CN110405603A - 一种碳化硅晶体专用整形一体机 - Google Patents

一种碳化硅晶体专用整形一体机 Download PDF

Info

Publication number
CN110405603A
CN110405603A CN201910762125.0A CN201910762125A CN110405603A CN 110405603 A CN110405603 A CN 110405603A CN 201910762125 A CN201910762125 A CN 201910762125A CN 110405603 A CN110405603 A CN 110405603A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lathe bed
carborundum crystals
servo motor
workbench
special shaping
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910762125.0A
Other languages
English (en)
Inventor
顾青龙
陈辉
孔海宽
施尔畏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anji Yuanmo Machinery Technology Co ltd
Shanghai Institute of Ceramics of CAS
Original Assignee
Anji Yuanmo Machinery Technology Co ltd
Shanghai Institute of Ceramics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anji Yuanmo Machinery Technology Co ltd, Shanghai Institute of Ceramics of CAS filed Critical Anji Yuanmo Machinery Technology Co ltd
Priority to CN201910762125.0A priority Critical patent/CN110405603A/zh
Publication of CN110405603A publication Critical patent/CN110405603A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B25/00Grinding machines of universal type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06Work supports, e.g. adjustable steadies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/02Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
    • B24B5/12Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces both externally and internally with several grinding wheels
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B28D5/021Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by drilling

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明属于碳化硅晶体领域,尤其是一种碳化硅晶体专用整形一体机,针对现有的碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低的问题,现提出如下方案,其包括床身,所述床身上设有立柱,立柱上设有托板,托板上设有两个主轴头,两个主轴头上均设有砂轮,砂轮的下方设有位于床身上的工作台,床身的一侧设有操作台,气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台前后移动,在极性位置磨削毫米切口,可以活动移动的推车台,实现了自动化对碳化硅晶体进行检测整形,精准性高,使用方便。

Description

一种碳化硅晶体专用整形一体机
技术领域
本发明涉及碳化硅晶体技术领域,尤其涉及一种碳化硅晶体专用整形一体机。
背景技术
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。
碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低,因此需要一种新型的碳化硅晶体专用整形一体机来满足人们的需求。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在碳化硅晶体在在进行检测整形过程中,一般都是采用人工去完成,人工的工作效率低,且传统的碳化硅晶体在检测整形过程中,自动化程度低的缺点,而提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身,所述床身上设有立柱,立柱上设有托板,托板上设有两个主轴头,两个主轴头上均设有砂轮,砂轮的下方设有位于床身上的工作台,床身的一侧设有操作台,床身的一侧设有Y轴伺服电机和X轴伺服电机,托板上设有Z轴伺服电机,两个主轴头之间设有红外线发射灯。
优选的,所述红外线发射灯的下方设有聚光灯罩,床身上设有真空吸盘,真空吸盘上设有碳化硅晶体,床身上设有激光接收仪和激光发射仪。
优选的,所述床身上设有检测头伺服电机,检测头伺服电机的一侧连接有手动调节装置,手动调节装置包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身的一侧设有水箱。
优选的,所述工作台上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头的上方设有打刀气缸。
本发明中,所述一种碳化硅晶体专用整形一体机,旋转工作台使用Y轴伺服电机带动,设有旋转编码器,可以精准定位旋转角度,停止使用气动刹车和刹车盘,稳定性好,定位精准,工作台在Y轴上前后移动,增加了多种磨削方式,方便加工外圆和切角的加工,红外线发射灯通电,产生红光,经过聚光灯罩的聚拢,灯罩上粘贴有反射纸,使得光透过面罩的刻度缝隙,投射在碳化硅毛坯表面上,因碳化硅通过模具铸锭而成,外表面形状不一致,操作人员需要根据刻度线调整碳化硅,使得光的整圆在碳化硅上,然后开启真空吸盘电磁阀,将碳化硅晶体吸住,然后运行程序磨削碳化硅的上表面和外圆,这样磨削外圆后可以形成一个完整的圆柱,碳化硅外圆和晶体磨削完成后,伺服电机自动控制检测头内外移动,使得定向检测仪指示针碰到碳化硅外圆,激光头发射激光,工作台在y轴伺服电机带动下开始缓慢旋转,激光接收仪接受激光发射仪发射到碳化硅晶体内的激光,并通过接收到的激光数据判断碳化硅的极性位置,当极性定向准确后,伺服电机停止,同时气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台前后移动,在极性位置磨削毫米切口,可以活动移动的推车台,能够实现自动化对碳化硅晶体进行检测整形,精准性高,使用方便。
附图说明
图1为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机立体的结构示意图;
图2为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机侧视的结构示意图;
图3为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机正视的结构示意图;
图4为本发明提出的一种碳化硅晶体专用整形一体机俯视的结构示意图。
图中:1床身、2立柱、3托板、4主轴头、5打刀气缸、6砂轮、7工作台、8刹车盘、9操作台、10Y轴伺服电机、11Z轴伺服电机、12手动调节装置、13检测头伺服电机、14红外线发射灯、15碳化硅晶体、16真空吸盘、17水箱、18激发接收仪、19激光发射仪。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-4,一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身1,床身1上设有立柱2,立柱2上设有托板3,托板3上设有两个主轴头4,两个主轴头4上均设有砂轮6,砂轮6的下方设有位于床身1上的工作台7,床身1的一侧设有操作台9,床身1的一侧设有Y轴伺服电机10和X轴伺服电机,托板3上设有Z轴伺服电机11,两个主轴头4之间设有红外线发射灯14。
本发明中,红外线发射灯14的下方设有聚光灯罩,床身1上设有真空吸盘16,真空吸盘16上设有碳化硅晶体15,床身1上设有激光接收仪18和激光发射仪19。
本发明中的,床身1上设有检测头伺服电机13,检测头伺服电机13的一侧连接有手动调节装置12,手动调节装置12包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身1的一侧设有水箱17。
本发明中,工作台7上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头4的上方设有打刀气缸5。
本发明中,主轴头4采用BT系列刀柄,按下打刀气缸5按钮,可以快速换刀换砂轮6,可以一次装夹磨削内圆外圆,平面端面,工件切角,也可以安装钻头进行工件打孔,模块式设计,方便快速更换磨床使用功能,其中2根立式主轴头4可以更换其中一根为卧式主轴,同时工作台可以快速更换气动真空吸盘16、电磁吸盘,以及使用三爪卡盘等,X轴左右移动,两个主轴可以切换不同的磨削方式,方便套筒内工件加工,一次装夹可以加工内圆、外圆、平面,一次装夹可以提高零件加工精度和节省装夹时间,旋转工作台7使用Y轴伺服电机10带动,设有旋转编码器,可以精准定位旋转角度,停止使用气动刹车和刹车盘8,稳定性好,定位精准,工作台7在Y轴上前后移动,增加了多种磨削方式,方便加工外圆和切角的加工,红外线发射灯14通电,产生红光,经过聚光灯罩的聚拢,灯罩上粘贴有反射纸,使得光透过面罩的刻度缝隙,投射在碳化硅毛坯表面上,因碳化硅通过模具铸锭而成,外表面形状不一致,操作人员需要根据刻度线调整碳化硅,使得光的整圆在碳化硅上,然后开启真空吸盘电磁阀,将碳化硅晶体15吸住,然后运行程序磨削碳化硅的上表面和外圆,这样磨削外圆后可以形成一个完整的圆柱,碳化硅外圆和晶体磨削完成后,伺服电机自动控制检测头内外移动,使得定向检测仪指示针碰到碳化硅外圆,激光头发射激光,工作台7在y轴伺服电机10带动下开始缓慢旋转,激光接收仪18接受激光发射仪19发射到碳化硅晶体内的激光,并通过接收到的激光数据判断碳化硅的极性位置,当极性定向准确后,伺服电机停止,同时气动刹车打开,使整个工作台固定,然后外圆砂轮下刀进行磨削,工作台7前后移动,在极性位置磨削2毫米切口,可以活动移动的推车台,使用时可以灵活推到机床附近使用,左右通过伺服电机带动丝杆导轨上的移动架移动,将激光头送到工件所在位置,上下通过手动调节,方便对位操作,激光发射器和接收器可以微调。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身(1),其特征在于,所述床身(1)上设有立柱(2),立柱(2)上设有托板(3),托板(3)上设有两个主轴头(4),两个主轴头(4)上均设有砂轮(6),砂轮(6)的下方设有位于床身(1)上的工作台(7),床身(1)的一侧设有操作台(9),床身(1)的一侧设有Y轴伺服电机(10)和X轴伺服电机,托板(3)上设有Z轴伺服电机(11),两个主轴头(4)之间设有红外线发射灯(14)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述红外线发射灯(14)的下方设有聚光灯罩,床身(1)上设有真空吸盘(16),真空吸盘(16)上设有碳化硅晶体(15),床身(1)上设有激光接收仪(18)和激光发射仪(19)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述床身(1)上设有检测头伺服电机(13),检测头伺服电机(13)的一侧连接有手动调节装置(12),手动调节装置(12)包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身(1)的一侧设有水箱(17)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述工作台(7)上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头(4)的上方设有打刀气缸(5)。
CN201910762125.0A 2019-08-19 2019-08-19 一种碳化硅晶体专用整形一体机 Pending CN110405603A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910762125.0A CN110405603A (zh) 2019-08-19 2019-08-19 一种碳化硅晶体专用整形一体机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910762125.0A CN110405603A (zh) 2019-08-19 2019-08-19 一种碳化硅晶体专用整形一体机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110405603A true CN110405603A (zh) 2019-11-05

Family

ID=68367910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910762125.0A Pending CN110405603A (zh) 2019-08-19 2019-08-19 一种碳化硅晶体专用整形一体机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110405603A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114454024A (zh) * 2021-03-02 2022-05-10 华中科技大学 晶圆加工设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000084810A (ja) * 1998-09-16 2000-03-28 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウェーハ面取り装置及びそのウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構の精度調整方法
JP2001025945A (ja) * 1999-07-12 2001-01-30 Sumitomo Heavy Ind Ltd 定置タンデムテーブル形ロータリ研削盤
CN102328250A (zh) * 2011-09-30 2012-01-25 无锡上机数控股份有限公司 Led蓝宝石数控滚圆基面磨床
CN102689263A (zh) * 2012-06-15 2012-09-26 湘潭三峰数控机床有限公司 多拖板双主轴对称式磨削加工中心
CN102886716A (zh) * 2011-07-19 2013-01-23 上海汇盛无线电专用科技有限公司 蓝宝石晶棒端面磨床
CN202684671U (zh) * 2012-05-29 2013-01-23 秦建国 一种五轴数控滚磨机床
JP2013022720A (ja) * 2011-07-26 2013-02-04 Okamoto Machine Tool Works Ltd ワークの複合面取り加工装置およびそれをもちいる複合面取り加工方法
CN210588675U (zh) * 2019-08-19 2020-05-22 安吉圆磨机械科技有限公司 一种碳化硅晶体专用整形一体机

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000084810A (ja) * 1998-09-16 2000-03-28 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウェーハ面取り装置及びそのウェーハ面取り装置に備えられたウェーハ位置決め機構の精度調整方法
JP2001025945A (ja) * 1999-07-12 2001-01-30 Sumitomo Heavy Ind Ltd 定置タンデムテーブル形ロータリ研削盤
CN102886716A (zh) * 2011-07-19 2013-01-23 上海汇盛无线电专用科技有限公司 蓝宝石晶棒端面磨床
JP2013022720A (ja) * 2011-07-26 2013-02-04 Okamoto Machine Tool Works Ltd ワークの複合面取り加工装置およびそれをもちいる複合面取り加工方法
CN102328250A (zh) * 2011-09-30 2012-01-25 无锡上机数控股份有限公司 Led蓝宝石数控滚圆基面磨床
CN202684671U (zh) * 2012-05-29 2013-01-23 秦建国 一种五轴数控滚磨机床
CN102689263A (zh) * 2012-06-15 2012-09-26 湘潭三峰数控机床有限公司 多拖板双主轴对称式磨削加工中心
CN210588675U (zh) * 2019-08-19 2020-05-22 安吉圆磨机械科技有限公司 一种碳化硅晶体专用整形一体机

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114454024A (zh) * 2021-03-02 2022-05-10 华中科技大学 晶圆加工设备
CN114454024B (zh) * 2021-03-02 2023-04-25 华中科技大学 晶圆加工设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2432058A (en) Machine tool
US2289874A (en) Milling machine
US3533195A (en) Jig grinder head
CN110405603A (zh) 一种碳化硅晶体专用整形一体机
CN210588675U (zh) 一种碳化硅晶体专用整形一体机
CN204818240U (zh) 一种汽车制造管材切割机
CN215967820U (zh) 一种内外圆复合磨床
CN214925916U (zh) 一种保温型双层镀膜玻璃加工用裁切装置
US2146959A (en) Pipe cutter
US2494825A (en) Rotary cutting tool grinding machine
US4561415A (en) Apparatus for profiling an abrasive millstone
CN102886716A (zh) 蓝宝石晶棒端面磨床
CN203843671U (zh) 一种卧轴圆台平面磨床
CN114434016A (zh) 一种精雕机定位加工装置
CN210221123U (zh) 一种激光定向检测台
CN101982158B (zh) 用于假牙的种钉打孔机
CN204321754U (zh) 一种台式全自动锯片铣刀开槽机
CN114473652A (zh) 一种铣刀加工用磨头移动式卧轴圆台平面磨床
CN209598386U (zh) 移动式多角度火焰割圆装置
CN106514442B (zh) 一种用于二胡弦轴自动加工机的磨削机构
CN109746543A (zh) 移动式多角度火焰割圆装置
CN206154017U (zh) 一种用于二胡弦轴自动加工机的磨削机构
CN210820257U (zh) 高精度多功能切磨机
CN202528257U (zh) 水切割设备用可调式斜边切割控制机构
CN220680473U (zh) 磨床角度调节装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination