JP3944891B2 - ウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法に係り、特にノッチ付きウェーハ又はオリフラ付きウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハ面取り装置で精度よくウェーハを面取り加工するためには、研削テーブル上の所定の位置にウェーハを正確に位置決めして保持する必要がある。従来、この研削テーブル上でのウェーハの位置決めは、メカニカル方式の位置決め機構を用いて行っていた。
【０００３】
すなわち、図２６に示すように、例えばノッチ付きウェーハの位置決めに対しては、一対の挟持ローラ１４、１４と１個の位置決め基準駒１５でウェーハＷを挟持し、その位置決め基準駒１５をノッチＮＯに嵌め込むことにより、ウェーハＷを所定位置に位置決めしていた。すなわち、一対の挟持ローラ１４、１４と１個の位置決め基準駒１５でウェーハＷを挟持することにより、ウェーハＷの中心を研削テーブルの中心に一致させ、位置決め基準駒１５をノッチＮＯに嵌め込むことによりノッチを所定の方向に位置させていた。そして位置決めされたウェーハを、研削テーブルが外周砥石に押し当てながら回転し、所定の直径に仕上げた後、ノッチ砥石でノッチ部のみを所定のノッチ深さに加工する。
【０００４】
ところで、上記の位置決め機構では、位置決め基準駒１５はシリンダに駆動されることにより、所定の基準位置に移動してノッチＮＯの底部に当接する。一方、挟持ローラ１はスプリングに付勢されることにより位置決め基準駒１５に向かって移動し、ウェーハＷの外周を押圧してウェーハＷを位置決め基準駒１５に押し付ける。このため、この位置決め機構では位置決め基準駒１５が基準となってウェーハＷの位置決めが成されることとなる。
【０００５】
したがって、この位置決め機構でウェーハＷを精度よく位置決めするためには、研削テーブルの中心から位置決め基準駒１５までの距離が、ウェーハＷの中心からノッチの底部までの距離に等しくなるように、位置決め基準駒１５の基準位置を設定する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェーハに形成されているノッチの深さは常に一定であるとは限らず、ウェーハによって異なっている場合がある。すなわち、ウェーハはインゴットの状態からスライスされる際に、所定の結晶方位が得られるようにインゴットを傾斜させて切断している。このため、同じ径のインゴットに同じ形状のノッチを形成しても、ウェーハごとにノッチの深さが異なっている場合がある。
【０００７】
このようにノッチの深さが異なるウェーハを上記のメカニカル方式の位置決め機構で位置決めすると、ウェーハの中心と研削テーブルの中心が一致しないという事態が生じる。またノッチ深さが異なると挟持ローラのスプリング反力が異なるため、細い径の基準駒１５の軸が変形してしまう現象が発生する。そして、この結果、研削テーブルの中心からノッチの底部までの距離がウェーハごとに異なってしまうという欠点がある。
【０００８】
このように研削テーブルの中心からノッチの底部までの距離がウェーハごとに異なった状態でウェーハの面取り加工を行うと、ノッチを面取り加工する際に、研削量が多くなり過ぎたり、逆に少なくなり過ぎたりするという欠点がある。
また、ノッチを面取り加工するノッチ研削砥石は、外周を研削する外周研削砥石に比べ極めて細いため、研削量が多くなり過ぎると折れてしまうという欠点もある。
【０００９】
さらに、メカニカル式の位置決め機構は、あらかじめノッチの位置と基準駒の位置とを概略設定する必要があり、このため別途プリアライメント部を設置しなければならず、装置が大型、複雑化するという欠点もあった。
また、メカニカル方式の位置決め機構は、長期間の使用により精度が徐々に低下してくるという欠点も有していた。この位置決め機構の精度の修正は、真円に近いマスターウェーハを研削テーブルに位置決めして保持し、研削テーブルを９０°又は４５°ごと回転させて、その時のマスターウェーハの外周の振れをオペレータが電気マイクロメーターで測定し、数値入力を行って修正するようにしているが、その作業に時間がかかり、作業中は全く加工ができないため生産効率が極めて悪かった。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、シンプルな構成でウェーハを高精度に加工することができるウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は前記目的を達成するために、ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、まず、測定テーブル上に面取り加工するウェーハを載置する。そして、そのウェーハを測定テーブルで保持する。次に、測定手段によって測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する。次に、ノッチ中心位置の測定結果に基づいて測定テーブルを所定量回転させ、ノッチの位置を所定方向に位置させる。ここでのノッチの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように設定する。次に、ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて研削テーブルを基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる。ここでの研削テーブルの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、ノッチの底部が研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように設定する。次に、搬送手段によって、ウェーハを測定テーブルから研削テーブルに搬送する。研削テーブルに搬送されたウェーハは、そのノッチが研削テーブルの中心に対して所定の方向（位置決めすべき方向）に位置するとともに、そのノッチの底部が研削テーブルの中心から所定の距離の位置に位置する。研削テーブルは、この搬送されたウェーハを保持して面取り加工を開始する。このように位置決めすることにより、ノッチの加工量が常に一定になり、精度の高い面取り加工を行うことができる。また、ノッチの加工量が常に一定になることにより、ノッチ研削砥石にかかる研削負荷も常に一定となる。この結果、過負荷によるノッチ研削砥石の破損のおそれもなくなる。
【００１３】
また、請求項３に係る発明は前記目的を達成するために、ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にオリフラ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持された前記ウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように、前記測定テーブルを前記オリフラ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように、前記ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、ウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、まず、測定テーブル上に面取り加工するウェーハを載置する。そして、そのウェーハを測定テーブルで保持する。次に、測定手段によって測定テーブルに保持されたウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する。次に、オリフラ中心位置の測定結果に基づいて測定テーブルを所定量回転させ、オリフラの位置を所定方向に位置させる。ここでのオリフラの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように設定する。次に、ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて研削テーブルを基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる。ここでの研削テーブルの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、オリフラが研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように設定する。次に、搬送手段によって、ウェーハを測定テーブルから研削テーブルに搬送する。研削テーブルに搬送されたウェーハは、そのオリフラが研削テーブルの中心に対して所定の方向（位置決めすべき方向）に位置するとともに、そのオリフラが研削テーブルの中心から所定の距離の位置に位置する。研削テーブルは、この搬送されたウェーハを保持して面取り加工を開始する。このように位置決めすることにより、オリフラの加工量が常に一定になり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明が適用されたウェーハ面取り装置の実施の形態の構成を示す平面図である。同図に示すように本実施の形態のウェーハ面取り装置１は、アライメント部２、加工部３及び搬送部４から構成されている。
【００１６】
アライメント部２は、面取り加工するウェーハＷの前測定とアライメントを行う。このアライメント部２は、測定テーブル５とファインアライメントセンサ６とから構成されている。
測定テーブル５は所定の測定位置に設置されており、ウェーハＷを吸着保持して、その中心軸（ＯT ）回りにウェーハＷを回転させる。
【００１７】
ファインアライメントセンサ６は、レーザー測長器等の非接触式測長器で構成されており、図２に示すように、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）（いわゆるノッチＮＯの底の位置）及びノッチ深さＤ（ウェーハＷの外周からノッチ中心位置Ｎまでの距離）を測定する。
【００１８】
なお、オリフラ付きウェーハＷに対しては、図３に示すように、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）（いわゆるオリフラＯＦの中央の位置）、ウェーハＷの円形部分の直径ＬA （以下、『Ａ直径』という。）及び、ウェーハＷのオリフラ部分の直径ＬB （以下、『Ｂ直径』という。）を測定する。
【００１９】
加工部３は、ウェーハＷの面取り加工を行う。この加工部３は、研削テーブル７、外周研削砥石８及びノッチ研削砥石９から構成されている。
研削テーブル７はウェーハＷを吸着保持し、その中心軸（ＯG ）回りにウェーハＷを回転させる。また、研削テーブル７は、保持したウェーハＷを図１中Ｘ、Ｙ方向にそれぞれ移動させる。
【００２０】
外周研削砥石８は、図示しない外周スピンドルに装着されており、この外周スピンドルに駆動されることにより高速回転する。この外周研削砥石８の外周面には所定形状の溝が形成されており、この溝にウェーハＷの外周を押し当てることにより、ウェーハＷの外周が面取り加工される。
ノッチ研削砥石９は、図示しないノッチスピンドルに装着されており、このノッチスピンドルに駆動されることにより高速回転する。このノッチ研削砥石９の外周面には所定形状の溝が形成されており、この溝にウェーハＷのノッチを押し当てることにより、ノッチが面取り加工される。
【００２１】
搬送部４は、ウェーハＷの搬送を行う。この搬送部４は、ウェーハＷを保持するトランスファーアーム１０と、そのトランスファーアーム１０をガイドレール１１に沿ってスライド移動させるスライドブロック１２とから構成されている。トランスファーアーム１０は先端下部に上下動自在な吸着パッド１３を備えており、この吸着パッド１３でウェーハＷの上面を吸着保持する。
【００２２】
前記のごとく構成されたウェーハ面取り装置１の実施の形態の作用は次の通りである。
まず、本実施の形態のウェーハ面取り装置１を用いてノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
図１に示すように、初期状態において、加工部３の研削テーブル７は、その中心ＯG が所定の原点ＯG0上に位置している。
【００２３】
まず、図示しない搬送手段が測定テーブル５上にウェーハＷを載置する。測定テーブル５は、その載置されたウェーハＷを吸着保持する。そして、そのウェーハＷを一定の回転速度で回転させる。
ウェーハＷの回転が安定すると、ファインアライメントセンサ６が上述した各項目の測定を開始する。すなわち、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤを測定する。そして、その測定が終了すると、測定テーブル５の回転が停止する。
【００２４】
図示しない制御装置は、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づいて測定テーブル５を所定量回転させ、これにより、ノッチ中心位置Ｎを所定の基準方向に位置させる。
具体的には、次のようにしてノッチＮＯを基準方向に位置させる。なお、ここではノッチＮＯの基準方向は図１においてＸ+ 方向とする。
【００２５】
測定終了時に図４（ａ）に示す位置にノッチＮＯが位置していたとする。ここで、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）は、前記ファインアライメントセンサ６による測定によって既に求まっているので、制御装置は、この求めたノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）に基づき、ノッチＮＯをＸ+ 方向に向けるのに必要な測定テーブル５２の回転量を演算処理によって求める。そして、その演算処理によって求めた回転量に基づき測定テーブル５を回転させる。これにより、同図（ｂ）に示すように、ノッチＮＯがＸ+ 方向に位置する。
【００２６】
以上により、ノッチＮＯの方向の位置決めが完了する。続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、次のように行われる。
いま、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合を考える。このウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すると、図５に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
【００２７】
したがって、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合は、以上の操作でウェーハＷの中心位置の位置決めは完了する。
次に、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５の中心ＯT と一致していない場合を考える。このウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すると、図６に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG に対してズレて載置される。
【００２８】
ここで、この研削テーブル７の中心ＯG に対するウェーハＷの中心ＯW のズレ量は、測定テーブル５の中心ＯT に対するウェーハＷの中心ＯW のズレ量に等しい。
そこで、このズレを相殺するように、研削テーブル７を原点ＯG0からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。この状態でウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すれば、図７に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
【００２９】
以上により、ウェーハＷの中心位置ＯW の位置決めが完了する。続いて、ノッチ中心位置Ｎの位置決めが行われる。すなわち、研削テーブル７の中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離が、あらかじめ設定した距離Ｒとなるように、ノッチ中心位置の位置決めが行われる。具体的には、次の操作が行われる。
【００３０】
いま、上述したウェーハＷの中心位置の位置決めを実施したとする。この状態でウェーハＷを測定テーブル５から研削テーブル７に搬送すると、搬送されたウェーハＷの中心ＯW は研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
しかしながら、各ウェーハＷのノッチ深さＤは１枚ごとに異なっているので、ウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致していても、図８（ａ）に示すように、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒは１枚ごとに異なっている。この状態でノッチＮＯの研削を行うと、ウェーハＷによっては研削量が不足したり、あるいは多過ぎてしまったりするという不具合が生じる。
【００３１】
そこで、図８（ｂ）に示すように、すべてのウェーハＷに対して研削テーブル７の中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒが一定（設定距離Ｒ0 ）となるように、研削テーブル７を移動させる。
なお、この研削テーブル７の移動量は、制御装置がファインアライメントセンサ６によって測定したウェーハＷの直径Ｌとノッチ深さＤから演算処理によって求める。そして、その演算処理の結果に基づいて研削テーブル７を所定量移動させる。
【００３２】
以上により、ノッチ中心位置Ｎの位置決めが完了する。そして、このノッチ中心位置Ｎの位置決め完了した後、トランスファーアーム１０が測定テーブル５から研削テーブル７にウェーハＷを搬送する。搬送されたウェーハＷは、そのノッチＮＯが所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置するとともに、そのノッチＮＯの中心位置Ｎが研削テーブル７の中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【００３３】
ウェーハＷが搬送された研削テーブル７は、そのウェーハＷを吸着保持したのち、再び原点位置に復帰する。
以上により、ウェーハＷの位置決めが終了し、この後、ウェーハＷの面取り加工が行われる。
ウェーハＷの面取り加工が終了すると、研削テーブル７は原点位置に復帰する。そして、その原点位置に復帰した研削テーブル７上から図示しない搬送手段がウェーハＷを回収し、次の洗浄工程に搬送する。
【００３４】
このように、本実施の形態のウェーハ面取り装置１によれば、各ウェーハＷごとにノッチの位置を揃えて（研削テーブル７のＯG からノッチ中心Ｎまでの距離を揃えて）、ウェーハＷの面取り加工を行うようにしているので、ノッチＮＯの加工量が常に一定となり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
次に、本実施の形態のウェーハ面取り装置１を用いてオリフラ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
【００３５】
図１に示すように、初期状態において、加工部３の研削テーブル７は、その中心ＯG が所定の原点ＯG0上に位置している。
まず、図示しない搬送手段が測定テーブル５上にウェーハＷを載置する。測定テーブル５は、その載置されたウェーハＷを吸着保持する。そして、そのウェーハＷを一定の回転速度で回転させる。
【００３６】
ウェーハＷの回転が安定すると、ファインアライメントセンサ６が上述した各項目の測定を開始する。すなわち、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）、Ａ直径ＬA 及びＢ直径ＬB を測定する。そして、その測定が終了すると、測定テーブル５の回転が停止する。
図示しない制御装置は、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づいて測定テーブル５を所定量回転させ、これにより、オリフラ中心位置Ｆを所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置させる。
【００３７】
続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、上述したノッチ付きウェーハＷの場合と同じである。すなわち、ウェーハＷを研削テーブル７に搬送したときの研削テーブル７の中心ＯG に対するウェーハＷの中心ＯW のズレを相殺するように、研削テーブル７を原点ＯG0からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。
【００３８】
続いて、オリフラ中心位置Ｆの位置決めが行われる。すなわち、研削テーブル７の中心ＯG からオリフラ中心位置Ｆまでの距離が予め設定した距離Ｒとなるように、研削テーブル７を所定量移動させてオリフラ中心位置Ｆの位置決めが行われる。
なお、この研削テーブル７の移動量は、制御装置がファインアライメントセンサ６によって測定したウェーハＷのＡ直径ＬA とＢ直径ＬB から演算処理によって求める。
【００３９】
オリフラ中心位置Ｆの位置決め完了した後、トランスファーアーム１０が測定テーブル５から研削テーブル７にウェーハＷを搬送する。搬送されたウェーハＷは、そのオリフラＯＦが所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置するとともに、そのオリフラ中心位置Ｆが研削テーブル７の中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【００４０】
ウェーハＷが搬送された研削テーブル７は、そのウェーハＷを吸着保持したのち、再び原点位置に復帰する。
以上により、ウェーハＷの位置決めが終了し、この後、ウェーハＷの面取り加工が行われる。
ウェーハＷの面取り加工が終了すると、研削テーブル７は原点位置に復帰する。そして、その原点位置に復帰した研削テーブル７上から図示しない搬送手段がウェーハＷを回収し、次の洗浄工程に搬送する。
【００４１】
このように、本実施の形態のウェーハ面取り装置１によれば、各ウェーハＷごとにオリフラの位置を揃えてウェーハＷの面取り加工を行うようにしているので、オリフラＯＦの加工量が常に一定となり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
ところで、上記のウェーハ面取り装置１では、加工を重ねているうちに位置決め精度が低下する場合がある。そこで、次の方法によってウェーハの中心位置の位置決め精度と、ノッチの方向と深さの位置決め精度の修正を行う。
【００４２】
始めに、ウェーハの中心位置の位置決め精度の修正方法について説明する。
まず、図示しない搬送手段がマスターウェーハＷM を測定テーブル５上に載置する。そして、そのマスターウェーハＷM を測定テーブル５が吸着保持する。
ここで、このマスターウェーハＷM は、面取り加工するウェーハの基準となるウェーハであり、所定の直径を有し、外周に所定深さのノッチが形成されている。そして、あらかじめ面取り加工が施されている。
【００４３】
測定テーブル５でマスターウェーハＷM が吸着保持されると、ファインアライメントセンサ６によって、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤが測定される。そして、この測定結果に基づいて、上述した各位置決め操作が成される。すなわち、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づき、ノッチが所定方向に向くように、測定テーブル５を所定量回転させるとともに、マスターウェーハＷM の中心が研削テーブル７の中心と一致するように研削テーブル７を所定量移動させる。
【００４４】
上記の各位置決め操作が終了したのち、トランスファーアーム１０によってマスターウェーハＷM を研削テーブル７に搬送する。研削テーブル７は、その搬送されたマスターウェーハＷM を吸着保持したのち１８０°回転させる。
１８０°回転させたマスターウェーハＷM は、面取り加工を行わずに、そのままトランスファーアーム１０によって測定テーブル５に搬送される。そして、ファインアライメントセンサ６によってウェーハ中心位置が測定される。
【００４５】
ここで、このファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置が、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置と一致していれば、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されている。したがって、この場合、修正の必要はない。
一方、ファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置が、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置と一致していない場合、この場合、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されていないので、修正の必要がある。
【００４６】
修正は、ファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置と、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置とのズレ量を演算処理によって求め、そのズレ量を相殺するように研削テーブル７の原点ＯG0の位置を修正する。
これにより、研削テーブル７の原点ＯG0が正規の位置に設定し直され、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
【００４７】
次に、ノッチの方向と深さの位置決め精度の修正方法について説明する。
まず、図示しない搬送手段がテストウェーハＷT を測定テーブル５上に載置する。そして、そのテストウェーハＷT を測定テーブル５が吸着保持する。このテストウェーハＷT は、所定の規格に沿って作成されたもので、所定の直径を有し、外周に所定深さのノッチが形成されている。
【００４８】
測定テーブル５でテストウェーハＷT が吸着保持されると、ファインアライメントセンサ６によって、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤが測定される。そして、この測定結果に基づいて、上述した各位置決め操作が成される。すなわち、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づき、ノッチが所定方向に向くように、測定テーブル５を所定量回転させるとともに、テストウェーハＷT の中心が研削テーブル７の中心と一致するように研削テーブル７を所定量移動させる。
【００４９】
上記の各位置決め操作が終了したのち、トランスファーアーム１０によってテストウェーハＷT を研削テーブル７に搬送する。研削テーブル７は、その搬送されたテストウェーハＷT を吸着保持する。そして、そのテストウェーハＷT の外周部の面取り加工を行わず、ノッチ中心部のみを面取り加工する。
すなわち、ノッチ中心位置にノッチ研削砥石９を当接させ、そのまま研削テーブル７をノッチ研削砥石９に向けて直進させる（通常は、ノッチＮＯのＶ形状に沿うように研削テーブル７を移動させる。）。このように、研削テーブル７を移動させることにより、テストウェーハＷT のノッチＮＯは、図９（ａ）に示すように、中心部のみがノッチ研削砥石９に研削される。
【００５０】
加工終了後、テストウェーハＷT は、トランスファーアーム１０によって測定テーブル５に搬送される。そして、ファインアライメントセンサ６によってノッチ中心位置とノッチ深さとが測定される。
ここで、図９（ａ）に示すように、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎとの間にズレが生じておらず、また、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差が所定の設定値になっていれば、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されている。したがって、この場合、修正の必要はない。
【００５１】
一方、図９（ｂ）に示すように、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎとの間にズレが生じている場合、又は、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差が所定の設定値になっていない場合、この場合、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されていないので、修正の必要がある。
【００５２】
修正は、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差を演算処理によって求め、その差が所定の設定値になるように前記研削テーブル７の原点ＯG0の位置を修正するとともに、加工後に測定したテストウェーハＷT の中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT の中心位置Ｎとのズレ量λを演算処理によって求め、そのズレ量λを相殺するように前記研削テーブル７とノッチ研削砥石９との相対的位置を修正する。
【００５３】
これにより、研削テーブル７の原点ＯG0が正規の位置に設定し直され、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
また、上記の各操作は、オペレータによる手作業を介さず装置側で自動的に行うことができるので、手間がかからず、短時間で実施することができる。したがって、スループットが低下することもない。
【００５４】
【実施例】
次に、ウェーハカセットからウェーハを自動的に供給し、面取り加工したのち洗浄して、再びウェーハカセットに収納するタイプのウェーハ面取り装置に、上述したウェーハ位置決め機構を組み込んだ実施例について説明する。
図１０は、ウェーハ面取り装置の全体構成を示す平面図である。同図に示すように、このウェーハ面取り装置２０は、装置本体２１に供給回収部２２、アライメント部２３、加工部２４Ａ、２４Ｂ、洗浄部２５及び搬送部２６が備えられて構成されている。
【００５５】
まず、供給回収部２２の構成について説明する。供給回収部２２は、面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から１枚ずつ供給するとともに、面取り加工されたウェーハＷをウェーハカセット３０に１枚ずつ回収する。この供給回収部２２は、図１０に示すように、ウェーハカセット位置決め装置３２とウェーハ供給回収ロボット３４から構成されている。
【００５６】
ウェーハカセット位置決め装置３２は、ウェーハカセット３０を所定位置に位置決めする。このウェーハカセット位置決め装置３２は６台のウェーハカセットテーブル３３、３３、…を有しており、各ウェーハカセットテーブル３３、３３、…は装置本体２１の左側部に直列して配置されている。ウェーハカセット３０、３０、…は、このウェーハカセットテーブル３３、３３、…にセットされることにより所定位置に位置決めされる。
【００５７】
ウェーハ供給回収ロボット３４は、ウェーハカセットテーブル３３にセットされたウェーハカセット３０からウェーハＷを１枚ずつ取り出しアライメント部２３に供給するとともに、面取り加工されたウェーハＷをアライメント部２３から受け取り、元のウェーハカセット３０に収納する。このウェーハ供給回収ロボット３４はウェーハＷを搬送するための搬送アーム３６を有している。搬送アーム３６は上面部に図示しない吸着パッドを有しており、この吸着パッドでウェーハＷの下面を吸着保持してウェーハＷの搬送を行う。
【００５８】
また、この搬送アーム３６は、図示しないシリンダに駆動されることにより、ターンテーブル３８上に敷設されたガイド４０に沿って前後移動することができる。さらに、この搬送アーム３６は、ターンテーブル３８が回転することにより旋回することができ、ターンテーブル３８が図示しないガイドレールに沿ってスライド移動することにより、６台のウェーハカセットテーブル３３、３３、…に沿ってスライド移動することができる。そして、ターンテーブル３８が上下動することにより上下方向に移動することができる。
【００５９】
したがって、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、ウェーハＷを保持した状態で前後、左右、上下動及び旋回を行うことができ、この動作の組み合わせによりウェーハＷの搬送を行う。
以上のように構成された供給回収部２２では、次のようにしてウェーハカセット３０からウェーハＷをアライメント部２３に供給する。
【００６０】
まず、ターンテーブル３８がスライド移動して、搬送アーム３６が所定のウェーハカセット３０の前で停止する。次に、ターンテーブル３８が所定量上昇する。これにより、搬送アーム３６がウェーハカセット３０から取り出すウェーハＷと同じ高さの位置に位置する。次に、搬送アーム３６が前進してウェーハカセット３０内に進入し、ウェーハカセット３０内のウェーハＷを吸着保持する。次に、搬送アーム３６が後退してウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出す。次に、ターンテーブル３８が所定量下降する。これにより、搬送アーム３６が元の高さの位置に復帰する。次に、ターンテーブル３８が１８０°回転して、搬送アーム３６が向きを変える。次に、ターンテーブル３８がスライド移動して、搬送アーム３６が所定のウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に移動する。そして、アライメント部２３の搬送ロボット４２にウェーハＷを受け渡す。
【００６１】
面取り加工されたウェーハＷをウェーハカセット３０に回収する場合は、上記と逆の動作を行う。このとき、ウェーハＷは取り出した時と同じウェーハカセット３０に回収される。
なお、ウェーハＷの供給と回収は全てウェーハカセット単位で行われ、一つのウェーハカセット３０内に収納されている全てのウェーハＷが供給されると、次のウェーハカセット３０からウェーハＷが順次供給される。
【００６２】
次に、アライメント部２３の構成について説明する。アライメント部２３は、面取り加工するウェーハＷの前測定とアライメント、及び面取り加工されたウェーハＷの後測定を行う。このアライメント部２３は、図１０に示すように、ウェーハ搬送ロボット４２とアライメント装置４４とから構成されている。
ウェーハ搬送ロボット４２は、図１１に示すように、上下一対からなる搬送アーム４６Ａ、４６Ｂを有している。各搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、それぞれその上面部に吸着パッド４７Ａ、４７Ｂを有しており、この吸着パッド４７Ａ、４７ＢでウェーハＷの下面部を保持してウェーハＷの搬送を行う。
【００６３】
また、この搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、図示しないシリンダに駆動されることにより、ターンテーブル４８上に敷設されたガイド５０に沿って前後移動することができる。さらに、この搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、ターンテーブル４８が回転することにより旋回することができ、ターンテーブル４８が上下動することにより上下方向に移動することができる。
【００６４】
したがって、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、ウェーハＷを保持した状態で前後、上下動及び旋回することができ、この動作の組み合わせによりウェーハＷの搬送を行う。
なお、この２本ある搬送アーム４６Ａ、４６Ｂのうち上側の搬送アーム４６Ａは、面取り加工されたウェーハＷの搬送に使用する。また、下側の搬送アーム４６Ｂは、面取り加工するウェーハＷの搬送に使用する。以下、必要に応じて上側の搬送アーム４６Ａを『第１搬送アーム４６Ａ』と呼び、下側の搬送アーム４６Ｂを『第２搬送アーム４６Ｂ』と呼ぶ。
【００６５】
アライメント装置４４は、面取り加工するウェーハＷの前測定と、面取り加工されたウェーハＷの後測定を行う。
前測定では次の各項目を測定する。すなわち、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハの直径Ｌ、ウェーハ中心位置Ｗ0 （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）、ノッチ深さＤ、ウェーハＷの中心部の厚さＴ0 及び外周部の厚さＴ1 を測定する。また、オリフラ付きウェーハＷに対しては、Ａ直径ＬA 、Ｂ直径ＬB 、ウェーハ中心位置Ｗ0 （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）、ウェーハＷの中心部の厚さＴ0 及び外周部の厚さＴ1 を測定する（図２参照）。
【００６６】
一方、後測定では、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハの直径Ｌ及びノッチ深さＤを測定し、オリフラ付きウェーハＷに対しては、ウェーハのＡ直径ＬA 及びＢ直径ＬB を測定する（図３参照）。
このアライメント装置４４は、図１０及び図１２に示すように、測定テーブル５２、プリセンタリングセンサ５３、厚さセンサ５４、プリアライメントセンサ５５及びファインアライメントセンサ５６から構成されている。
【００６７】
測定テーブル５２は、所定の測定位置に設置されており、ウェーハＷの裏面部を真空吸着して保持する。この測定テーブル５２は、ウェーハＷを保持した状態で回転及び上下動することができる。
プリセンタリングセンサ５３は、前記ウェーハ搬送ロボット４２によって測定テーブル５２に搬送されるウェーハＷの概略中心位置を測定する。このプリセンタリングセンサ５３は４個のＯＮ／ＯＦＦセンサで構成されている。４個のＯＮ／ＯＦＦセンサは、前記ウェーハＷの搬送路に対して直交するように配置されており、ウェーハＷが通過するとＯＮ状態になる。図示しない制御装置は、この４個のＯＮ／ＯＦＦセンサのＯＮ／ＯＦＦ状態を検出し、そのときのウェーハＷの移動量から演算処理によってウェーハＷの概略中心位置を求める。
【００６８】
厚さセンサ５４は、ウェーハＷの厚さを測定する。この厚さセンサ５４は上下一対からなる静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂで構成されている。一対の静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂは所定の間隔をもって互いに対向するように配置されており、その間に位置したウェーハＷの表面、裏面までの距離を測定する。図示しない制御装置は、この静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂの測定結果から演算処理によってウェーハＷの厚さを求める。なお、ウェーハＷの厚さは、ウェーハＷの中心部とウェーハＷの外周部を測定する。
【００６９】
プリアライメントセンサ５５は、ウェーハＷの外周に形成されているノッチ又はオリフラの概略位置を検出する。このプリアライメントセンサ５５は赤外線センサで構成されている。赤外線センサは、赤外線を出射する投光部５５Ａと、その出射された赤外線を受光する受光部５５Ｂとから構成されている。投光部５５Ａは前記測定テーブル５２に保持されて回転するウェーハＷの周縁部に赤外線を照射し、受光部５５Ｂは出射された赤外線の受光量の変化を測定する。図示しない制御装置は、この赤外線センサの測定結果から演算処理によってウェーハＷの外周に形成されているノッチ又はオリフラの概略位置を求める。
【００７０】
ファインアライメントセンサ５６は、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤを測定する。
また、オリフラ付きウェーハＷに対しては、ウェーハＷのＡ直径ＬA 、Ｂ直径ＬB 、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）及びオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を測定する。
【００７１】
このファインアライメントセンサ５６はレーザー測長器で構成されており、該レーザー測長器５６は、図１３に示すように、レーザー光を出射する投光部５６Ａと、その出射されたレーザー光を受光する受光部５６Ｂとから構成されている。投光部５６Ａは前記測定テーブル５２に保持されて回転するウェーハＷの周縁部にレーザー光を照射し、受光部５６Ｂはそのレーザー光の受光量の変化を測定する。図示しない制御装置は、このレーザー測長器の測定結果から演算処理によって上記の諸値を求める。具体的には、次のように測定する。
【００７２】
図１３に示すように、測定テーブル５２の中心ＯT からレーザー測長器５６までの距離Ｃは常に一定である。また、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌは、その時、受光部５６Ｂで受光されるレーザー光の受光量から求めることができる。
そこで、測定テーブル５２に保持されたウェーハＷを３６０°回転させ、その時ウェーハＷがレーザー測長器５６を横切る長さｌを、図１４に示すように、たとえば１０°間隔で測定する。
【００７３】
この測定データは、図１５に示すように、一般的にｓｉｎ波となることが知られている（なお、ウェーハＷの中心ＯW と測定テーブルの中心ＯT とが一致していれば直線となる。）。したがって、この測定データを三角関数を用いて解析することにより、ウェーハＷの直径Ｌを求めることができ、さらに、測定テーブル５２の中心に対するウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）を求めることができる。
【００７４】
また、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を測定する場合は、測定間隔を狭め（例えば１°間隔で測定する。）、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌが最大になる位置を測定する。これにより、測定テーブル５２の中心に対するノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を求めることができる。そして、このノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を求めることにより、ウェーハＷの直径Ｌとウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）との関係から、ノッチ深さＤを求めることができる。
【００７５】
また、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を測定する場合は、同様に測定間隔を狭め、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌが最大になる位置を測定する。これにより、測定テーブル５２の中心に対するオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を求めることができる。そして、このオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を求めることにより、ウェーハＷのＡ直径ＬA とウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）との関係から、ウェーハＷのＢ直径ＬB を求めることができる。
【００７６】
アライメント部２３は以上のように構成される。なお、このアライメント部２３におけるウェーハＷの前測定の方法、アライメントの方法、及び後測定の方法については、後に詳述する。
次に、加工部２４Ａ、２４Ｂの構成について説明する。２つの加工部２４Ａ、２４Ｂは、それぞれ独立してウェーハＷの周縁の面取り加工を行う。この２つの加工部２４Ａ、２４Ｂは、図１０に示すように、装置本体２１の正面部に並列して配置されている。そして、図１６及び図１７に示すように（図１６、図１７では一方の加工部２４Ａの構成のみ図示）、ウェーハ送り装置６０Ａ、６０Ｂ、外周研削装置６２Ａ、６２Ｂ及びノッチ研削装置６４Ａ、６４Ｂから構成されている。なお、加工部２４Ａと加工部２４Ｂは同じ構成である。
【００７７】
ウェーハ送り装置６０Ａ、６０Ｂは、ウェーハＷを吸着保持する研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを有しており、該研削テーブル６６Ａ、６６Ｂは、図示しない駆動手段に駆動されて前後方向（Ｙ軸方向）、左右方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）の各方向に移動するとともに、図示しないモータに駆動されて中心軸（θ軸）回りに回転する。
【００７８】
外周研削装置６２Ａ、６２Ｂは、図示しない外周モータに駆動されて回転する外周スピンドル７０Ａ、７０Ｂを有しており、この外周スピンドル７０Ａ、７０ＢにウェーハＷの外周を面取り加工する外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂが装着される。外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂはその外周面にウェーハＷに要求される面取り形状に対応した溝が形成されており（総形砥石）、この溝にウェーハＷの外周又はオリフラを押し当てることにより、外周又はオリフラが面取り加工される。
【００７９】
ノッチ研削装置６４Ａ、６４Ｂは、ノッチモータ７４Ａ、７４Ｂに駆動されて回転するノッチスピンドル７６Ａ、７６Ｂを有しており、このノッチスピンドル７６Ａ、７６ＢにウェーハＷのノッチを面取り加工するノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂが装着される。ノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂは、その外周面にノッチに要求される面取り形状に対応した溝が形成されており（総形砥石）、この溝にウェーハＷのノッチを押し当てることにより、ノッチが面取り加工される。
【００８０】
前記のごとく構成された加工部２４Ａ、２４Ｂでは、次のようにしてウェーハＷを面取り加工する。なお、ウェーハＷは、その外周（円形の部分）と、オリフラ部又はノッチ部を加工する場合では、それぞれ加工方法が異なるので、各々の場合に分けて説明する。
始めに、ウェーハＷの外周を面取り加工する場合について説明する。まず、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂ上にウェーハＷを載置し、その載置されたウェーハＷを研削テーブル６６Ａ、６６Ｂで吸着保持する。次に、外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに向けて移動させる。研削テーブル６６Ａ、６６Ｂが所定量移動することにより、ウェーハＷの外周が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを回転させる。この結果、ウェーハＷの外周が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８１】
次に、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取り加工する場合について説明する。まず、外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに向けて移動させる。これにより、オリフラの部分が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをオリフラに沿って移動させる。これにより、ウェーハＷのオリフラが外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８２】
次に、ウェーハＷのノッチを面取り加工する場合について説明する。まず、ノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂに向けて移動させる。これにより、ノッチの部分がノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをノッチの形状に沿って移動させる。すなわち、ノッチは通常Ｖ字状に形成されているので、Ｖ字を描くように研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを移動させる。これにより、ウェーハＷのノッチがノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８３】
なお、以下の説明では、必要に応じて図１０中左側の加工部２４Ａを『第１加工部２４Ａ』と呼び、右側の加工部２４Ｂを『第２加工部２４Ｂ』と呼ぶ。
次に、洗浄部２５の構成について説明する。洗浄部２５は面取り加工されたウェーハＷを洗浄する。この洗浄部２５は、図１０に示すように、前記加工部２４Ａ、２４Ｂに並列して配置されており、スピン洗浄装置８０とウェーハ昇降装置８２とから構成されている。
【００８４】
スピン洗浄装置８０は、ウェーハＷを回転させながら洗浄液をかけて洗浄する装置である。ウェーハＷは、洗浄テーブル８４に吸着保持されて回転し、その回転するウェーハＷに向けて図示しないノズルから洗浄液が噴射される。
ウェーハ昇降装置８２は、スピン洗浄装置８０によって洗浄されたウェーハＷを所定高さの地点まで搬送する装置である。このウェーハ昇降装置８２は、ウェーハＷを搬送する昇降自在な昇降アーム８６を有している。昇降アーム８６は、先端下部に吸着パッド８８を備えており、この吸着パッド８８でウェーハＷの上面を吸着保持してウェーハＷを所定高さの地点まで搬送する。
【００８５】
次に、搬送部２６の構成について説明する。搬送部２６は、アライメント部２３と各加工部２４Ａ、２４Ｂとの間、各加工部２４Ａ、２４Ｂと洗浄部２５との間、及び、洗浄部２５とアライメント部２３との間のウェーハＷの搬送を行う。この搬送部２６は、図１０及び図１６に示すように、供給用トランスファー９０と回収用トランスファー９２とから構成されている。
【００８６】
供給用トランスファー９０は、アライメント部２３でアライメントされたウェーハＷを各加工部２４Ａ、２４Ｂに搬送する。この供給用トランスファー９０は、水平ガイド９４に沿って移動する供給用水平スライドブロック９６と、その供給用水平スライドブロック９６上に旋回及び上下動自在に設けられた供給用トランスファーアーム９８とから構成されている。
【００８７】
水平ガイド９４は、図１０に示すように、並列して配置されている加工部２４Ａ、２４Ｂと洗浄部２５に沿って設置されている。
供給用水平スライドブロック９６は、前記水平ガイド９４上を図示しない駆動手段に駆動されてスライド移動する。
供給用トランスファーアーム９８は、図１０及び図１８に示すように、先端部にウェーハ受皿１００を有している。このウェーハ受皿１００の下面部には、一対の吸着パッド１０２、１０２が配設されており、この吸着パッド１０２、１０２にウェーハＷの上面が吸着保持される。
【００８８】
また、供給用トランスファーアーム９８は、その基端部がアーム旋回モータ１０４の出力軸に固定されている。このアーム旋回モータ１０４は供給用昇降スライドブロック１０６に設けられている。供給用昇降スライドブロック１０６は供給用水平スライドブロック９６に立設されたガイド支柱１０８にスライド自在に支持されており、図示しないシリンダに駆動されることによりガイド支柱１０８に沿って上下動する。
【００８９】
以上のように構成された供給用トランスファーアーム９８は、前記アーム旋回モータ１０４を駆動することにより基端部を中心に旋回し、供給用昇降スライドブロック１０６を上下動させることにより垂直に上下動する。また、供給用トランスファーアーム１０６は、供給用水平スライドブロック９６を水平ガイド９４に沿ってスライドさせることにより、図１０中Ｘ軸方向に水平移動する。
【００９０】
回収用トランスファー９２は、各加工部２４Ａ、２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷを洗浄部２５に搬送するとともに、洗浄部２５で洗浄されたウェーハＷをアライメント部２３に搬送する。この回収用トランスファー９２は、水平ガイド９４に沿って移動する回収用水平スライドブロック１１０と、その回収用水平スライドブロック１１０上に上下動自在に設けられた回収用トランスファーアーム１１２とから構成されている。
【００９１】
水平ガイド９４は、図１９に示すように、前記供給用トランスファー９０と共用しており、この水平ガイド９４上を図示しない駆動手段に駆動されて回収用水平スライドブロック１１０がスライド移動する。
回収用トランスファーアーム１１２は、図１０及び図１９に示すように、先端部にウェーハ受皿１１４を有している。このウェーハ受皿１１４の下面部には第１吸着パッド１１６が配設されている。加工部２４Ａ、２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷは、この第１吸着パッド１１６によって吸着保持されて洗浄部２５に搬送される。
【００９２】
また、このウェーハ受皿１１４の上面部には一対の第２吸着パッド１１８、１１８が配設されている。洗浄部２５で洗浄されたウェーハＷは、この第２吸着パッド１１８、１１８に吸着保持されてアライメント部２３に搬送される。
また、回収用トランスファーアーム１０６は、その基端部が回収用昇降スライドブロック１２０に支持されている。回収用昇降スライドブロック１２０は回収用水平スライドブロック１１０に立設されたガイド支柱１２２にスライド自在に支持されており、図示しないシリンダに駆動されることによりガイド支柱１２２に沿って上下動する。
【００９３】
以上のように構成された回収用トランスファーアーム１１２は、回収用昇降スライドブロック１２０を上下動させることにより垂直移動し、回収用水平スライドブロック１１０を水平ガイド９４に沿ってスライドさせることにより、図１０中Ｘ軸方向に水平移動する。
なお、図１６に示すように、回収用トランスファー９２のウェーハ受皿１１４と供給用トランスファー９０のウェーハ受皿１００は、互いに抵触しないように所定の間隔をもって配設されている。したがって、回収用トランスファー９２のウェーハ受皿１１４を供給用トランスファー９０のウェーハ受皿１００の真下に位置させることができる（重なるように位置することができる。）。
【００９４】
以上のように構成された供給用トランスファー９０の供給用トランスファーアーム９８と回収用トランスファー９２の回収用トランスファーアーム１１２は、図２０に示すように、それぞれ水平ガイド９４に沿ってスライド移動することにより、『ウェーハ受取位置』、『第１加工部受渡位置』、『第２加工部受渡位置』、『待機位置』及び『洗浄テーブル受渡位置』の間を移動する。
【００９５】
ここで、アライメント部２３から各加工部２４Ａ、２４ＢにウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、供給用トランスファーアーム９８が、ウェーハ受取位置に移動する。次に、供給用トランスファーアーム９８が時計回りの方向に９０°旋回する。そして、測定テーブル５２上のウェーハＷを受け取る。次に、供給用トランスファーアーム９８が反時計回りの方向に９０°旋回し、ウェーハ受取位置に復帰する。
【００９６】
ウェーハ受取位置に復帰した供給用トランスファーアーム９８は、第１加工部受渡位置（又は第２加工部受渡位置）に移動し、第１加工部２４Ａ（又は第２加工部２４Ｂ）の研削テーブル６６Ａ（又は研削テーブル６６Ｂ）にウェーハＷを受け渡す。以上により、アライメント部２３から各加工部２４Ａ、２４ＢへのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９７】
また、各加工部２４Ａ、２４Ｂから洗浄部２５にウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、回収用トランスファーアーム１１２が、第１加工部受渡位置（又は第２加工部受渡位置）に移動する。次に、回収用トランスファーアーム１１２が研削テーブル６６Ａ（又は研削テーブル６６Ｂ）上のウェーハＷを受け取る。次に、回収用トランスファーアーム１１２が洗浄テーブル受渡位置に移動する。そして、洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。以上により、各加工部２４Ａ、２４Ｂから洗浄部２５へのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９８】
また、洗浄部２５からアライメント部２３にウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、回収用トランスファーアーム１１２が、洗浄テーブル受渡位置に移動する。次に、回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６からウェーハＷを受け取る。次に、回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動する。回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動すると、アライメント部２３のウェーハ搬送ロボット４２が回収用トランスファーアーム１１２からウェーハＷを受け取る。以上により、洗浄部２５からアライメント部２３へのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９９】
前記のごとく構成された本実施例のウェーハ面取り装置２０の作用は次の通りである。なお、以下の実施例では、ノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
図１０に示すように、まず、６つある供給ウェーハカセット３０、３０、…のうち１つの供給ウェーハカセット３０から１枚のウェーハＷがウェーハ供給回収ロボット３４によって取り出される。
【０１００】
取り出されたウェーハＷは、ウェーハ供給回収ロボット３４によってアライメント部２３のウェーハ搬送ロボット４２に受け渡される。なお、ウェーハＷの受け渡しは、次のように行われる。
初期状態において、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、所定の待機位置（図１０に示す位置）に位置している。
【０１０１】
ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６がウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に移動すると、このアーム搬送３６に対向するようにウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量旋回する。
次に、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６ＢにウェーハＷを受け渡す。ウェーハＷを受け渡したウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は所定量後退する。一方、ウェーハＷが受け渡されたウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量旋回する。
【０１０２】
以上により、ウェーハＷの受け取りが完了する。この状態において、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４の厚さ測定センサ５４と対向する。
ウェーハＷを受け取ったウェーハ搬送ロボット４２は、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが厚さセンサ５４に向かって前進し、ウェーハＷを厚さセンサ５４に向けて搬送する。ウェーハＷは、この搬送過程でプリセンタリングセンサ５３を通過し、これにより、ウェーハＷの概略中心位置が求められる。そして、その求められた概略中心位置情報に基づいて搬送アーム４６Ａ、４６Ｂの移動量が制御され、ウェーハＷが所定の中心厚さ測定位置に位置して停止する。
【０１０３】
中心厚さ測定位置に位置したウェーハＷは、その中心が厚さセンサ５４の測定位置と一致する。厚さセンサ５４は、その測定位置に位置したウェーハＷの中心部の厚さＴ0 を測定する。
ウェーハＷの中心部の厚さ測定が終了すると、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量後退する。これにより、ウェーハＷの中心が測定テーブル５２の中心と略一致する。
【０１０４】
次に、測定テーブル５２が所定量上昇し、搬送アーム４６Ａ、４６ＢからウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け渡した搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定距離後退して元の待機位置（図１０に示す位置）に復帰する。
一方、ウェーハＷを受け取った測定テーブル５２は、ウェーハＷを所定の回転速度で回転させる。そして、このウェーハＷの回転が安定したところで、プリアライメントセンサ５５がノッチＮＯの概略位置を測定する。
【０１０５】
また、これと同時に、ファインアライメントセンサ５６がウェーハＷの直径Ｌを測定し、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ0 ，Ｙ0 ）を正確に求める。
また、測定テーブル５２に保持されたウェーハＷは、その外周部が厚さセンサ５４の測定位置に位置するので、前記直径の測定と同時に、厚さセンサ５４が、その測定位置に位置したウェーハＷの外周部の厚さを測定する。
【０１０６】
以上の各測定が終了すると、測定テーブル５２の回転が一時停止する。そして、前記プリアライメントセンサ５５の測定結果に基づいて、測定テーブル５２が所定量回転し、ノッチＮＯが所定のノッチ測定位置に位置する。
なお、このようにプリアライメントセンサ５５で予めノッチ概略位置を測定しておくのは、次の理由による。すなわち、次述するファインアライメントセンサ５６は測定精度が要求されるため、データの取り込み及び演算時間が長くかかる。そのためファインアライメントセンサ５６によるノッチ深さの測定には多くのデータを取り込む必要があるので処理に時間がかかり、ウェーハＷの全周に渡って測定を行うと、スループットが低下してしまうからである。このため、高速な測定の可能なプリアライメントセンサ５５によってノッチの概略位置を測定しておき、ファインアライメントセンサ５６によるノッチ深さの測定時には、ノッチ部近傍の測定のみで済むようにされている。
【０１０７】
ノッチＮＯが所定のノッチ測定位置に位置すると、測定テーブル５２がゆっくりと回転し、ウェーハＷが回転し始める。そして、その回転するウェーハＷに対して、ファインアライメントセンサ５６がノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）を正確に測定する。また、これと同時にノッチ深さＤを測定する。
測定終了後、測定テーブル５２は回転を停止する。そして、この測定結果に基づいてノッチＮＯの方向の位置決めが行われる。
【０１０８】
すなわち、測定テーブル５２を所定量回転させることにより、ノッチＮＯを所定の基準方向に位置させる。具体的には、次のようにしてノッチＮＯの方向の位置決めを行う。なお、ノッチＮＯの基準方向はＹ- 方向とする。
測定終了時に図２１（ａ）に示す位置にノッチＮＯが位置していたとする。ここで、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）は、前記ファインアライメントセンサ５６による測定によって既に求まっている。図示しない制御装置は、この求めたノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）に基づき、ノッチＮＯをＹ- 方向（基準方向）に向けるのに必要な測定テーブル５２の回転量を演算処理によって求める。そして、その演算処理によって求めた回転量に基づき測定テーブル５２を回転させる。これにより、同図（ｂ）に示すように、ノッチＮＯがＹ- 方向に向かう。
【０１０９】
以上により、ノッチの方向の位置決めが完了する。続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、次のように行われる。
いま、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合を考える。このとき、ノッチＮＯは測定テーブル５２の中心を通りＹ軸に平行な直線上に位置している。このウェーハＷを供給用トランスファー９０によって第１加工部２４の研削テーブル６６Ａ上に搬送する。
【０１１０】
なお、第１加工部２４の研削テーブル６６Ａは、所定のウェーハ受取基準位置に位置しているものとする。
ところで、供給用トランスファーアーム９８は、旋回及び水平移動することにより測定テーブル５２から研削テーブル６６ＡにウェーハＷを搬送するが、この供給用トランスファーアーム９８によって搬送されるウェーハＷの移動量は常に一定である。
【０１１１】
ここで、研削テーブル６６Ａのウェーハ受取基準位置は、次のように設定されている。すなわち、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致しているものとして、そのウェーハＷを供給用トランスファーアーム９８で研削テーブル６６Ａに搬送する。このとき、研削テーブル６６Ａに搬送されたウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する位置にウェーハ受取基準位置は設定されている。
【０１１２】
このように研削テーブル６６Ａのウェーハ受取基準位置を設定することにより、図２２に示すように、測定テーブル５２の中心ＯT とウェーハＷの中心ＯW とが一致している場合は、供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送されるウェーハＷの中心ＯW は、研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する。
【０１１３】
しかしながら、ウェーハ中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致していないウェーハＷを供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送した場合は、図２３に示すように、ウェーハＷの中心ＯW は研削テーブル６６Ａの中心ＯG とは一致せずにズレて載置される。
ところで、供給用トランスファーアーム９８によって搬送されるウェーハＷの移動量は常に一定であるから、研削テーブル６６Ａに搬送されたときのウェーハＷの中心位置ＯW1（ウェーハ受取基準位置に位置している研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG0に対するウェーハＷの中心位置ＯW1（Ｘ1 ，Ｙ1 ））は、測定テーブル５２上におけるウェーハＷの中心位置ＯW （Ｘ0 ，Ｙ0 ）から予め求めることができる。
【０１１４】
そこで、図２４に示すように、このズレを相殺するように、研削テーブル６６Ａを前記受取基準位置からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。
これにより、測定テーブル５２の中心ＯT とウェーハＷの中心ＯW とが一致していない場合であっても、供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送されるウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する。
【０１１５】
なお、図２４において、記号ＯG0は、ウェーハ受取基準位置に位置しているときの研削テーブル６６Ａ（図中二点破線で示す研削テーブル）の中心位置を示しており、記号ＯG1は、アライメント後の研削テーブル６６Ａ（図中実線で示す研削テーブル）の中心位置を示している。
以上により、ウェーハＷの中心位置ＯW の位置決めが完了する。続いて、ノッチ中心位置の位置決めが行われる。このノッチ中心位置の位置決めは、次のように行われる。すなわち、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒが、あらかじめ設定した設定距離Ｒ0 となるように、研削テーブル６６を所定量移動させる。具体的には、次の操作を行う。
【０１１６】
いま、上述したウェーハＷの中心位置の位置決めを実施することにより、研削テーブル６６Ａがウェーハ受取基準位置から所定距離移動し、その中心ＯG がＯG0からＯG1に移動したとする。この状態で、ウェーハＷを測定テーブル５２から研削テーブル６６Ａに搬送すると、搬送されたウェーハＷの中心ＯW は、研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）と一致する。
【０１１７】
しかしながら、各ウェーハＷのノッチ深さＤは１枚ごとに異なっているので、ウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）と一致していても、研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）からノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒは１枚ごとに異なっている。この状態でノッチＮＯの研削を行うと、ウェーハＷによっては研削量が不足したり、あるいは多過ぎてしまったりするという不具合が生じる。
【０１１８】
そこで、図２５に示すように、すべてのウェーハＷに対して研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置までの距離Ｒが一定（設定距離Ｒ0 ）となるように、研削テーブル６６Ａを移動させる。ここで、同図において、記号ＯG1は、ウェーハＷの中心位置のアライメントをしたときの研削テーブル６６Ａ（図中二点破線で示す研削テーブル）の中心位置を示しており、記号ＯG2は、ノッチ中心位置のアライメントをしたときの研削テーブル６６Ａ（図中実線で示す研削テーブル）の中心位置を示している。
【０１１９】
なお、研削テーブル６６Ａに搬送されたときのノッチ中心位置Ｎ1 （ウェーハ受取基準位置に位置している研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG0に対するノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ））は、測定テーブル５２上におけるノッチＮＯの中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）から演算処理によって予め求めることができる。そして、ウェーハＷの中心位置のアライメント後における研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG1に対するノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）も演算処理によって求めることができる。
【０１２０】
したがって、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置までの距離が設定距離Ｒ0 になるのに必要な研削テーブル６６の移動量は予め演算処理によって求めることができる。
以上の一連の位置決め操作を行うことにより、ウェーハＷを測定テーブル５２から研削テーブル６６Ａに搬送すると、搬送されたウェーハＷは、そのノッチＮＯの中心位置が所定の位置決め方向（Ｘ+ 方向）に向くとともに、そのノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎが研削テーブル６６Ａの中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【０１２１】
なお、ウェーハＷの搬送は、上記測定テーブル５２のアライメントが終了した後に行われる。この測定テーブル５２から研削テーブル６６ＡへのウェーハＷの搬送は、具体的には次のように行われる。
まず、図２０に示すように、供給用トランスファーアーム９８がウェーハ受取位置に移動する。この時、回収用トランスファーアーム１１２は待機位置で待機している。
【０１２２】
次に、供給用トランスファーアーム９８が、時計回りの方向に９０°旋回する。これにより、図２０に２点破線で示すように、供給用トランスファーアーム９８のウェーハ受皿１００が、測定テーブル５２に保持されているウェーハＷの真上に位置する。
次に、供給用トランスファーアーム９８が所定量下降する。これにより、ウェーハ受皿１００に設けられている吸着パッド１０２、１０２がウェーハＷの上面に当接する。吸着パッド１０２、１０２は、その当接したウェーハＷの上面を吸着保持する。
【０１２３】
次に、測定テーブル５２がウェーハＷの吸着を解除する。そして、所定距離下降する。これにより、測定テーブル５２から供給用トランスファーアーム９８にウェーハＷが受け渡される。
供給用トランスファーアーム９８は、ウェーハＷを受け取ると、反時計回りの方向に９０°旋回してウェーハ受取位置に復帰する。
【０１２４】
以上により、ウェーハＷの受け渡しが完了する。供給用トランスファーアーム９８にウェーハＷが受け取られると、次に処理するウェーハＷがウェーハ搬送ロボット４２によってアライメント装置４４に搬送される。このウェーハＷは、第２加工部２４Ｂで面取り加工されるので、アライメント装置４４は、その搬送されたウェーハＷの位置決めを第２加工部２４Ｂの研削テーブル６６Ｂとの間で予め行っておく。
【０１２５】
供給用トランスファーアーム９８がウェーハを受け取ると、供給用トランスファーアーム９８は、図２０に示す第１加工部受渡位置に移動する。この第１加工部受渡位置には、前記のごとくアライメントされた研削テーブル６６Ａが待機しているので、供給用トランスファーアーム９８は、所定距離下降して研削テーブル６６ＡにウェーハＷを受け渡す。
【０１２６】
研削テーブル６６Ａは、その受け渡されたウェーハＷを真空吸着によって吸着保持する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。
ウェーハＷを吸着保持した研削テーブル６６Ａは、供給用トランスファーアーム９８が上昇すると、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。ここで、ウェーハＷは、研削テーブル６６Ａに受け渡された段階で既に所定の位置に位置決めされているので、改めて位置決めする必要がなく、そのまま加工を開始することができる。
【０１２７】
第１加工部２４ＡによるウェーハＷの面取り加工が開始されると、供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動する。そして、旋回してアライメント装置４４から既にアライメント済みのウェーハＷを受け取る。
供給用トランスファーアーム９８がウェーハＷを受け取り、元のウェーハ受取位置に復帰すると、供給用トランスファーアーム９８は第２加工部受渡位置に移動する。この第２加工部受渡位置には、前記のごとくアライメントされた研削テーブル６６Ｂが待機しているので、供給用トランスファーアーム９８は、所定距離下降して研削テーブル６６ＢにウェーハＷを受け渡す。
【０１２８】
研削テーブル６６Ｂは、その受け渡されたウェーハＷを真空吸着によって吸着保持する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。
ウェーハＷを吸着保持した研削テーブル６６Ｂは、供給用トランスファーアーム９８が上昇すると、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。ここで、ウェーハＷは、前記同様、研削テーブル６６Ｂに受け渡された段階で既に所定の位置に位置決めされているので、改めて位置決めする必要がなく、そのまま加工を開始することができる。
【０１２９】
以上の工程で、２台の加工部２４Ａ、２４ＢにそれぞれウェーハＷが供給され、ウェーハＷの面取り加工が２ヵ所で行われるようになる。
前記第１加工部２４Ａと第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が実施されている間に供給用トランスファーアーム９８はウェーハ受取位置に移動する。また、アライメント部２３では、次に第１加工部２４Ａで面取り加工するウェーハＷの前測定を予め行っておく。また、これと同時に待機位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が第１加工部受渡位置に移動する。
【０１３０】
測定テーブル５２のアライメントが終了すると、あらかじめウェーハ受取位置に待機していた供給用トランスファーアーム９８が旋回して、測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。測定テーブル５２からウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアームは、第１加工部受渡位置に移動する。
前記第１加工部２４ＡでウェーハＷの面取り加工が開始されてから所定時間が経過すると、その第１加工部２４ＡでウェーハＷの面取り加工が終了する。このウェーハＷの面取り加工が終了すると、第１加工部２４Ａの研削テーブル６６Ａはウェーハ受取基準位置に移動する。
【０１３１】
研削テーブル６６Ａがウェーハ受取基準位置に移動すると、あらかじめ第１加工部受渡位置に位置していた回収用トランスファーアーム１１２が所定距離下降する。これにより、回収用トランスファーアーム１１２の第１吸着パッド１１６が研削テーブル６６Ａに保持されているウェーハＷの上面に当接する。第１吸着パッド１１６は、そのウェーハＷの上面を吸着保持する。一方、研削テーブル６６ＡはウェーハＷの吸着を解除する。
【０１３２】
回収用トランスファーアーム１１２は、研削テーブル６６Ａの吸着が解除されると、所定距離上昇して元の位置に復帰する。これにより、研削テーブル６６Ａから回収用トランスファーアーム１１２に面取り加工されたウェーハＷが受け渡される。
ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は、この後、図２０に示す洗浄テーブル受渡位置に移動する。そして、洗浄テーブル受渡位置に移動した回収用トランスファーアーム１１２は所定距離下降して、スピン洗浄装置８０の洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。ウェーハＷを受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。そして、待機位置に移動する。
【０１３３】
一方、ウェーハＷを受け取ったスピン洗浄装置８０は、この回収用トランスファーアーム１１２の上昇後、そのウェーハＷの洗浄を開始する。
ここで、上記のように第１加工部２４Ａで面取り加工されたウェーハＷが回収用トランスファーアーム１１２によって洗浄部２５に搬送されると、第１加工部２４Ａでは、次に面取り加工するウェーハＷのアライメントが行われる。そして、そのアライメントが終了すると、供給用トランスファーアーム９８は、そのアライメントされた研削テーブル６６ＡにウェーハＷを受け渡す。研削テーブル６６ＡはウェーハＷを受け取ったのち、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動して待機する。
【０１３４】
スピン洗浄装置８０に供給されたウェーハＷの洗浄が終了すると、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６が所定量下降する。そして、その先端に設けられたパッド８８で洗浄されたウェーハＷの上面を吸着保持する。ウェーハＷを保持した昇降アーム８６は、そのまま上昇し、元の高さの位置に復帰する。そして、その位置でウェーハＷを保持したまま待機する。
【０１３５】
一方、アライメント部２３では、次に第２加工部２４Ｂで面取り加工するウェーハＷの前測定を予め行なっておく。また、これと同時に待機位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が第２加工部受渡位置に移動する。アライメントが終了すると、あらかじめウェーハ受取位置に待機していた供給用トランスファーアーム９８が旋回して、測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアーム９８は、第２加工部受渡位置に移動する。
【０１３６】
第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が開始されてから所定時間が経過すると、その第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が終了する。この第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が終了すると、第２加工部２４Ｂの研削テーブル６６Ｂはウェーハ受取基準位置に移動する。研削テーブル６６Ｂがウェーハ受取基準位置に移動すると、あらかじめ第２加工部受渡位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が、研削テーブル６６Ｂに保持されているウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は、洗浄テーブル受渡位置に移動し、スピン洗浄装置８０の洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。
【０１３７】
ここで、このスピン洗浄装置８０の上方には、先にスピン洗浄装置８０で洗浄されたウェーハＷがウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持された状態で待機する。
そこで、ウェーハＷをスピン洗浄装置８０に受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持されているウェーハＷを受け取る。
【０１３８】
すなわち、まず、ウェーハＷをスピン洗浄装置８０に受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、所定距離上昇する。これにより、回収用トランスファーアーム１１２の第２吸着パッド１１８、１１８がウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持されているウェーハＷの下面に当接する。第２吸着パッド１１８、１１８は、そのウェーハＷの下面を吸着保持する。一方、ウェーハ昇降装置８２のパッド８８は、ウェーハＷの吸着を解除する。これにより、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６から回収用トランスファーアーム１１２にウェーハＷが受け渡される。ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は所定量下降し待機位置に移動する。
【０１３９】
ここで、上記のように第２加工部２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷが回収用トランスファーアーム１１２によって洗浄部２５に搬送されると、第２加工部２４Ｂでは、次に面取り加工するウェーハＷのアライメントが行なわれる。そしてアライメントが終了すると、供給用トランスファーアーム９８は、そのアライメントされた研削テーブル６６ＢにウェーハＷを受け渡す。研削テーブル６６Ｂは、ウェーハＷを受け取ったのちそのウェーハＷの面取り加工を開始する。
【０１４０】
一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動して待機する。そして、この供給トランスファーアームがウェーハ受取位置に移動すると、同時に回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動する。また、これと同時にウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが時計回りの方向に９０°旋回する。この結果、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４と対向するように位置する。
【０１４１】
ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、この後、回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４に向かって所定量前進する。この結果、ウェーハ搬送ロボット４２の第１搬送アーム４６Ａが、回収用トランスファーアーム１１２に保持されたウェーハＷの下側に位置する。ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量上昇して、第１搬送アーム４６Ａでウェーハ受皿１１４からウェーハＷを受け取る。なお、この際、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂと、回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４は、互いに接触しないようになっている。
【０１４２】
第１搬送アーム４６ＡでウェーハＷが受け取られると、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量後退し、その後、反時計回りの方向に９０°旋回して、元の位置に復帰する。
一方、ウェーハＷを受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は第１加工部受渡位置に移動する。
【０１４３】
ここで、ウェーハ受取位置には、あらかじめ供給用トランスファーアーム９８が位置しており、また、測定テーブル５２には、次に第１加工部２４Ａで面取り加工するウェーハＷがアライメント済みの状態で待機している。
ウェーハ搬送ロボット４２の第１搬送アーム４６ＡがウェーハＷを受け取ると、これと同時に供給用トランスファーアーム９８が旋回して測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。そして、ウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアーム９８は、第１加工部受渡位置に移動する。
【０１４４】
回収用トランスファーアーム１１２と供給用トランスファーアーム９８の移動後、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４の測定テーブル５２に向かって所定量前進する。そして、第１搬送アーム４６Ａに保持されているウェーハＷを測定テーブル５２に受け渡す。ウェーハＷを受け渡したウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量後退する。
【０１４５】
一方、アライメント装置４４は、測定テーブル５２に受け渡されたウェーハＷを受け取ると、そのウェーハＷの後測定を行う。すなわち、ファインアライメントセンタリング５６によってウェーハＷの直径を測定するとともに、ノッチＮＯのノッチ深さＤを測定する。
測定が終了すると、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量前進し、第１搬送アーム４６Ａによって測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。そして、再び所定量後退する。
【０１４６】
ここで、前記のごとくアライメント部４４でウェーハＷの後測定が行われている間、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が、次に面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出して、所定のウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に待機している。
ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、測定テーブル５２から所定量後退したのち旋回して、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６と対向するように位置する。この後、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６Ｂに次に面取り加工するウェーハＷを受け渡す。
【０１４７】
ウェーハＷを受け渡したウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、一度所定量後退したのち、所定量上昇する。そして、所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６Ｂから面取り加工されたウェーハＷを受け取る。
ウェーハＷを受け取ったウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、所定量後退したのち旋回する。そして、そのウェーハＷを取り出した時と同じウェーハカセット３０に移動して、取り出したときと同じ位置に収納する。
【０１４８】
面取り加工されたウェーハＷを収納後、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、次に面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出し、所定のウェーハ受渡位置に移動して待機している。
一方、ウェーハＷを受け取ったウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４にウェーハＷを搬送する。
【０１４９】
以上一連の工程を経ることにより、ウェーハカセット３０に収納されているウェーハＷが面取り加工されて再びウェーハカセット３０に収納される。したがって、以下この工程順次繰り返し行うことにより、ウェーハカセット３０に収納されている全てのウェーハＷが面取り加工される。
このように、本実施例のウェーハ面取り装置２０によれば、ノッチＮＯの位置を揃えて面取り加工することができるので、従来のようにノッチＮＯの研削量が多くなり過ぎたり、逆に少なくなり過ぎたりするということがなくなり、精度の高い面取り加工を行うことができる。また、これによりノッチ研削砥石の破損を有効に防止することができる。
【０１５０】
さらに、メカニカル式の位置決め機構を採用した場合に比べ、装置全体をコンパクト化することができ、しかも基準駒や挟持ローラ等の消耗部品がなくなるため、メンテナンスフリーとなる。
なお、上記の実施例では、ノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明したが、同様の方法によってオリフラ付きウェーハＷの面取り加工も行うことができる。そして、この場合もオリフラの位置を揃えて面取り加工することができるので、精度の高い面取り加工を行うことができる。
【０１５１】
また、本実施例のウェーハ面取り装置２０においても、上述した実施の形態と同様の方法で位置決め精度の修正を行うことができる。そして、この修正を実施することにより、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
さらに、本実施例のウェーハ面取り装置２０では、アライメント装置４４において面取り加工されたウェーハＷの後測定も行うことができる。これにより、別途後測定部を設置する必要がなくなるので、装置のコンパクト化を図ることができる。
【０１５２】
なお、この後測定の測定結果を利用することにより、更なる加工精度の向上を図ることができる。すなわち、後測定で測定されたウェーハＷの直径及びノッチ深さ（オリフラ付きウェーハＷに対してはＡ直径とＢ直径）によって加工精度が分かるので、この後測定の測定データをフィードバックして加工部２４Ａ、２４Ｂの加工条件の設定を変える。これにより、更なる加工精度の向上を図ることができる。
【０１５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ウェーハに形成されているノッチの位置又はオリフラの位置を揃えて面取り加工するようにしているので、ウェーハを高精度に加工することができる。また、メカニカル式の位置決め機構を必要としないので、装置の全体構成がシンプルになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ面取り装置の実施の形態構成を示す平面図
【図２】アライメントセンサによる測定項目の説明図（ノッチ付きウェーハ）
【図３】アライメントセンサによる測定項目の説明図（オリフラ付きウェーハ）
【図４】ノッチ方向の位置決め方法の説明図
【図５】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図６】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図７】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図８】ノッチ中心位置の位置決め方法の説明図
【図９】位置決め精度修正方法の説明図
【図１０】ウェーハ面取り装置の実施例の構成を示す平面図
【図１１】ウェーハ搬送ロボットの搬送アームの構成を示す斜視図
【図１２】アライメント部の構成を示す斜視図
【図１３】ファインアライメントセンサの構成を示す側面図
【図１４】ファインアライメントセンサによる測定方法の説明図
【図１５】ファインアライメントセンサによる測定方法の説明図
【図１６】加工部と搬送部の構成を示す側面図
【図１７】加工部の構成を示す斜視図
【図１８】供給用トランスファーの構成を示す側面図
【図１９】回収用トランスファーの構成を示す側面図
【図２０】搬送部の構成を示す平面図
【図２１】ノッチ方向の位置決め方法の説明図
【図２２】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２３】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２４】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２５】ノッチ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２６】従来のメカニカル方式の位置決め機構の構成を示す斜視図
【符号の説明】
１…ウェーハ面取り装置
２…アライメント部
３…加工部
４…搬送部
５…測定テーブル
６…ファインアライメントセンサ
７…研削テーブル
８…外周研削砥石
９…ノッチ研削砥石
１０…トランスファーアーム
Ｗ…ウェーハ
ＮＯ…ノッチ
ＯＦ…オリフラ
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法に係り、特にノッチ付きウェーハ又はオリフラ付きウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハ面取り装置で精度よくウェーハを面取り加工するためには、研削テーブル上の所定の位置にウェーハを正確に位置決めして保持する必要がある。従来、この研削テーブル上でのウェーハの位置決めは、メカニカル方式の位置決め機構を用いて行っていた。
【０００３】
すなわち、図２６に示すように、例えばノッチ付きウェーハの位置決めに対しては、一対の挟持ローラ１４、１４と１個の位置決め基準駒１５でウェーハＷを挟持し、その位置決め基準駒１５をノッチＮＯに嵌め込むことにより、ウェーハＷを所定位置に位置決めしていた。すなわち、一対の挟持ローラ１４、１４と１個の位置決め基準駒１５でウェーハＷを挟持することにより、ウェーハＷの中心を研削テーブルの中心に一致させ、位置決め基準駒１５をノッチＮＯに嵌め込むことによりノッチを所定の方向に位置させていた。そして位置決めされたウェーハを、研削テーブルが外周砥石に押し当てながら回転し、所定の直径に仕上げた後、ノッチ砥石でノッチ部のみを所定のノッチ深さに加工する。
【０００４】
ところで、上記の位置決め機構では、位置決め基準駒１５はシリンダに駆動されることにより、所定の基準位置に移動してノッチＮＯの底部に当接する。一方、挟持ローラ１はスプリングに付勢されることにより位置決め基準駒１５に向かって移動し、ウェーハＷの外周を押圧してウェーハＷを位置決め基準駒１５に押し付ける。このため、この位置決め機構では位置決め基準駒１５が基準となってウェーハＷの位置決めが成されることとなる。
【０００５】
したがって、この位置決め機構でウェーハＷを精度よく位置決めするためには、研削テーブルの中心から位置決め基準駒１５までの距離が、ウェーハＷの中心からノッチの底部までの距離に等しくなるように、位置決め基準駒１５の基準位置を設定する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェーハに形成されているノッチの深さは常に一定であるとは限らず、ウェーハによって異なっている場合がある。すなわち、ウェーハはインゴットの状態からスライスされる際に、所定の結晶方位が得られるようにインゴットを傾斜させて切断している。このため、同じ径のインゴットに同じ形状のノッチを形成しても、ウェーハごとにノッチの深さが異なっている場合がある。
【０００７】
このようにノッチの深さが異なるウェーハを上記のメカニカル方式の位置決め機構で位置決めすると、ウェーハの中心と研削テーブルの中心が一致しないという事態が生じる。またノッチ深さが異なると挟持ローラのスプリング反力が異なるため、細い径の基準駒１５の軸が変形してしまう現象が発生する。そして、この結果、研削テーブルの中心からノッチの底部までの距離がウェーハごとに異なってしまうという欠点がある。
【０００８】
このように研削テーブルの中心からノッチの底部までの距離がウェーハごとに異なった状態でウェーハの面取り加工を行うと、ノッチを面取り加工する際に、研削量が多くなり過ぎたり、逆に少なくなり過ぎたりするという欠点がある。
また、ノッチを面取り加工するノッチ研削砥石は、外周を研削する外周研削砥石に比べ極めて細いため、研削量が多くなり過ぎると折れてしまうという欠点もある。
【０００９】
さらに、メカニカル式の位置決め機構は、あらかじめノッチの位置と基準駒の位置とを概略設定する必要があり、このため別途プリアライメント部を設置しなければならず、装置が大型、複雑化するという欠点もあった。
また、メカニカル方式の位置決め機構は、長期間の使用により精度が徐々に低下してくるという欠点も有していた。この位置決め機構の精度の修正は、真円に近いマスターウェーハを研削テーブルに位置決めして保持し、研削テーブルを９０°又は４５°ごと回転させて、その時のマスターウェーハの外周の振れをオペレータが電気マイクロメーターで測定し、数値入力を行って修正するようにしているが、その作業に時間がかかり、作業中は全く加工ができないため生産効率が極めて悪かった。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、シンプルな構成でウェーハを高精度に加工することができるウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は前記目的を達成するために、ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、まず、測定テーブル上に面取り加工するウェーハを載置する。そして、そのウェーハを測定テーブルで保持する。次に、測定手段によって測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する。次に、ノッチ中心位置の測定結果に基づいて測定テーブルを所定量回転させ、ノッチの位置を所定方向に位置させる。ここでのノッチの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように設定する。次に、ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて研削テーブルを基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる。ここでの研削テーブルの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、ノッチの底部が研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように設定する。次に、搬送手段によって、ウェーハを測定テーブルから研削テーブルに搬送する。研削テーブルに搬送されたウェーハは、そのノッチが研削テーブルの中心に対して所定の方向（位置決めすべき方向）に位置するとともに、そのノッチの底部が研削テーブルの中心から所定の距離の位置に位置する。研削テーブルは、この搬送されたウェーハを保持して面取り加工を開始する。このように位置決めすることにより、ノッチの加工量が常に一定になり、精度の高い面取り加工を行うことができる。また、ノッチの加工量が常に一定になることにより、ノッチ研削砥石にかかる研削負荷も常に一定となる。この結果、過負荷によるノッチ研削砥石の破損のおそれもなくなる。
【００１３】
また、請求項３に係る発明は前記目的を達成するために、ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にオリフラ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持された前記ウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように、前記測定テーブルを前記オリフラ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように、前記ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、ウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、まず、測定テーブル上に面取り加工するウェーハを載置する。そして、そのウェーハを測定テーブルで保持する。次に、測定手段によって測定テーブルに保持されたウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する。次に、オリフラ中心位置の測定結果に基づいて測定テーブルを所定量回転させ、オリフラの位置を所定方向に位置させる。ここでのオリフラの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように設定する。次に、ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて研削テーブルを基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる。ここでの研削テーブルの位置は、後にウェーハが測定テーブルから研削テーブルに搬送された際、オリフラが研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように設定する。次に、搬送手段によって、ウェーハを測定テーブルから研削テーブルに搬送する。研削テーブルに搬送されたウェーハは、そのオリフラが研削テーブルの中心に対して所定の方向（位置決めすべき方向）に位置するとともに、そのオリフラが研削テーブルの中心から所定の距離の位置に位置する。研削テーブルは、この搬送されたウェーハを保持して面取り加工を開始する。このように位置決めすることにより、オリフラの加工量が常に一定になり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ位置決め機構及びその精度調整方法の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明が適用されたウェーハ面取り装置の実施の形態の構成を示す平面図である。同図に示すように本実施の形態のウェーハ面取り装置１は、アライメント部２、加工部３及び搬送部４から構成されている。
【００１６】
アライメント部２は、面取り加工するウェーハＷの前測定とアライメントを行う。このアライメント部２は、測定テーブル５とファインアライメントセンサ６とから構成されている。
測定テーブル５は所定の測定位置に設置されており、ウェーハＷを吸着保持して、その中心軸（ＯT ）回りにウェーハＷを回転させる。
【００１７】
ファインアライメントセンサ６は、レーザー測長器等の非接触式測長器で構成されており、図２に示すように、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）（いわゆるノッチＮＯの底の位置）及びノッチ深さＤ（ウェーハＷの外周からノッチ中心位置Ｎまでの距離）を測定する。
【００１８】
なお、オリフラ付きウェーハＷに対しては、図３に示すように、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）（いわゆるオリフラＯＦの中央の位置）、ウェーハＷの円形部分の直径ＬA （以下、『Ａ直径』という。）及び、ウェーハＷのオリフラ部分の直径ＬB （以下、『Ｂ直径』という。）を測定する。
【００１９】
加工部３は、ウェーハＷの面取り加工を行う。この加工部３は、研削テーブル７、外周研削砥石８及びノッチ研削砥石９から構成されている。
研削テーブル７はウェーハＷを吸着保持し、その中心軸（ＯG ）回りにウェーハＷを回転させる。また、研削テーブル７は、保持したウェーハＷを図１中Ｘ、Ｙ方向にそれぞれ移動させる。
【００２０】
外周研削砥石８は、図示しない外周スピンドルに装着されており、この外周スピンドルに駆動されることにより高速回転する。この外周研削砥石８の外周面には所定形状の溝が形成されており、この溝にウェーハＷの外周を押し当てることにより、ウェーハＷの外周が面取り加工される。
ノッチ研削砥石９は、図示しないノッチスピンドルに装着されており、このノッチスピンドルに駆動されることにより高速回転する。このノッチ研削砥石９の外周面には所定形状の溝が形成されており、この溝にウェーハＷのノッチを押し当てることにより、ノッチが面取り加工される。
【００２１】
搬送部４は、ウェーハＷの搬送を行う。この搬送部４は、ウェーハＷを保持するトランスファーアーム１０と、そのトランスファーアーム１０をガイドレール１１に沿ってスライド移動させるスライドブロック１２とから構成されている。トランスファーアーム１０は先端下部に上下動自在な吸着パッド１３を備えており、この吸着パッド１３でウェーハＷの上面を吸着保持する。
【００２２】
前記のごとく構成されたウェーハ面取り装置１の実施の形態の作用は次の通りである。
まず、本実施の形態のウェーハ面取り装置１を用いてノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
図１に示すように、初期状態において、加工部３の研削テーブル７は、その中心ＯG が所定の原点ＯG0上に位置している。
【００２３】
まず、図示しない搬送手段が測定テーブル５上にウェーハＷを載置する。測定テーブル５は、その載置されたウェーハＷを吸着保持する。そして、そのウェーハＷを一定の回転速度で回転させる。
ウェーハＷの回転が安定すると、ファインアライメントセンサ６が上述した各項目の測定を開始する。すなわち、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤを測定する。そして、その測定が終了すると、測定テーブル５の回転が停止する。
【００２４】
図示しない制御装置は、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づいて測定テーブル５を所定量回転させ、これにより、ノッチ中心位置Ｎを所定の基準方向に位置させる。
具体的には、次のようにしてノッチＮＯを基準方向に位置させる。なお、ここではノッチＮＯの基準方向は図１においてＸ+ 方向とする。
【００２５】
測定終了時に図４（ａ）に示す位置にノッチＮＯが位置していたとする。ここで、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）は、前記ファインアライメントセンサ６による測定によって既に求まっているので、制御装置は、この求めたノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）に基づき、ノッチＮＯをＸ+ 方向に向けるのに必要な測定テーブル５２の回転量を演算処理によって求める。そして、その演算処理によって求めた回転量に基づき測定テーブル５を回転させる。これにより、同図（ｂ）に示すように、ノッチＮＯがＸ+ 方向に位置する。
【００２６】
以上により、ノッチＮＯの方向の位置決めが完了する。続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、次のように行われる。
いま、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合を考える。このウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すると、図５に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
【００２７】
したがって、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合は、以上の操作でウェーハＷの中心位置の位置決めは完了する。
次に、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５の中心ＯT と一致していない場合を考える。このウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すると、図６に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG に対してズレて載置される。
【００２８】
ここで、この研削テーブル７の中心ＯG に対するウェーハＷの中心ＯW のズレ量は、測定テーブル５の中心ＯT に対するウェーハＷの中心ＯW のズレ量に等しい。
そこで、このズレを相殺するように、研削テーブル７を原点ＯG0からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。この状態でウェーハＷをトランスファーアーム１０によって研削テーブル７上に搬送すれば、図７に示すように、搬送されたウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
【００２９】
以上により、ウェーハＷの中心位置ＯW の位置決めが完了する。続いて、ノッチ中心位置Ｎの位置決めが行われる。すなわち、研削テーブル７の中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離が、あらかじめ設定した距離Ｒとなるように、ノッチ中心位置の位置決めが行われる。具体的には、次の操作が行われる。
【００３０】
いま、上述したウェーハＷの中心位置の位置決めを実施したとする。この状態でウェーハＷを測定テーブル５から研削テーブル７に搬送すると、搬送されたウェーハＷの中心ＯW は研削テーブル７の中心ＯG と一致する。
しかしながら、各ウェーハＷのノッチ深さＤは１枚ごとに異なっているので、ウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致していても、図８（ａ）に示すように、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒは１枚ごとに異なっている。この状態でノッチＮＯの研削を行うと、ウェーハＷによっては研削量が不足したり、あるいは多過ぎてしまったりするという不具合が生じる。
【００３１】
そこで、図８（ｂ）に示すように、すべてのウェーハＷに対して研削テーブル７の中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒが一定（設定距離Ｒ0 ）となるように、研削テーブル７を移動させる。
なお、この研削テーブル７の移動量は、制御装置がファインアライメントセンサ６によって測定したウェーハＷの直径Ｌとノッチ深さＤから演算処理によって求める。そして、その演算処理の結果に基づいて研削テーブル７を所定量移動させる。
【００３２】
以上により、ノッチ中心位置Ｎの位置決めが完了する。そして、このノッチ中心位置Ｎの位置決め完了した後、トランスファーアーム１０が測定テーブル５から研削テーブル７にウェーハＷを搬送する。搬送されたウェーハＷは、そのノッチＮＯが所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置するとともに、そのノッチＮＯの中心位置Ｎが研削テーブル７の中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【００３３】
ウェーハＷが搬送された研削テーブル７は、そのウェーハＷを吸着保持したのち、再び原点位置に復帰する。
以上により、ウェーハＷの位置決めが終了し、この後、ウェーハＷの面取り加工が行われる。
ウェーハＷの面取り加工が終了すると、研削テーブル７は原点位置に復帰する。そして、その原点位置に復帰した研削テーブル７上から図示しない搬送手段がウェーハＷを回収し、次の洗浄工程に搬送する。
【００３４】
このように、本実施の形態のウェーハ面取り装置１によれば、各ウェーハＷごとにノッチの位置を揃えて（研削テーブル７のＯG からノッチ中心Ｎまでの距離を揃えて）、ウェーハＷの面取り加工を行うようにしているので、ノッチＮＯの加工量が常に一定となり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
次に、本実施の形態のウェーハ面取り装置１を用いてオリフラ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
【００３５】
図１に示すように、初期状態において、加工部３の研削テーブル７は、その中心ＯG が所定の原点ＯG0上に位置している。
まず、図示しない搬送手段が測定テーブル５上にウェーハＷを載置する。測定テーブル５は、その載置されたウェーハＷを吸着保持する。そして、そのウェーハＷを一定の回転速度で回転させる。
【００３６】
ウェーハＷの回転が安定すると、ファインアライメントセンサ６が上述した各項目の測定を開始する。すなわち、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）、Ａ直径ＬA 及びＢ直径ＬB を測定する。そして、その測定が終了すると、測定テーブル５の回転が停止する。
図示しない制御装置は、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づいて測定テーブル５を所定量回転させ、これにより、オリフラ中心位置Ｆを所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置させる。
【００３７】
続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、上述したノッチ付きウェーハＷの場合と同じである。すなわち、ウェーハＷを研削テーブル７に搬送したときの研削テーブル７の中心ＯG に対するウェーハＷの中心ＯW のズレを相殺するように、研削テーブル７を原点ＯG0からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。
【００３８】
続いて、オリフラ中心位置Ｆの位置決めが行われる。すなわち、研削テーブル７の中心ＯG からオリフラ中心位置Ｆまでの距離が予め設定した距離Ｒとなるように、研削テーブル７を所定量移動させてオリフラ中心位置Ｆの位置決めが行われる。
なお、この研削テーブル７の移動量は、制御装置がファインアライメントセンサ６によって測定したウェーハＷのＡ直径ＬA とＢ直径ＬB から演算処理によって求める。
【００３９】
オリフラ中心位置Ｆの位置決め完了した後、トランスファーアーム１０が測定テーブル５から研削テーブル７にウェーハＷを搬送する。搬送されたウェーハＷは、そのオリフラＯＦが所定の基準方向（Ｘ+ 方向）に位置するとともに、そのオリフラ中心位置Ｆが研削テーブル７の中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【００４０】
ウェーハＷが搬送された研削テーブル７は、そのウェーハＷを吸着保持したのち、再び原点位置に復帰する。
以上により、ウェーハＷの位置決めが終了し、この後、ウェーハＷの面取り加工が行われる。
ウェーハＷの面取り加工が終了すると、研削テーブル７は原点位置に復帰する。そして、その原点位置に復帰した研削テーブル７上から図示しない搬送手段がウェーハＷを回収し、次の洗浄工程に搬送する。
【００４１】
このように、本実施の形態のウェーハ面取り装置１によれば、各ウェーハＷごとにオリフラの位置を揃えてウェーハＷの面取り加工を行うようにしているので、オリフラＯＦの加工量が常に一定となり、精度の高い面取り加工を行うことができる。
ところで、上記のウェーハ面取り装置１では、加工を重ねているうちに位置決め精度が低下する場合がある。そこで、次の方法によってウェーハの中心位置の位置決め精度と、ノッチの方向と深さの位置決め精度の修正を行う。
【００４２】
始めに、ウェーハの中心位置の位置決め精度の修正方法について説明する。
まず、図示しない搬送手段がマスターウェーハＷM を測定テーブル５上に載置する。そして、そのマスターウェーハＷM を測定テーブル５が吸着保持する。
ここで、このマスターウェーハＷM は、面取り加工するウェーハの基準となるウェーハであり、所定の直径を有し、外周に所定深さのノッチが形成されている。そして、あらかじめ面取り加工が施されている。
【００４３】
測定テーブル５でマスターウェーハＷM が吸着保持されると、ファインアライメントセンサ６によって、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤが測定される。そして、この測定結果に基づいて、上述した各位置決め操作が成される。すなわち、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づき、ノッチが所定方向に向くように、測定テーブル５を所定量回転させるとともに、マスターウェーハＷM の中心が研削テーブル７の中心と一致するように研削テーブル７を所定量移動させる。
【００４４】
上記の各位置決め操作が終了したのち、トランスファーアーム１０によってマスターウェーハＷM を研削テーブル７に搬送する。研削テーブル７は、その搬送されたマスターウェーハＷM を吸着保持したのち１８０°回転させる。
１８０°回転させたマスターウェーハＷM は、面取り加工を行わずに、そのままトランスファーアーム１０によって測定テーブル５に搬送される。そして、ファインアライメントセンサ６によってウェーハ中心位置が測定される。
【００４５】
ここで、このファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置が、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置と一致していれば、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されている。したがって、この場合、修正の必要はない。
一方、ファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置が、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置と一致していない場合、この場合、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されていないので、修正の必要がある。
【００４６】
修正は、ファインアライメントセンサ６によって測定したマスターウェーハＷM の中心位置と、研削テーブル７に搬送する前に測定したマスターウェーハＷM の中心位置とのズレ量を演算処理によって求め、そのズレ量を相殺するように研削テーブル７の原点ＯG0の位置を修正する。
これにより、研削テーブル７の原点ＯG0が正規の位置に設定し直され、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
【００４７】
次に、ノッチの方向と深さの位置決め精度の修正方法について説明する。
まず、図示しない搬送手段がテストウェーハＷT を測定テーブル５上に載置する。そして、そのテストウェーハＷT を測定テーブル５が吸着保持する。このテストウェーハＷT は、所定の規格に沿って作成されたもので、所定の直径を有し、外周に所定深さのノッチが形成されている。
【００４８】
測定テーブル５でテストウェーハＷT が吸着保持されると、ファインアライメントセンサ６によって、測定テーブル５に保持されて回転するウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤが測定される。そして、この測定結果に基づいて、上述した各位置決め操作が成される。すなわち、ファインアライメントセンサ６の測定結果に基づき、ノッチが所定方向に向くように、測定テーブル５を所定量回転させるとともに、テストウェーハＷT の中心が研削テーブル７の中心と一致するように研削テーブル７を所定量移動させる。
【００４９】
上記の各位置決め操作が終了したのち、トランスファーアーム１０によってテストウェーハＷT を研削テーブル７に搬送する。研削テーブル７は、その搬送されたテストウェーハＷT を吸着保持する。そして、そのテストウェーハＷT の外周部の面取り加工を行わず、ノッチ中心部のみを面取り加工する。
すなわち、ノッチ中心位置にノッチ研削砥石９を当接させ、そのまま研削テーブル７をノッチ研削砥石９に向けて直進させる（通常は、ノッチＮＯのＶ形状に沿うように研削テーブル７を移動させる。）。このように、研削テーブル７を移動させることにより、テストウェーハＷT のノッチＮＯは、図９（ａ）に示すように、中心部のみがノッチ研削砥石９に研削される。
【００５０】
加工終了後、テストウェーハＷT は、トランスファーアーム１０によって測定テーブル５に搬送される。そして、ファインアライメントセンサ６によってノッチ中心位置とノッチ深さとが測定される。
ここで、図９（ａ）に示すように、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎとの間にズレが生じておらず、また、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差が所定の設定値になっていれば、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されている。したがって、この場合、修正の必要はない。
【００５１】
一方、図９（ｂ）に示すように、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ中心位置Ｎとの間にズレが生じている場合、又は、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差が所定の設定値になっていない場合、この場合、研削テーブル７の原点ＯG0は正規の位置に設定されていないので、修正の必要がある。
【００５２】
修正は、加工前に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さと、加工後に測定したテストウェーハＷT のノッチ深さとの差を演算処理によって求め、その差が所定の設定値になるように前記研削テーブル７の原点ＯG0の位置を修正するとともに、加工後に測定したテストウェーハＷT の中心位置Ｎ' と、加工前に測定したテストウェーハＷT の中心位置Ｎとのズレ量λを演算処理によって求め、そのズレ量λを相殺するように前記研削テーブル７とノッチ研削砥石９との相対的位置を修正する。
【００５３】
これにより、研削テーブル７の原点ＯG0が正規の位置に設定し直され、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
また、上記の各操作は、オペレータによる手作業を介さず装置側で自動的に行うことができるので、手間がかからず、短時間で実施することができる。したがって、スループットが低下することもない。
【００５４】
【実施例】
次に、ウェーハカセットからウェーハを自動的に供給し、面取り加工したのち洗浄して、再びウェーハカセットに収納するタイプのウェーハ面取り装置に、上述したウェーハ位置決め機構を組み込んだ実施例について説明する。
図１０は、ウェーハ面取り装置の全体構成を示す平面図である。同図に示すように、このウェーハ面取り装置２０は、装置本体２１に供給回収部２２、アライメント部２３、加工部２４Ａ、２４Ｂ、洗浄部２５及び搬送部２６が備えられて構成されている。
【００５５】
まず、供給回収部２２の構成について説明する。供給回収部２２は、面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から１枚ずつ供給するとともに、面取り加工されたウェーハＷをウェーハカセット３０に１枚ずつ回収する。この供給回収部２２は、図１０に示すように、ウェーハカセット位置決め装置３２とウェーハ供給回収ロボット３４から構成されている。
【００５６】
ウェーハカセット位置決め装置３２は、ウェーハカセット３０を所定位置に位置決めする。このウェーハカセット位置決め装置３２は６台のウェーハカセットテーブル３３、３３、…を有しており、各ウェーハカセットテーブル３３、３３、…は装置本体２１の左側部に直列して配置されている。ウェーハカセット３０、３０、…は、このウェーハカセットテーブル３３、３３、…にセットされることにより所定位置に位置決めされる。
【００５７】
ウェーハ供給回収ロボット３４は、ウェーハカセットテーブル３３にセットされたウェーハカセット３０からウェーハＷを１枚ずつ取り出しアライメント部２３に供給するとともに、面取り加工されたウェーハＷをアライメント部２３から受け取り、元のウェーハカセット３０に収納する。このウェーハ供給回収ロボット３４はウェーハＷを搬送するための搬送アーム３６を有している。搬送アーム３６は上面部に図示しない吸着パッドを有しており、この吸着パッドでウェーハＷの下面を吸着保持してウェーハＷの搬送を行う。
【００５８】
また、この搬送アーム３６は、図示しないシリンダに駆動されることにより、ターンテーブル３８上に敷設されたガイド４０に沿って前後移動することができる。さらに、この搬送アーム３６は、ターンテーブル３８が回転することにより旋回することができ、ターンテーブル３８が図示しないガイドレールに沿ってスライド移動することにより、６台のウェーハカセットテーブル３３、３３、…に沿ってスライド移動することができる。そして、ターンテーブル３８が上下動することにより上下方向に移動することができる。
【００５９】
したがって、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、ウェーハＷを保持した状態で前後、左右、上下動及び旋回を行うことができ、この動作の組み合わせによりウェーハＷの搬送を行う。
以上のように構成された供給回収部２２では、次のようにしてウェーハカセット３０からウェーハＷをアライメント部２３に供給する。
【００６０】
まず、ターンテーブル３８がスライド移動して、搬送アーム３６が所定のウェーハカセット３０の前で停止する。次に、ターンテーブル３８が所定量上昇する。これにより、搬送アーム３６がウェーハカセット３０から取り出すウェーハＷと同じ高さの位置に位置する。次に、搬送アーム３６が前進してウェーハカセット３０内に進入し、ウェーハカセット３０内のウェーハＷを吸着保持する。次に、搬送アーム３６が後退してウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出す。次に、ターンテーブル３８が所定量下降する。これにより、搬送アーム３６が元の高さの位置に復帰する。次に、ターンテーブル３８が１８０°回転して、搬送アーム３６が向きを変える。次に、ターンテーブル３８がスライド移動して、搬送アーム３６が所定のウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に移動する。そして、アライメント部２３の搬送ロボット４２にウェーハＷを受け渡す。
【００６１】
面取り加工されたウェーハＷをウェーハカセット３０に回収する場合は、上記と逆の動作を行う。このとき、ウェーハＷは取り出した時と同じウェーハカセット３０に回収される。
なお、ウェーハＷの供給と回収は全てウェーハカセット単位で行われ、一つのウェーハカセット３０内に収納されている全てのウェーハＷが供給されると、次のウェーハカセット３０からウェーハＷが順次供給される。
【００６２】
次に、アライメント部２３の構成について説明する。アライメント部２３は、面取り加工するウェーハＷの前測定とアライメント、及び面取り加工されたウェーハＷの後測定を行う。このアライメント部２３は、図１０に示すように、ウェーハ搬送ロボット４２とアライメント装置４４とから構成されている。
ウェーハ搬送ロボット４２は、図１１に示すように、上下一対からなる搬送アーム４６Ａ、４６Ｂを有している。各搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、それぞれその上面部に吸着パッド４７Ａ、４７Ｂを有しており、この吸着パッド４７Ａ、４７ＢでウェーハＷの下面部を保持してウェーハＷの搬送を行う。
【００６３】
また、この搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、図示しないシリンダに駆動されることにより、ターンテーブル４８上に敷設されたガイド５０に沿って前後移動することができる。さらに、この搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、ターンテーブル４８が回転することにより旋回することができ、ターンテーブル４８が上下動することにより上下方向に移動することができる。
【００６４】
したがって、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、ウェーハＷを保持した状態で前後、上下動及び旋回することができ、この動作の組み合わせによりウェーハＷの搬送を行う。
なお、この２本ある搬送アーム４６Ａ、４６Ｂのうち上側の搬送アーム４６Ａは、面取り加工されたウェーハＷの搬送に使用する。また、下側の搬送アーム４６Ｂは、面取り加工するウェーハＷの搬送に使用する。以下、必要に応じて上側の搬送アーム４６Ａを『第１搬送アーム４６Ａ』と呼び、下側の搬送アーム４６Ｂを『第２搬送アーム４６Ｂ』と呼ぶ。
【００６５】
アライメント装置４４は、面取り加工するウェーハＷの前測定と、面取り加工されたウェーハＷの後測定を行う。
前測定では次の各項目を測定する。すなわち、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハの直径Ｌ、ウェーハ中心位置Ｗ0 （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）、ノッチ深さＤ、ウェーハＷの中心部の厚さＴ0 及び外周部の厚さＴ1 を測定する。また、オリフラ付きウェーハＷに対しては、Ａ直径ＬA 、Ｂ直径ＬB 、ウェーハ中心位置Ｗ0 （Ｘ，Ｙ）、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）、ウェーハＷの中心部の厚さＴ0 及び外周部の厚さＴ1 を測定する（図２参照）。
【００６６】
一方、後測定では、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハの直径Ｌ及びノッチ深さＤを測定し、オリフラ付きウェーハＷに対しては、ウェーハのＡ直径ＬA 及びＢ直径ＬB を測定する（図３参照）。
このアライメント装置４４は、図１０及び図１２に示すように、測定テーブル５２、プリセンタリングセンサ５３、厚さセンサ５４、プリアライメントセンサ５５及びファインアライメントセンサ５６から構成されている。
【００６７】
測定テーブル５２は、所定の測定位置に設置されており、ウェーハＷの裏面部を真空吸着して保持する。この測定テーブル５２は、ウェーハＷを保持した状態で回転及び上下動することができる。
プリセンタリングセンサ５３は、前記ウェーハ搬送ロボット４２によって測定テーブル５２に搬送されるウェーハＷの概略中心位置を測定する。このプリセンタリングセンサ５３は４個のＯＮ／ＯＦＦセンサで構成されている。４個のＯＮ／ＯＦＦセンサは、前記ウェーハＷの搬送路に対して直交するように配置されており、ウェーハＷが通過するとＯＮ状態になる。図示しない制御装置は、この４個のＯＮ／ＯＦＦセンサのＯＮ／ＯＦＦ状態を検出し、そのときのウェーハＷの移動量から演算処理によってウェーハＷの概略中心位置を求める。
【００６８】
厚さセンサ５４は、ウェーハＷの厚さを測定する。この厚さセンサ５４は上下一対からなる静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂで構成されている。一対の静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂは所定の間隔をもって互いに対向するように配置されており、その間に位置したウェーハＷの表面、裏面までの距離を測定する。図示しない制御装置は、この静電容量センサ５４Ａ、５４Ｂの測定結果から演算処理によってウェーハＷの厚さを求める。なお、ウェーハＷの厚さは、ウェーハＷの中心部とウェーハＷの外周部を測定する。
【００６９】
プリアライメントセンサ５５は、ウェーハＷの外周に形成されているノッチ又はオリフラの概略位置を検出する。このプリアライメントセンサ５５は赤外線センサで構成されている。赤外線センサは、赤外線を出射する投光部５５Ａと、その出射された赤外線を受光する受光部５５Ｂとから構成されている。投光部５５Ａは前記測定テーブル５２に保持されて回転するウェーハＷの周縁部に赤外線を照射し、受光部５５Ｂは出射された赤外線の受光量の変化を測定する。図示しない制御装置は、この赤外線センサの測定結果から演算処理によってウェーハＷの外周に形成されているノッチ又はオリフラの概略位置を求める。
【００７０】
ファインアライメントセンサ５６は、ノッチ付きウェーハＷに対しては、ウェーハＷの直径Ｌ、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）及びノッチ深さＤを測定する。
また、オリフラ付きウェーハＷに対しては、ウェーハＷのＡ直径ＬA 、Ｂ直径ＬB 、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）及びオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を測定する。
【００７１】
このファインアライメントセンサ５６はレーザー測長器で構成されており、該レーザー測長器５６は、図１３に示すように、レーザー光を出射する投光部５６Ａと、その出射されたレーザー光を受光する受光部５６Ｂとから構成されている。投光部５６Ａは前記測定テーブル５２に保持されて回転するウェーハＷの周縁部にレーザー光を照射し、受光部５６Ｂはそのレーザー光の受光量の変化を測定する。図示しない制御装置は、このレーザー測長器の測定結果から演算処理によって上記の諸値を求める。具体的には、次のように測定する。
【００７２】
図１３に示すように、測定テーブル５２の中心ＯT からレーザー測長器５６までの距離Ｃは常に一定である。また、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌは、その時、受光部５６Ｂで受光されるレーザー光の受光量から求めることができる。
そこで、測定テーブル５２に保持されたウェーハＷを３６０°回転させ、その時ウェーハＷがレーザー測長器５６を横切る長さｌを、図１４に示すように、たとえば１０°間隔で測定する。
【００７３】
この測定データは、図１５に示すように、一般的にｓｉｎ波となることが知られている（なお、ウェーハＷの中心ＯW と測定テーブルの中心ＯT とが一致していれば直線となる。）。したがって、この測定データを三角関数を用いて解析することにより、ウェーハＷの直径Ｌを求めることができ、さらに、測定テーブル５２の中心に対するウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）を求めることができる。
【００７４】
また、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を測定する場合は、測定間隔を狭め（例えば１°間隔で測定する。）、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌが最大になる位置を測定する。これにより、測定テーブル５２の中心に対するノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を求めることができる。そして、このノッチ中心位置Ｎ（Ｘ，Ｙ）を求めることにより、ウェーハＷの直径Ｌとウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）との関係から、ノッチ深さＤを求めることができる。
【００７５】
また、オリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を測定する場合は、同様に測定間隔を狭め、レーザー測長器５６を横切るウェーハＷの長さｌが最大になる位置を測定する。これにより、測定テーブル５２の中心に対するオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を求めることができる。そして、このオリフラ中心位置Ｆ（Ｘ，Ｙ）を求めることにより、ウェーハＷのＡ直径ＬA とウェーハ中心位置ＯW （Ｘ，Ｙ）との関係から、ウェーハＷのＢ直径ＬB を求めることができる。
【００７６】
アライメント部２３は以上のように構成される。なお、このアライメント部２３におけるウェーハＷの前測定の方法、アライメントの方法、及び後測定の方法については、後に詳述する。
次に、加工部２４Ａ、２４Ｂの構成について説明する。２つの加工部２４Ａ、２４Ｂは、それぞれ独立してウェーハＷの周縁の面取り加工を行う。この２つの加工部２４Ａ、２４Ｂは、図１０に示すように、装置本体２１の正面部に並列して配置されている。そして、図１６及び図１７に示すように（図１６、図１７では一方の加工部２４Ａの構成のみ図示）、ウェーハ送り装置６０Ａ、６０Ｂ、外周研削装置６２Ａ、６２Ｂ及びノッチ研削装置６４Ａ、６４Ｂから構成されている。なお、加工部２４Ａと加工部２４Ｂは同じ構成である。
【００７７】
ウェーハ送り装置６０Ａ、６０Ｂは、ウェーハＷを吸着保持する研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを有しており、該研削テーブル６６Ａ、６６Ｂは、図示しない駆動手段に駆動されて前後方向（Ｙ軸方向）、左右方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）の各方向に移動するとともに、図示しないモータに駆動されて中心軸（θ軸）回りに回転する。
【００７８】
外周研削装置６２Ａ、６２Ｂは、図示しない外周モータに駆動されて回転する外周スピンドル７０Ａ、７０Ｂを有しており、この外周スピンドル７０Ａ、７０ＢにウェーハＷの外周を面取り加工する外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂが装着される。外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂはその外周面にウェーハＷに要求される面取り形状に対応した溝が形成されており（総形砥石）、この溝にウェーハＷの外周又はオリフラを押し当てることにより、外周又はオリフラが面取り加工される。
【００７９】
ノッチ研削装置６４Ａ、６４Ｂは、ノッチモータ７４Ａ、７４Ｂに駆動されて回転するノッチスピンドル７６Ａ、７６Ｂを有しており、このノッチスピンドル７６Ａ、７６ＢにウェーハＷのノッチを面取り加工するノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂが装着される。ノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂは、その外周面にノッチに要求される面取り形状に対応した溝が形成されており（総形砥石）、この溝にウェーハＷのノッチを押し当てることにより、ノッチが面取り加工される。
【００８０】
前記のごとく構成された加工部２４Ａ、２４Ｂでは、次のようにしてウェーハＷを面取り加工する。なお、ウェーハＷは、その外周（円形の部分）と、オリフラ部又はノッチ部を加工する場合では、それぞれ加工方法が異なるので、各々の場合に分けて説明する。
始めに、ウェーハＷの外周を面取り加工する場合について説明する。まず、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂ上にウェーハＷを載置し、その載置されたウェーハＷを研削テーブル６６Ａ、６６Ｂで吸着保持する。次に、外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに向けて移動させる。研削テーブル６６Ａ、６６Ｂが所定量移動することにより、ウェーハＷの外周が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを回転させる。この結果、ウェーハＷの外周が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８１】
次に、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取り加工する場合について説明する。まず、外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに向けて移動させる。これにより、オリフラの部分が外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをオリフラに沿って移動させる。これにより、ウェーハＷのオリフラが外周研削砥石７２Ａ、７２Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８２】
次に、ウェーハＷのノッチを面取り加工する場合について説明する。まず、ノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂを高速回転させる。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂに向けて移動させる。これにより、ノッチの部分がノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂの溝に当接するので、その位置で研削テーブル６６Ａ、６６Ｂの移動を停止する。次に、研削テーブル６６Ａ、６６Ｂをノッチの形状に沿って移動させる。すなわち、ノッチは通常Ｖ字状に形成されているので、Ｖ字を描くように研削テーブル６６Ａ、６６Ｂを移動させる。これにより、ウェーハＷのノッチがノッチ研削砥石７８Ａ、７８Ｂに研削されて、面取り加工される。
【００８３】
なお、以下の説明では、必要に応じて図１０中左側の加工部２４Ａを『第１加工部２４Ａ』と呼び、右側の加工部２４Ｂを『第２加工部２４Ｂ』と呼ぶ。
次に、洗浄部２５の構成について説明する。洗浄部２５は面取り加工されたウェーハＷを洗浄する。この洗浄部２５は、図１０に示すように、前記加工部２４Ａ、２４Ｂに並列して配置されており、スピン洗浄装置８０とウェーハ昇降装置８２とから構成されている。
【００８４】
スピン洗浄装置８０は、ウェーハＷを回転させながら洗浄液をかけて洗浄する装置である。ウェーハＷは、洗浄テーブル８４に吸着保持されて回転し、その回転するウェーハＷに向けて図示しないノズルから洗浄液が噴射される。
ウェーハ昇降装置８２は、スピン洗浄装置８０によって洗浄されたウェーハＷを所定高さの地点まで搬送する装置である。このウェーハ昇降装置８２は、ウェーハＷを搬送する昇降自在な昇降アーム８６を有している。昇降アーム８６は、先端下部に吸着パッド８８を備えており、この吸着パッド８８でウェーハＷの上面を吸着保持してウェーハＷを所定高さの地点まで搬送する。
【００８５】
次に、搬送部２６の構成について説明する。搬送部２６は、アライメント部２３と各加工部２４Ａ、２４Ｂとの間、各加工部２４Ａ、２４Ｂと洗浄部２５との間、及び、洗浄部２５とアライメント部２３との間のウェーハＷの搬送を行う。この搬送部２６は、図１０及び図１６に示すように、供給用トランスファー９０と回収用トランスファー９２とから構成されている。
【００８６】
供給用トランスファー９０は、アライメント部２３でアライメントされたウェーハＷを各加工部２４Ａ、２４Ｂに搬送する。この供給用トランスファー９０は、水平ガイド９４に沿って移動する供給用水平スライドブロック９６と、その供給用水平スライドブロック９６上に旋回及び上下動自在に設けられた供給用トランスファーアーム９８とから構成されている。
【００８７】
水平ガイド９４は、図１０に示すように、並列して配置されている加工部２４Ａ、２４Ｂと洗浄部２５に沿って設置されている。
供給用水平スライドブロック９６は、前記水平ガイド９４上を図示しない駆動手段に駆動されてスライド移動する。
供給用トランスファーアーム９８は、図１０及び図１８に示すように、先端部にウェーハ受皿１００を有している。このウェーハ受皿１００の下面部には、一対の吸着パッド１０２、１０２が配設されており、この吸着パッド１０２、１０２にウェーハＷの上面が吸着保持される。
【００８８】
また、供給用トランスファーアーム９８は、その基端部がアーム旋回モータ１０４の出力軸に固定されている。このアーム旋回モータ１０４は供給用昇降スライドブロック１０６に設けられている。供給用昇降スライドブロック１０６は供給用水平スライドブロック９６に立設されたガイド支柱１０８にスライド自在に支持されており、図示しないシリンダに駆動されることによりガイド支柱１０８に沿って上下動する。
【００８９】
以上のように構成された供給用トランスファーアーム９８は、前記アーム旋回モータ１０４を駆動することにより基端部を中心に旋回し、供給用昇降スライドブロック１０６を上下動させることにより垂直に上下動する。また、供給用トランスファーアーム１０６は、供給用水平スライドブロック９６を水平ガイド９４に沿ってスライドさせることにより、図１０中Ｘ軸方向に水平移動する。
【００９０】
回収用トランスファー９２は、各加工部２４Ａ、２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷを洗浄部２５に搬送するとともに、洗浄部２５で洗浄されたウェーハＷをアライメント部２３に搬送する。この回収用トランスファー９２は、水平ガイド９４に沿って移動する回収用水平スライドブロック１１０と、その回収用水平スライドブロック１１０上に上下動自在に設けられた回収用トランスファーアーム１１２とから構成されている。
【００９１】
水平ガイド９４は、図１９に示すように、前記供給用トランスファー９０と共用しており、この水平ガイド９４上を図示しない駆動手段に駆動されて回収用水平スライドブロック１１０がスライド移動する。
回収用トランスファーアーム１１２は、図１０及び図１９に示すように、先端部にウェーハ受皿１１４を有している。このウェーハ受皿１１４の下面部には第１吸着パッド１１６が配設されている。加工部２４Ａ、２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷは、この第１吸着パッド１１６によって吸着保持されて洗浄部２５に搬送される。
【００９２】
また、このウェーハ受皿１１４の上面部には一対の第２吸着パッド１１８、１１８が配設されている。洗浄部２５で洗浄されたウェーハＷは、この第２吸着パッド１１８、１１８に吸着保持されてアライメント部２３に搬送される。
また、回収用トランスファーアーム１０６は、その基端部が回収用昇降スライドブロック１２０に支持されている。回収用昇降スライドブロック１２０は回収用水平スライドブロック１１０に立設されたガイド支柱１２２にスライド自在に支持されており、図示しないシリンダに駆動されることによりガイド支柱１２２に沿って上下動する。
【００９３】
以上のように構成された回収用トランスファーアーム１１２は、回収用昇降スライドブロック１２０を上下動させることにより垂直移動し、回収用水平スライドブロック１１０を水平ガイド９４に沿ってスライドさせることにより、図１０中Ｘ軸方向に水平移動する。
なお、図１６に示すように、回収用トランスファー９２のウェーハ受皿１１４と供給用トランスファー９０のウェーハ受皿１００は、互いに抵触しないように所定の間隔をもって配設されている。したがって、回収用トランスファー９２のウェーハ受皿１１４を供給用トランスファー９０のウェーハ受皿１００の真下に位置させることができる（重なるように位置することができる。）。
【００９４】
以上のように構成された供給用トランスファー９０の供給用トランスファーアーム９８と回収用トランスファー９２の回収用トランスファーアーム１１２は、図２０に示すように、それぞれ水平ガイド９４に沿ってスライド移動することにより、『ウェーハ受取位置』、『第１加工部受渡位置』、『第２加工部受渡位置』、『待機位置』及び『洗浄テーブル受渡位置』の間を移動する。
【００９５】
ここで、アライメント部２３から各加工部２４Ａ、２４ＢにウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、供給用トランスファーアーム９８が、ウェーハ受取位置に移動する。次に、供給用トランスファーアーム９８が時計回りの方向に９０°旋回する。そして、測定テーブル５２上のウェーハＷを受け取る。次に、供給用トランスファーアーム９８が反時計回りの方向に９０°旋回し、ウェーハ受取位置に復帰する。
【００９６】
ウェーハ受取位置に復帰した供給用トランスファーアーム９８は、第１加工部受渡位置（又は第２加工部受渡位置）に移動し、第１加工部２４Ａ（又は第２加工部２４Ｂ）の研削テーブル６６Ａ（又は研削テーブル６６Ｂ）にウェーハＷを受け渡す。以上により、アライメント部２３から各加工部２４Ａ、２４ＢへのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９７】
また、各加工部２４Ａ、２４Ｂから洗浄部２５にウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、回収用トランスファーアーム１１２が、第１加工部受渡位置（又は第２加工部受渡位置）に移動する。次に、回収用トランスファーアーム１１２が研削テーブル６６Ａ（又は研削テーブル６６Ｂ）上のウェーハＷを受け取る。次に、回収用トランスファーアーム１１２が洗浄テーブル受渡位置に移動する。そして、洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。以上により、各加工部２４Ａ、２４Ｂから洗浄部２５へのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９８】
また、洗浄部２５からアライメント部２３にウェーハＷを搬送する場合は、おおよそ次のように行われる。
まず、回収用トランスファーアーム１１２が、洗浄テーブル受渡位置に移動する。次に、回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６からウェーハＷを受け取る。次に、回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動する。回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動すると、アライメント部２３のウェーハ搬送ロボット４２が回収用トランスファーアーム１１２からウェーハＷを受け取る。以上により、洗浄部２５からアライメント部２３へのウェーハＷの搬送が終了する。
【００９９】
前記のごとく構成された本実施例のウェーハ面取り装置２０の作用は次の通りである。なお、以下の実施例では、ノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明する。
図１０に示すように、まず、６つある供給ウェーハカセット３０、３０、…のうち１つの供給ウェーハカセット３０から１枚のウェーハＷがウェーハ供給回収ロボット３４によって取り出される。
【０１００】
取り出されたウェーハＷは、ウェーハ供給回収ロボット３４によってアライメント部２３のウェーハ搬送ロボット４２に受け渡される。なお、ウェーハＷの受け渡しは、次のように行われる。
初期状態において、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、所定の待機位置（図１０に示す位置）に位置している。
【０１０１】
ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６がウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に移動すると、このアーム搬送３６に対向するようにウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量旋回する。
次に、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６ＢにウェーハＷを受け渡す。ウェーハＷを受け渡したウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は所定量後退する。一方、ウェーハＷが受け渡されたウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量旋回する。
【０１０２】
以上により、ウェーハＷの受け取りが完了する。この状態において、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４の厚さ測定センサ５４と対向する。
ウェーハＷを受け取ったウェーハ搬送ロボット４２は、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが厚さセンサ５４に向かって前進し、ウェーハＷを厚さセンサ５４に向けて搬送する。ウェーハＷは、この搬送過程でプリセンタリングセンサ５３を通過し、これにより、ウェーハＷの概略中心位置が求められる。そして、その求められた概略中心位置情報に基づいて搬送アーム４６Ａ、４６Ｂの移動量が制御され、ウェーハＷが所定の中心厚さ測定位置に位置して停止する。
【０１０３】
中心厚さ測定位置に位置したウェーハＷは、その中心が厚さセンサ５４の測定位置と一致する。厚さセンサ５４は、その測定位置に位置したウェーハＷの中心部の厚さＴ0 を測定する。
ウェーハＷの中心部の厚さ測定が終了すると、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量後退する。これにより、ウェーハＷの中心が測定テーブル５２の中心と略一致する。
【０１０４】
次に、測定テーブル５２が所定量上昇し、搬送アーム４６Ａ、４６ＢからウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け渡した搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定距離後退して元の待機位置（図１０に示す位置）に復帰する。
一方、ウェーハＷを受け取った測定テーブル５２は、ウェーハＷを所定の回転速度で回転させる。そして、このウェーハＷの回転が安定したところで、プリアライメントセンサ５５がノッチＮＯの概略位置を測定する。
【０１０５】
また、これと同時に、ファインアライメントセンサ５６がウェーハＷの直径Ｌを測定し、ウェーハ中心位置ＯW （Ｘ0 ，Ｙ0 ）を正確に求める。
また、測定テーブル５２に保持されたウェーハＷは、その外周部が厚さセンサ５４の測定位置に位置するので、前記直径の測定と同時に、厚さセンサ５４が、その測定位置に位置したウェーハＷの外周部の厚さを測定する。
【０１０６】
以上の各測定が終了すると、測定テーブル５２の回転が一時停止する。そして、前記プリアライメントセンサ５５の測定結果に基づいて、測定テーブル５２が所定量回転し、ノッチＮＯが所定のノッチ測定位置に位置する。
なお、このようにプリアライメントセンサ５５で予めノッチ概略位置を測定しておくのは、次の理由による。すなわち、次述するファインアライメントセンサ５６は測定精度が要求されるため、データの取り込み及び演算時間が長くかかる。そのためファインアライメントセンサ５６によるノッチ深さの測定には多くのデータを取り込む必要があるので処理に時間がかかり、ウェーハＷの全周に渡って測定を行うと、スループットが低下してしまうからである。このため、高速な測定の可能なプリアライメントセンサ５５によってノッチの概略位置を測定しておき、ファインアライメントセンサ５６によるノッチ深さの測定時には、ノッチ部近傍の測定のみで済むようにされている。
【０１０７】
ノッチＮＯが所定のノッチ測定位置に位置すると、測定テーブル５２がゆっくりと回転し、ウェーハＷが回転し始める。そして、その回転するウェーハＷに対して、ファインアライメントセンサ５６がノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）を正確に測定する。また、これと同時にノッチ深さＤを測定する。
測定終了後、測定テーブル５２は回転を停止する。そして、この測定結果に基づいてノッチＮＯの方向の位置決めが行われる。
【０１０８】
すなわち、測定テーブル５２を所定量回転させることにより、ノッチＮＯを所定の基準方向に位置させる。具体的には、次のようにしてノッチＮＯの方向の位置決めを行う。なお、ノッチＮＯの基準方向はＹ- 方向とする。
測定終了時に図２１（ａ）に示す位置にノッチＮＯが位置していたとする。ここで、ノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）は、前記ファインアライメントセンサ５６による測定によって既に求まっている。図示しない制御装置は、この求めたノッチ中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）に基づき、ノッチＮＯをＹ- 方向（基準方向）に向けるのに必要な測定テーブル５２の回転量を演算処理によって求める。そして、その演算処理によって求めた回転量に基づき測定テーブル５２を回転させる。これにより、同図（ｂ）に示すように、ノッチＮＯがＹ- 方向に向かう。
【０１０９】
以上により、ノッチの方向の位置決めが完了する。続いて、ウェーハＷの中心位置の位置決めが行われる。ウェーハＷの中心位置の位置決めは、次のように行われる。
いま、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致している場合を考える。このとき、ノッチＮＯは測定テーブル５２の中心を通りＹ軸に平行な直線上に位置している。このウェーハＷを供給用トランスファー９０によって第１加工部２４の研削テーブル６６Ａ上に搬送する。
【０１１０】
なお、第１加工部２４の研削テーブル６６Ａは、所定のウェーハ受取基準位置に位置しているものとする。
ところで、供給用トランスファーアーム９８は、旋回及び水平移動することにより測定テーブル５２から研削テーブル６６ＡにウェーハＷを搬送するが、この供給用トランスファーアーム９８によって搬送されるウェーハＷの移動量は常に一定である。
【０１１１】
ここで、研削テーブル６６Ａのウェーハ受取基準位置は、次のように設定されている。すなわち、ウェーハＷの中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致しているものとして、そのウェーハＷを供給用トランスファーアーム９８で研削テーブル６６Ａに搬送する。このとき、研削テーブル６６Ａに搬送されたウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する位置にウェーハ受取基準位置は設定されている。
【０１１２】
このように研削テーブル６６Ａのウェーハ受取基準位置を設定することにより、図２２に示すように、測定テーブル５２の中心ＯT とウェーハＷの中心ＯW とが一致している場合は、供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送されるウェーハＷの中心ＯW は、研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する。
【０１１３】
しかしながら、ウェーハ中心ＯW が測定テーブル５２の中心ＯT と一致していないウェーハＷを供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送した場合は、図２３に示すように、ウェーハＷの中心ＯW は研削テーブル６６Ａの中心ＯG とは一致せずにズレて載置される。
ところで、供給用トランスファーアーム９８によって搬送されるウェーハＷの移動量は常に一定であるから、研削テーブル６６Ａに搬送されたときのウェーハＷの中心位置ＯW1（ウェーハ受取基準位置に位置している研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG0に対するウェーハＷの中心位置ＯW1（Ｘ1 ，Ｙ1 ））は、測定テーブル５２上におけるウェーハＷの中心位置ＯW （Ｘ0 ，Ｙ0 ）から予め求めることができる。
【０１１４】
そこで、図２４に示すように、このズレを相殺するように、研削テーブル６６Ａを前記受取基準位置からＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定量移動させる。
これにより、測定テーブル５２の中心ＯT とウェーハＷの中心ＯW とが一致していない場合であっても、供給用トランスファーアーム９８によって研削テーブル６６Ａに搬送されるウェーハＷは、その中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG と一致する。
【０１１５】
なお、図２４において、記号ＯG0は、ウェーハ受取基準位置に位置しているときの研削テーブル６６Ａ（図中二点破線で示す研削テーブル）の中心位置を示しており、記号ＯG1は、アライメント後の研削テーブル６６Ａ（図中実線で示す研削テーブル）の中心位置を示している。
以上により、ウェーハＷの中心位置ＯW の位置決めが完了する。続いて、ノッチ中心位置の位置決めが行われる。このノッチ中心位置の位置決めは、次のように行われる。すなわち、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒが、あらかじめ設定した設定距離Ｒ0 となるように、研削テーブル６６を所定量移動させる。具体的には、次の操作を行う。
【０１１６】
いま、上述したウェーハＷの中心位置の位置決めを実施することにより、研削テーブル６６Ａがウェーハ受取基準位置から所定距離移動し、その中心ＯG がＯG0からＯG1に移動したとする。この状態で、ウェーハＷを測定テーブル５２から研削テーブル６６Ａに搬送すると、搬送されたウェーハＷの中心ＯW は、研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）と一致する。
【０１１７】
しかしながら、各ウェーハＷのノッチ深さＤは１枚ごとに異なっているので、ウェーハＷの中心ＯW が研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）と一致していても、研削テーブル６６Ａの中心ＯG （＝ＯG1）からノッチ中心位置Ｎまでの距離Ｒは１枚ごとに異なっている。この状態でノッチＮＯの研削を行うと、ウェーハＷによっては研削量が不足したり、あるいは多過ぎてしまったりするという不具合が生じる。
【０１１８】
そこで、図２５に示すように、すべてのウェーハＷに対して研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置までの距離Ｒが一定（設定距離Ｒ0 ）となるように、研削テーブル６６Ａを移動させる。ここで、同図において、記号ＯG1は、ウェーハＷの中心位置のアライメントをしたときの研削テーブル６６Ａ（図中二点破線で示す研削テーブル）の中心位置を示しており、記号ＯG2は、ノッチ中心位置のアライメントをしたときの研削テーブル６６Ａ（図中実線で示す研削テーブル）の中心位置を示している。
【０１１９】
なお、研削テーブル６６Ａに搬送されたときのノッチ中心位置Ｎ1 （ウェーハ受取基準位置に位置している研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG0に対するノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ））は、測定テーブル５２上におけるノッチＮＯの中心位置Ｎ（Ｘ0 ，Ｙ0 ）から演算処理によって予め求めることができる。そして、ウェーハＷの中心位置のアライメント後における研削テーブル６６Ａの中心位置ＯG1に対するノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）も演算処理によって求めることができる。
【０１２０】
したがって、研削テーブル６６Ａの中心ＯG からノッチＮＯのノッチ中心位置までの距離が設定距離Ｒ0 になるのに必要な研削テーブル６６の移動量は予め演算処理によって求めることができる。
以上の一連の位置決め操作を行うことにより、ウェーハＷを測定テーブル５２から研削テーブル６６Ａに搬送すると、搬送されたウェーハＷは、そのノッチＮＯの中心位置が所定の位置決め方向（Ｘ+ 方向）に向くとともに、そのノッチＮＯのノッチ中心位置Ｎが研削テーブル６６Ａの中心ＯG から所定距離Ｒ0 の位置に位置する。
【０１２１】
なお、ウェーハＷの搬送は、上記測定テーブル５２のアライメントが終了した後に行われる。この測定テーブル５２から研削テーブル６６ＡへのウェーハＷの搬送は、具体的には次のように行われる。
まず、図２０に示すように、供給用トランスファーアーム９８がウェーハ受取位置に移動する。この時、回収用トランスファーアーム１１２は待機位置で待機している。
【０１２２】
次に、供給用トランスファーアーム９８が、時計回りの方向に９０°旋回する。これにより、図２０に２点破線で示すように、供給用トランスファーアーム９８のウェーハ受皿１００が、測定テーブル５２に保持されているウェーハＷの真上に位置する。
次に、供給用トランスファーアーム９８が所定量下降する。これにより、ウェーハ受皿１００に設けられている吸着パッド１０２、１０２がウェーハＷの上面に当接する。吸着パッド１０２、１０２は、その当接したウェーハＷの上面を吸着保持する。
【０１２３】
次に、測定テーブル５２がウェーハＷの吸着を解除する。そして、所定距離下降する。これにより、測定テーブル５２から供給用トランスファーアーム９８にウェーハＷが受け渡される。
供給用トランスファーアーム９８は、ウェーハＷを受け取ると、反時計回りの方向に９０°旋回してウェーハ受取位置に復帰する。
【０１２４】
以上により、ウェーハＷの受け渡しが完了する。供給用トランスファーアーム９８にウェーハＷが受け取られると、次に処理するウェーハＷがウェーハ搬送ロボット４２によってアライメント装置４４に搬送される。このウェーハＷは、第２加工部２４Ｂで面取り加工されるので、アライメント装置４４は、その搬送されたウェーハＷの位置決めを第２加工部２４Ｂの研削テーブル６６Ｂとの間で予め行っておく。
【０１２５】
供給用トランスファーアーム９８がウェーハを受け取ると、供給用トランスファーアーム９８は、図２０に示す第１加工部受渡位置に移動する。この第１加工部受渡位置には、前記のごとくアライメントされた研削テーブル６６Ａが待機しているので、供給用トランスファーアーム９８は、所定距離下降して研削テーブル６６ＡにウェーハＷを受け渡す。
【０１２６】
研削テーブル６６Ａは、その受け渡されたウェーハＷを真空吸着によって吸着保持する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。
ウェーハＷを吸着保持した研削テーブル６６Ａは、供給用トランスファーアーム９８が上昇すると、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。ここで、ウェーハＷは、研削テーブル６６Ａに受け渡された段階で既に所定の位置に位置決めされているので、改めて位置決めする必要がなく、そのまま加工を開始することができる。
【０１２７】
第１加工部２４ＡによるウェーハＷの面取り加工が開始されると、供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動する。そして、旋回してアライメント装置４４から既にアライメント済みのウェーハＷを受け取る。
供給用トランスファーアーム９８がウェーハＷを受け取り、元のウェーハ受取位置に復帰すると、供給用トランスファーアーム９８は第２加工部受渡位置に移動する。この第２加工部受渡位置には、前記のごとくアライメントされた研削テーブル６６Ｂが待機しているので、供給用トランスファーアーム９８は、所定距離下降して研削テーブル６６ＢにウェーハＷを受け渡す。
【０１２８】
研削テーブル６６Ｂは、その受け渡されたウェーハＷを真空吸着によって吸着保持する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。
ウェーハＷを吸着保持した研削テーブル６６Ｂは、供給用トランスファーアーム９８が上昇すると、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。ここで、ウェーハＷは、前記同様、研削テーブル６６Ｂに受け渡された段階で既に所定の位置に位置決めされているので、改めて位置決めする必要がなく、そのまま加工を開始することができる。
【０１２９】
以上の工程で、２台の加工部２４Ａ、２４ＢにそれぞれウェーハＷが供給され、ウェーハＷの面取り加工が２ヵ所で行われるようになる。
前記第１加工部２４Ａと第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が実施されている間に供給用トランスファーアーム９８はウェーハ受取位置に移動する。また、アライメント部２３では、次に第１加工部２４Ａで面取り加工するウェーハＷの前測定を予め行っておく。また、これと同時に待機位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が第１加工部受渡位置に移動する。
【０１３０】
測定テーブル５２のアライメントが終了すると、あらかじめウェーハ受取位置に待機していた供給用トランスファーアーム９８が旋回して、測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。測定テーブル５２からウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアームは、第１加工部受渡位置に移動する。
前記第１加工部２４ＡでウェーハＷの面取り加工が開始されてから所定時間が経過すると、その第１加工部２４ＡでウェーハＷの面取り加工が終了する。このウェーハＷの面取り加工が終了すると、第１加工部２４Ａの研削テーブル６６Ａはウェーハ受取基準位置に移動する。
【０１３１】
研削テーブル６６Ａがウェーハ受取基準位置に移動すると、あらかじめ第１加工部受渡位置に位置していた回収用トランスファーアーム１１２が所定距離下降する。これにより、回収用トランスファーアーム１１２の第１吸着パッド１１６が研削テーブル６６Ａに保持されているウェーハＷの上面に当接する。第１吸着パッド１１６は、そのウェーハＷの上面を吸着保持する。一方、研削テーブル６６ＡはウェーハＷの吸着を解除する。
【０１３２】
回収用トランスファーアーム１１２は、研削テーブル６６Ａの吸着が解除されると、所定距離上昇して元の位置に復帰する。これにより、研削テーブル６６Ａから回収用トランスファーアーム１１２に面取り加工されたウェーハＷが受け渡される。
ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は、この後、図２０に示す洗浄テーブル受渡位置に移動する。そして、洗浄テーブル受渡位置に移動した回収用トランスファーアーム１１２は所定距離下降して、スピン洗浄装置８０の洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。ウェーハＷを受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、所定距離上昇して元の高さの位置に復帰する。そして、待機位置に移動する。
【０１３３】
一方、ウェーハＷを受け取ったスピン洗浄装置８０は、この回収用トランスファーアーム１１２の上昇後、そのウェーハＷの洗浄を開始する。
ここで、上記のように第１加工部２４Ａで面取り加工されたウェーハＷが回収用トランスファーアーム１１２によって洗浄部２５に搬送されると、第１加工部２４Ａでは、次に面取り加工するウェーハＷのアライメントが行われる。そして、そのアライメントが終了すると、供給用トランスファーアーム９８は、そのアライメントされた研削テーブル６６ＡにウェーハＷを受け渡す。研削テーブル６６ＡはウェーハＷを受け取ったのち、そのウェーハＷの面取り加工を開始する。一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動して待機する。
【０１３４】
スピン洗浄装置８０に供給されたウェーハＷの洗浄が終了すると、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６が所定量下降する。そして、その先端に設けられたパッド８８で洗浄されたウェーハＷの上面を吸着保持する。ウェーハＷを保持した昇降アーム８６は、そのまま上昇し、元の高さの位置に復帰する。そして、その位置でウェーハＷを保持したまま待機する。
【０１３５】
一方、アライメント部２３では、次に第２加工部２４Ｂで面取り加工するウェーハＷの前測定を予め行なっておく。また、これと同時に待機位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が第２加工部受渡位置に移動する。アライメントが終了すると、あらかじめウェーハ受取位置に待機していた供給用トランスファーアーム９８が旋回して、測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアーム９８は、第２加工部受渡位置に移動する。
【０１３６】
第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が開始されてから所定時間が経過すると、その第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が終了する。この第２加工部２４ＢでウェーハＷの面取り加工が終了すると、第２加工部２４Ｂの研削テーブル６６Ｂはウェーハ受取基準位置に移動する。研削テーブル６６Ｂがウェーハ受取基準位置に移動すると、あらかじめ第２加工部受渡位置に待機していた回収用トランスファーアーム１１２が、研削テーブル６６Ｂに保持されているウェーハＷを受け取る。ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は、洗浄テーブル受渡位置に移動し、スピン洗浄装置８０の洗浄テーブル８４にウェーハＷを受け渡す。
【０１３７】
ここで、このスピン洗浄装置８０の上方には、先にスピン洗浄装置８０で洗浄されたウェーハＷがウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持された状態で待機する。
そこで、ウェーハＷをスピン洗浄装置８０に受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持されているウェーハＷを受け取る。
【０１３８】
すなわち、まず、ウェーハＷをスピン洗浄装置８０に受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は、所定距離上昇する。これにより、回収用トランスファーアーム１１２の第２吸着パッド１１８、１１８がウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６に保持されているウェーハＷの下面に当接する。第２吸着パッド１１８、１１８は、そのウェーハＷの下面を吸着保持する。一方、ウェーハ昇降装置８２のパッド８８は、ウェーハＷの吸着を解除する。これにより、ウェーハ昇降装置８２の昇降アーム８６から回収用トランスファーアーム１１２にウェーハＷが受け渡される。ウェーハＷを受け取った回収用トランスファーアーム１１２は所定量下降し待機位置に移動する。
【０１３９】
ここで、上記のように第２加工部２４Ｂで面取り加工されたウェーハＷが回収用トランスファーアーム１１２によって洗浄部２５に搬送されると、第２加工部２４Ｂでは、次に面取り加工するウェーハＷのアライメントが行なわれる。そしてアライメントが終了すると、供給用トランスファーアーム９８は、そのアライメントされた研削テーブル６６ＢにウェーハＷを受け渡す。研削テーブル６６Ｂは、ウェーハＷを受け取ったのちそのウェーハＷの面取り加工を開始する。
【０１４０】
一方、ウェーハＷを受け渡した供給用トランスファーアーム９８は、再びウェーハ受取位置に移動して待機する。そして、この供給トランスファーアームがウェーハ受取位置に移動すると、同時に回収用トランスファーアーム１１２がウェーハ受取位置に移動する。また、これと同時にウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが時計回りの方向に９０°旋回する。この結果、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４と対向するように位置する。
【０１４１】
ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、この後、回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４に向かって所定量前進する。この結果、ウェーハ搬送ロボット４２の第１搬送アーム４６Ａが、回収用トランスファーアーム１１２に保持されたウェーハＷの下側に位置する。ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量上昇して、第１搬送アーム４６Ａでウェーハ受皿１１４からウェーハＷを受け取る。なお、この際、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂと、回収用トランスファーアーム１１２のウェーハ受皿１１４は、互いに接触しないようになっている。
【０１４２】
第１搬送アーム４６ＡでウェーハＷが受け取られると、搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量後退し、その後、反時計回りの方向に９０°旋回して、元の位置に復帰する。
一方、ウェーハＷを受け渡した回収用トランスファーアーム１１２は第１加工部受渡位置に移動する。
【０１４３】
ここで、ウェーハ受取位置には、あらかじめ供給用トランスファーアーム９８が位置しており、また、測定テーブル５２には、次に第１加工部２４Ａで面取り加工するウェーハＷがアライメント済みの状態で待機している。
ウェーハ搬送ロボット４２の第１搬送アーム４６ＡがウェーハＷを受け取ると、これと同時に供給用トランスファーアーム９８が旋回して測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。そして、ウェーハＷを受け取った供給用トランスファーアーム９８は、第１加工部受渡位置に移動する。
【０１４４】
回収用トランスファーアーム１１２と供給用トランスファーアーム９８の移動後、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４の測定テーブル５２に向かって所定量前進する。そして、第１搬送アーム４６Ａに保持されているウェーハＷを測定テーブル５２に受け渡す。ウェーハＷを受け渡したウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは所定量後退する。
【０１４５】
一方、アライメント装置４４は、測定テーブル５２に受け渡されたウェーハＷを受け取ると、そのウェーハＷの後測定を行う。すなわち、ファインアライメントセンタリング５６によってウェーハＷの直径を測定するとともに、ノッチＮＯのノッチ深さＤを測定する。
測定が終了すると、ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂが所定量前進し、第１搬送アーム４６Ａによって測定テーブル５２からウェーハＷを受け取る。そして、再び所定量後退する。
【０１４６】
ここで、前記のごとくアライメント部４４でウェーハＷの後測定が行われている間、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が、次に面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出して、所定のウェーハ受渡位置（図１０に示す位置）に待機している。
ウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、測定テーブル５２から所定量後退したのち旋回して、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６と対向するように位置する。この後、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６が所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６Ｂに次に面取り加工するウェーハＷを受け渡す。
【０１４７】
ウェーハＷを受け渡したウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、一度所定量後退したのち、所定量上昇する。そして、所定量前進してウェーハ搬送ロボット４２の第２搬送アーム４６Ｂから面取り加工されたウェーハＷを受け取る。
ウェーハＷを受け取ったウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、所定量後退したのち旋回する。そして、そのウェーハＷを取り出した時と同じウェーハカセット３０に移動して、取り出したときと同じ位置に収納する。
【０１４８】
面取り加工されたウェーハＷを収納後、ウェーハ供給回収ロボット３４の搬送アーム３６は、次に面取り加工するウェーハＷをウェーハカセット３０から取り出し、所定のウェーハ受渡位置に移動して待機している。
一方、ウェーハＷを受け取ったウェーハ搬送ロボット４２の搬送アーム４６Ａ、４６Ｂは、アライメント装置４４にウェーハＷを搬送する。
【０１４９】
以上一連の工程を経ることにより、ウェーハカセット３０に収納されているウェーハＷが面取り加工されて再びウェーハカセット３０に収納される。したがって、以下この工程順次繰り返し行うことにより、ウェーハカセット３０に収納されている全てのウェーハＷが面取り加工される。
このように、本実施例のウェーハ面取り装置２０によれば、ノッチＮＯの位置を揃えて面取り加工することができるので、従来のようにノッチＮＯの研削量が多くなり過ぎたり、逆に少なくなり過ぎたりするということがなくなり、精度の高い面取り加工を行うことができる。また、これによりノッチ研削砥石の破損を有効に防止することができる。
【０１５０】
さらに、メカニカル式の位置決め機構を採用した場合に比べ、装置全体をコンパクト化することができ、しかも基準駒や挟持ローラ等の消耗部品がなくなるため、メンテナンスフリーとなる。
なお、上記の実施例では、ノッチ付きウェーハＷを面取り加工する場合について説明したが、同様の方法によってオリフラ付きウェーハＷの面取り加工も行うことができる。そして、この場合もオリフラの位置を揃えて面取り加工することができるので、精度の高い面取り加工を行うことができる。
【０１５１】
また、本実施例のウェーハ面取り装置２０においても、上述した実施の形態と同様の方法で位置決め精度の修正を行うことができる。そして、この修正を実施することにより、精度の高い面取り加工を継続して実施することができるようになる。
さらに、本実施例のウェーハ面取り装置２０では、アライメント装置４４において面取り加工されたウェーハＷの後測定も行うことができる。これにより、別途後測定部を設置する必要がなくなるので、装置のコンパクト化を図ることができる。
【０１５２】
なお、この後測定の測定結果を利用することにより、更なる加工精度の向上を図ることができる。すなわち、後測定で測定されたウェーハＷの直径及びノッチ深さ（オリフラ付きウェーハＷに対してはＡ直径とＢ直径）によって加工精度が分かるので、この後測定の測定データをフィードバックして加工部２４Ａ、２４Ｂの加工条件の設定を変える。これにより、更なる加工精度の向上を図ることができる。
【０１５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ウェーハに形成されているノッチの位置又はオリフラの位置を揃えて面取り加工するようにしているので、ウェーハを高精度に加工することができる。また、メカニカル式の位置決め機構を必要としないので、装置の全体構成がシンプルになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ面取り装置の実施の形態構成を示す平面図
【図２】アライメントセンサによる測定項目の説明図（ノッチ付きウェーハ）
【図３】アライメントセンサによる測定項目の説明図（オリフラ付きウェーハ）
【図４】ノッチ方向の位置決め方法の説明図
【図５】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図６】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図７】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図８】ノッチ中心位置の位置決め方法の説明図
【図９】位置決め精度修正方法の説明図
【図１０】ウェーハ面取り装置の実施例の構成を示す平面図
【図１１】ウェーハ搬送ロボットの搬送アームの構成を示す斜視図
【図１２】アライメント部の構成を示す斜視図
【図１３】ファインアライメントセンサの構成を示す側面図
【図１４】ファインアライメントセンサによる測定方法の説明図
【図１５】ファインアライメントセンサによる測定方法の説明図
【図１６】加工部と搬送部の構成を示す側面図
【図１７】加工部の構成を示す斜視図
【図１８】供給用トランスファーの構成を示す側面図
【図１９】回収用トランスファーの構成を示す側面図
【図２０】搬送部の構成を示す平面図
【図２１】ノッチ方向の位置決め方法の説明図
【図２２】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２３】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２４】ウェーハ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２５】ノッチ中心位置の位置決め方法の説明図
【図２６】従来のメカニカル方式の位置決め機構の構成を示す斜視図
【符号の説明】
１…ウェーハ面取り装置
２…アライメント部
３…加工部
４…搬送部
５…測定テーブル
６…ファインアライメントセンサ
７…研削テーブル
８…外周研削砥石
９…ノッチ研削砥石
１０…トランスファーアーム
Ｗ…ウェーハ
ＮＯ…ノッチ
ＯＦ…オリフラ
Claims (6)
- ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、
前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、
前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、
前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構の精度調整方法。 - ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、
前記測定テーブル上にテストウェーハを載置し、
前記テストウェーハの中心位置とノッチ中心位置を前記測定手段で測定し、
前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記測定テーブルを前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記テストウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記研削テーブルに保持された前記テストウェーハのノッチと、前記ウェーハ面取り装置に備えられた回転するノッチ研削砥石とを相対的に近づけて、前記ノッチの中心部のみを面取り加工し、
前記テストウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
面取り加工したノッチの深さを測定し、
面取り加工したノッチの中心位置と、正規のノッチの中心位置とのズレ量を測定し、
前記面取り加工後のノッチ深さと面取り加工前のノッチ深さの差が所定量になるように前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正するとともに、前記ノッチ中心位置のズレ量を相殺するように、前記研削テーブルとノッチ研削砥石との相対的位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構の精度調整方法。 - ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にオリフラ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持された前記ウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように、前記測定テーブルを前記オリフラ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように、前記ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、ウェーハ位置決め機構の精度調整方法において、
前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、
前記マスターウェーハを前記搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、
前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構の精度調整方法。 - ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに前記ウェーハを搬送する第１の搬送手段と、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する第２の搬送手段と、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構において、
前記移動手段、前記測定テーブル、前記第１の搬送手段、前記測定手段、前記第２の搬送手段を制御して、ウェーハ位置決め機構の精度を調整する位置決め精度調整手段を有し、
前記位置決め精度調整手段は、
前記第１の搬送手段によって前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記第２の搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記マスターウェーハを前記第２の搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、
前記マスターウェーハを前記第２の搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、
前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構。 - ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にノッチ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに前記ウェーハを搬送する第１の搬送手段と、前記測定テーブルに保持されたウェーハの直径、中心位置、ノッチ中心位置及びノッチ深さを測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する第２の搬送手段と、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて前記測定テーブルを所定量回転させるとともに、前 記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、からなるウェーハ位置決め機構において、
前記移動手段、前記測定テーブル、前記第１の搬送手段、前記測定手段、前記第２の搬送手段を制御して、ウェーハ位置決め機構の精度を調整する位置決め精度調整手段を有し、
前記位置決め精度調整手段は、
前記第１の搬送手段によって前記測定テーブル上にテストウェーハを載置し、
前記テストウェーハの中心位置とノッチ中心位置を前記測定手段で測定し、
前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように前記測定テーブルを前記ノッチ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記ノッチの底部が前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように前記ウェーハの直径、中心位置及びノッチ深さの測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記テストウェーハを前記第２の搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記研削テーブルに保持された前記テストウェーハのノッチと、前記ウェーハ面取り装置に備えられた回転するノッチ研削砥石とを相対的に近づけて、前記ノッチの中心部のみを面取り加工し、
前記テストウェーハを前記第２の搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
面取り加工したノッチの深さを測定し、
面取り加工したノッチの中心位置と、正規のノッチの中心位置とのズレ量を測定し、
前記面取り加工後のノッチ深さと面取り加工前のノッチ深さの差が所定量になるように前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正するとともに、前記ノッチ中心位置のズレ量を相殺するように、前記研削テーブルとノッチ研削砥石との相対的位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構。 - ウェーハ面取り装置に備えられ、研削テーブル上にオリフラ付きウェーハを位置決めして載置するウェーハ位置決め機構であって、所定の基準位置を原点として前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に水平移動させる移動手段と、所定の測定位置に配置され、前記ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに前記ウェーハを搬送する第１の搬送手段と、前記測定テーブルに保持された前記ウェーハの円形部分の直径、オリフラ部分の直径、ウェーハの中心位置及びオリフラ中心位置を測定する測定手段と、前記測定位置と前記基準位置との間を移動して、前記測定テーブルから前記研削テーブルに前記ウェーハを搬送する第２の搬送手段と、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心に対して所定方向に位置するように、前記測定テーブルを前記オリフラ中心位置の測定結果に基づいて所定量回転させるとともに、前記第２の搬送手段によって前記ウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記オリフラが前記研削テーブルの中心から所定距離の位置に位置するように、前記ウェーハの中心位置及びオリフラ部分の直径の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動させる制御手段と、ウェーハ位置決め機構において、
前記移動手段、前記測定テーブル、前記第１の搬送手段、前記測定手段、前記第２の搬送手段を制御して、ウェーハ位置決め機構の精度を調整する位置決め精度調整手段を有し、
前記位置決め精度調整手段は、
前記第１の搬送手段によって前記測定テーブル上にマスターウェーハを載置し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記第２の搬送手段によって前記マスターウェーハを前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送した際に、前記マスターウェーハの中心が前記研削テーブルの中心と一致するように、前記マスターウェーハの中心位置の測定結果に基づいて前記研削テーブルを前記基準位置からＸ、Ｙ方向に所定距離移動し、
前記マスターウェーハを前記第２の搬送手段によって前記測定テーブルから前記研削テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハを保持した研削テーブルを１／２回転し、
前記マスターウェーハを前記第２の搬送手段によって前記研削テーブルから前記測定テーブルに搬送し、
前記マスターウェーハの中心位置を前記測定手段で測定し、
前記研削テーブルに搬送する前に測定した前記マスターウェーハと、前記研削テーブルに搬送した後に測定した前記マスターウェーハの中心位置とのズレ量を演算し、
前記ズレ量を相殺するように、前記研削テーブルをＸ、Ｙ方向に所定距離移動して前記基準位置を修正して精度を調整することを特徴とするウェーハ位置決め機構。
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