JP6427320B2 - ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、近年においては、ノッチを基準としてレーザでウエハ上にマークを形成して(以後、レーザマーキングあるいは単にマーキングと称する)、このマークをウエハの結晶方位を示す目印とし、その後ノッチを面取り加工の研削によって削り取る方法が開発されてきている。
これにより、ウエハのエッチング速度に異方性がある場合であっても、エッチング工程後に所望の半径を有する真円状のウエハを製造することができる。
これにより、ノッチの代わりにウエハの結晶方位を示すマークが形成されたノッチレスウエハを製造することができる。
これにより、ウエハ外周の研削後(面取り後)において、ウエハ外周から所定の距離だけ中心に寄った位置にマークが形成されたウエハを製造することができる。
これにより、エッチング工程後において、ウエハ外周から所定の距離だけ中心に寄った位置にマークが形成されたウエハを製造することができる。
これにより、ウエハのエッチング速度に異方性がある場合であっても、エッチング工程後に所望の半径を有する真円状のウエハを製造することができる。
(1)第1実施形態
本発明の第1実施形態に係るウエハ研削装置について図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るウエハ研削装置の構成を説明するための概略構成図である。
次に本発明の第2実施形態に係るウエハ研削装置について図面を参照して説明する。第2実施形態は、第1実施形態の構成を全て含んでいるので、第1実施形態と同じ構成については説明を省略する。
次に本発明に用いられる中心位置算出手段について説明する。中心位置算出手段は、ウエハの外周を測定するウエハ外周測定部と、ウエハ外周測定部によって測定されたウエハの外周に関するデータからウエハの中心位置を算出する演算部とを主に備えて構成される。
なお、ウエハの中心の求め方は、上記方法に限定するものでは無く、それ以外の通常使用される方法で求めても良い。
次に、本発明に係るウエハ研削装置の研削制御方法の一例について図面を参照して説明する。図12は、ウエハの結晶方位によるエッチング速度の違いに関する情報(研削条件情報)の一例である。図12に示すように、研削条件情報は、所定の基準位置を0度とし、そこから360度の範囲(ウエハ1周)でのエッチング後のウエハ半径の測定値で示されることができる。
Claims (2)
- ウエハのエッチング工程の前に行われるウエハ外周研削工程において用いられるウエハ研削装置であって、
前記ウエハを保持し回転させる保持回転手段と、
所定の結晶方位の位置に形成されている前記ウエハのノッチの位置を認識するノッチ認識手段と、
前記ノッチ認識手段によって認識された前記ノッチの位置に基づいて、前記ウエハ表面上の所定の結晶方位の位置にマークを形成するマーキング手段と、
前記ウエハの外周を研削する研削手段と、
前記研削手段を前記ウエハに対して相対的に移動させ、前記ウエハの外周端から前記ウエハの中心方向に前記研削手段を移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御する制御手段と、
前記ウエハの外周を測定することによって、前記ウエハの中心位置を算出する中心位置算出手段と、
を同一装置内に備え、
前記制御手段と、前記マーキング手段とは、前記中心位置算出手段が算出した前記ウエハの中心位置についてのデータに基づいて前記移動手段の制御及び前記マークの形成を行い、
前記制御手段は、あらかじめ設定された前記エッチング工程での前記ウエハの結晶方位によるエッチング速度の違いに関する情報に基づいて、前記ウエハの外周のうちエッチング速度の速い部分よりもエッチング速度の遅い部分をより多く研削することにより、前記エッチング工程後に前記ウエハが真円になるように前記研削手段を制御し、
前記マーキング手段は、前記中心位置算出手段により求められた前記ウエハの中心位置を基準として前記研削手段により研削された後の外周位置を予測し、この予測した外周位置から所定の距離だけ中心に寄った位置にマークを形成し、
その後、前記研削手段が、前記中心位置算出手段により求められた前記ウエハの中心位置を基準として前記ウエハの外周を研削することにより、前記ウエハの外周からの距離が所定の距離となるように前記マークが形成されることを特徴とするウエハ研削装置。 - ウエハのエッチング工程の前に行われるウエハ外周研削工程において用いられるウエハ研削装置であって、
前記ウエハを保持し回転させる保持回転手段と、
所定の結晶方位の位置に形成されている前記ウエハのノッチの位置を認識するノッチ認識手段と、
前記ノッチ認識手段によって認識された前記ノッチの位置に基づいて、前記ウエハ表面上の所定の結晶方位の位置にマークを形成するマーキング手段と、
前記ウエハの外周を研削する研削手段と、
前記研削手段を前記ウエハに対して相対的に移動させ、前記ウエハの外周端から前記ウエハの中心方向に前記研削手段を移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御する制御手段と、
前記ウエハの外周を測定することによって、前記ウエハの中心位置を算出する中心位置算出手段と、
を同一装置内に備え、
前記制御手段と、前記マーキング手段とは、前記中心位置算出手段が算出した前記ウエハの中心位置についてのデータに基づいて前記移動手段の制御及び前記マークの形成を行い、
前記制御手段は、あらかじめ設定された前記エッチング工程での前記ウエハの結晶方位によるエッチング速度の違いに関する情報に基づいて、前記ウエハの外周のうちエッチング速度の速い部分よりもエッチング速度の遅い部分をより多く研削することにより、前記エッチング工程後に前記ウエハが真円になるように前記研削手段を制御し、
前記マーキング手段は、前記中心位置算出手段により求められた前記ウエハの中心位置を基準として前記エッチング工程後の前記ウエハの外周位置を予測し、この予測した外周位置から所定の距離だけ中心に寄った位置にマークを形成し、
その後、前記研削手段が、前記中心位置算出手段により求められた前記ウエハの中心位置を基準として前記ウエハの外周を研削することにより、エッチング後の前記ウエハの外周からの距離が所定の距離となるように前記マークが形成されることを特徴とするウエハ研削装置。
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JP2014011978A JP6427320B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 |
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