CN110405603A - 一种碳化硅晶体专用整形一体机 - Google Patents
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- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 53
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 9
- 238000002407 reforming Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 101100008046 Caenorhabditis elegans cut-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000006004 Quartz sand Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011280 coal tar Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002006 petroleum coke Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B25/00—Grinding machines of universal type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0076—Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
- B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
- B24B5/12—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces both externally and internally with several grinding wheels
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
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Abstract
本发明属于碳化硅晶体领域,尤其是一种碳化硅晶体专用整形一体机,针对现有的碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低的问题,现提出如下方案,其包括床身,所述床身上设有立柱,立柱上设有托板,托板上设有两个主轴头,两个主轴头上均设有砂轮,砂轮的下方设有位于床身上的工作台,床身的一侧设有操作台,气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台前后移动,在极性位置磨削毫米切口,可以活动移动的推车台,实现了自动化对碳化硅晶体进行检测整形,精准性高,使用方便。
Description
技术领域
本发明涉及碳化硅晶体技术领域,尤其涉及一种碳化硅晶体专用整形一体机。
背景技术
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。
碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低,因此需要一种新型的碳化硅晶体专用整形一体机来满足人们的需求。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低的缺点,而提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身,所述床身上设有立柱,立柱上设有托板,托板上设有两个主轴头,两个主轴头上均设有砂轮,砂轮的下方设有位于床身上的工作台,床身的一侧设有操作台,床身的一侧设有Y轴伺服电机和X轴伺服电机,托板上设有Z轴伺服电机,两个主轴头之间设有红外线发射灯。
优选的,所述红外线发射灯的下方设有聚光灯罩,床身上设有真空吸盘,真空吸盘上设有碳化硅晶体,床身上设有激光接收仪和激光发射仪。
优选的,所述床身上设有检测头伺服电机,检测头伺服电机的一侧连接有手动调节装置,手动调节装置包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身的一侧设有水箱。
优选的,所述工作台上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头的上方设有打刀气缸。
本发明中,所述一种碳化硅晶体专用整形一体机,旋转工作台使用Y轴伺服电机带动,设有旋转编码器,可以精准定位旋转角度,停止使用气动刹车和刹车盘,稳定性好,定位精准,工作台在Y轴上前后移动,增加了多种磨削方式,方便加工外圆和切角的加工,红外线发射灯通电,产生红光,经过聚光灯罩的聚拢,灯罩上粘贴有反射纸,使得光透过面罩的刻度缝隙,投射在碳化硅毛坯表面上,因碳化硅通过模具铸锭而成,外表面形状不一致,操作人员需要根据刻度线调整碳化硅,使得光的整圆在碳化硅上,然后开启真空吸盘电磁阀,将碳化硅晶体吸住,然后运行程序磨削碳化硅的上表面和外圆,这样磨削外圆后可以形成一个完整的圆柱,碳化硅外圆和晶体磨削完成后,伺服电机自动控制检测头内外移动,使得定向检测仪指示针碰到碳化硅外圆,激光头发射激光,工作台在y轴伺服电机带动下开始缓慢旋转,激光接收仪接受激光发射仪发射到碳化硅晶体内的激光,并通过接收到的激光数据判断碳化硅的极性位置,当极性定向准确后,伺服电机停止,同时气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台前后移动,在极性位置磨削毫米切口,可以活动移动的推车台,能够实现自动化对碳化硅晶体进行检测整形,精准性高,使用方便。
附图说明
图1为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机立体的结构示意图;
图2为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机侧视的结构示意图;
图3为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机正视的结构示意图;
图4为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机俯视的结构示意图。
图中:1床身、2立柱、3托板、4主轴头、5打刀气缸、6砂轮、7工作台、8刹车盘、9操作台、10Y轴伺服电机、11Z轴伺服电机、12手动调节装置、13检测头伺服电机、14红外线发射灯、15碳化硅晶体、16真空吸盘、17水箱、18激发接收仪、19激光发射仪。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-4,一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身1,床身1上设有立柱2,立柱2上设有托板3,托板3上设有两个主轴头4,两个主轴头4上均设有砂轮6,砂轮6的下方设有位于床身1上的工作台7,床身1的一侧设有操作台9,床身1的一侧设有Y轴伺服电机10和X轴伺服电机,托板3上设有Z轴伺服电机11,两个主轴头4之间设有红外线发射灯14。
本发明中,红外线发射灯14的下方设有聚光灯罩,床身1上设有真空吸盘16,真空吸盘16上设有碳化硅晶体15,床身1上设有激光接收仪18和激光发射仪19。
本发明中的,床身1上设有检测头伺服电机13,检测头伺服电机13的一侧连接有手动调节装置12,手动调节装置12包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身1的一侧设有水箱17。
本发明中,工作台7上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头4的上方设有打刀气缸5。
本发明中,主轴头4采用BT系列刀柄,按下打刀气缸5按钮,可以快速换刀换砂轮6,可以一次装夹磨削内圆外圆,平面端面,工件切角,也可以安装钻头进行工件打孔,模块式设计,方便快速更换磨床使用功能,其中2根立式主轴头4可以更换其中一根为卧式主轴,同时工作台可以快速更换气动真空吸盘16、电磁吸盘,以及使用三爪卡盘等,X轴左右移动,两个主轴可以切换不同的磨削方式,方便套筒内工件加工,一次装夹可以加工内圆、外圆、平面,一次装夹可以提高零件加工精度和节省装夹时间,旋转工作台7使用Y轴伺服电机10带动,设有旋转编码器,可以精准定位旋转角度,停止使用气动刹车和刹车盘8,稳定性好,定位精准,工作台7在Y轴上前后移动,增加了多种磨削方式,方便加工外圆和切角的加工,红外线发射灯14通电,产生红光,经过聚光灯罩的聚拢,灯罩上粘贴有反射纸,使得光透过面罩的刻度缝隙,投射在碳化硅毛坯表面上,因碳化硅通过模具铸锭而成,外表面形状不一致,操作人员需要根据刻度线调整碳化硅,使得光的整圆在碳化硅上,然后开启真空吸盘电磁阀,将碳化硅晶体15吸住,然后运行程序磨削碳化硅的上表面和外圆,这样磨削外圆后可以形成一个完整的圆柱,碳化硅外圆和晶体磨削完成后,伺服电机自动控制检测头内外移动,使得定向检测仪指示针碰到碳化硅外圆,激光头发射激光,工作台7在y轴伺服电机10带动下开始缓慢旋转,激光接收仪18接受激光发射仪19发射到碳化硅晶体内的激光,并通过接收到的激光数据判断碳化硅的极性位置,当极性定向准确后,伺服电机停止,同时气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台7前后移动,在极性位置磨削2毫米切口,可以活动移动的推车台,使用时可以灵活推到机床附近使用,左右通过伺服电机带动丝杆导轨上的移动架移动,将激光头送到工件所在位置,上下通过手动调节,方便对位操作,激光发射器和接收器可以微调。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身(1),其特征在于,所述床身(1)上设有立柱(2),立柱(2)上设有托板(3),托板(3)上设有两个主轴头(4),两个主轴头(4)上均设有砂轮(6),砂轮(6)的下方设有位于床身(1)上的工作台(7),床身(1)的一侧设有操作台(9),床身(1)的一侧设有Y轴伺服电机(10)和X轴伺服电机,托板(3)上设有Z轴伺服电机(11),两个主轴头(4)之间设有红外线发射灯(14)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述红外线发射灯(14)的下方设有聚光灯罩,床身(1)上设有真空吸盘(16),真空吸盘(16)上设有碳化硅晶体(15),床身(1)上设有激光接收仪(18)和激光发射仪(19)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述床身(1)上设有检测头伺服电机(13),检测头伺服电机(13)的一侧连接有手动调节装置(12),手动调节装置(12)包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身(1)的一侧设有水箱(17)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述工作台(7)上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头(4)的上方设有打刀气缸(5)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910762125.0A CN110405603A (zh) | 2019-08-19 | 2019-08-19 | 一种碳化硅晶体专用整形一体机 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
CN201910762125.0A CN110405603A (zh) | 2019-08-19 | 2019-08-19 | 一种碳化硅晶体专用整形一体机 |
Publications (1)
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---|---|
CN110405603A true CN110405603A (zh) | 2019-11-05 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910762125.0A Pending CN110405603A (zh) | 2019-08-19 | 2019-08-19 | 一种碳化硅晶体专用整形一体机 |
Country Status (1)
Country | Link |
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PB01 | Publication | ||
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