JP3951814B2 - Soi基板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はSOI基板の製造方法、詳しくは鉄、ニッケルなどの金属不純物によるSOI層の汚染を低減するSOI基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコン基板上に構成されるLSIの高集積化、多機能化の要請がきびしくなるにつれ、各素子間の分離が重要な課題となっている。従前のLSIは、厚さ500〜800μmのシリコンウェーハの表層(表面から十数μmの部分)に、電気回路素子が集積されている。
このような素子間の分離の問題を解決するため、SOI(Silicon On Insulator)基板が知られている。SOI基板は、デバイスが形成されるSOI層と、これを支持する支持基板用ウェーハとの間に、厚さ数μmの埋め込みシリコン酸化膜が介在された構成を有している。
このSOI基板にあっては、3次元構造による多機能化を含むデバイスの高集積化が容易となり、ソフトエラーの低減および高信頼性が図れて、消費電力も抑えることができる。
【0003】
ところで、このSOI基板にあっては、SOI層に対しての金属不純物の汚染の度合いが重要となる。金属汚染により、デバイスの特性不良が発生するおそれがあるためである。そこで、最近ではデバイスメーカからこの金属不純物の濃度が1×109atoms/cm2以下という高純度のものが要求されている。
この要求に対処する一策として、ゲッタリング技術が提案されている。ゲッタリングは、デバイスが形成される領域以外のウェーハの部分に結晶欠陥(ゲッタリングサイト)を形成し、このサイトに金属不純物を捕獲する。これをSOI基板に適用するため、例えば支持基板用ウェーハにIG(Intrinsic Gettering)熱処理を施し、ゲッタリングサイトとなる酸素析出物などを析出させる方法が開発されている。この方法によれば、熱処理時、SOI層内で熱拡散した金属不純物が埋め込みシリコン酸化膜を通り抜け、支持基板用ウェーハのゲッタリングサイトに捕獲される。ここでいう酸素析出物とは、シリコン中に存在する酸素が、クリストバライトなどの化合物として熱処理過程で析出したものである。
【0004】
この方法によれば、熱処理時にSOI層中の金属不純物が埋め込みシリコン酸化膜を通り抜けなければならない。しかしながら、銅は埋め込みシリコン酸化膜内を通過することができるものの、鉄およびニッケルは通過することができない。
そこで、これを解消する従来技術として、例えば特開2000−124091号公報に記載されたものが知られている。これによれば、SOI基板が、シリコン製のSOI層と支持基板用ウェーハとを、埋め込みシリコン酸化膜を貫通する連結領域部(シリコン)を介して連結した構造を有している。この連結領域部を通して、鉄、ニッケルをゲッタリングする。
【0005】
以下、この従来のSOI基板の製造方法を、図5を参照して詳細に説明する。図5は、従来手段に係るSOI基板の製造方法のフローシートである。
SOI基板の製造にあっては、まずSOI層101の表面を熱酸化処理してシリコン酸化膜101aを形成し(図5(a))、次にシリコン酸化膜101aの表面にレジスト膜102を形成する(図5(b))。次いで、フォトリソグラフィ技術(露光、現像処理、エッチング処理)により、レジスト膜102に部分的にパターン孔102aを形成し(図5(c))、パターン孔102aを介して、HF溶液によりシリコン酸化膜101aに開口部101bを形成する(図5(d))。
【0006】
続いて、硫酸と過酸化水素水とからなる混合液によりレジスト膜102を除去し(図5(e))、それからKOH溶液によりSOI層101の一部分をエッチングし、埋め込みシリコン酸化膜103まで達する開口部101bとする(図5(f))。次いで、HF溶液により埋め込みシリコン酸化膜103を部分的にエッチングし、開口部101bをさらに深める(図5(g))。これにより、開口部101bの底部分が、支持基板用ウェーハ104の全面に堆積されたポリシリコン層104aに達する。ポリシリコン層104aは、支持基板用ウェーハ104に形成されたゲッタリングサイトである。その際、埋め込みシリコン酸化膜103の開口部内壁が、HF溶液によりアンダーカットされ、これに伴い、SOI層101の各開口部101bの周りに、オーバーハング部101cが形成される。
【0007】
その後、SOI基板を高温で水素アニール処理することで、オーバーハング部101cのシリコンがリフローされて、支持基板用ウェーハ104の表面に移動し、開口部101bがシリコンで埋まる。この埋め込み部分が、SOI層101と支持基板用ウェーハ104とを連結する連結領域部Xとなる(図5(h))。
熱処理時において、SOI層101に存在する金属不純物、特に埋め込みシリコン酸化膜103を通り抜けることができない鉄およびニッケルは、この連結領域部Xを通路にしてポリシリコン層104aに捕獲される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のSOI基板の製造方法によれば、SOI層101に開口部101bを形成する際、および、開口部101bを埋め込みシリコン酸化膜103まで深める際には、いずれもKOH溶液またはHF溶液を使用したウエットエッチングを採用していた。
そのため、開口部101b毎に、オーバーハング部101cの大きさおよび形状が異なり、均一な開口部101bを高精度に形成することはできなかった。これにより、埋め込みシリコン酸化膜103の連結領域部Xは、設定された寸法から大きく外れ、ウェーハ全面において安定したゲッタリング効果が得られなかった。
【0009】
また、従来法では、SOI層101にいったんシリコン酸化膜101aを形成し、それから開口部101bを形成し、その後、シリコン酸化膜101aを除去する。このように、従来法は工程が複雑で、SOI基板を製造するにあたって長時間を要していた。
しかも、SOI層101の表面には、埋め込みシリコン酸化膜103への開口部101b形成後に除去されるシリコン酸化膜101aを形成するので、SOI層101の膜厚制御が難しく、薄膜のSOI層101を有するSOI基板の製造には適さなかった。
【0010】
そこで、発明者らは、鋭意研究の結果、SOI層と支持基板用ウェーハとを、埋め込みシリコン酸化膜の連結領域部を介して連結したSOI基板を製造するにあたって、異方性のドライエッチングにより、SOI層と埋め込みシリコン酸化膜とを貫通した開口部を形成すれば、埋め込みシリコン酸化膜の開口部内壁にアンダーカットが発生せず、したがってオーバーハング部も形成されないことを、知見した。また、この後、還元性雰囲気中でSOI基板を高温熱処理し、SOI層のシリコンを拡散させて開口部をシリコンにより埋めて連結領域部を形成すれば、略あらかじめ設定された通りの寸法の連結領域部が得られることを知見した。その結果、熱処理時に埋め込みシリコン酸化膜を通過できない鉄、ニッケルなどの金属不純物が、この連結領域部を通路としてSOI層から支持基板用ウェーハに移動し、ウェーハ全面において安定したゲッタリング機能を発揮できることを知見した。しかも、この方法によれば、SOI基板の製造工程数を削減することができ、SOI基板の製造時間も短縮することができ、さらにSOI層の膜厚制御が容易になり、薄膜のSOI層を有するSOI基板の製造に好適であるという、これらの利点を知見し、この発明を完成させた。
【0011】
【発明の目的】
この発明は、ウェーハの全面で安定したゲッタリング効果が得られ、またSOI基板の製造工程数を削減することができ、これによりSOI基板の製造時間を短縮することができ、さらにはSOI層の膜厚制御が容易で、薄膜のSOI層を有するSOI基板の製造に好適であるSOI基板の製造方法を提供することを、その目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、SOI層と支持基板用ウェーハとの間に埋め込みシリコン酸化膜が介在されたSOI基板を製造するSOI基板の製造方法において、前記SOI基板をSOI層側の面から異方性のドライエッチングをすることで、前記SOI層および埋め込みシリコン酸化膜を貫通し、前記支持基板用ウェーハまで達した開口部を形成する異方性のドライエッチ工程と、このドライエッチ後のSOI基板を、還元性雰囲気で高温熱処理して前記開口部をシリコンにより埋めることで、前記埋め込みシリコン酸化膜を貫通するSOI層と支持基板用ウェーハとの連結領域部を形成する熱処理工程とを備えたSOI基板の製造方法である。
【0013】
SOI基板の種類は限定されない。例えば、(1) 支持基板用ウェーハに埋め込み酸化膜を介して貼り合わせた活性層用ウェーハを表面研削、表面研磨して薄膜のSOI層を形成する貼り合わせSOI、(2) このSOI層の薄膜化に選択エッチングを採用したELTRANSOIウェーハ、(3) このSOI層の薄膜化に水素イオン剥離を採用したスマートカットSOIウェーハ、(4) SOI層の薄膜化に局所プラズマエッチングを採用したPACE−SOIウェーハ、および、(5) 表面シリコン層とバルク層との間に、イオン注入および熱処理により埋め込みシリコン酸化膜が形成されたSIMOXウェーハなどを採用することができる。
支持基板用ウェーハとしては、例えば単結晶シリコンウェーハを採用することができる。
SOI層の厚さは限定されない。例えば厚膜のSOI層では20〜50μm、好ましくは30μm以下である。また、薄膜のSOI層では0.01〜20μmである。
【0014】
埋め込みシリコン酸化膜の厚さは、例えば0.1〜1μmである。
上記異方性のドライエッチングの条件などは後述する。
支持基板用ウェーハには、あらかじめまたはSOI基板の製造後に、各種のゲッタリングサイトが形成されるものとする。ゲッタリングサイトとしては、例えばウェーハ内部に形成されたIGである酸素析出核、酸素析出物などを採用することができる。
【0015】
異方性のドライエッチングの種類は限定されない。
SOI層のドライエッチ時に利用される異方性のドライエッチング法と、埋め込みシリコン酸化膜のドライエッチ時に利用される異方性のドライエッチング法とは、同じ種類でもよいし、異なる種類でもよい。
【0016】
SOI層の異方性のドライエッチ時に用いられる還元性ガス(第1の還元性ガス)としては、例えばCl2ガスが挙げられる。その他、SF6ガス、CCl4ガスなども採用することができる。
埋め込みシリコン酸化膜の異方性のドライエッチ時に用いられる還元性ガス(第2の還元性ガス)としては、例えばCF4とCH2F2との混合ガスが挙げられる。その他、C2F6ガス、C3F8ガスなども採用することができる。
SOI層および埋め込みシリコン酸化膜に貫通して形成される開口部の大きさ、形状は限定されない。例えば、平面視して円形、楕円形、多角形でもよい。
【0017】
SOI層の表面に開口部が占める割合は0.013〜0.08%の範囲が良く、特に0.02%以上であれば十分なゲッタリング効果が得られる。ただし、開口部が多くなるほどデバイスとして使用される領域が制限されるので、0.04%程度に抑えることが望ましい。
SOI層の一部を溶解する高温熱処理は、例えばアニール装置を用いて行われる。そのときの炉内温度および加熱時間といった各種の加熱条件は、適宜設定される。
【0018】
請求項2に記載の発明は、前記異方性のドライエッチング工程では、シリコンのエッチングレートを、酸化シリコンのエッチングレートにより除した値が10以上である第1の還元性ガスを使用してSOI層を異方性のドライエッチングし、次いで、酸化シリコンのエッチングレートを、シリコンのエッチングレートにより除した値が10以上である第2の還元性ガスを使用して埋め込みシリコン酸化膜をエッチングする請求項1に記載のSOI基板の製造方法である。
ここで、シリコンのエッチングレートを、酸化シリコンのエッチングレートにより除した(以下、シリコン/酸化シリコンのエッチングレート比)好ましい値は、10〜30である。シリコンのエッチングレートが、酸化シリコンのエッチングレートよりも10倍未満では、シリコンの溶け残りが生じ易く、続く埋め込みシリコン酸化膜のドライエッチング時に、SOI層の開口部の直下であって、埋め込みシリコン酸化膜の開口部分を十分にドライエッチングし難くなる。
また、酸化シリコンのエッチングレートを、シリコンのエッチングレートにより除した(以下、酸化シリコン/シリコンのエッチングレート比)好ましい値は、10〜30である。酸化シリコンのエッチングレートが、シリコンのエッチングレートよりも10倍未満では、埋め込みシリコン酸化膜に形成された開口部の直下の支持基板用ウェーハが多量に エッチングされるので、その後の熱処理時に連結領域部の形成に支障をきたすおそれがある。
【0019】
第1の還元性ガスとしては、Cl 2 ガス、SF 6 ガス、CCl 4 ガスなどを採用することができる。
また、第2の還元性ガスとしては、CF 4 とCH 2 F 2 との混合ガス、C 2 F 6 ガス、C 3 F 8 ガスなどを採用することができる。
【0020】
請求項3に記載の発明は、前記第1の還元性ガスがCl 2 ガスで、前記第2の還元性ガスがCF 4 とCH 2 F 2 との混合ガスである請求項2に記載のSOI基板の製造方法である。
第1の還元性ガスにCl 2 ガスを採用することで、SOI層の溶け残りを発生させることなく、所定形状のSOI層開口部を形成することができる。また、第2の還元性ガスにCF 4 とCH 2 F 2 との混合ガスを採用したので、シリコン酸化膜の溶け残りを発生させることなく、所定形状のシリコン酸化膜開口部を形成することができる。
【0021】
請求項4に記載の発明は、前記高温熱処理が、水素雰囲気中での1050〜1300℃、10分〜5時間の熱処理である請求項1〜請求項3のうち、何れか1項に記載のSOI基板の製造方法である。
好ましい加熱温度は1050〜1300℃である。1050℃未満では、シリコンの拡散移動が発生せず、連結領域部が形成されない。また、1300℃を超えると、スリップの発生および金属汚染の問題が発生するとともに、熱処理炉への熱負担が増大し、炉内構成部品の劣化が激しくなる。
好ましい熱処理時間は10分〜5時間である。10分未満ではSOI層から十分なシリコンが拡散されず、開口部がシリコンで埋まらない。また、5時間を超えるとSOI基板自体にスリップ、金属汚染などが発生する。
【0022】
請求項5に記載の発明は、前記異方性のドライエッチングは、反応性イオンエッチング、光励起エッチング、プラズマエッチングの何れか1つである請求項1〜請求項4のうち、何れか1項に記載のSOI基板の製造方法である。
反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)とは、反応性ガスプラズマを利用し、ウェーハをエッチング室に設置した電極上に載置して行う異方性のドライエッチングである。また、光励起エッチングとは、エッチング室内に反応性ガスを導入し、紫外線、可視光などをガスまたはウェーハに照射して活性種を発生させる異方性のドライエッチングである。さらには、プラズマエッチングとは、反応性ガスプラズマを利用し、主として中性活性種の作用により異方性のドライエッチングを進行させるものである。
【0023】
【作用】
請求項1に記載のSOI基板の製造方法によれば、埋め込みシリコン酸化膜に部分的に開口部が形成された構造を有するSOI基板の製造時、まずSOI基板をSOI層側の面から異方性のドライエッチングし、次にSOI層および埋め込みシリコン酸化膜を貫通して奥部分が支持基板用ウェーハまで達する開口部を形成する。次いで、熱処理によりSOI層のシリコンで開口部を埋め、連結領域部を形成する。
【0024】
このようなドライエッチングにより開口部を形成するので、従来のウエットエッチングのように化学反応が支配的な等方性エッチングではなく、物理的スパッタリングが支配的な異方性エッチングとなる(特に、反応性イオンエッチングの場合)。その結果、埋め込みシリコン酸化膜の開口部内壁にアンダーカットが発生し難くなり、必然的にオーバーハング部も形成され難くなる。したがって、その後、還元性雰囲気中でSOI基板を高温熱 処理し、SOI層のシリコンを拡散させて開口部を埋めてしまえば、寸法が均一な連結領域部を得ることができる。
これにより、SOI層内に存在し、熱処理時に熱拡散しても埋め込みシリコン酸化膜を通り抜けることができない鉄、ニッケルといった金属不純物であっても、これらの連結領域部を通路(バイパス路)として、SOI層から支持基板用ウェーハに移動させることができる。その結果、支持基板用ウェーハまで移動した金属不純物を、支持基板用ウェーハの内部に形成された所定のゲッタリングサイトに捕獲することができる。
しかも、従来法のように、SOI層の表面にシリコン酸化膜を形成する必要がないなどから、SOI基板の製造工程数を削減させることができ、SOI基板の製造時間も短縮することができる。しかも、SOI層の膜厚制御が容易になり、薄膜のSOI層を有したSOI基板の製造に好適となる。
【0025】
特に、請求項2に記載のSOI基板の製造方法によれば、SOI層に開口部を形成するドライエッチング時には、エッチング室に第1の還元性ガスを供給する。第1の還元性ガスは、シリコンに対するエッチングレートが酸化シリコンに対するエッチングレートよりも10倍以上高い。そのため、SOI層に開口部を形成する時間が短縮される。
その後、エッチング室に第2の還元性ガスを供給し、埋め込みシリコン酸化膜に異方性のドライエッチングを施す。このとき、酸化シリコンに対するエッチングレートがシリコンに対するエッチングレートよりも10倍以上高い。その結果、埋め込みシリコン酸化膜に開口部を形成する時間が短縮される。このような第1の還元性ガスと第2の還元性ガスという2種類のガスを使用し、SOI層および埋め込みシリコン酸化膜を貫通する開口部を形成したので、高精度に所定形状の開口部を形成することができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図1および図2は、この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法を示すフローシートである。図3は、この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法により得られたSOI基板の要部拡大平面図である。図4は、この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法に適用される反応性イオンエッチング装置の概略構成図である。
図1に示すように、まずCZ法により引き上げられた単結晶シリコンインゴットをスライスし、面取りし、ラッピング、エッチング、研磨することで、厚さ725μm、直径175mmの片面または両面が鏡面に仕上げられた活性層用ウェーハ10を用意する。一方、この活性層用ウェーハ10と同じ製法により、同じ厚さ、同一口径の鏡面仕上げされた支持基板用ウェーハ20を用意する(図1(a))。このうち、活性層用ウェーハ10は、熱酸化炉に挿入して熱酸化処理され、その露出面の全体に厚さ0.4μmの絶縁性のシリコン酸化膜10aが形成されている。
【0027】
その後、両ウェーハ10,20の鏡面同士をクリーンルームの室温下で重ね合わせる(図1(b))。これにより、貼り合わせウェーハ30が形成される。この貼り合わせにより、活性層用ウェーハ10と支持基板用ウェーハ20との間に介在されたシリコン酸化膜10aの部分が埋め込みシリコン酸化膜10bとなる。埋め込みシリコン酸化膜10bの厚さは、0.4μmである。
次に、この貼り合わせウェーハ30を、貼り合わせ用の熱酸化炉の石英反応管に挿入し、酸素ガス雰囲気で貼り合わせ熱処理する。これにより、接合強度が増す。貼り合わせ温度は1100℃,熱処理時間は2時間である(同じく図1(b))。これにより、貼り合わせウェーハ30の露出面全体がシリコン酸化膜30aにより覆われる。その結果、活性層用ウェーハ10の酸化膜は厚くなる。便宜上、図1中ではシリコン酸化膜10a,30aを色分けして示している。
【0028】
次いで、超音波照射によるボイド検査を行う。良品の貼り合わせウェーハ30については、面取りされた両ウェーハ10,20の外周部形状に起因した貼り合わせ不良領域を除去するため、活性層用ウェーハ10の外周部が、そのデバイス形成面側から#300〜#2000のレジノイド研削砥石を用いて研削される(図1(c))。貼り合わせ不良領域が存在すれば、その後の洗浄工程、研磨工程などにおいて、この不良部分が剥がれて飛散し、それが付着してSOI層の表面が汚染されたり、この付着した飛散物により、後工程のウェーハ加工時にSOI層の表面を傷つける。この外周研削は、貼り合わせ界面に達しない深さに止められる。これにより現出される活性層ウェーハ10の外周部の削り残し部cの厚さは、50μm程度である。削り残し部cのウェーハ半径方向の長さは2mm程度である。
【0029】
続いて、この削り残し部cが、アルカリエッチにより除去される(図1(d))。すなわち、貼り合わせウェーハ30が、KOHなどのアルカリ性エッチング液に浸漬され、その削り残し部cが溶かされる。こうして、支持基板用ウェーハ20の外周部の領域(テラス部分)、具体的には埋め込み酸化膜10bの外周部が露出される。その際、テラス部分の外周部に、厚さ2μm程度のシリコン酸化膜10a,30aの残存部aが現出する。
次に、活性層用ウェーハ10がそのデバイス形成面側から、#360〜#2000のレジノイド研削砥石を用いて表面研削され、SOI層10Aとなる(図1(e))。このとき、表面研削量は600〜650μm、SOI層10Aの厚さは20μm程度とする。このSOI層10Aの表面のTTVは1μm程度とする。
【0030】
その後、このSOI層10Aの研削面に、表面研磨が施される。具体的には、図示しない枚葉式の研磨装置の研磨ヘッドの下面に表面研削された貼り合わせウェーハ30をSOI層10A側を下方に向けて保持する。次いで、SOI層10Aの研削面を、研磨定盤の上面にスポンジゴムを介して展張された研磨布に押し付け、表面研磨する。研磨布には、仕上げ用としてロデール社製の軟質不織布パッド、Suba600(Asker硬度80°)が採用されている。また、1次研磨用としてローズ製LP57、2次研磨用としてフジボウ製ポリパス#24が採用されている。
表面研磨時、研磨ヘッドの回転速度は30rpm、研磨定盤の回転速度は60rpm、研磨砥粒を含む研磨剤(コロイダルシリカ)の供給量は、1800ml/分である。研磨量は10〜15μm程度、研磨後に得られたSOI層10Aの厚さは10μm程度である。SOI層10Aの研磨面のTTVは1μm程度となる。
【0031】
その後、このSOI層10Aの研磨面にプラズマエッチングを施す。具体的には、まず反射分光法によりエッチング前のSOI層10Aの厚さを測定し、このSOI層10Aの厚さ分布のデータに基づき、エッチング時間を制御して局所的にプラズマエッチングを行い、SOI層10Aを0.1μmまで薄膜化する。プラズマエッチングは、高周波電源を用いて、エッチングガスSF6を100〜1000c/分でエッチング反応炉内に流しながら、この反応炉内に配置された断面が下向きのコの字形のプラズマ発生電極(電極サイズ7〜50mm)と、貼り合わせウェーハ30の静電チャックを兼用するチャック兼用電極との間に、周波数13.56MHz、電力400〜700ワットの高周波電圧を連続的に印加する。これによりプラズマ発生電極の内部空間で、エッチングガスSF6が励起されてプラズマが発生する。その後、このプラズマ発生電極を、SOI層10Aの表面に沿って、このSOI層10Aの表面のうねり部(起伏部)の厚さに合わせて移動速度を変更しながら動かすことで、このうねり部がプラズマアシスト化学エッチングされる。
【0032】
それから、SOI層10Aのプラズマエッチング面の全体に、スピンコート法により、レジスト膜40を1μmだけ塗布する(図1(f))。その後、このレジスト塗布膜を除くフォトリソグラフィ技術により、図3に示すようにこのレジスト膜40のうち、例えば縦39mm×横39mmの正方形の範囲で、5mm角のチップ形成領域41と、10mm角のチップ形成領域42と、20mm角のチップ形成領域43とに塗布された部分を露光、現像する。それ以外にも、このレジスト膜40の残り部分で、5mm×10mmのチップ形成領域44と、5mm×20mmのチップ形成領域45と、10mm×20mmのチップ形成領域46とをそれぞれ2箇所ずつ露光、現像する。隣接するチップ形成領域41〜46の間には、レジスト膜40の一部が現像時に除去された幅2μmの平面視して格子状のパターン孔40aが形成される(図3および図2(a))。
【0033】
次いで、このパターン孔40aを介して、SOI層10Aに部分的に開口部10cをイオンエッチングする(図2(b))。ここでは、図4に示す反応性イオンエッチング装置50が使用される。反応性イオンエッチング装置50は、反応性ガスプラズマを利用したドライエッチング装置で、その構成は、反応室51と、この反応室51内の天井部に配置され、接地電位とされる平板の電極52と、反応室51内の下部に配置され、上面に複数枚の貼り合わせウェーハ30…が載置され、電極52と平行な平板である電極53と、この電極53に接続される高周波電源54とを備えている。
【0034】
まず、図示しない真空発生装置により、反応室51の内部空気を10-4〜10-5Paまで排気し、それから真空発生装置を停止後、Cl2ガス(第1の還元性ガス)を反応室51に0.01リットル/分で供給する。次いで、高周波電源54から下側の電極53に13.56MHzの高周波を印加し、プラズマと貼り合わせウェーハ30…との間に電位(自己バイアス)を発生させる。これにより、貼り合わせウェーハ30には、数10〜数100eVのエネルギを有するイオンが入射される。したがって、ここでは中性活性種と、反応性ガスイオンとの相乗効果でエッチングが行われる。このCl2ガスを使用した反応性イオンエッチングにより、レジスト膜40のパターン孔40aから露出したSOI層10Aに、部分的に深さ0.15μm(オーバーエッチ50%)の格子状の開口部10cが形成される。
Cl2ガスは、シリコンに対してのエッチングレートは高いが、酸化シリコンに対するエッチングレートは低い。すなわち、ここではシリコン/酸化シリコンのエッチングレート比が25となっている。これにより、確実にSOI層10Aを除去することができる。
【0035】
その後、Cl2ガスに代えて、CF4とCH2F2との混合ガス(第2の還元性ガス)を反応室51に0.01リットル/分で供給し、同様の操作でSOI層10Aの開口部10cの直下に存在する埋め込みシリコン酸化膜10bの部分を0.6μm(オーバーエッチ50%)だけエッチングする(図2(c))。その結果、開口部10cと連通し、しかも埋め込みシリコン酸化膜10bを貫通した開口部10dが形成される。このように、反応性イオンエッチングにより開口部10c,10dを形成するので、貼り合わせウェーハ30の厚さ方向に向かって略直線的に、あらかじめ設定された通りの形状および大きさの開口部10c,10dを形成することができる。
前記混合ガスは、酸化シリコンはエッチングするが、シリコンはほとんどエッチングしない。すなわち、ここでは酸化シリコン/シリコンのエッチングレート比が20となっている。これにより、この混合ガスを使用した反応性イオンエッチング時、SOI層10Aの開口部10cの内壁をアンダーカットしたり、支持基板用ウェーハ20の部分まで大きくエッチングするおそれがない。
【0036】
次に、120℃の硫酸と過酸化水素水とからなる混合液(200:1)に、10分間だけ浸漬し、レジスト膜40を除去する(図2(d))。
その後、得られた貼り合わせウェーハ30を、窒素雰囲気、700℃の熱処理炉内に挿入し、次いで、この炉内を水素雰囲気に置換してから3段階の昇温ステップにより徐々に昇温速度を低くして1200℃まで昇温し、この温度で1時間熱処理する。このとき、水素アニールによりSOI層10Aのシリコンが熱拡散により開口部10c,10dに移動する。その後、開口部10c、10dに移動したシリコンにより、埋め込みシリコン酸化膜10bを貫通してSOI層10Aと支持基板用ウェーハ20とを連結する連結領域部Xが形成される。しかも、この水素アニール時には、支持基板用ウェーハ20に、多数の酸素析出物からなるIG層20aが形成される。
実際に、光学顕微鏡により支持基板用ウェーハ20の断面について欠陥観察したところ、5×10-8個/cm3の多面体酸素析出物が観察された。その結果、水素アニールによって支持基板用ウェーハ20の内部に十分なゲッタリングサイトが形成されていることが確認された。
次に、3段階の降温ステップにより徐々に降温速度を高めながら700℃まで炉内の温度を下げる。それから、炉内を窒素雰囲気に戻し、製造されたSOI基板を炉内から取り出す。
その後,SOI層10Aの表面を平滑化するため、CMP(Chemical Mechanical Polish)を施す。これにより、連結領域部Xの凹みが埋まり、SOI層10Aの平坦度が高まる。
【0037】
このように、ドライエッチングにより埋め込みシリコン酸化膜10bに開口部10dを形成し、SOI層10Aと支持基板用ウェーハ20とを連結領域部Xによって部分的に連結するようにしたので、熱処理時に埋め込みシリコン酸化膜10bを通過できない鉄、ニッケルなどの金属不純物であっても、この連結領域部Xを通路としてSOI層10Aから支持基板用ウェーハ20に移動することができる。これにより、埋め込みシリコン酸化膜10bを通り抜ける銅だけでなく鉄、ニッケルなどの金属不純物を、ウェーハ全面において安定して支持基板用ウェーハ20のIG層20aにゲッタリングすることができる。しかも、SOI層10Aの製造工程数を削減することができ、SOI基板の製造時間も短縮することができる。さらには、SOI層10Aの膜厚制御が容易になり、薄膜のSOI層10Aを有するSOI基板の製造に好適である。
【0038】
ここで、実際に支持基板用ウェーハのIG層のゲッタリング能力を調査した結果を報告する。
まず、この発明のSOI基板を2枚用意し、それらのSOI層の表面に1×1011atoms/cm2のニッケルをスピンコート法により付着させた。その後、1枚のSOI基板は900℃、1時間の熱処理を施し、他のSOI基板は900℃、4時間の熱処理を施した。
次に、SOI基板をHF溶液(フッ酸50%、水50%の混合液)中に、約15分間浸漬し、その後、光学顕微鏡によりSOI層の表面について欠陥観察を行った。このとき、SOI層内にニッケルシリサイドが形成されていれば、HF溶液によるエッチング処理によりニッケルシリサイドが溶解され、埋め込みシリコン酸化膜に達する貫通孔が形成される。しかも、貫通孔を通して、ニッケルシリサイドが存在していた部分の直下で、埋め込みシリコン酸化膜の一部がHF溶液により溶解され、ホール化することになる。これがHF欠陥である。
その後、このSOI層の表面について、光学顕微鏡により欠陥観察を行い、HF欠陥が観察されれば、ニッケルに対するゲッタリング効果が不十分、HF欠陥が観察されなければゲッタリング効果は十分であると推定することができる。
【0039】
その結果、900℃、1時間で熱処理したSOI基板については、図3に示す5mm角のチップ形成領域41および10mm角のチップ形成領域42の場合、HF欠陥が観察されなかった。これにより、小型のチップでは、製造後の熱処理条件にかかわらず、ニッケルの低減が図れることがわかった。ただし、20mm角の大型のチップ形成領域43では、ニッケルの低減効果が十分ではなかった。これに対して、900℃、4時間で熱処理したSOI基板については、全てのサイズ形成領域41,42,43の場合で、HF欠陥は観察されなかった。したがって、デバイス工程で900℃、4時間相当の熱処理を行えば、20mm角のチップであっても、SOI層中のニッケルは十分に支持基板用ウェーハに拡散して、IG層にゲッタリングされる。なお、埋め込みシリコン酸化膜に開口部が形成されていない従来のSOI基板について、同様の評価試験を行ったところ、HF欠陥が1000個/cm2程度観察された。
【0040】
【発明の効果】
請求項1に記載のSOI基板の製造方法によれば、異方性のドライエッチングにより埋め込みシリコン酸化膜に開口部を形成し、SOI層と支持基板用ウェーハとを連結領域部によって部分的に連結しているので、SOI層に存在する鉄、ニッケルなどの埋め込みシリコン酸化膜を通り抜けできない金属不純物であっても、これらの連結領域部を通路として、SOI層から支持基板用ウェーハに移動させ、支持基板用ウェーハの内部に形成されたIG層に捕獲することができる。
しかも、異方性のドライエッチングを利用して得られた連結領域部は、略あらかじめ設定された通りの寸法を有している。そのため、ウェーハ全面で安定したゲッタリング効果が得られる。しかも、従来法のようにSOI層にシリコン酸化膜を形成する必要がないので、SOI基板の製造工程数を削減させることができ、SOI基板の製造時間も短縮する。さらには、SOI層の膜厚制御が容易になり、薄膜のSOI層を有したSOI基板の製造に好適となる。
【0041】
特に、請求項2に記載のSOI基板の製造方法によれば、SOI層に開口部を形成する際、および、埋め込みシリコン酸化膜に開口部を形成する際において、一方より10倍以上もエッチングレートが高い第1の還元ガスまたは第2の還元ガスを使用して異方性のドライエッチングを行うので、SOI層または埋め込みシリコン酸化膜に開口部を形成する時間がそれぞれ短縮される。すなわち、SOI基板に開口部を形成する全体の時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法を示すフローシートである。
【図2】 図1に続く、この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法を示すフローシートである。
【図3】 この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法により得られたSOI基板の要部拡大平面図である。
【図4】 この発明の一実施例に係るSOI基板の製造方法に適用される反応性イオンエッチング装置の概略構成図である。
【図5】 従来手段に係るSOI基板の製造方法のフローシートである。
【符号の説明】
10A SOI層、
10b 埋め込みシリコン酸化膜、
10c,10d 開口部、
20 支持基板用ウェーハ、
X 連結領域部。
Claims (5)
- SOI層と支持基板用ウェーハとの間に埋め込みシリコン酸化膜が介在されたSOI基板を製造するSOI基板の製造方法において、
前記SOI基板をSOI層側の面から異方性のドライエッチングをすることで、前記SOI層および埋め込みシリコン酸化膜を貫通し、前記支持基板用ウェーハまで達した開口部を形成する異方性のドライエッチ工程と、
このドライエッチ後のSOI基板を、還元性雰囲気で高温熱処理して前記開口部をシリコンにより埋めることで、前記埋め込みシリコン酸化膜を貫通するSOI層と支持基板用ウェーハとの連結領域部を形成する熱処理工程とを備えたSOI基板の製造方法。 - 前記異方性のドライエッチング工程では、
シリコンのエッチングレートを、酸化シリコンのエッチングレートにより除した値が10以上である第1の還元性ガスを使用してSOI層を異方性のドライエッチングし、
次いで、酸化シリコンのエッチングレートを、シリコンのエッチングレートにより除した値が10以上である第2の還元性ガスを使用して埋め込みシリコン酸化膜をエッチングする請求項1に記載のSOI基板の製造方法。 - 前記第1の還元性ガスがCl 2 ガスで、
前記第2の還元性ガスがCF 4 とCH 2 F 2 との混合ガスである請求項2に記載のSOI基板の製造方法。 - 前記高温熱処理が、水素雰囲気中での1050〜1300℃、10分〜5時間の熱処理である請求項1〜請求項3のうち、何れか1項に記載のSOI基板の製造方法。
- 前記異方性のドライエッチングは、反応性イオンエッチング、光励起エッチング、プラズマエッチングの何れか1つである請求項1〜請求項4のうち、何れか1項に記載のSOI基板の製造方法。
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