JP3956499B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に関し、さらに詳しくは、高集積度半導体装置の多層配線構造の層間接続 (Interconnection)において、上層導電層の形成 (Metalization) 工程に入る前の、前処理工程に特徴を有する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ULSI(Ultra Large Scale Integrated Circuits) 等の半導体装置の高集積化が進展し、その設計デザインルールが微細化するとともに、多層配線構造が多用されつつある。多層配線構造においては、層間絶縁膜に形成された接続孔を介して、下層の導電層と上層導電層とが電気的に接続される。この接続孔も微細化の方向にあり、例えば最小デザインルールが0.18μmの半導体装置においては、接続孔の開口径は0.24μm程度である。層間絶縁膜の厚さそのものは、配線間容量や耐圧の関係から1.0μm程度あるので、接続孔のアスペクト比は4以上に達する。
【0003】
このような微細で高アスペクト比の接続孔により、低抵抗で信頼性の高い多層配線構造を実現するためには、接続孔の底部に露出した下層の導電層表面に不可避的に形成された、自然酸化膜や汚染物等(以下自然酸化膜等と略記する)を除去する前処理工程、すなわち清浄化工程が不可欠である。
【0004】
シリコン等の半導体基板の不純物拡散層を下層の導電層とする接続孔、すなわちコンタクトホール底部に露出する不純物拡散層表面の自然酸化膜等は、酸化シリコンを主体とし、エッチング残渣やレジスト残渣あるいは吸着水分等をも含むものである。この自然酸化膜等の除去には、従来より希フッ酸水溶液によるウェット洗浄が主として用いられてきた。しかしながら、接続孔側壁の層間絶縁膜も等方的にエッチングされてオーバーハング形状となる結果、コンタクトプラグや上層配線の埋め込み性が悪化する問題があった。
また、微細な開口径で高アスペクト比の接続孔においては、接続孔内部にまで洗浄液が充分にゆき渡らない結果、接続孔底部の自然酸化膜除去効果が低下する問題もあった。
【0005】
ウェット洗浄に換わり、Ar+ イオンによる逆スパッタリングを用いたドライ洗浄が提案され、Al系金属等の下層配線を下層の導電層とするビア(Via) コンタクトホールの前処理には実用化されている。Ar+ イオンは電界等によりその方向性を制御できるので、微細で高アスペクト比の接続孔底部の自然酸化膜等の除去も容易である。しかしながら、ゲート電極から延在する下層配線表面の自然酸化膜除去においては、入射するAr+ イオンによる電荷の蓄積により、ゲート絶縁膜破壊をおこす懸念が指摘されている。
また下層の導電層が半導体基板に形成された浅い不純物拡散層の場合には、高イオンエネルギのAr+ イオンの入射によるダメージにより、ジャンクションリークを引き起こす可能性があった。
【0006】
そこで、本発明者はコンタクトホール内へ上層導電層を形成する際の前処理方法として、低基板バイアスかつ高密度プラズマ処理装置を用いたソフトエッチング方法を、特開平6−260455号公報に開示した。この方法によれば、低エネルギのAr+ イオンを用いた低ダメージの清浄化が可能である。またこれにより懸念されるエッチングレートの低下は、プラズマ密度の向上により補うことができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体装置の高集積度化がさらに進み、例えばゲート絶縁膜の厚さが10nm以下となり、不純物拡散層の深さも同様に薄膜化しつつある現状においては、さらに低ダメージかつ安定な清浄化方法が望まれる。また上層導電層としてAl系金属のスパッタリング形成以外に、タングステン等の高融点金属や、低抵抗の銅等の金属をCVD法や電界めっき法で形成する場合には、より厳しい清浄化度が要求される。
【0008】
また半導体装置の量産ラインにおいては、ドライ洗浄用のプラズマ処理装置での処理バッチ数を重ねると、被処理基板からスパッタ除去された導電材料や有機物等がプラズマ処理装置の内壁に徐々に蓄積する。このため内壁表面の絶縁抵抗値が低下し、ある抵抗値以下になるとプラズマ放電の起動や継続が不安定となる。この結果として、被処理基板に対する清浄化特性、すなわち希ガスイオンによるエッチオフ量やその被処理基板面内、および被処理基板間のばらつき等の悪影響が発生し、コンタクト抵抗が上昇したり不安定になる等、製品の歩留りが低下するようになる。
【0009】
本発明は、上述した背景技術の問題点を解決することをその課題とする。
すなわち本発明は、サブクオータミクロンのデザインルールが適用される半導体装置においても、低抵抗で信頼性の高いコンタクトを再現性よく安定に形成することが可能で、しかも低ダメージな清浄化工程を用いた、半導体装置の製造方法を提供することをその課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、上述の課題を達成するために提案するものである。
すなわち、本発明の半導体装置の製造方法は、
被処理基板上の導電層上に形成された層間絶縁膜に、この導電層に臨む接続孔を開口する工程、
この接続孔底部に露出した導電層表面を、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理により清浄化する工程、
連続的に、少なくともこの接続孔内に上層導電層を形成する工程を具備する半導体装置の製造方法であって、
プラズマ処理装置の基板ステージ上に、少なくとも表面が絶縁膜で構成されたダミー基板を載置し、このダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施した後、
清浄化工程を施すことを特徴とする。
【0011】
連続的とは、被処理基板を大気等に曝すことなく、同一プラズマ処理装置内で、あるいは真空ゲートバルブにより導電層形成装置に搬送して、次工程の上層導電層の形成工程を施すということである。
【0012】
このダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施す工程においては、ダミー基板表面の絶縁膜をスパッタリングし、これにより、プラズマ処理装置の内壁に絶縁膜を付着させることが望ましい。
ダミー基板は表面部分のみが絶縁膜で構成されていても、内部まで絶縁材料で構成されていてもよい。
【0013】
このダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施す工程に加え、さらに、酸素を含むガスの放電プラズマ処理を施し、プラズマ処理装置の内壁の酸化処理を施すことが望ましい。
【0014】
本発明に採用するプラズマ処理装置は、プラズマ処理装置内壁表面の絶縁抵抗モニタ装置を備え、この絶縁抵抗モニタ装置からの絶縁抵抗情報に基づいて、ダミー基板に対して少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施し、あるいはプラズマ処理装置の内壁の酸化処理を施すことが望ましい。
【0015】
清浄化工程に用いる希ガスとしては、従来より用いられているAr等でよいが、Xe,KrあるいはRnを採用することにより、より一層低ダメージのドライ前処理を施すことができる。希ガスに、H2 等の還元性ガスを添加してもよい。
【0016】
またいずれの発明においても、清浄化および酸化処理のプラズマ処理工程においては、プラズマ密度が1×1010cm-3以上1×1014cm-3未満の高密度プラズマ発生源を有するプラズマ処理装置を用いるとともに、被処理基板に基板バイアスを印加し、この基板バイアス電位を、10V以上300V以下程度に設定して施すことが望ましい。
基板バイアス電位が10V未満では自然酸化膜等の除去効果が不足あるいは除去に長時間を要し、300Vを超えると被処理基板に与えるダメージが増大する。
【0017】
本発明で特に好適に採用されるプラズマ処理装置としては、ICP (Inductively Coupled Plasma) 処理装置、TCP (Transformer Coupled Plasma) 処理装置、ヘリコン波プラズマ処理装置あるいはECR (Electron Cyclotron Resonance) プラズマ処理装置等が例示される。これらの装置は、1×1011cm-3以上の高密度プラズマ発生源を有する。
また1×1010cm-3台のプラズマ密度が得られる装置としては、マグネトロン放電を利用した平行平板型プラズマ処理装置があげられる。
【0018】
プラズマ密度が1×1010cm-3未満であると、従来の平行平板型プラズマ処理装置の場合と同様に、エッチングレートの面でスループットがやや低下する。
またプラズマ密度は高い方が望ましいが、1×1014cm-3のプラズマ密度は、現状の高真空プラズマ処理装置においては、ほぼ限界値である。
ここで例示された高密度プラズマ発生源を有し、さらに基板バイアスを独立に設定できる基板バイアス電源を有するプラズマ処理装置が望ましい。
かかる高密度プラズマかつ低イオンエネルギにより希ガスプラズマ処理することにより、スループットを確保したまま低ダメージの清浄化を施すことが可能となる。
【0019】
作用の説明に移る。
多層配線構造の層間接続における、上層導電層の形成工程前の清浄化工程においては、層間絶縁膜、すなわちSiO2 等の酸化シリコン系絶縁膜の占有面積率が大きな被処理基板が対象となる。したがって、希ガスの放電プラズマ処理によりスパッタアウトされる粒子は、その殆どがSiO2 であるが、一部は接続孔底部からの導電材料や、エッチング残渣あるいはレジスト残渣等の有機物もスパッタアウトされる。
【0020】
これらスパッタリングされた導電材料や有機物はその大部分がプラズマ処理装置の排気孔を経由して除去されるが、その一部はプラズマ処理装置の内壁に付着する。通常、プラズマ処理装置の内壁は石英等の絶縁材料で構成されているが、ここに導電材料や有機物が付着蓄積すると内壁表面の絶縁抵抗値が低下し、プラズマ処理室のインピーダンスが変化し、プラズマの放電状態に影響を与える。
【0021】
量産の装置においては、処理バッチ数を重ねるにしたがい、導電材料や有機物が内壁に蓄積してくると、プラズマ放電開始時のインピーダンスマッチングが初期設定値からずれ、場合によってはプラズマ処理装置のオートチューニング機能がカバーできる範囲を超えるようになる。こうなると、プラズマの起動や維持が不可能となる。
【0022】
またプラズマを起動できたとしても、放電状態が不安定となり、清浄化特性にばらつきが発生し、コンタクト抵抗の変動が大きくなる等、歩留り低下の原因となる。
こうした問題は、高精度のチューニングが要求される高密度プラズマ処理装置において、より顕在化している。
【0023】
本発明の半導体装置の製造方法においては、希ガスの放電処理による清浄化工程において、ある所定のバッチ数を重ねる毎に、例えば製品ロット毎に、少なくとも表面がSiO2 等の絶縁膜で構成されたダミー基板を挿入して、同じく希ガスの放電処理を施す。これにより、ダミー基板表面から絶縁膜材料がスパッタアウトされ、プラズマ処理装置の内壁に付着する。この付着物は純粋に絶縁膜材料のみであるので、プラズマ処理装置内壁表面の抵抗値を高め、プラズマ処理室のインピーダンスを初期設定値近傍にまで戻す。
【0024】
さて、希ガスによる被処理基板の清浄化処理、および所定バッチ数毎の希ガスによるダミー基板のプラズマ処理を重ね、プラズマ処理装置内壁に絶縁膜材料や導電材料、あるいは有機物の堆積が進むと、やはりプラズマ放電状態が徐々に不安定となる場合がある。そこでこの場合には、ダミー基板処理より長い間隔で、例えば10ロット毎に酸素ガスの放電プラズマ処理を施す。
【0025】
この酸素プラズマ処理により、プラズマ処理装置内壁に堆積した有機物は酸化燃焼反応により除去され、また導電材料は酸化されて絶縁物となる。この結果、プラズマ処理装置内壁表面の抵抗値を高め、プラズマ処理室のインピーダンスを再び初期設定値近傍にまで戻す。
【0026】
このように、ダミー基板の希ガスプラズマ処理、および酸素プラズマ処理を定期的に施すことにより、量産工程における接続孔の清浄化工程、および接続孔への上層導電層形成工程の歩留りが向上し、低いコンタクト抵抗を持つ半導体装置を安定して製造することができる。
【0027】
一方、プラズマ処理装置の内壁表面の絶縁抵抗モニタを備えたプラズマ処理装置を採用し、処理バッチ毎に、あるいは必要に応じて抵抗値を測定し、この抵抗値がある設定値以上となった場合にダミー基板の希ガスプラズマ処理、あるいは酸素プラズマ処理を施せば、より精度の高い接続孔の清浄化工程、および接続孔への上層導電層形成工程が可能となる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的実施の形態例につき、図面を参照しながら説明する。
【0029】
図1は本発明の半導体装置の製造方法の要部の工程を示す概略断面図である。
このうち、図1(a)は清浄化工程を施す前の被処理基板を示し、半導体基板1表面に形成された素子分離領域2、この素子分離領域2に囲まれた領域内に形成されたゲート電極3および不純物拡散層5、さらにこの不純物拡散層5に臨み、層間絶縁膜6に開口された接続孔7等を有するものである。また素子分離領域2上には下層配線4が形成され、この下層配線4に臨み、接続孔 (via)7が開口されている。
不純物拡散層5および下層配線4は、いずれも導電層を構成する。
これら導電層の露出表面には、自然酸化膜等8が形成されている。既述のようにこの自然酸化膜等8は、本来の自然酸化膜、および接続孔7形成工程におけるエッチング残渣やレジスト残渣、あるいは反応生成物等の有機物を含むものである。
【0030】
この自然酸化膜等8は、希ガスの放電プラズマ処理により除去、すなわち清浄化されるべきものであるが、本発明においてはこの清浄化工程の所定バッチ毎に、あるいは絶縁抵抗モニタからの絶縁抵抗情報に基づき、ダミー基板に対する希ガスの放電プラズマ処理、あるいはプラズマ処理装置内壁の酸化処理を施す。
【0031】
図1(b)は希ガスの放電プラズマ処理による清浄化工程を示す。ここではAr+ が被処理基板に入射し、接続孔7底部の自然酸化膜等の粒子がスパッタアウトしている状態を模式的に示している。実際には層間絶縁膜6表面もスパッタリングされ、SiO2 等の構成材料もスパッタアウトされている(不図示)。これらのスパッタアウト粒子の一部は、後述するプラズマ処理装置の内壁に堆積する。
希ガスとしては、一般的なArの他にXe、Kr、HeあるいはRn等も使用することができる。また希ガスとともに、H2 等の還元性ガスを添加してもよい。
【0032】
図1(c)は清浄化された接続孔7にコンタクトする上層導電層9を形成した状態である。上層導電層9は、清浄化された被処理基板を大気に曝すことなく、連続的に形成したものである。上層導電層9は、バリア層9bと配線層9aから構成されている。バリア層9bはTi、TiN、TiあるいはTiSi2 等の高融点金属あるいはその化合物の単層や積層からなる。また配線層9aは多結晶シリコン、Al系金属、WやMo等の高融点金属、あるいはCu等からなる。
図1(c)では接続孔7を埋め込むコンタクトプラグと、さらに層間絶縁膜6上に延在する上層配線が一体となった構造を示すが、これらが異なる材料で別体に構成されてもよい。本発明の採用により、被処理基板のロット数を重ねても、低抵抗の層間接続を安定に達成することができる。
【0033】
図1は一例として半導体基板1の不純物拡散層5や下層配線4を導電層として説明したが、さらに上層配線を導電層とし、この上層配線に臨む接続孔に清浄化工程を施してもよい。さらに最終パッシベーション膜の開口から露出するパッド電極を導電層とし、このパッド電極に清浄化を施してもよい。
【0034】
つぎに、本発明の半導体装置の製造方法で採用したプラズマ処理装置の構成例を図2〜図4を参照して説明する。
【0035】
図2はトライオード平行平板型プラズマ処理装置の概略断面図である。すなわち、プラズマ処理室16内には、被処理基板10を載置するとともに一方の電極ともなる基板ステージ11と、対向電極13、およびこれら平行平板電極の中間に位置する格子電極15が配設されている。基板ステージ11には基板バイアスを与える基板バイアス電源12が、対向電極13にはプラズマ生成電源14がそれぞれ接続される一方、格子電極15は接地電位に落とされている。なお図2ではプラズマ処理室16内への被処理基板10の搬入搬出手段、ガス導入ノズル、排気孔や真空ポンプ等の装置細部は図示を省略する。また、後工程で、清浄化された被処理基板10を真空搬送して、連続的に上層導電層を成膜するスパッタリング装置等の成膜装置も図示していない。
【0036】
図2のプラズマ処理装置によれば、対向電極13と格子電極15との間に109 cm-3台のプラズマ17が生成されるとともに、基板バイアス電源12によりプラズマ17からのイオン入射エネルギを独立して制御することができる。すなわち、基板バイアス電源12が形成する弱い基板バイアスにより、プラズマ17中のAr+ 等のイオンは格子電極15を通過し、被処理基板10に向けて入射し、その表面をスパッタリングして清浄化する。スパッタアウトされる粒子は被処理基板10表面の層間絶縁膜材料が大部分を占めるが、接続孔底部の導電層材料や、有機物も含まれる。これらはその一部がプラズマ処理室16の内壁表面に付着し、その表面絶縁抵抗値を低下させる。
なお、図2のプラズマ処理装置は、対向電極13の裏側やプラズマ処理室16の周囲に磁石を配置し、プラズマ17中の電子のマグネトロン運動を用いたマグネトロンタイプの平行平板型プラズマ処理装置として構成すれば、1010cm-3台のプラズマ密度を得ることができる。
【0037】
図3は誘導結合型プラズマ(ICP)処理装置の構成を示す概略断面図である。すなわち、プラズマ処理室16内には、被処理基板10を載置する基板ステージ11が配設されている。この基板ステージ11には、基板バイアスを与える基板バイアス電源12が接続されている。プラズマ処理室16の周囲には、誘導結合コイル18が多重に巻回されており、ここにICP電源19が接続されている。なお図3においてもプラズマ処理室16内への被処理基板10の搬入搬出手段、ガス導入ノズル、排気孔や真空ポンプ等の装置細部は図示を省略する。また、後工程で、清浄化された被処理基板10を真空搬送して、連続的に上層導電層を成膜するスパッタリング装置等の成膜装置も図示していない。
【0038】
図3のプラズマ処理装置は、絶縁抵抗測定回路20を具備している。絶縁抵抗測定回路20およびプローブ電極21の詳細を図4に示す。プラズマ処理室16の壁面に、絶縁シールド22により絶縁された2本のプローブ電極21が植設されている。このプラズマ処理室16の内壁面には、被処理基板10の清浄化にともないスパッタアウトされた粒子が堆積物23となって堆積する。この堆積物23により、プラズマ処理室16の内壁の絶縁抵抗値が低下するが、この値はプローブ電極21間の絶縁抵抗値でモニタされる。
【0039】
図3のプラズマ処理装置によれば、誘導結合コイル18が形成する交番電界により、1011cm-3台以上の高密度のプラズマ17を生成することができる。プラズマ17中の大量のAr+ 等の希ガスイオンは、基板バイアス電源12が形成する弱い基板バイアス電位により、被処理基板10に向けて入射し、その表面を清浄化する。
【0040】
図2あるいは図3のプラズマ処理装置によれば、いずれも低ダメージ条件での被処理基板の清浄化が可能である。また被処理基板10として、表面あるいは全体が絶縁材料で構成されたダミー基板をスパッタリングして、プラズマ処理室16の内壁に絶縁膜を付着させることができる。さらに、酸素を含むガスを導入して、プラズマ放電することにより、プラズマ処理室16内壁に付着した堆積物23を酸化して絶縁物に変換あるいは気化除去することができる。
なお絶縁抵抗測定回路20は、図2に示すトライオード平行平板型プラズマ処理装置に適用してもよい。
【0041】
【実施例】
以下、本発明をさらに詳しく実施例により説明する。しかしながら、これら実施例は単なる例示であり、本発明は以下の実施例になんら限定されない。
【0042】
〔実施例1〕
本実施例は、図2に示したトライオード平行平板型プラズマ処理装置により、接続孔底部に露出した導電層表面の自然酸化膜等を、希ガスの放電プラズマにより清浄化した例であり、この工程を再度図1を参照して説明する。
【0043】
図1(a)に示す清浄化処理前の被処理基板は、前述した構成であり、このうち半導体基板1はシリコン単結晶、層間絶縁膜6はSiO2 、ゲート電極3および下層配線4は多結晶シリコンや高融点金属ポリサイド等からそれぞれ構成される。接続孔7の開口径は約0.24μm、層間絶縁膜6の厚さは約1.0μmである。導電層であるゲート電極3および下層配線4の露出表面には自然酸化膜等8が形成されている。図1(a)では、この自然酸化膜等8は説明のため実際より厚く表示されている。
【0044】
またこの製品としての被処理基板の他に、同径のシリコン基板を熱酸化し、表面にSiO2 からなる絶縁膜を1μmの厚さに形成したダミー基板を、別の被処理基板として用意した。
【0045】
被処理基板10としてのこのダミー基板を、図2に示すトライオード平行平板型プラズマ処理装置に搬入し、基板ステージ11上にセッティングした。このプラズマ処理装置は、前回のロットの、製品としての被処理基板を清浄化処理したことにより、プラズマ処理室16の内壁表面に堆積物23が付着したものである。したがって、このままの状態ではプラズマ起動やプラズマ放電の持続が不安定である。
【0046】
つぎにこのダミー基板に対し、つぎの条件で希ガスの放電プラズマ処理を施して表面の絶縁膜をスパッタリングした。
〔ダミー基板のスパッタリング条件〕
Ar 25 sccm
圧力 0.7 Pa
基板ステージ温度 50 ℃
プラズマ生成電力 700 W(2MHz)
基板バイアス電圧 300 V(13.56MHz)
時間 60 sec
【0047】
このスパッタリングにより、ダミー基板表面のSiO2 がスパッタアウトされ、その一部はプラズマ処理室16の内壁表面に付着した。ダミー基板のスパッタリングは1回のみでも良いが、本実施例では5枚のダミー基板を連続的にスパッタリングした。スパッタリング終了後には、プラズマ処理室16の内壁表面にSiO2 が厚く付着した。この結果、プラズマ処理室16の内壁表面の絶縁抵抗値が高まり、プラズマ放電が安定して持続できるようになった。
【0048】
この後、図1(a)に示す製品の被処理基板をプラズマ処理室16内に搬入し、次の条件で希ガスの放電プラズマ処理を施し、自然酸化膜等8を除去した。このプラズマ処理工程は、プラズマの起動およびプラズマの継続とも、安定した状態で施すことができた。
〔自然酸化膜等の除去条件〕
Ar 25 sccm
圧力 0.7 Pa
基板ステージ温度 50 ℃
プラズマ生成電力 700 W(2MHz)
基板バイアス電圧 200 V(13.56MHz)
時間 60 sec
基板バイアス電圧は、被処理基板のダメージを抑制するため、例えば10〜300V程度、好ましくは50〜250V程度が選ばれる。
【0049】
この自然酸化膜等除去工程、すなわち清浄化工程では、図1(b)のように実線の矢印で示すAr+ イオンの照射により、接続孔7底部の自然酸化膜等8はスパッタアウトされ、破線矢印で示すスパッタ粒子となって除去される。本実施例でのAr+ イオンの照射エネルギは比較的低エネルギであり、被処理基板にダメージを与える虞は小さい。
【0050】
製品の被処理基板を例えば10枚清浄化すると、再びプラズマ処理室16内壁には堆積物23が付着し、内壁表面の絶縁抵抗値が低下する。この状態になるとプラズマ起動および継続が不安定となってくるので、再度ダミー基板をスパッタリングして内壁を高抵抗化する。
【0051】
さて、清浄化された被処理基板は不図示のゲートバルブを介してスパッタリング装置内に真空搬送し、直ちに上層導電層9を形成する。本実施例では、上層導電層9として、120nmの厚さのバリア層9bと600nmの厚さのWからなる配線層9aをスパッタリング成膜した。このうち、バリア層9bはTi/TiN/Tiの3層構造とし、それぞれの厚さを30/60/30nmとして形成した。上層導電層9を形成した状態を図1(c)に示す。上層導電層9はこの後、所望の配線パターンにエッチングされるか、CMP (Chemical mechanical polishing)により接続孔7内に埋め込まれてコンタクトプラグとなる。
【0052】
本実施例によれば、所定枚数の被処理基板を清浄化した後に、ダミー基板のスパッタリング工程を挿入することにより、多数枚の被処理基板を清浄化しても、終始安定した希ガスの放電プラズマによる処理ができる。したがって、微細で高アスペクト比の接続孔であっても、低抵抗の層間接続を安定して形成することが可能である。
【0053】
〔実施例2〕
本実施例は、プラズマ処理室内壁表面の絶縁抵抗値をモニタしつつ、清浄化工程を施した例である。製品の被処理基板の構造や、ダミー基板の構造は前実施例1と同様であるので、この部分の重複する説明は省略する。プラズマ処理装置は、図3に示すICP処理装置を採用した。この清浄化工程を同じ図1を参照して説明する。
【0054】
本実施例で採用した被処理基板は、前実施例1で図1(a)を参照して説明したものと同様であり、重複する説明は省略する。
【0055】
被処理基板10としてのダミー基板を、図3に示すICP処理装置に搬入し、基板ステージ11上にセッティングした。このプラズマ処理装置は、前回のロットの、製品としての被処理基板を複数枚清浄化処理したことにより、プラズマ処理室16の内壁表面に堆積物23が付着し、絶縁抵抗測定回路20により表面絶縁抵抗が低下したことが確認されたものである。したがって、このままの状態ではプラズマ起動やプラズマ放電の持続が不安定となる虞がある。
【0056】
つぎにこのダミー基板に対し、下記の条件で希ガスの放電プラズマ処理を施して表面の絶縁膜をスパッタリングした。
〔ダミー基板のスパッタリング条件〕
Ar 30 sccm
圧力 0.13 Pa
基板ステージ温度 90 ℃
ICP電源電力 1000 W(450kHz)
基板バイアス電圧 100 V(13.56MHz)
時間 60 sec
【0057】
このスパッタリングにより、ダミー基板表面のSiO2 がスパッタアウトされ、その一部はプラズマ処理室16の内壁表面に付着した。ダミー基板のスパッタリングは1枚のみでも良いが、本実施例では5枚のダミー基板を連続的にスパッタリングした。スパッタリング終了後には、プラズマ処理室16の内壁表面にSiO2 が厚く付着した。この結果、プラズマ処理室16の内壁表面の絶縁抵抗値が高まり、プラズマ放電が安定して持続できるようになる。
【0058】
しかしながら、プラズマ処理室16の内壁表面の堆積物23の堆積厚さや堆積物23の内容次第では、ダミー基板のスパッタリングだけではプラズマ処理室16の内壁表面の絶縁抵抗値が充分増加しない場合がある。この場合には、次の条件で酸素ガスによる放電プラズマ処理を施し、プラズマ処理装置内壁の酸化処理を施した。
〔酸化処理条件〕
O2 100 sccm
圧力 1.0 Pa
基板ステージ温度 90 ℃
ICP電源電力 1000 W(450kHz)
基板バイアス電圧 0 V
時間 180 sec
【0059】
この酸化処理により、プラズマ処理室内壁の堆積物23のうち、有機物は酸化燃焼反応により気化除去された。また堆積物23のうち、導電材料は酸化されて絶縁性の酸化物に変換された。したがって、酸化処理終了後はプラズマ処理室16の内壁表面の絶縁抵抗値が高まったことが絶縁抵抗測定回路20によりモニタされ、プラズマ放電の起動および持続は安定する。
【0060】
この後、図1(a)に示す、製品の被処理基板をプラズマ処理室16内に搬入し、次の条件で希ガスの放電プラズマ処理を施し、自然酸化膜等8を除去した。このプラズマ処理工程は、プラズマの起動およびプラズマの継続とも、安定した状態で施すことができた。
〔自然酸化膜等の除去条件〕
Ar 30 sccm
圧力 0.13 Pa
基板ステージ温度 90 ℃
ICP電源電力 1000 W(450kHz)
基板バイアス電圧 80 V(13.56MHz)
時間 60 sec
基板バイアス電圧は、被処理基板のダメージを抑制するため、例えば10〜300V程度、望ましくは50〜250V程度が選ばれる。
【0061】
この自然酸化膜等除去工程、すなわち清浄化工程では、図1(b)のように実線の矢印で示すAr+ イオンの照射により、接続孔7底部の自然酸化膜等8はスパッタアウトされ、破線矢印で示すスパッタ粒子となって除去される。本実施例でのAr+ イオンの照射エネルギは低エネルギであり、被処理基板にダメージを与える虞は小さい。
【0062】
製品の被処理基板を例えば10枚清浄化すると、再びプラズマ処理室16内壁には堆積物23が付着し、内壁表面の絶縁抵抗値が低下する。この状態になるとプラズマ起動および継続が不安定となってくるので、再度ダミー基板をスパッタリングし、あるいは必要に応じて内壁の酸化処理を施して内壁表面を高抵抗化する。
【0063】
図1(c)に示す上層導電層9の形成以後は、前実施例1に準じてよい。
【0064】
本実施例によれば、所定枚数の被処理基板を清浄化した後に、ダミー基板のスパッタリング工程およびプラズマ処理室内壁の酸化処理工程を挿入することにより、多数枚の被処理基板を清浄化しても、終始安定した希ガスの放電プラズマによる処理ができる。したがって、微細で高アスペクト比の接続孔であっても、低抵抗の層間接続を安定して形成することが可能である。
【0065】
以上、本発明を2例の実施例により詳細に説明したが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。
【0066】
例えば、プラズマ処理装置としてトライオード平行平板型装置やICP装置の他に、ECRプラズマ処理装置やヘリコン波プラズマ処理装置等を採用することができる。低イオンエネルギでの清浄化が可能という観点からは、イオン密度が1×1011cm-3以上の高密度プラズマ処理装置が好ましく使用される。
【0067】
希ガスの放電プラズマによる清浄化工程において、Arを用いたが、He、Xe、KrあるいはRn等他の希ガスを用いてもよく、またH2 等の還元性ガスを添加して用いてもよい。
【0068】
また被処理基板上の導電層として、シリコン基板に形成された不純物拡散層やゲート電極・配線の他に、薄膜トランジスタの半導体膜等であってもよい。また半導体基板として、シリコンの他に、SiGeやGe、あるいはGaAs等の化合物半導体であってもよい。
その他、被処理基板の構成等、適宜変更可能であることは言う迄もない。
【0069】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の半導体装置の製造方法によれば、下地となる導電層にダメージを与えることなく、自然酸化膜やエッチング残渣を安定に除去することができる。
したがって、微細な開口径で高アスペクト比の接続孔による層間接続構造を、低抵抗かつ信頼性の高いものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の製造方法の工程を説明する概略断面図である。
【図2】実施例1で用いたトライオード平行平板型プラズマ処理装置を示す概略断面図である。
【図3】実施例2で用いた誘導結合型プラズマ処理装置を示す概略断面図である。
【図4】プラズマ処理室内壁の絶縁抵抗測定回路の概略を示す図である。
【符号の説明】
1…半導体基板、2…素子分離領域、3…ゲート電極、4…下層配線、5…不純物拡散層、6…層間絶縁膜、7…接続孔、8…自然酸化膜等、9…上層導電層、9a…配線層、9b…バリア層
10…被処理基板、11…基板ステージ、12…基板バイアス電源、13…対向電極、14…プラズマ生成電源、15…格子電極、16…プラズマ処理室、17…プラズマ、18…誘導結合コイル、19…ICP電源、20…絶縁抵抗測定回路、21…プローブ電極、22…絶縁シールド、23…堆積物
Claims (5)
- 被処理基板上の導電層上に形成された層間絶縁膜に、前記導電層に臨む接続孔を開口する工程、
前記接続孔底部に露出した前記導電層表面を、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理により清浄化する工程、
連続的に、少なくとも前記接続孔内に上層導電層を形成する工程を具備する半導体装置の製造方法であって、
プラズマ処理装置の基板ステージ上に、少なくとも表面が絶縁膜で構成されたダミー基板を載置し、該ダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施した後、
前記清浄化工程を施すこと
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施すことにより、
前記ダミー基板表面の前記絶縁膜をスパッタリングし、
前記プラズマ処理装置の内壁に前記絶縁膜を付着させること
を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施す工程に加え、
さらに、酸素を含むガスの放電プラズマ処理を施し、前記プラズマ処理装置の内壁の酸化処理を施すこと
を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記プラズマ処理装置は、該プラズマ処理装置内壁表面の絶縁抵抗モニタ装置を備え、
前記絶縁抵抗モニタ装置からの絶縁抵抗情報に基づき、
前記ダミー基板に対し、少なくとも希ガスの放電プラズマ処理を施すこと
を特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記プラズマ処理装置は、該プラズマ処理装置内壁表面の絶縁抵抗モニタ装置を備え、
前記絶縁抵抗モニタ装置からの絶縁抵抗情報に基づき、
前記プラズマ処理装置の内壁の酸化処理を施すこと
を特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
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