磁化反転を防ぐことができる。このようなOAM記録方式を採用した従来の記録再生ディスク装置としては、例えば、文献「日経エレクトロニクス、No.734,(99.1.11.)、P.35」に示されるものがある。
【0004】
図15は、その記録再生ディスク装置を示す。この記録再生ディスク装置1は、レーザビーム3を出射する半導体レーザ2と、半導体レーザ2からのレーザビーム3と記録再生ディスク21からの反射光とを分離する偏光ビームスプリッタ33と、半導体レーザ2からのレーザビーム3を円偏光に変換する1/4波長板34と、偏光ビームスプリッタ33および1/4波長板34を通過した半導体レーザ2からのレーザビーム3を集光する集光レンズ4’と、半球状の入射面5aから入射した集光レンズ4’からのレーザビーム3をさらに集光して被集光面5b上に光スポット9aを形成する半球形のSIL(Solid Immersion Lens)5と、SIL5を保持するスライダ31と、スライダ31の光スポット9aの周辺部に設けられた磁界変調用のコイル10と、GMRセンサを用いた磁気センサ11とを有する。
【0005】
このように構成された装置1において情報を記録する場合は、記録再生ディスク8上に形成された光スポット用のトラッキングマーク(本明細書においてトラッキング溝を含むものとして用いる。)に基づいてトラッキングを行い、SIL5の被集光面5b上に光スポット9aを形成し、上記被集光面5bから滲み出す近接場光9bを記録再生ディスク8上の光磁気記録膜8aに照射して昇温させるとともに、コイル10で磁界を変調しながら情報の記録を行う。なお、近接場光は、SIL5による集光の場合、被集光面5b付近では透過光と近接場光が混在するので、本来の近接場光と区別するため疑似近接場光と称されることがあるが、実際には近接場光が集光に本質的な役割を果たしており、近接場光が滲み出している波長の数分の一の距離内で使われるので、ここでは両者を区別せずに一括して近接場光と称する。情報を再生する場合は、記録再生ディスク8上に形成された磁気センサ用のトラッキングマークに基づいて磁気センサを用いたトラッキングを行い、磁気センサによって情報の再生が行われる。この装置1によれば、SIL5の屈折率に反比例して光スポット9aを微細化できるため、幅0.3ミクロン程度の微小な記録磁区の形成ができ、高密度化が可能となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の記録再生ディスク装置によると、光スポット用のトラッキングマークと磁気センサ用のトラッキングマークを記録再生ディスク上にそれぞれ形成していたため、記録密度が低下するとともに、ディスクの作製プロセスが増え、コスト高を招くという問題がある。
また、記録時には、光スポット用のトラッキングマークを用いてトラッキング制御を行い、再生時には、磁気センサ用のトラッキングマークを用いてトラッキング制御を行っていたため、制御が複雑化するという問題がある。
また、磁気センサによるトラッキングでは、ヘッド側面での漏れ磁界により高精度のトラキングマークの形成およびトラッキングが難しいという問題がある。
また、光スポットでトラッキングするトラックと磁気センサでトラッキングするトラックとを近づけることが考慮されていなかったため、記録から再生(ベリファイ)、および再生から記録(修正、再記録)の移行に大幅なシーク動作が必要となることから、シーク動作に時間を要するという問題がある。
【0007】
従って、本発明の目的は、磁気センサ用のトラッキングマークを設けなくても光スポット用のトラッキングマークのみで記録および再生を可能とするとともに、高記録密度化を可能とし、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化を図った記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサとを備えてなり、前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ヘッド提供する。
上記構成によれば、透明集光用媒体の被集光面の端部寄りに光スポットを形成することにより、光スポットと磁気センサの距離を短くすることが可能になる。この結果、光スポット用のトラッキングマーク(トラッキング溝を含む。)のみで記録および再生の際のトラッキングが可能になり、シーク動作の高速化が可能になる。
【0009】
本発明は、上記目的を達成するため、記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、レーザ光を照射して情報の記録を行い、前記記録再生ディスクからの磁界を検出して情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、前記記録再生ヘッドは、前記レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、前記記録再生ディスクからの前記磁界を検出する磁気センサと、を備えてなり、前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ディスク装置を提供する
本発明は、上記目的を達成するため、同軸上に所定の間隔を有して配置された複数の記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、レーザ光を照射して情報の記録を行い、前記記録再生ディスクからの磁界を検出して情報の再生を行う複数の記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、前記記録再生ヘッドは、前記レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、前記記録再生ディスクからの前記磁界を検出する磁気センサとを備えてなり、前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ディスク装置を提供する。
上記各構成によれば、透明集光用媒体の被集光面の端部寄りに光スポットを形成することにより、光スポットと磁気センサの距離を短くすることが可能になるので、光スポット用のトラッキングマークのみで記録および再生の際のトラッキングが可能となる。その結果、高記録密度化が可能となり、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易であり、シーク動作の高速化が可能となる。
【0010】
本発明は、上記目的を達成するため、レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光が入射する入射面、前記入射面から入射した前記レーザ光を反射して集光する回転放物面の一部により形成された反射面、および前記回転放物面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記回転放物面による前記被集光面上の焦点に光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記焦点に近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサとを備えたことを特徴とする記録再生ヘッドを提供する。
本発明は、上記目的を達成するため、レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光が入射され、該レーザ光を収束する球面状の入射面、前記入射面から入射した前記レーザ光を反射する第1の焦点を有する被集光面、および前記被集光面からの前記レーザ光を反射して集光する第2の焦点を前記被集光面上に有する回転楕円面の一部により形成された反射面を有し、前記第2の焦点に光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記第2の焦点に近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサとを備えたことを特徴とする記録再生ヘッドを提供する。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド1は、レーザビーム(出射光)3aを出射する半導体レーザ2と、半導体レーザ2の出力光3aを平行ビーム3bに整形するコリメータレンズ4と、コリメータレンズ4から入射された平行ビーム3bを集光し、近接場光9bとして記録再生ディスク8の光磁気記録膜8aに伝播させる透明集光用媒体6と、近接場光9bが伝播された記録膜8aに交番磁界を印加してOAM記録を行うコイル10と、記録膜8aからの漏れ磁界を検出して情報の再生を行う磁気センサ11とを有する。
【0012】
透明集光用媒体6は、コリメータレンズ4からの平行ビーム3bが入射する入射集光面6aと、表面に反射膜7が形成された集光効果を有する反射面6bと、反射面6bからの収束光3cが集光し、光スポット9aが形成される被集光面6cとを有する。
【0013】
図2は、透明集光用媒体6を示す。透明集光用媒体6の反射面6bは、透明集光用媒体6内部での収束光3cの収束角を大きくし、被集光面6cに微小の光スポット9aを形成するため、回転放物面の一部からなる。同図に示すように、回転放物面の断面の主軸をX軸に、垂直軸をZ軸に採り、焦点Fの座標を(p,0)とすると、回転放物面の断面は、
2 =4px
と表される。また、回転放物面を用いてその焦点Fに集光する場合、原理的に無収差の集光が可能であり(光学:久保田、岩波書店、P.283)、単一の集光面により微小の光スポット9aを形成することが可能になる。この場合の光スポット9aの直径(光強度の半値を有する直径)D1/2 は、次式で与えられる。
1/2 =k・λ/(n・NAi)
ここに、kは比例定数でガウスビームの場合は約0.5であり、λは入射レーザビームの波長、nは透明集光用媒体6の屈折率、NAは透明集光用媒体6内部での開口数である。なお、被集光面6cは、光スポット9aが形成される部分を下方へ突出させ、その突部の周囲にコイル10を配置してもよい。これにより、コンパクト化が図れる。また、その突部は、下方に向かって細くなるテーパ形状にしてもよい。これにより、NAを2倍に向上させることができる。
【0014】
磁気センサ11は、ここでは、主に磁界により抵抗が変化する磁気抵抗膜11aと、電極11bとから主に構成されたMRセンサを用いる。この磁気センサ11は、透明集光用媒体6の被集光面6cの頂点Qに近接して配置され、再生時には、記録再生ディスク8の光磁気記録膜8aの記録マークからの漏れ磁界の変化を電圧の変化として出力することにより、記録信号を再生するものである。
【0015】
次に、上記記録再生ヘッド1の動作を説明する。半導体レーザ2からレーザビーム3aを出射すると、そのレーザビーム3aはコリメータレンズ4により平行ビーム3bに整形されて透明集光用媒体6の入射面6aに入射する。入射面6aに入射した平行ビーム3bは、反射面6bの表面に形成された反射膜7で反射して被集光面6cに集光し、被集光面6c上の端部近傍に光スポット9aを形成する。光スポット9aに集光した光は、近接場光9bとして滲み出して記録再生ディスク8の光磁気記録膜8aに伝播し、コイル10による磁界と相俟ってOAM記録が行われる。情報の再生は、記録膜8aからの漏れ磁界を磁気センサ11で検出することにより行われる。
【0016】
上記構成の記録再生ヘッド1によれば、以下の効果が得られる。
(イ)回転放物面の頂点Qと光スポット9aとの距離Lは焦点Fの座標値pに相当し、ゼロ以上の値で作製精度に応じて望みの値に設定することができ、両者の距離を0.1mm以下に近づけることが可能となる。
(ロ)回転放物面の頂点Qと光スポット9aとの距離Lを近づけられることから、両者を記録再生ディスク8の内周から外周のトラックにわたって、同時にトラッキングさせることが可能となる。
(ハ)回転放物面の焦点Fの座標値pを0.1mmとし、回転放物面の上端Rの座標(x,y)を(0.9mm,0.6mm)とすると、この上端Rからの収束角αは58度となる。また、上端R付近からの収束角αには90度まで、製作精度以外に特に限定はなく、反射面6bのNAは、0.9以上が可能となる。
(ニ)透明集光用媒体6の屈折率nとNAの積に限定はなく、SrTiO3 等の誘電体やGaP等の結晶等の屈折率の大きな材料が使用でき、微小の光スポット9aを形成することができる。
【0017】
なお、反射面6bには、回転楕円面の一部を用いてもよい。また、反射膜7としては、ボリュームホログラムやバイナリーホログラム等を使用してもよい。
【0018】
図3(a),(b),(c)は、本発明の第2の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示し、同図(b),(c)は、同図(a)のA−A’方向から見た光スポット9a形成部付近の拡大図である。この記録再生ヘッド1は、透明集光用媒体6の被集光面6cの外表面の光スポット9aを遮る位置に開口を有する遮光膜12を設けたものであり、他は第1の実施の形態と同様に構成されている。
【0019】
図3(b)は、遮光膜12に開口としてスリット12aを設けたものである。スリット12aの長手方向はディスク記録層8aの記録トラック(図略)に直交する方向Yに一致し、この方向のスリット12aの長さは光スポット径D1/2 よりも十分大きく、トラック方向Xの長さは光スポット径D1/2 程度以下に形成されている。これにより、被集光面6cから染み出す近接場光9bのトラック方向Xのサイズを小さくでき、磁気センサ11と近接場光9bの距離を短く保ったまま記録密度を上げることができる。
【0020】
図3(c)は、遮光膜12に開口として矩形の微小孔12bを設けたものである。微小孔12bの各辺は光スポット径D1/2 よりも短く、かつその一辺は、記録層8aの記録トラック(図略)に直交する方向Yに形成されている。このようにして、スリット12aの場合と同様に磁気センサ11と近接場光9bの距離を短く保てるとともに、近接場光9bの記録トラックに直交する方向Yのサイズを小さくできるので、トラック幅を狭めることができ、スリットの場合に比べてさらに記録密度を上げることができる。
【0021】
図4は、本発明の第3の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド1は、レーザビーム3aを出射する半導体レーザ2と、半導体レーザ2の出力光3aを平行ビーム3bに整形するコリメータレンズ4と、コリメータレンズ4からの平行ビーム3bを集光する集光レンズ4’と、集光レンズ4’からレーザビーム3cが入射される略回転楕円体状の透明集光用媒体6と、第1の実施の形態と同様のコイル10および磁気センサ11とを有する。
【0022】
透明集光用媒体6は、集光レンズ4’から収束光3cが入射される入射面6aと、回転楕円体面の一部から形成された反射面6bと、回転楕円体面による第1および第2の焦点F1 ,F2 を有する被集光面6cとを有する。透明集光用媒体6の反射面6bの表面には、第1の反射膜7Aが被着され、被集光面6c上の表面の第1の焦点F1 の近傍には、第2の反射膜7Bが被着されている。入射面6aは、焦点F1 に収束するレーザビーム3cに対して直交するように球面状に形成されており、レーザビーム3cは入射面6aにおいて屈折されずに入射し、第1の焦点F1 の外表面に形成された第2の反射膜7Bにより反射された後、回転楕円体の反射面6bの表面に形成された第1の反射膜7Aにより反射されて、被集光面6c上の第2の焦点F2 に集光され、第1の実施の形態と同様に近接場光9bを生じる。回転楕円体の断面は、次式で表される。
【数1】
Figure 0003964571
2焦点F1 ,F2 の座標は、次式で表される。
【数2】
Figure 0003964571
ここに、a、bは回転楕円体面の長径、短径であり、回転楕円体面の頂点Qと第2の焦点F2 との距離は、第2の焦点F2 のX座標に等しい。回転楕円体面の場合はパラメータがa、bの2つあることから、NAを大きく保ったまま両者の距離を狭めることができる。例えば、a=0.6mm、b=0.3mmとすると、両者の距離は0.08mmとなり、NAは0.9以上が可能となる。
【0023】
なお、第1の実施の形態と同様,被集光面6cの第1の焦点F1 付近の外表面にスリットないし微小孔を有する遮光膜を設けることにより、近接場光9bのサイズをさらに微小化できることは言うまでもない。
【0024】
図5は、本発明の第4の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド1は、透明集光用媒体6の反射面6bを平面とし、反射膜7を反射型ホログラム7Cで構成したものであり、他は第1の実施の形態と同様に構成されている。反射型ホログラム7Cとしては、ボリュームホログラム,バイナリーホログラム等を用いることができる。バイナリーホログラムの場合には、計算機により、また、ボリュームホログラムの場合は、物体光が被集光面6cの所定の位置に焦点を結ぶように入射することで、光スポット9aの位置を所定の位置に設定することが可能となる。また、反射型ホログラム7Cを用いることで、透明集光用媒体6の加工は簡単になり、かつ、光スポット9aと磁気センサ11の距離を近づけることが可能となる。
【0025】
なお、第1の実施の形態と同様,被集光面6cの第2の焦点F2 付近の外表面にスリットないし微小孔を有する遮光膜を設けてもよい。これにより、近接場光9bのサイズをさらに微小化できる。
【0026】
図6は、本発明の第5の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す。この記録再生ディスク装置20は、円盤状のアルミニウム基板210の一方の面に記録層211が形成され、モータ22の回転軸220を介して回転する記録再生ディスク21と、記録再生ディスク21の記録層211に対して光記録および磁気再生を行う記録再生ヘッド1と、記録再生ヘッド1を記録再生ディスク21の内外周にわたってアクセスし、かつ、トラッキングさせるリニアモータ23と、リニアモータ23側から記録再生ヘッド1を支え、支点24aを中心に回動するスイングアーム24と、記録再生ヘッド1を駆動するヘッド駆動系25と、記録再生ヘッド1にレーザ駆動信号を送るとともに、記録再生ヘッド1からの信号を処理する信号処理系26とを有する。
【0027】
図7は、記録再生ディスク21の詳細を示す。この記録再生ディスク21には、アルミニウム基板210が使用され、磁気センサ用のトラッキングマークおよびアドレスマークが形成されておらず、その一方あるいは両方の面に(図7は片面の例を示す)、エッチングにより光スポット9a用のトラッキングマークおよびアドレスマークを形成するためのグルーブ部21aが形成される。グルーブ21a上には、SiNxからなる保護層221a、TbFeCo等のいわゆる光磁気記録膜からなる記録層221b、漏れ磁界の大きなTbDyFeCo層221c、表面保護層221dが順次積層されている。本実施の形態では、ランド部21bが記録トラックであり、そこに情報が記録される。トラック幅は0.2μm、トラックピッチは0.25μm、グルーブ部21aの深さは、約0.1μmとしている。記録には、磁界変調記録法を使用しており、マーク長は0.06μm、記録密度は約40Gbits/(inch)2 であり、3.5インチディスクでは、約40GBの記録容量に相当し、従来のハードディスクの4倍以上の高密度化が実現できる。
【0028】
なお、グルーブ21aは、基板210のエッチングにより形成したが、基板210にSiO2 膜やSiNx膜等を被着した後、それらをエッチングすることにより形成してもよく、ポリカーボネイト等の有機膜等を圧着して形成してもよい。また、表面保護層221dの上に潤滑剤を塗布してもよい。また、本実施の形態では、TbFeCo等のいわゆる光磁気記録膜を記録層に使用したが、これに止まるものではなく、ハードディスクの記録膜として用いるCo−Cr−Ta等でもよく、光加熱により残留磁化を低下させて記録できるので、常温において残留磁化の強い膜も記録に使用できる。また、Co−Cr−Pt等の垂直磁化膜を用いてもよい。また、記録再生ディスク21の基板の材料としては、アルミニウムだけでなく、Siや表面研磨を施したポリカーボネイト等を用いてもよい。
【0029】
図8は、第5の実施の形態の記録再生ヘッド1を示し、同図(a)はその側面図、(b)はその平面図である。記録再生ヘッド1は、記録再生ディスク21上を浮上する浮上スライダ31を有し、この浮上スライダ31上に、レーザビーム3aを出射する端面発光型半導体レーザ2と、レーザビーム3aを平行ビーム3bに整形するコリメータレンズ4と、端面発光型半導体レーザ2を固定する石英板32と、半導体レーザ2からの平行ビーム3bと記録再生ディスク21からの反射光とを分離する偏光ビームスプリッタ33と、半導体レーザ2からの平行ビーム3bを円偏光に変換する1/4波長板34と、平行光ビーム3bを集光する透明集光用媒体6と、透明集光用媒体6の反射面6bにAl等の金属で蒸着形成された反射膜7と、記録再生ディスク21からの反射光をビームスプリッタ33を介して入力する光検出器35と、記録再生ディスク21の記録マークから磁気信号を再生する磁気センサ11とを配置している。また、全体はヘッドケース36内に収納され、ヘッドケース36は、サスペンション37を介して図6のスイングアーム24に固定されている。
【0030】
透明集光用媒体6は、例えば、屈折率n=1.91を有する重フリントガラスからなり、高さ0.6mm、長さ0.9mm、幅1.8mmを有する。この透明集光用媒体6は、図1、図3、図4、図5に示す透明集光用媒体6と同様に、入射面6a、反射面6bおよび被集光面6cを有するが、被集光面6cは浮上スライダ31の一部を形成する。また、浮上スライダ31は、正圧を生じる凸部31aと、負圧を生じる凹部31bを有し、両者のバランスにより、100nm程度ないし、それ以下の適当な浮上高を保つ。なお、浮上スライダ31は、透明集光用媒体6の屈折率と等しい材料で構成し、浮上スライダ31の下面の凸部31aが、透明集光用媒体6の被集光面6cを兼ねてもよい。
【0031】
図9は、本実施の形態の磁気センサ11を示す。この磁気センサ11としてはスピンバルブと称される構成の多層膜からなるGMR膜を使用したGMRセンサを用いる。スピンバルブ110は、同図に示すように、Fe−Mn等の反強磁性層111の上に、Cu等の非磁性層113を挟んでNi−Fe等からなる2層の磁性層、すなわちピン層112およびフリー層114を配置して構成され、磁界により、フリー層114の磁化がピン層112の方向に揃った場合に低抵抗に、反対方向の場合に高抵抗となる。この抵抗変化は、スピンバルブ110の両側に接続した電極115a,115bに印加した電圧の変化として検出される。116a,116bは、再生した記録マーク以外からの磁界を遮蔽する磁気遮蔽膜である。トラック方向のセンサ長は、フリー層114の厚さで決まり、本実施の形態では約0.06μmとした。これは、近接場光のスポット径の数分の1であり、このセンサ11を用いて再生することにより、大幅に記録密度を上げることが可能となる。また、センサ11の幅は、電極115aと電極115bの間隔で決まり、本実施の形態では、0.24μmとトラック幅よりも0.04μm広く、かつ、トラックピッチよりも若干狭くした。これにより、隣接トラックからのクロストークを避けながら、トラッキングの必要帯域を約1桁下げることができる。
【0032】
図10(a),(b)は、本実施の形態に係る半導体レーザ2を示す。この半導体レーザ2は、ビーム走査型レーザであり、基板200を有し、その基板200の上面に上部電極201、下面に下部電極202、中央に活性層203をそれぞれ形成したものである。活性層203の発振狭窄部の主部204aと先端部204bの幅はそれぞれ3μm、5μmであり、長さはそれぞれ300μm、50μmである。上部電極201は、主部電極201aと、左右一対の先端部電極201b,201bとからなる。活性層203の発振部は発振狭窄部201a,201bにより狭窄され、さらに、先端部電極201b,201bに分割して、あるいは交互に電流を流すことにより、出力レーザビームは左右に走査される。この走査幅は約1μmで、走査周波数は30MHzまで可能である。この出力レーザビームの走査は、トラッキングの高周波部分に使用した。
【0033】
活性層203の材料としては、AlGaInPを使用し、発振波長は630nmとした。透明集光用媒体6の屈折率、NAはそれぞれ1.91、0.85であり、被集光面6c上での光スポット9aのスポットサイズは、式1から分かるように約0.2μmとなる。この光スポット9aから漏れ出す近接場光を記録再生ディスク21の記録層211に照射し、かつ、コイル10に情報信号に基づく電流を印加することにより、磁界変調(MFM)記録を行い、トラック方向の最小マーク長0.06μmの記録を達成した。
【0034】
信号処理系26は、光検出器35が検出した記録再生ディスク21からの反射光に基づいてトラッキング制御用の誤差信号およびデータ信号を生成し、誤差信号はハイパスフィルタとロウパスフィルタによって高周波域と低周波域の誤差信号に分け、これらの誤差信号に基づいてヘッド駆動系25に対してトラッキング制御をさせるものである。ここでは、トラッキング用の誤差信号をサンプルサーボ方式(光ディスク技術、ラジオ技術社、P.95)によって生成するようになっており、このサンプルサーボ方式は、千鳥マーク(Wobbled Mark)を間欠的にトラック上に設け、それらからの反射光の強度変化から誤差信号を生成するものである。また、トラッキング制御は、低周波の誤差信号に基づいてスイングアーム24駆動用のリニアモータ23を制御し、高周波の誤差信号に基づいてビーム走査型の半導体レーザ2を制御する2段制御方式となっており、低周波から高周波までの精密なトラッキングを可能としている。サンプルサーボの場合、記録信号とトラッキング誤差信号とは時分割的に分離されているので、両者の分離は再生回路におけるゲート回路により行う。上述したようにサンプルサーボの採用により記録信号と誤差信号とは時分割的に分離されているので、光検出器35としては、分離型のものを使用する必要はなく、小型のPINフォトダイオード等が使用できる。また、光によるサンプルサーボの場合、サーボ用のマークは転写によって形成できるため、一枚ごとに書き込まねばならない磁気マークに比べて、精度がよく、かつ、生産性が高い。
【0035】
なお、グルーブ部21aからの反射光との干渉を用いるプッシュプル方式で誤差信号を形成してもよい。この場合には、反射光の左右の強度差から誤差信号を形成するため、光検出器35としては、2分割型のものを使用する必要がある。再生時には、GMRの磁気センサ11を用いて記録マークからの漏れ磁界の方向に基づく磁気センサ11の抵抗変化を電圧変化として読み出し、再生信号を形成する。また、再生時のトラッキング制御にも上記の光検出器35による誤差信号を使用する。この場合、レーザ走査は使用できないが、磁気センサ11の検出域の幅をトラック幅の20%増としているため、トラッキングの必要サーボ帯域としては、約一桁下げられ、スイングアームの駆動制御のみでトラッキングを行う。また、GMRセンサに圧電素子等を取り付けて高周波域のトラッキングを行ってもよい。
また、光検出器35を用いて誤差信号を形成しているため、光スポット9aと磁気センサ11を同時にトラッキングさせることができ、従って、記録時に記録信号を記録再生ヘッド1により再生することにより、いわゆるヴェファイ(記録の検証)を記録直後に行うことができる。これにより、従来ヴェリファイには余分にディスクを回転させる必要があったが、その必要がなくなり、記録時間を半分に短縮することが可能となる。
【0036】
図11は、スイングアーム24の基本構成を示す。トラック211aの外周での光スポット9aの位置Soと磁気センサ11の位置Moの中心を結ぶ線j、およびトラック内周での光スポット9aの位置Siと磁気センサ11の位置Miの中心を結ぶ線kが、それぞれの中点Po,Piにおいて内外周のトラックの接線と平行となるように走査すると、ディスク21の中心O1 からPo、Piに下ろした垂線のなす角θ1 と直線jとkのなす角θ2 は等しくなる。また、スイングアーム24の回転中心O2 を、PoとPiを結ぶ線の二等分線上に取り、スイングアーム24の回転中心O2 とPo,Piを結ぶ線をそれぞれm、nとすると、スイングアーム24の走査角、すなわち、線mとnのなす角θ0 は、次式のように表される。
θ0 =θ2 +φ1 −φ2 =θ1 +φ1 −φ2
ここに、φ1 、φ2 は、記録再生ヘッド1が内外周においてスイングアーム24の中心軸となす角であり、内外周において光スポット9aと磁気センサ11が同一トラック上にあるためには、当然、φ1 =φ2 でなければならない。それは、スイングアーム24の回転中心O2 がθ1 =θ2 を満たす位置に置かれた場合であることが上式から分かる。以上の関係は、ただ一種類に決まるわけではなく、原理的には、θ1 の値は、ゼロより大きく、PoとPiを結ぶ線が内周の接線をなす時の角度まで、無限に取り得るので、スイングアーム24の走査角と装置のサイズを考慮して、適当に選択することができる。また、記録再生ヘッド1とスイングアーム24の中心軸のなす角φ1 =φ2 は、θ1 が決まれば、外半径r1 、内半径r2 を用いて次式のように一義的に与えられる。
φ1 =φ2 =ξ+θ2 /2
ξ=Arctan(r2 ・sinθ2 /(r1 −r2 ・cosθ2 ))
ここに、ξは、直線Po−PiとPo−O1 がなす角である。すなわち、以上のθ0 、θ1 、φ1 、φ2 の関係を満たすように、スイングアーム24と記録再生ヘッド1を設定することで、内外周でのトラックの曲率の変化に係らず、光スポット9aと磁気センサ11が常に同一トラック上にあるように、スイングアーム24で走査することが可能となる。
【0037】
次に、この光ディスク装置20の動作を説明する。記録再生ディスク21は、モータ22によって所定の回転速度で回転し、浮上スライダ31は、記録再生ディスク21の回転によって生じる正・負圧とサスペンション37のバネによって記録再生ディスク21上を浮上走行し、ヘッド駆動系25により所定のトラック上をトラッキングする。信号処理系26による駆動よって半導体レーザ2からレーザビーム3aが出射されると、それはコリメータレンズ4により平行ビーム3bに整形された後、偏光ビームスプリッタ33および1/4波長板34を通り、透明集光用媒体6の入射面6aに入射する。平行レーザビーム3bは、1/4波長板34を通る際に、1/4波長板34によって円偏光に変わる。透明集光用媒体6の入射面6aに入射に入射した円偏光の平行ビーム3bは、反射面6bの外表面に被着された反射膜7により反射して、被集光面6cに集光され、光スポット9aを形成する。光スポット9aからは、被集光面6cの外側に近接場光9bが漏れ出し、この近接場光9bが記録再生ディスク21の記録層211に伝播し、光記録が行われる。記録再生ディスク21で反射した光は、入射光の経路を逆にたどり、反射膜7で反射された後、偏光ビームスプリッタ33で90度方向に反射されて光検出器35に入射する。信号処理系26は、記録時には光検出器35に入射した記録再生ディスク21からの反射光に基づいてトラッキング用の誤差信号を生成してヘッド駆動系25を作動して、レーザビーム3aとスイングアーム24を走査してトラッキングを行い、さらに、磁気センサ11からの再生信号を用いて記録の検証(ヴェリファイ)を行う。
【0038】
また、再生時には、記録再生ディスク21の記録層211に記録させない程度の低強度の近接場光9bを出射するように半導体レーザ2を駆動し、ディスク21からの反射光により、誤差信号を生成するとともに、磁気センサ11により記録層211の記録情報を再生する。
【0039】
なお、本実施の形態としては、記録再生ヘッド1として第1の実施の形態の記録再生ヘッドを使用したが、これに止まるものではなく、第2、第3、第4の実施の形態に係る記録再生ヘッドを使用してもよい。しかし、第2の実施の形態の微小孔を使用する場合には、トラッキングにレーザビーム3aの走査を用いることはできず、その場合には、記録再生ヘッド自体、あるいは透明集光用媒体を圧電素子等により駆動する必要がある。
【0040】
上記構成の記録再生ディスク装置20によれば、以下の効果が得られる。
(イ)記録再生ディスク21には、磁気センサ用のトラッキングマークおよびアドレスマークが不要となるので、高記録密度化が図れる。
(ロ)再生にGMRの磁気センサ11を用いているので、再生時の解像度を大幅に上げることができ、記録再生ディスク21の大幅な高密度化が可能となる。
(ハ)光スポット9aと磁気センサ11の両者を常に同一トラック上をトラッキングさせることができ、記録再生ディスク21からの反射光のみを用いて誤差信号を生成できるため、記録再生ディスク21上には光読み取り用の装置のみが必要であり、磁気読み取り用の装置およびアドレスマークを必要としないため、高密度化が図れる。この結果、ディスク作製時間が大幅に短縮でき、低価格化も可能となる。
(ニ)記録再生ディスク21からの反射光のみを用いて誤差信号形成ができるため、トラッキング制御用の信号形成が簡素化できる。
(ホ)光スポット9aと磁気センサ11を同時に同一トラック上をトラッキングさせられるため、記録時に磁気センサ11により再生でき、記録直後のヴェリファイが可能となる。このため、ヴェリファイのために余分に回転させることを必要とせず、記録時間の短縮が可能となる。
(ヘ)記録時・再生時共に、記録再生ディスク21からの反射光を用いて誤差信号形成ができるため、高精度のトラッキング誤差信号が形成できる。
【0041】
図12(a)は、本発明の第6の実施の形態に係る記録再生ディスク装置20を示し、(b)は同図(a)のA−A方向から見た主要部図である。第5の実施の形態では、シーク動作とトラッキングにスイングアーム24を使用したが、この第2の実施の形態は、リニアモータ51を使用した点のみが第5の実施の形態と異なる。リニアモータ51は、トラッキング方向52に沿って設けられた一対の固定部51aと、一対の固定部51a上を移動する可動部51bとを備え、記録再生ヘッド1はサスペンション53を介してリニアモータ51の可動コイル51bに固定される。
【0042】
記録再生ヘッド1は、図12(b)に示すように、光スポット9aと磁気センサ11の中点54が、常にリニアモータ51の中心軸上55を走査するように設定してあり、これにより、第5の実施の形態と同様に、光スポット9aと磁気センサ11を常に同一トラック56上をトラッキングさせることが可能となる。
【0043】
図13は、本発明の第7の実施の形態に係る記録再生ディスク装置20を示す。この記録再生ディスク装置20は、第1の実施の形態の透明集光用媒体6を用いた記録再生ヘッド1を、5枚重ねのディスクスタック型の記録再生ディスク装置に適用したものであり、アルミニューム基板210の上下面に光磁気記録層211,211がそれぞれ被着された5枚の記録再生ディスク21と各記録再生ディスク21の記録媒体上を浮上走行する10個の記録再生ヘッド1と、回転軸63によって記録再生ヘッド1を回転可能に支持するサスペンション64とサスペンション64を駆動する回転型リニアモータ65とを有する。回転型リニアモータ65は、サスペンション64が直結される可動片65aと、ヨーク65bによって連結され、可動片65aを駆動する電磁石65c,65cとからなる。
【0044】
この記録再生ヘッド1およびサスペンション64の構造は、第5の実施の形態と同様であり、各記録再生ヘッド1の光スポット9aと磁気センサ11が同時に同一トラックをトラッキング可能に設定されている。光スポット9aの径も、第5の実施の形態と同様であり、ディスク径を3.5インチとした場合、記録容量は、400GBに向上させることができる。
【0045】
図14は、本発明の第8の実施の形態に係る記録再生ディスク装置20を示す。この記録再生ディスク装置20は、第5の実施の形態において、記録再生ヘッド1の光学系を半導体レーザ2からのレーザビーム3aを集光する集光レンズ4’と、集光レンズ4’で集光されたレーザビーム3をさらに集光して光スポット9aを形成する半球形の透明集光用媒体(SIL)6を用いたものにし、他は第5の実施の形態と同様に構成されている。このように構成した場合、光スポットと磁気センサ11との距離が第5の実施の形態と比較して長くなるが、光スポットと磁気センサ11をスイングアーム24によって同一トラック上を走査するように構成することにより、第5の実施の形態と同様に、記録密度の向上が図れ、コスト低減が図れる。なお、被集光面6cは、光スポット9aが形成される部分を下方へ突出させ、その突部の周囲にコイル10を配置してもよい。これにより、コンパクト化が図れる。また、その突部は、下方に向かって細くなるテーパ形状にしてもよい。これにより、NAを2倍に向上させることができる。
【0046】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々に変形実施が可能である。例えば、上記各実施の形態では、磁気センサ用の装置を形成していない記録再生ディスクを用い、光スポットと磁気センサを同一トラック上を走査するようにしたが、光スポット用のトラッキングマーク、および磁気センサ用のトラッキングマークを形成した記録再生ディスクを用い、光スポットと磁気センサを互いに近接したトラック上を走査するようにしてもよい。
また、別途磁気センサ用のアドレスマークを設けてもよい。このマークを設けても本実施の形態の効果が損なわれるものではない。
また、記録再生ヘッドは、半導体レーザからのレーザ光を拡散する凹球面状の入射面、入射面に対向する位置に設けられ、光スポットが形成される被集光面、および入射面の周囲に形成された非球面状の反射面を有する透明集光用媒体と、透明集光用媒体の反射面の表面に形成された第1の反射膜と、被集光面の光スポットが形成される位置の周囲に設けられ、入射面で拡散されたレーザ光を反射させ、さらに第1の反射膜で反射させて被集光面に光スポットを形成する第2の反射膜とを有するものを用いてもよい。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置によれば、透明集光用媒体の被集光面の端部寄りに光スポットを形成することにより、光スポットと磁気センサの距離を短くすることが可能になるので、光スポット用のトラッキングマークのみで記録および再生の際のトラッキングが可能となり、この結果、高記録密度化が可能となり、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化が可能となる。
また、本発明の記録再生ディスクによれば、磁気センサ用のトラッキングマークを設けないことにより、記録トラックの数を増やすことができるので、高記録密度化が可能となる。
また、本発明の記録再生ディスク装置によれば、記録および再生の際に、近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うことにより、磁気センサ用のトラッキングマークが不要になり、この結果、高記録密度化が可能となり、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図2】第1の実施の形態の透明集光用媒体の説明図
【図3】(a),(b),(c)は、本発明の第2の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図4】本発明の第3の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図5】本発明の第4の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図6】本発明の第5の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図7】第5の実施の形態に係る記録再生ディスクの要部断面図
【図8】(a)は、第5の実施の形態に係る記録再生ヘッドの側面図、(b)は、その平面図
【図9】第5の実施の形態に係る磁気センサを示す図
【図10】(a),(b)は、第5の実施の形態に係る半導体レーザを示す図
【図11】本発明の第5の実施の形態に係るスイングアームを示す図
【図12】(a),(b)は、本発明の第6の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図13】本発明の第7の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図14】本発明の第8の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図15】従来の記録再生ディスク装置を示す図
【符号の説明】
1 記録再生ヘッド
2 半導体レーザ
3a,3b,3c レーザビーム
4 コリメータレンズ
4’ 集光レンズ
6 透明集光用媒体
6a 入射集光面
6b 反射面
6c 被集光面
7,7A,7B 反射膜
7C 反射型ホログラム
8 記録再生ディスク
8a 光磁気記録膜
9a 光スポット
9b 近接場光
10 コイル
11 磁気センサ
11a 磁気抵抗膜
11b 電極
12 遮光膜
12a スリット
12b 微小孔
20 記録再生ディスク装置
22 モータ
21 記録再生ディスク
21a グルーブ部
21b ランド部
23 リニアモータ
24 スイングアーム
25 ヘッド駆動系
26 信号処理系
31 浮上スライダ
32 石英板
33 偏光ビームスプリッタ
34 1/4波長板
35 光検出器
36 ヘッドケース
37 サスペンション
51 リニアモータ
51a 固定部
51b 可動部
52 トラッキング方向
53 サスペンション
54 中点
55 中心軸
56 トラック
63 回転軸
64 サスペンション
65 回転型リニアモータ
65a 可動片
65b ヨーク
65c 電磁石
110 スピンバルブ
111 反強磁性層
112 ピン層
113 非磁性層
114 フリー層
115a,115b 電極
116a,116b 磁気遮蔽膜
200 基板
201 上部電極
201a 主部電極
201b,201b 先端部電極
202 下部電極
203 活性層
204a 発振狭窄部の主部
204b 発振狭窄部の先端部
210 アルミニウム基板
211 記録層
211a トラック
220 回転軸
221a 保護層
221b 記録層
221c TbDyFeCo層
221d 表面保護層
1 ,F2 焦点
X トラック方向
Y 記録トラックに直交する方向

Claims (21)

  1. レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、
    前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、
    前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサと、
    を備えてなり、
    前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ヘッド。
  2. 前記磁気センサが、前記被集光面と面一に配置されてなることを特徴とする請求項1記載の記録再生ヘッド。
  3. 前記透明集光用媒体の前記被集光面は、その表面に、前記光スポットから漏れる近接場光のサイズを制限する孔を有する遮光膜を備えたことを特徴とする請求項1記載の記録再生ヘッド。
  4. 前記遮光膜が有する前記孔は、前記光スポットの径よりも小なる微小孔であることを特徴とする請求項記載の記録再生ヘッド。
  5. 前記遮光膜が有する前記孔は、長辺が前記光スポットの径よりも長く、かつ、短辺が前記光スポットの径よりも短いスリットであることを特徴とする請求項記載の記録再生ヘッド。
  6. 前記透明集光用媒体の前記反射面は、その表面に、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光を反射する反射体を備えたことを特徴とする請求項1記載の記録再生ヘッド。
  7. 前記反射体は、金属膜であることを特徴とする請求項記載の記録再生ヘッド。
  8. 前記透明集光用媒体の前記反射面は、回転放物面の一部から構成されたことを特徴とする請求項記載の記録再生ヘッド。
  9. 前記透明集光用媒体の前記反射面は、回転楕円面の一部から構成されたことを特徴とする請求項記載の記録再生ヘッド。
  10. 前記透明集光用媒体の前記反射面は、その表面に、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光を集光するホログラムを備えたことを特徴とする請求項1記載の記録再生ヘッド。
  11. 前記ホログラムは、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光を反射する反射型ホログラムであることを特徴とする請求項10記載の記録再生ヘッド。
  12. 前記透明集光用媒体は、互いに密着し、ほぼ同一の屈折率を有する第1の透明媒体および第2の透明媒体からなり、
    前記第1の透明媒体は、前記反射面を有し、
    前記第2の透明媒体は、記録再生ディスクの回転に伴って前記記録再生ディスク上を浮上走行する浮上スライダであり、
    前記浮上スライダは、前記被集光面を有する構成の請求項1記載の記録再生ヘッド。
  13. 前記透明集光用媒体は、1より大なる屈折率を有する構成の請求項1記載の記録再生ヘッド。
  14. 前記磁気センサの検出域の幅は、記録再生ディスク上のトラッキングマークの幅よりも広いことを特徴とする請求項1記載の記録再生ヘッド。
  15. 記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、レーザ光を照射して情報の記録を行い、前記記録再生ディスクからの磁界を検出して情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、
    前記記録再生ヘッドは、
    前記レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、
    前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、
    前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、前記記録再生ディスクからの前記磁界を検出する磁気センサと
    を備えてなり、
    前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ディスク装置。
  16. 前記透明集光用媒体の前記被集光面は、その表面に、前記光スポットから漏れる近接場光のサイズを制限する孔を有する遮光膜を備えたことを特徴とする請求項15記載の記録再生ディスク装置。
  17. 前記遮光膜が有する前記孔は、前記光スポットの径よりも小なる微小孔であることを特徴とする請求項16記載の記録再生ディスク装置。
  18. 前記遮光膜が有する前記孔は、長辺が前記光スポットの径よりも長く、かつ、短辺が前記光スポットの径よりも短いスリットであることを特徴とする請求項16記載の記録再生ディスク装置。
  19. 同軸上に所定の間隔を有して配置された複数の記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、レーザ光を照射して情報の記録を行い、前記記録再生ディスクからの磁界を検出して情報の再生を行う複数の記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、
    前記記録再生ヘッドは、
    前記レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、
    前記レーザ光出射手段から出射した前記レーザ光を反射して集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部寄りに前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、
    前記形成された光スポットに近い側の前記被集光面の端部に配置され、前記記録再生ディスクからの前記磁界を検出する磁気センサと
    を備えてなり、
    前記反射面が、その焦点位置を前記被集光面上に有することを特徴とする記録再生ディスク装置。
  20. レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、
    前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光が入射する入射面、前記入射面から入射した前記レーザ光を反射して集光する回転放物面の一部により形成された反射面、および前記回転放物面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記回転放物面による前記被集光面上の焦点に光スポットを形成する透明集光用媒体と、
    前記焦点に近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサと、
    を備えたことを特徴とする記録再生ヘッド。
  21. レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、
    前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光が入射され、該レーザ光を収束する球面状の入射面、前記入射面から入射した前記レーザ光を反射する第1の焦点を有する被集光面、および前記被集光面からの前記レーザ光を反射して集光する第2の焦点を前記被集光面上に有する回転楕円面の一部により形成された反射面を有し、前記第2の焦点に光スポットを形成する透明集光用媒体と、
    前記第2の焦点に近い側の前記被集光面の端部に配置され、入射する磁界を検出する磁気センサと、
    を備えたことを特徴とする記録再生ヘッド。
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