JP3932730B2 - 搬送システム及び搬送システムの制御方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、進路が切換えられる走行経路を有する搬送システム及び搬送システムの制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、物品の搬送作業の無人化や作業効率化を図るべく、予め決められた走行経路（例えば走行レール）に沿って搬送車を移動させ、その搬送車によって物品を搬送する搬送システムが提案されている。この種の搬送システムの一例として、床面に設けたガイドレールに搬送車の操舵部を接触させながら搬送車を操舵させるガイドレール方式の搬送システムがある。
【０００３】
すなわち、搬送車は例えば走行方向に対して横方向に二つの走行輪を有し、該走行輪が床面上を転動する。また、前記二つの走行輪の間には、床面のガイドレールに案内される案内輪（ガイドレールローラ）が設けられ、案内輪が案内溝内を移動することで所定の走行経路に沿って搬送車が走行する。こうしたガイドレール方式の搬送システムによれば、磁気誘導方式や光誘導方式等、他の搬送システムに比べて高速で搬送車を走行させることが可能となる。
【０００４】
一方近年では、自動搬送システムの採用に際し、予め決められた直線走行経路、又は周回走行経路のみで搬送車を走行させるだけでなく、進路切り換えを任意に行って走行経路パターン（例えば分岐・合流システム）を多様化させることが思案されており、上記ガイドレール方式の搬送システムにおいても進路切り換えを任意に行うことのできる構成が要望されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の搬送システムでは、分岐・合流システムで搬送車を分岐・合流（つまり進路切り換え）させるための駆動機構が設けられている。つまり、搬送車は自身の駆動部により分岐・合流されることなく、分岐・合流システムに設けられた他の駆動機構により分岐・合流されるようになっていた。そのため、搬送車は分岐・合流システムに進入する前に一旦停止して進入許可が出てから進入する必要があった。これは、分岐・合流システムでの搬送車の渋滞が発生しやすくなり搬送システムの搬送能力が低下してしまうという問題点となった。
【０００６】
また、搬送車の駆動部とは別の分岐・合流システムの駆動機構があることから、その駆動機構の制御システムを含めて全体の搬送システムは複雑となり、コスト増大、トラブルの増加などの問題点となっていた。
【０００７】
さらに、ガイドレール方式の搬送システムにおいて、多数の軌道パターンを設定して各パターンに応じて搬送経路を切り換える場合、搬送車の走行輪がガイドレール上を横切ると搬送車がショックを受けてがたつく。搬送車ががたつくと、搬送される物品が荷崩れしたり、物品が落下したりするおそれが生ずる。特に、半導体製造用のクリーンルームで使用される搬送車の場合、精密な半導体部品を搬送するため、搬送車ががたつくと半導体製造時に不具合が生じるおそれがあった。
【０００８】
本発明は前記課題を解決するためになされたものであって、その第１の目的は、構成簡単、製造工数とコストの低減、実用性と汎用性及び搬送能力の向上を図ることができる搬送システムを提供することにある。
【０００９】
その第２の目的は、搬送車を振動なく滑らかに走行させることができ、搬送システムの信頼性の向上を図ることができる搬送システムを提供することにある。
その第３の目的は、搬送車の走行、進路切り換え及び停止を容易に制御することができる搬送システムの制御方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、搬送車を案内する案内溝を設けた床材ユニットを複数繋ぎ合わせて床の上に走行経路を形成し、その走行経路に沿って搬送車を走行させるようにした搬送システムにおいて、前記床材ユニットにはリニアモータの固定子を案内溝に沿って埋設し、前記搬送車にはリニアモータの可動子を取り付け、このリニアモータにより搬送車を駆動させることによって同搬送車を走行経路に沿って走行させるようにし、前記搬送車には床上に転動走行する走行輪を設けるとともに、前記走行輪は複数の走行輪を一組とし、該一組としての走行輪を前記搬送車の前後及び左右に設け、前記一組の走行輪のうち、隣接する走行輪は、該走行輪同士の中心間距離を、前記搬送車が前記案内溝を横切る際の交差距離よりも大きくなるように設けるとともに、一方の走行輪が案内溝を横切っているとき、他方の走行輪は床上を転動し、一方の走行輪が案内溝を横切って床上を転動すると、他方の走行輪が案内溝を横切るようなオフセット構造にて設けるようにしたことを要旨とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送システムにおいて、前記床材ユニットは、直線状の案内溝を設けた直進用床材ユニットと、枝状に分岐した案内溝を設けた進路切換用床材ユニットと、その進路切換用床材ユニットと他の進路切換用床材ユニットとを連結する直線状の案内溝を設けた連結用床材ユニットとからなり、直進用床材ユニットと進路切換用床材ユニット及び連結用床材ユニットとを繋ぎ合わせて搬送車の進路を切換える走行経路を形成するようにしたことを要旨とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の搬送システムにおいて、前記進路切換用床材ユニットに設けられた枝状に分岐した案内溝は、直進部と進路切換部とからなり、前記リニアモータの固定子をその直進部と進路切換部の両側に沿ってそれぞれ埋設するようにしたことを要旨とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１に記載の搬送システムにおいて、前記リニアモータの固定子の上表面を各床材ユニットの上表面から凸出しないように設けたことを要旨とする。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の搬送システムにおいて、前記進路切換用床材ユニットは、前記直進部に沿って埋設された固定子に対して直交する方向にさらに固定子を埋設したことを要旨とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項２乃至５のいずれか１に記載の搬送システムを制御する制御方法において、前記進路切換用床材ユニットに設けられた複数のリニアモータの固定子は一次側コイルであって、該コイルを選択的に通電させるように制御することを要旨とする。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の搬送システムの制御方法において、前記搬送車の走行前方に繋ぎ合わせた床材ユニットに設けられたリニアモータの固定子を通電させない又は同リニアモータの固定子を逆相通電させることによって搬送車を停止させるようにしたことを要旨とする。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項１又は２に記載の搬送システムにおいて、前記リニアモータの固定子は、同リニアモータの二次側であって、その二次側固定子には、貫通孔を設けたことを要旨とする。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、搬送車を案内する案内溝を設けた床材ユニットを複数繋ぎ合わせて床の上に走行経路を形成し、その走行経路に沿って搬送車を走行させるようにした搬送システムにおいて、前記床材ユニットにはリニアモータの固定子を案内溝に沿って埋設し、前記搬送車にはリニアモータの可動子を取り付け、このリニアモータにより搬送車を駆動させることによって同搬送車を走行経路に沿って走行させるようにし、前記リニアモータはリニア誘導モータであって、同リニアモータの二次側固定子は、該二次側固定子に設けられたスリットから構成されているラダー構造にて形成され、前記スリットは、前記二次側固定子を貫通するように形成されていることを要旨とする。
【００２１】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の搬送システムにおいて、前記繋ぎ合わせる床材ユニットの繋ぎ合わせ端面には、導電部を設けたことを要旨とする。
【００２２】
（作用）
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明によれば、各床材ユニットは、予めそれぞれ製造且つ組み合わせることができ、床材ユニットを複数繋ぎ合わせることによって搬送車がリニアモータにより駆動走行される走行経路を簡単に構成することができる。また、搬送車の走行経路（軌道パターン）が床材ユニットの繋ぎ合わせ様式を変えるだけで簡単に変更されることから、搬送システムの実用性と汎用性を向上することができる。また、搬送車は進路切換用床材ユニット上に案内溝を横切って走行するときにおいて、走行輪ががたつかないとともに案内溝内に落ち込まない。従って、搬送車を振動なく滑らかに走行させることができ、搬送システムの信頼性の向上を更に図ることができる。
【００２３】
請求項２に記載の発明によれば、直進用床材ユニットと進路切換用床材ユニット及び連結用床材ユニットは、予めそれぞれ製造且つ組み合わせることができ、直進用床材ユニットと進路切換用床材ユニット及び連結用床材ユニットとを繋ぎ合わせることによって進路が切換えられる走行経路を有する搬送システムは簡単に構成することができる。また、搬送車の走行経路（軌道パターン）が各床材ユニット間の繋ぎ合わせ様式を変えるだけで簡単に変更されることから、進路が切換えられる走行経路有する搬送システムの実用性と汎用性を向上することができる。
【００２４】
請求項３に記載の発明によれば、請求項２に記載の発明の作用に加え、直進部と進路切換部の両側に沿ってそれぞれ埋設されたリニアモータの固定子を所定制御方法にて通電させることによって、進路切換用床材ユニットに進入した搬送車をスムースに進路切り換え又は直進させることができる。その結果、進路切換部での渋滞が解消されることから、搬送システムの搬送能力の向上を図ることができる。
【００２５】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３に記載の発明の作用に加え、各床材ユニットに設けたリニアモータの固定子の上表面を各床材ユニットつまり床の上表面から凸出しないように設けたため、搬送車は床上に走行するとき特に進路切換用床材ユニット上に固定子を横切って走行するときにおいて、走行輪がリニアモータの固定子との接触によるガタツキがなくなる。従って、搬送システムの信頼性の向上を図ることができる。
【００２７】
請求項６に記載の発明によれば、進路切換用床材ユニットに設けられた複数のリニアモータの固定子は一次側コイルであって、該コイルを選択的に通電させるように制御することによって、進路切換用床材ユニットに進入した搬送車をスムース且つ簡単に進路切り換え又は直進させることができる。その結果、進路切換部での渋滞が解消されることから、搬送システムの搬送能力の向上を図ることができる。
【００２８】
請求項７に記載の発明によれば、請求項６に記載の発明の作用に加え、搬送車の走行前方に繋ぎ合わせた床材ユニットに設けられたリニアモータの固定子を通電させない又は同リニアモータの固定子を逆相通電させるだけで、搬送車を簡単に停止させることができる。従って、搬送車にブレーキ機構を設ける必要がなくなる。その結果、搬送システムの製造工数とコストの低減を図ることができる。
【００２９】
請求項８に記載の発明によれば、請求項１及び２に記載の発明の作用に加え、リニアモータの二次側固定子には、貫通孔を設けたため、二次側固定子での空気の流れがよくなり、特にクリーンルームの場合において、クリーンルームのダウンフローが直接に二次側固定子に当たって貫通孔を通過することができる。その結果、二次側固定子に対する冷却効果を向上することができる。
【００３０】
請求項９に記載の発明によれば、各床材ユニットは、予めそれぞれ製造且つ組み合わせることができ、床材ユニットを複数繋ぎ合わせることによって搬送車がリニアモータにより駆動走行される走行経路を簡単に構成することができる。また、搬送車の走行経路（軌道パターン）が床材ユニットの繋ぎ合わせ様式を変えるだけで簡単に変更されることから、搬送システムの実用性と汎用性を向上することができる。また、リニア誘導モータの二次側固定子は、ラダー構造にて形成されているため、二次側固定子に発生する渦電流成分が大きくなり、しかもラダーのバー部分に集中される。
【００３１】
その結果、二次側固定子に発生する渦電流が搬送車の推力に効率よく変換される。つまり、搬送車の推力を向上することができる。
また、請求項９に記載の発明によれば、ラダー構造は、二次側固定子に設けられたスリットから構成されているため、構造が簡単にできる。
【００３２】
さらに、請求項９に記載の発明によれば、スリットは、二次側固定子を貫通するように形成されているため、貫通孔としてのスリットには、空気、特にクリーンルームのダウンフローが直接に当たって通ることができる。その結果、二次側固定子に対する冷却効果を向上することができる。
【００３３】
請求項１０に記載の発明によれば、請求項９に記載の発明の作用に加え、繋ぎ合わせた床材ユニットは、導電部により電気的に導通されるため、二次側に発生する渦電流が繋ぎ合わせた床材ユニットをまたがって流れることができる。その結果、搬送車の走行方向における渦電流による搬送車の推力を連続的に発生することができ、搬送車の推力向上することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
（第１実施の形態）
以下、本発明を具体化した第１実施の形態を図１〜図６に従って説明する。本実施の形態では、半導体製造用のクリーンルームに敷設される床と、その床上を走行する搬送車とを備える搬送システムについて説明する。本搬送システムにおいて、クリーンルーム内の床は、床材ユニットとしての多数のグレーチングを繋ぎ合わせて形成され、そのグレーチングに個々に設けられた案内溝からなる走行経路に沿って搬送車が走行する。
【００３５】
図１は搬送システムＳの概要を示す平面図である。図１において床１０には、案内溝１１により連続的に形成された走行経路としての軌道Ｒ１が設けられている。その軌道Ｒ１の両側は、後述する搬送車１２の走行輪１３が転動するための軌道Ｒ２となっている。搬送車１２は、軌道Ｒ１，Ｒ２沿いに設置された各種設備（図示せず）間を移動して例えば半導体ウェハ等の物品を搬送する。
【００３６】
詳述すると、床１０は、床ユニットと非走行用床ユニットとからなる。床ユニットは搬送車１２が直進走行するための軌道Ｒ１を形成する直線状の案内溝１１を設けた直進用床ユニットとしてのグレーチング（以下、直進用グレーチングという）１４と、軌道Ｒ１を切り換えるための枝状に分岐した案内溝１１を設けた進路切換用床ユニットとしてのグレーチング（以下、進路切換用グレーチング）１５と、進路切換用グレーチング１５と進路切換用グレーチング１５とを連結する直線状の案内溝１１を設けた連結用床ユニットとしてのグレーチング（以下、連結用グレーチングという）１６とから構成されている。非走行用床ユニットは軌道Ｒ１を持たないつまり案内溝１１を設けていないグレーチング１７である。
【００３７】
各グレーチング１４〜１７は、図１に示すように、それぞれ四方の正四角形状をなし、本実施形態では、例えば６００ｍｍの辺長を有する正四角形状にて形成されている。図２及び図３に示すように、各グレーチング１４〜１７の四隅には支柱１８が立設されており、これによりグレーチング１４〜１７がクリーンルームのコンクリート床面Ｔに対して所定高さ（本実施の形態では、６００ｍｍ程度）に敷き詰められる。
【００３８】
前記直進用グレーチング１４は、図２及び図３に示すように、所定断面形状の床板１９を備えている。その床板１９の中央位置には、図３に示すように、ガイド凹部２０が設けられているとともに、該ガイド凹部２０を中心として対称的に収容凹部２１，２２が設けられている。そして、ガイド凹部２０には、前記案内溝１１を構成する縦断面Ｕ字形の溝材２３が嵌設されている。また、収容凹部２１，２２には、それぞれリニアモータＭを構成する固定子２４，２５が固設されている。その固定子２４，２５は床板１９の下に配設する電気回路（スイッチなどを含む）を介して電源装置に接続されている（図示せず）。
【００３９】
前記進路切換用グレーチング１５を構成する床板２６には、図５及び図６に示すように、前記案内溝１１を構成する縦断面Ｕ字形の溝材２７が嵌設されている。溝材２７は、直進部２８と、その直進部２８の長手方向中間位置の側面より直進部２８の長手方向と角度αをなして斜めに延出形成する進路切換部２９とから構成されている。本実施形態では、進路切換部２９が直進部２８の長手方向中間位置の側面より床板２６の１つの角へ向けて（つまりα＝４５°）延出形成されている。また、溝材２７はその直進部２８が床板２６の中央に位置するように床板２６に嵌設されるようになっている。
【００４０】
また、前記床板２６には、図１，図５及び図６に示すように、その直進部２８の両側の所定位置にそれぞれリニアモータＭの固定子３０，３１とリニアモータＭの固定子３２，３３が固設されている。その中、固定子３３は、固定子３１と固定子３２との間に固定子３１，３２と直交する方向に固設されている。
【００４１】
さらに、前記床板２６には、その進路切換部２９の両側に分岐方向に沿ってそれぞれリニアモータＭの固定子３４，３５が固設されている。その固定子３０〜３５は床板２６の下に配設する電気回路を介して電源装置に接続されている（図示せず）。
【００４２】
前記連結用グレーチング１６を構成する床板３６には、図１に示すように、前記案内溝１１を構成する縦断面Ｕ字形の溝材３７が床板３６の対角線方向に沿って嵌設されている。その溝材３７の両側には、リニアモータＭの固定子３８〜４１が固設されている。その固定子３８〜４１は床板３６の下に配設する電気回路を介して電源装置に接続されている（図示せず）。
【００４３】
また、上記床板１９，２６，３６は、アルミ材で作られ、高強度と軽量化を図るために薄肉リブからなる箱状に形成されている。上記溝材２３，２７，３７と固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１との上表面がそれぞれ床板１９，２６，３６の上表面つまり床１０の上表面と同一レベルとなるようにしている（図２及び図３に参照）。
【００４４】
そして、各グレーチング１４〜１７を図１に示すように繋ぎ合わせると、各溝材２３，２７，３７が連結され案内溝１１つまり軌道Ｒ１を形成する。
前記搬送車１２は、図２及び図３に示すように、荷台４２と、その荷台４２の下部に設けられた８つの走行輪１３及び荷台４２の底面に設けられた２枚の前記各リニアモータＭを構成する可動子としてのリアクションプレート４３，４４と、その２枚のリアクションプレート４３，４４の間に配置されている操舵機構としての２つの案内輪４５，４６とを備えている。
【００４５】
８つの走行輪１３は、図１〜図３に示すように、隣接する２つの走行輪１３を１組にし前後及び左右にそれぞれ設けられている。各組の走行輪１３は、それぞれ荷台４２の下部の各隅部近傍に旋回自在に軸支されている。各組の２つの走行輪１３は、その中心軸間距離ｘが図５及び図６に示すように、ｘ＞ｚ（＝ｙ／ｓｉｎα）となるように設定されている。ここで、ｚは、搬送車１２が前記進路切換部２９を横切って直進走行又は前記直進部２８を横切って進路切換走行するとき、その横切る際の交差距離であり、ｙは案内溝１１を構成する溝材２３，２７，３７の内壁幅である。本実施形態では、ｘ＞ｚ（＝ｙ／ｓｉｎα＝ｙ√２）となっている。
【００４６】
また、走行輪１３の半径ｒは、図２及び図３に示すように、搬送車１２が床１０の上に位置されるときにおいて、リアクションプレート４３，４４の下表面と床１０の上表面つまり固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１の上表面との距離（即ち可動子と固定子間のギャップ）が所定距離ｔとなるように設定されている。
【００４７】
前記リアクションプレート４３，４４は、金属板からなるものであって、本実施形態では、鉄板の一表面にアルミ板を貼った複合金属板にて形成されている。また、そのアルミ板は、リアクションプレート４３，４４が搬送車１２の荷台４２の底面に設けられた時において、床１０と対向するようになっている。
【００４８】
前記案内輪４５，４６は、それぞれ前記荷台４２の底部中央前後に設けられた支持軸４７，４８の先端部に水平回転可能に取り付けられ、その外径Ｄが前記溝材２３，２７，３７の内壁幅ｙより若干小さくなるように設定されている。また、説明の便宜上、搬送車１２の走行方向における前側を搬送車１２の先端部とし、搬送車１２の走行方向における後側を搬送車１２の後端部とするとともに、その先端部にある案内輪を案内輪４５とし、その後端部にある案内輪を案内輪４６とする。
【００４９】
そして、その支持軸４７，４８を案内溝１１に嵌挿するように搬送車１２は床１０の上に走行するとき、その案内輪４５，４６は、搬送車１２の操舵機構として溝材２３，２７，３７の内壁に沿って回転されるようになっている。言い換えれば、案内輪４５，４６が溝材２３，２７，３７（つまり案内溝１１）の内壁に沿って回転されることによって搬送車１２の走行経路が決められる。つまり搬送車１２は操舵されるようになっている。
【００５０】
このとき、固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１に通電すると、固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１の上方に位置するリアクションプレート４３，４４には、誘導渦電流が発生し所定方向の推力Ｆが発生する。搬送車１２は、その推力Ｆに作用され推力Ｆの方向を向けて走行経路に沿って走行する。なお、固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１に逆相通電すると、固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１の上方に位置するリアクションプレート４３，４４には、逆方向の誘導渦電流が発生し前記所定方向の推力Ｆと逆方向の推力Ｆが発生する。搬送車１２は、その逆方向の推力Ｆに作用され前記推力Ｆの方向と反対方向を向けて走行経路に沿って走行する。
【００５１】
これらの場合、軌道Ｒ１を形成する案内溝１１内を案内輪４５，４６が移動し、グレーチング１４〜１６の軌道Ｒ２上を走行輪１３が転動する。すなわち、走行輪１３の走行経路は軌道Ｒ２である。なお本実施形態では、案内輪４５，４６を案内するための軌道Ｒ１を「案内軌道」と称し、走行輪１３の軌跡を示す左右２本の軌道Ｒ２を「走行軌道」と称する。
【００５２】
また、搬送システムＳと搬送車１２は、図４に示す制御系により制御されている。図４に示すように、搬送車１２を制御する地上制御装置５０は、地上コントローラー５１、キーボード５２、ディスプレイ５３及び通信機５４等を備えている。地上制御装置５０は、通信機５４及び搬送車１２に設けられた車載コントローラー側通信機５５を介して車載コントローラー５６と通信可能になっている。
【００５３】
地上コントローラー５１はＣＰＵ（中央処理演算装置）等からなり、メモリを備えている。地上コントローラー５１はキーボード５２及びディスプレイ５３と接続されている。また、地上コントローラー５１は前記固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１と電源装置５７とを連結する電気回路５８の各スイッチと接続されている。地上コントローラー５１は、例えば搬送車１２に荷搬送作業等を行わせるための作業データに基づいて各スイッチの開閉を制御するようになっている。つまり、地上コントローラー５１は、固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１のいずれかの固定子に電力を通電方向選択可能に供給制御するようになっている。
【００５４】
搬送車１２に設けられた車載コントローラー５６はＣＰＵ等からなり、メモリを備えている。車載コントローラー５６は、搬送車１２の所定箇所に設けられたエンコーダ５９、光電センサ６０及び磁気センサ６１などの検出手段と接続されている。これらの検出手段より検出した搬送車１２の走行位置、走行速度及び他の搬送車１２との相対位置などのデータを車載コントローラー５６は車載コントローラー側通信機５５を介して地上コントローラー５１に送信するようになっている。地上コントローラー５１は搬送車１２に荷搬送作業等を行わせるための作業データ及び車載コントローラー５６からの走行データに基づいて搬送車１２の走行、分岐・合流及び停止等を制御する。
【００５５】
詳述すると、地上コントローラー５１は、車載コントローラー５６からの搬送車１２の走行位置というデータにより例えば搬送車１２の所在位置の直進用グレーチング１４に固設した固定子２４，２５に通電させるように制御する。そして、搬送車１２は、図１に示すように、リアクションプレート４３，４４を介して推力Ｆ１，Ｆ２の作用を受けて合成推力Ｆ０（＝Ｆ１＋Ｆ２）の方向に沿って１つの直進用グレーチング１４から次の直進用グレーチング１４（又は進路切換用グレーチング１５）へと走行する。例えば次の直進用グレーチング１４のところに来ると、車載コントローラー５６は走行位置を再び地上コントローラー５１へ送信し、地上コントローラー５１は、その直進用グレーチング１４に固設した固定子２４，２５に通電させるように制御する。このように繰り返すことによって搬送車１２は連続的に走行する。
【００５６】
また、地上コントローラー５１は、例えば搬送車１２が直進用グレーチング１４から進路切換用グレーチング１５に進入するというデータが受信されるとき、荷搬送作業等を行わせるための作業データに基づいて搬送車１２を直進走行させるべくか又は分岐走行させるべくかについて判断してから進路切換用グレーチング１５に固設した各固定子３０〜３５を制御する。
【００５７】
このとき、地上コントローラー５１は、例えば、搬送車１２を直進走行させるべくと判断した場合、固定子３０に続いて固定子３１に通電させるように制御する。すると、搬送車１２は、図５に示すように、進路切換用グレーチング１５に進入したところにおいて片側（図５において上側）の固定子３０による推力及び各走行輪１３と床１０との間の摩擦力の作用を受けて全体的に直進方向（案内溝１１つまり溝材２７の直進部２８の長手方向）に対して分岐方向（溝材２７の進路切換部２９の長手方向）とほぼ対向する方向（図５において右下へ向く方向）の合成推力（ラジアル推力に相当）を得る。そして、搬送車１２は、その案内輪４５，４６が進路切換部２９内に進入されず合成推力の方向へ寄るように直進部２８の長手方向に沿って直進走行する。搬送車１２の先端部にある案内輪４５が分岐点を超えると、搬送車１２の先端部が固定子３１による推力を得て搬送車１２は続けて直進走行する。
【００５８】
また、地上コントローラー５１は、例えば、搬送車１２を分岐走行させるべくと判断した場合、固定子３２，３３に続いて固定子３４，３５に通電させるように制御する。すると、搬送車１２は、図５に示すように、進路切換用グレーチング１５に進入したところにおいて片側（図５において下側）の固定子３２による推力、固定子３３による推力及び各走行輪１３と床１０との間の摩擦力の作用を受けて全体的に分岐方向（溝材２７の進路切換部２９の長手方向）の合成推力（ラジアル推力に相当）を得る。そして、搬送車１２は、その案内輪４５，４６が進路切換部２９内に進入し合成推力の方向へ寄るように進路切換部２９の長手方向に沿って分岐走行する。搬送車１２の先端部にある案内輪４５が分岐点を超えると、搬送車１２の先端部が固定子３４，３５による合成推力を得て搬送車１２は続けて分岐走行する。
【００５９】
一方、地上コントローラー５１は、例えば搬送車１２が連結用グレーチング１６から進路切換用グレーチング１５に進入するというデータが受信される場合、固定子３４，３５に続いて固定子３２，３３に通電させるように制御する。すると、搬送車１２は、図６に示すように、分岐点に入るとき片側（図６において上側）の固定子３３による推力、固定子３２による推力及び各走行輪１３と床１０との間の摩擦力の作用を受けて、全体的に分岐方向（溝材２７の進路切換部２９の長手方向）とほぼ直交する方向（図６において右下へ向く方向）の合成推力（ラジアル推力に相当）を得る。そして、搬送車１２は、その案内輪４５，４６が進路切換部２９から直進部２８に進入するとき、直進部２８の進路切換部２９側に押されながら合成推力の方向へ寄るように直進部２８の長手方向に沿って合流走行する。搬送車１２の後端部にある案内輪４６が分岐点を超えると、搬送車１２の先端部が隣接する直進用グレーチング１４の固定子２４，２５による合成推力を得て搬送車１２は直進走行に移る。
【００６０】
さらに、車載コントローラー５６又は地上コントローラー５１により例えば搬送車１２が停止（異常時の非常停止も含む）すべきと判断されたとき、地上コントローラー５１は、搬送車１２の走行前方のグレーチングにある固定子に通電しないように制御して、搬送車１２は走行している方向と相反方向の摩擦力だけに作用され慣性走行の後停止する。また、緊急時又は搬送車１２を所定位置に停止させたい場合において、地上コントローラー５１は、搬送車１２の走行前方のグレーチングにある固定子に逆相通電するように制御して、搬送車１２は走行している方向と相反方向の推力に作用されブレーキかけられるよう直ちに停止する。
【００６１】
次に、本実施形態の搬送システムＳ及び搬送システムＳの制御方法の特徴について説明する。
（１）本実施形態では、床１０は、直進用グレーチング１４と、進路切換用グレーチング１５と、連結用グレーチング１６とから構成されている床ユニットと、案内溝１１を設けていないグレーチング１７とを繋ぎ合わせるように形成されている。
【００６２】
つまり、直進用グレーチング１４と、進路切換用グレーチング１５と、連結用グレーチング１６及びグレーチング１７とを繋ぎ合わせることによって搬送車１２がリニアモータＭにより駆動走行される搬送車１２の走行経路特に搬送車１２の進路を切換える走行経路を簡単に構成することができるとともに、搬送車１２の走行経路（軌道Ｒ１のパターン）をグレーチング１４〜１６の繋ぎ合わせ様式を変えるだけで簡単に変更することができる。その結果、搬送システムＳの実用性と汎用性を向上することができる。
【００６３】
（２）本実施形態では、進路切換用グレーチング１５に設けられた溝材２７は、直進部２８と進路切換部２９とからなり、その直進部２８と進路切換部２９の両側に沿ってそれぞれリニアモータＭの固定子３０〜３５が埋設されている。
【００６４】
従って、直進部２８と進路切換部２９の両側に沿ってそれぞれ埋設されたリニアモータＭの固定子３０〜３５を所定制御方法にて通電させることによって、進路切換用グレーチング１５に進入した搬送車１２をスムースに進路切り換え又は直進させることができる。その結果、進路切換部での渋滞が解消されることから、搬送システムＳの搬送能力の向上を図ることができる。
【００６５】
（３）本実施形態では、溝材２３，２７，３７と固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１を、その上表面が床板１９，２６，３６の上表面つまり床１０の上表面より凸出しないようにそれぞれ床板１９，２６，３６に設けている。
【００６６】
従って、搬送車１２は床１０上に走行するとき特に進路切換用グレーチング１５上に固定子３１，３５と溝材２７とを横切って走行するときにおいて、走行輪１３が固定子３１，３５及び溝材２７との接触によるガタツキがなくなる。従って、搬送システムＳの信頼性の向上を図ることができる。
【００６７】
（４）本実施形態では、搬送車１２に設けた各組の２つの走行輪１３は、その中心軸間距離ｘがｘ＞ｚ（＝ｙ／ｓｉｎα）となるように設定されている。つまり、一方の走行輪１３が案内溝１１を横切っている時、他方の走行輪１３は床１０上を転動し、一方の走行輪１３が案内溝１１を横切って床１０上を転動すると、他方の走行輪１３が案内溝１１を横切ることになる。
【００６８】
従って、搬送車１２は床１０の進路切換用グレーチング１５上に溝材２７（つまり案内溝１１）を横切って走行するときにおいて、走行輪１３ががたつかないとともに溝材２７（つまり案内溝１１）内に落ち込まない。その結果、搬送車１２は振動なく滑らかに走行することができ、搬送システムＳの信頼性の向上を更に図ることができる。
【００６９】
（５）本実施形態では、グレーチング１４〜１６とグレーチング１７は、それぞれ、例えば６００ｍｍ四方の正四角形状をなす。また、床板１９，２６，３６は、アルミ材で作られ、高強度と軽量化を図るために薄肉リブからなる箱状に形成されている。
【００７０】
従って、各グレーチング１４〜１７の床板１９，２６，３６は、統一された規格にて同時に製造することができることから、各グレーチング１４〜１７つまり搬送システムＳの製造工数とコストの低減を図ることができる。
【００７１】
（６）本実施形態では、地上コントローラー５１は、搬送車１２が直進用グレーチング１４から進路切換用グレーチング１５に進入するというデータを受信したとき、荷搬送作業等を行わせるための作業データに基づいて搬送車１２を直進走行させるべくか又は分岐走行させるべくかについて判断してから進路切換用グレーチング１５に固設した各固定子３０〜３５を制御することによって搬送車１２を直進走行又は分岐走行させる。また、地上コントローラー５１は、例えば搬送車１２が連結用グレーチング１６から進路切換用グレーチング１５に進入するというデータを受信した場合、固定子３４，３５続いて固定子３２，３３に通電させるように制御することによって搬送車１２を合流走行させる。
【００７２】
従って、進路切換用グレーチング１５に設けられた複数のリニアモータＭの固定子３０〜３５を選択的に通電させるように制御するだけで、進路切換用グレーチング１５に進入した搬送車１２をスムース且つ簡単に進路切り換え又は直進させることができる。
【００７３】
その結果、搬送システムＳの進路切換部での渋滞が解消されることから、搬送システムＳの搬送能力の向上を図ることができる。
（７）本実施形態では、地上コントローラー５１は、搬送車１２の走行前方に繋ぎ合わせた床材ユニットに設けられたリニアモータＭの固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１のどちらかに通電させない又は搬送車１２に走行方向と相反方向の推力Ｆを作用させるよう固定子２４，２５，３０〜３５，３８〜４１のどちらかに逆相通電させることによって搬送車１２を停止させるようにした。
【００７４】
従って、搬送車１２を簡単に停止させることができる。その結果、搬送車１２にブレーキ機構を設ける必要がなくなることから、搬送システムＳの製造工数とコストの低減を図ることができる。
【００７５】
（第２実施の形態）
以下、本発明を具体化した第２実施の形態を図７〜図１０に従って説明する。尚、第１実施形態では、床側の床材ユニットにリニアモータＭを構成する固定子としてのコイル（つまり一次側）を埋設し、搬送車にリニアモータＭを構成する可動子としてのリアクションプレート（つまり二次側又は二次導体）を取り付けた。これに対して、本実施の形態は、リニアモータとしてのリニア誘導モータＭ１の一次側を可動子として搬送車に設けて、該リニア誘導モータＭ１の二次側（二次導体）を固定子として床材ユニットに形成した点と、床材ユニットに搬送車の走行輪が転動走行する案内溝としての軌道レールを形成する点が第１実施形態と相違する。説明の便宜上、この相違点について詳しく説明し、同じ部分の説明を簡略化する。
【００７６】
本実施形態の床７０には、図７に示すように、連続的に走行経路を構成した案内溝としての２本の軌道レール７１が互いに平行に設けられている。その２本の軌道レール７１には、搬送車７２の走行輪７３が転動するようになっている。
【００７７】
詳述すると、床７０は、床ユニットと非走行用床ユニットとからなる。床ユニットは搬送車７２が直進走行するための直線状の軌道レール７１を設けた直進用床ユニットとしての直進用グレーチング７４と、進路を切り換えるための枝状に分岐した軌道レール７１を設けた進路切換用床ユニットとしての進路切換用グレーチング７５，７６と、進路切換用グレーチング７５，７６と進路切換用グレーチング７５，７６とを連結する直線状の軌道レール７１を設けた連結用床ユニットとしての連結用グレーチング７７，７８とから構成されている。非走行用床ユニットは軌道レール７１を設けていないグレーチング７９である。
【００７８】
各グレーチング７４〜７９は、図７に示すように、それぞれ四方の正四角形状をなし、本実施形態では、例えば６００ｍｍの辺長を有する正四角形状にて形成されている。図９及び図１０に示すように、各グレーチング７４〜７９の四隅には支柱８０が立設されており、これによりグレーチング７４〜７９がクリーンルームのコンクリート床面Ｔに対して所定高さ（本実施の形態では、６００ｍｍ程度）に敷き詰められる。
【００７９】
走行用グレーチング７４〜７６は、図７〜図９に示すように、それぞれ所定断面形状に形成されており、その上面には、軌道レール７１を構成する２つのガイド凹部８１が平行に設けられている。その２つのガイド凹部８１間の部分をリニア誘導モータＭ１の二次側固定子を構成する二次導体８２としている。二次導体８２は、金属板からなるものであって、本実施形態では、図示しないが、鉄材料からなる基板の上にアルミ材の薄板を貼った複合金属板にて形成されている。二次導体８２には、グレーチング７４を貫通する複数のスリット８３が設けられている。各スリット８３は、その長手方向が前記ガイド凹部８１と直交するようになっている。グレーチング７４〜７６の前記ガイド凹部８１と直交する両端面８４には、導電部としての銅メッキを施している。
【００８０】
その中、進路切換用グレーチング７５，７６には、連結用グレーチング７７，７８の軌道レール７１と連結する軌道レール７１となるガイド凹部８５をガイド凹部８１と斜めに交差するように形成されている。
【００８１】
連結用グレーチング７７には、床材の対角方向に２本の軌道レール７１となるガイド凹部８６を設けている。その２つのガイド凹部８６間の部分をリニア誘導モータＭ１の二次側固定子を構成する二次導体８７としている。二次導体８７は、金属板からなるものであって、前記二次導体８２と同じである。二次導体８７には、グレーチング７４を貫通する複数のスリット８８が設けられている。各スリット８８は、その長手方向が前記ガイド凹部８６と直交する。
【００８２】
また、連結用グレーチング７８には、軌道レール７１を構成するガイド凹部８９のみ設けられている。
そして、各グレーチング７４〜７８を図７に示すように繋ぎ合わせると、搬送システムＳの床７０は形成される。
【００８３】
搬送車７２は、図９及び図１０に示すように、荷台９０と、その荷台９０の下部に設けられた４つの走行輪７３及び荷台９０の底面に設けられたリニア誘導モータＭ１の一次側可動子としてのステータ９１とを備えている。
【００８４】
４つの走行輪７３のうち、２つの前輪７３が操舵可能な操舵輪の構造にしている。
また、一次側可動子９１は、図示しないが、そのコイルが搬送車７２に載置された電源装置としてのバッテリと接続されている。
【００８５】
このように構成したリニア誘導モータＭ１は、図示しない地上制御装置及び車載コントローラーにより制御されるようになっている。
そして、搬送車７２は、第１実施形態とほぼ同じように走行制御されている。但し、搬送車７２は、車載コントローラー及び操舵装置（図示せず）にて前輪７３を操舵制御することによって進路変更を行うようになっている。
【００８６】
次に、本実施形態の搬送システムＳの特徴について説明する。
（１）本実施形態では、直進用グレーチング７４と、進路切換用グレーチング７５，７６と、連結用グレーチング７７，７８及びグレーチング７９とを繋ぎ合わせることによって、搬送車７２がリニア誘導モータＭ１により駆動走行される搬送車７２の走行経路特に搬送車７２の進路を切換える走行経路を簡単に構成することができる。しかも、搬送車７２の走行経路（軌道レール７１のパターン）をグレーチング７４〜７８の繋ぎ合わせ様式を変えるだけで簡単に変更することができる。その結果、搬送システムＳの実用性と汎用性を向上することができる。
【００８７】
（２）本実施形態では、走行用グレーチング７４〜７７の二次導体８２，８７を構成する部分には、スリット８３，８８を設けている。つまり、二次導体８２，８７はラダー構造に形成されている。
【００８８】
従って、走行用グレーチング７４〜７７の二次導体８２，８７上に生じた渦電流としての二次電流がそれらのスリット８３，８８の回りに流れるように生じ、推力となる渦電流成分が大きくなり、しかもラダーのバー部分に集中される。
【００８９】
その結果、二次導体８２，８７に発生する渦電流が搬送車７２の推力に効率よく変換される。つまり、搬送車７２の推力を向上することができる。
（３）本実施形態では、各スリット８３，８８は、グレーチング７４〜７７を貫通するように設けられている。
【００９０】
従って、貫通孔としての各スリット８３，８８には、クリーンルームのダウンフローを通すことができる。つまり、二次導体８２，８７はクリーンルームのダウンフローが直接に当たる。
【００９１】
その結果、二次導体８２，８７は常に冷却され、二次電流の生成による二次導体８２，８７の過熱を防止することができる。また、走行経路であってもダウンフローの気流を乱すことがないので、クリーン度への影響を少なくすることができる。
【００９２】
（４）本実施形態では、軌道レール７１と直交するグレーチング７４〜７６の両端面８４には、銅メッキを施している。つまり、繋ぎ合わせたグレーチング７４〜７６間には接触抵抗が低減され電気的に導通されている。
【００９３】
従って、搬送車７２が通過するときにおいてグレーチング７４〜７６の二次導体８２上に生じた二次電流がグレーチング同士間をまたがって流れることができる。
【００９４】
その結果、グレーチング同士間が電気的に導通されていない、つまり、そのような二次電流がグレーチング同士間をまたがって流れないリニア誘導モータＭ１の二次側に比べて、二次電流による搬送車７２の推力を連続的に発生することができ、搬送車７２の推力向上することができる。
【００９５】
尚、本実施形態でいうラダー構造とは、二次側固定子を構成する二次導体に、一次側可動子の進行方向に対して直交する方向に延びるように二次側固定子の幅方向の両端部を残して所定ピッチで形成されたスリットや、二次側固定子を非磁性体製金属と磁性体製金属の複合構造とし、二次側固定子の表面に磁性体製金属が二次側固定子の幅方向の両端部と所定間隔をおいて一次側可動子の進行方向に対して直交する方向に延びるように所定ピッチで露出するように形成された構造を意味する。
【００９６】
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
○第１実施形態では、床板２６には、その直進部２８の両側の所定位置にそれぞれリニアモータＭの固定子３０，３１とリニアモータＭの固定子３２，３３が固設されている。そして、その中の固定子３３は、固定子３１と固定子３２との間に固定子３１，３２と直交する方向に固設されている。これを、固定子３３を省略してもよい。この場合、地上コントローラー５１は、例えば、搬送車１２を分岐走行させるべくと判断した場合、固定子３２続いて固定子３４，３５に通電させるように制御する。すると、搬送車１２は、図５に示すように、進路切換用グレーチング１５に進入したところにおいて片側（図５において下側）の固定子３２による推力及び各走行輪１３と床１０との間の摩擦力の作用を受けて全体的に分岐方向（溝材２７の進路切換部２９の長手方向）の合成推力（ラジアル推力に相当）により作用される。そして、搬送車１２は、同様にその案内輪４５，４６が進路切換部２９内に押入され合成推力の方向へ寄るように進路切換部２９の長手方向に沿って分岐走行する。合流走行もほぼ同様に簡単にできる。その結果、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果とほぼ同様な効果を得ることができる。
【００９７】
○第１実施形態では、進路切換部２９が直進部２８の長手方向中間位置の側面より床板２６の１つの角へ向けて（つまりα＝４５°）延出形成されているようにしたが、直進部２８と進路切換部２９とのなす角度αが４５°に限定されず、角度αを例えば１０°から８０°までの間に設定して実施してもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果とほぼ同様な効果を得ることができる。
【００９８】
○第１及び第２実施形態では、各グレーチング１４〜１７及び各グレーチング７４〜７９はそれぞれ６００ｍｍ四方の正四角形状をなすように形成したが、各グレーチング１４〜１７及び各グレーチング７４〜７９を、それぞれ５００ｍｍ以下又は７００ｍｍ以上の正四角形状をなすように形成してもよい。又は各グレーチング１４〜１７の床板１９，２６，３６及び各グレーチング７４〜７９は正四角形状に限定されず、それぞれ長方形、三角形，台形，菱形及び多角形をなすように形成してもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）及び第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【００９９】
○さらに、各グレーチング１４〜１７及び各グレーチング７４〜７９をそれぞれ異なる形状にて形成するように実施してもよい。この場合、第１実施形態の（５）以外及び第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１００】
○第１実施形態では、両進路切換用グレーチング１５間には一枚の連結用グレーチング１６を繋ぎ合わせたが、両進路切換用グレーチング１５間には工場内の搬送作業の要求又はレイアウトに従って２枚以上の連結用グレーチング１６を繋ぎ合わせて実施してもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果に加えて、走行エリアの幅を容易に調整することができることから、搬送システムＳの実用性及び汎用性を更に向上することができる。
【０１０１】
○第１実施形態では、リアクションプレート４３，４４は、鉄板の一表面にアルミ板を貼った複合金属板にて形成されるようになっている。リアクションプレート４３，４４を鉄板の一表面に銅板を貼った複合金属板にて形成するように実施してもよい。また、リアクションプレート４３，４４を単一の金属板例えば鉄板、アルミ板又は銅板などにて形成するように実施してもよい。これらの場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。また、第２実施形態では、二次導体８２，８７は、鉄材料からなる基板の上にアルミ材の薄板を貼った複合金属板にて形成されて実施したが、二次導体８２，８７は鉄材料からなる基板の上に銅材の薄板を貼った複合金属板にて形成されて実施してもよい。また、二次導体８２，８７を単一の金属板例えば鉄板、アルミ板又は銅板などにて形成するように実施してもよい。これらの場合、第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０２】
○第１実施形態では、搬送車１２の荷台４２の底部中央前後にはそれぞれ２つの案内輪４５，４６を設けている。搬送車１２の荷台４２の底部には、案内輪を１つ又は３つ以上に設けてもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０３】
○第１実施形態では、床板１９，２６，３６は、アルミ材で作られ、高強度と軽量化を図るために薄肉リブからなる箱状に形成されている。床板１９，２６，３６をアルミ材以外の金属材料例えば鉄板或いはステンレス、又は所定強度を有する非金属材料例えば樹脂或いは繊維複合材料などにて作ってもよい。また、床板１９，２６，３６を、薄肉リブからなる箱状に限定せず、例えば厚肉のブロック状に形成してもよい。これらの場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０４】
○第１実施形態では、案内溝１１は床板１９，２６，３６に設けた縦断面Ｕ字状の溝材２３，２７，３７より構成されているが、溝材２３，２７，３７を省略して、案内溝１１は床板１９，２６，３６に縦断面Ｕ字状の凹部を設けることによって構成されて実施してもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）の特徴に記載された効果に加えて、搬送システムＳを更に簡単に構成することができるとともに、搬送システムＳの製造工数とコストの低減を図ることができる。
【０１０５】
○第１及び第２実施形態では、床１０，７０は、床ユニットと非走行用床ユニットとからなるように実施したが、床１０，７０は、床ユニットだけを複数繋ぎ合わせるように形成されて実施してもよい。この場合、第１実施形態の（１）〜（７）及び第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０６】
○第１実施形態では、車載コントローラー５６又は地上コントローラー５１により例えば搬送車１２が停止（異常時の非常停止も含む）すべきと判断されたとき、地上コントローラー５１は、搬送車１２の走行前方のグレーチングにある固定子に通電しない又は逆相通電するように制御して、搬送車１２を停止させるようにした。これを、搬送車１２にブレーキ装置を搭載させ、地上コントローラー５１又は車載コントローラー５６は、ブレーキ装置の作動を制御して搬送車１２を停止させるようにしてもよい。
【０１０７】
○第２実施形態では、走行用グレーチング７４〜７７の二次導体を構成する部分８２，８７には、スリット８３，８８を設けて実施したが、スリット８３，８８を省略して実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）及び（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０８】
○また、第２実施形態では、各スリット８３，８８は、グレーチング７４〜７７を貫通するように設けられて実施したが、各スリット８３，８８を、グレーチング７４〜７７を貫通しないように設けて実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）、（２）及び（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１０９】
○さらに、二次導体８２，８７部分のラダー構造は、図１１に示すように形成されて実施してもよい。図１１に示すように、スチールからなる鉄心スロット９３に銅又はアルミ材９４を埋め込んだ構造をしている。この場合、第２実施形態の（１）、（２）及び（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１１０】
○各グレーチング７４〜７６の端面に設けられた導電部を銅メッキに限定されず、銅箔とか導電性の優れる他の金属例えば錫にて実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１１１】
○また、各グレーチング７４〜７６の端面に導電部を設けないで実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）〜（３）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１１２】
○本発明を図１２に示すような永久磁石型リニアモータのグレーチング９５に具体化して実施してもよい。つまり、図１２に示すように、グレーチング９５の二次導体部分９６には、永久磁石の磁極（Ｎ極とＳ極）９７を埋め込んでいる。また、図示しないが、各磁極９７間にグレーチング９５を貫通するスリットを設けて実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）〜（４）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１１３】
○第２実施形態では、本発明をリニアモータＭとしてのリニア誘導モータＭ１に実施したが、本発明をリニア誘導モータＭ１以外のリニアモータＭ例えばリニアパルスモータ等に実施してもよい。この場合、第２実施形態の（１）及び（３）の特徴に記載された効果と同様な効果を得ることができる。
【０１１４】
○第１及び第２実施形態では、本発明を半導体製造用のクリーンルームに敷設される床と、その床上を走行する搬送車とを備える搬送システムＳに具体化したが、本発明をクリーンルーム以外の工場に具体化して実施してもよい。
【０１１５】
次に、前記実施形態及び別例から把握され、特許請求の範囲に記載されていない技術的思想を、その効果とともに以下に記載する。
（１）搬送車を案内する案内溝を設けた床材ユニットを複数繋ぎ合わせて床の上に走行経路を形成し、その走行経路に沿って搬送車を走行させるようにした搬送システムの床材ユニットにおいて、前記床材ユニットにはリニアモータの固定子を案内溝に沿って埋設し、前記搬送車に設けたリニアモータの可動子とで搬送車を駆動させるようにしたことを特徴とする搬送システムの床材ユニット。
【０１１６】
従って、床材ユニットを複数繋ぎ合わせることによって搬送車がリニアモータにより駆動走行される走行経路を簡単に形成することができる。
【０１１７】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１に記載の発明によれば、搬送車がリニアモータにより駆動走行される走行経路を簡単に構成することができるとともに、搬送システムの実用性と汎用性を向上することができる。また、搬送システムの信頼性の向上を更に図ることができる。
【０１１８】
請求項２に記載の発明によれば、進路が切換えられる走行経路を有する搬送システムは簡単に構成することができるとともに、進路が切換えられる走行経路を有する搬送システムの実用性と汎用性を向上することができる。
【０１１９】
請求項３に記載の発明によれば、請求項２に記載の発明の効果に加え、搬送システムの搬送能力の向上を図ることができる。
請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３に記載の発明の効果に加え、搬送システムの信頼性の向上を図ることができる。
【０１２０】
請求項６に記載の発明によれば、搬送システムの搬送能力の向上を図ることができる。
【０１２１】
請求項７に記載の発明によれば、請求項６に記載の発明の効果に加え、搬送システムの製造工数とコストの低減を図ることができる。
請求項８に記載の発明によれば、請求項１及び２に記載の発明の作用に加え、リニアモータの二次側には、貫通孔を設けたため、二次側での空気の流れがよくなり、特にクリーンルームの場合において、クリーンルームのダウンフローが直接に二次側に当たって貫通孔を通過することができる。その結果、二次側に対する冷却効果を向上することができる。
【０１２２】
請求項９に記載の発明によれば、搬送車がリニアモータにより駆動走行される走行経路を簡単に構成することができる。また、搬送システムの実用性と汎用性を向上することができるとともに、搬送車の推力を向上することができる。
また、ラダー構造を簡単に形成することができる。
【０１２３】
さらに、二次側に対する冷却効果を向上することができる。
請求項１０に記載の発明によれば、請求項９に記載の発明の効果に加え、搬送車の走行方向における渦電流による搬送車の推力を連続的に発生することができ、搬送車の推力向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の搬送システムを示す平面図。
【図２】同実施形態の搬送システムの要部断面図。
【図３】同実施形態の搬送システムの要部断面図。
【図４】同実施形態の搬送システムの制御系を示すブロック図。
【図５】同実施形態の搬送システムの要部拡大平面図。
【図６】同実施形態の搬送システムの要部拡大平面図。
【図７】第２実施形態の搬送システムを示す平面図。
【図８】同実施形態の床材ユニットの斜視図。
【図９】同実施形態の搬送システムの要部断面図。
【図１０】同実施形態の搬送システムの要部断面図。
【図１１】別例の二次側ラダー構造を示す要部斜視図。
【図１２】別例の床材ユニットの斜視図。
【符号の説明】
１０，７０…床、１１…案内溝、１２，７２…搬送車、１３，７３…走行輪、１４，７４…床材ユニットを構成する直進用床材ユニットとしてのグレーチング、１５，７５，７６…床材ユニットを構成する進路切換用床材ユニットとしてのグレーチング、１６，７７，７８…床材ユニットを構成する連結用床材ユニットとしてのグレーチング、１７，７９…非走行用床材ユニットとしてのグレーチング、１９，２６，３６…床板、２３，２７，３７…案内溝を構成する溝材、２４，２５，３０〜３５，３８〜４１…リニアモータの固定子、２８…直進部、２９…進路切換部、４３，４４…リニアモータの可動子としてのリアクションプレート、７１…案内溝としての軌道レール、８２，８７…二次側固定子としての二次導体、８３，８８…貫通孔としてのスリット、８４…導電部にした床材ユニットの端面、Ｍ…リニアモータ、Ｍ１…リニアモータとしてのリニア誘導モータ、Ｒ１…走行経路としての案内軌道、Ｒ２…走行軌道。

Claims (10)

1. 搬送車を案内する案内溝を設けた床材ユニットを複数繋ぎ合わせて床の上に走行経路を形成し、その走行経路に沿って搬送車を走行させるようにした搬送システムにおいて、
   前記床材ユニットにはリニアモータの固定子を案内溝に沿って埋設し、前記搬送車にはリニアモータの可動子を取り付け、このリニアモータにより搬送車を駆動させることによって同搬送車を走行経路に沿って走行させるようにし、
   前記搬送車には床上に転動走行する走行輪を設けるとともに、前記走行輪は複数の走行輪を一組とし、該一組としての走行輪を前記搬送車の前後及び左右に設け、
   前記一組の走行輪のうち、隣接する走行輪は、該走行輪同士の中心間距離を、前記搬送車が前記案内溝を横切る際の交差距離よりも大きくなるように設けるとともに、一方の走行輪が案内溝を横切っているとき、他方の走行輪は床上を転動し、一方の走行輪が案内溝を横切って床上を転動すると、他方の走行輪が案内溝を横切るようなオフセット構造にて設けるようにしたことを特徴とする搬送システム。
2. 請求項１に記載の搬送システムにおいて、
   前記床材ユニットは、直線状の案内溝を設けた直進用床材ユニットと、枝状に分岐した案内溝を設けた進路切換用床材ユニットと、その進路切換用床材ユニットと他の進路切換用床材ユニットとを連結する直線状の案内溝を設けた連結用床材ユニットとからなり、直進用床材ユニットと進路切換用床材ユニット及び連結用床材ユニットとを繋ぎ合わせて搬送車の進路を切換える走行経路を形成するようにしたことを特徴とする搬送システム。
3. 請求項２に記載の搬送システムにおいて、
   前記進路切換用床材ユニットに設けられた枝状に分岐した案内溝は、直進部と進路切換部とからなり、前記リニアモータの固定子をその直進部と進路切換部の両側に沿ってそれぞれ埋設するようにしたことを特徴とする搬送システム。
4. 請求項１乃至３のいずれか１に記載の搬送システムにおいて、
   前記リニアモータの固定子の上表面を各床材ユニットの上表面から凸出しないように設けたことを特徴とする搬送システム。
5. 請求項３に記載の搬送システムにおいて、
   前記進路切換用床材ユニットは、前記直進部に沿って埋設された固定子に対して直交する方向にさらに固定子を埋設したことを特徴とする搬送システム。
6. 請求項２乃至５のいずれか１に記載の搬送システムを制御する制御方法において、
   前記進路切換用床材ユニットに設けられた複数のリニアモータの固定子は一次側コイルであって、該コイルを選択的に通電させるように制御することを特徴とする搬送システムの制御方法。
7. 請求項６に記載の搬送システムの制御方法において、
   前記搬送車の走行前方に繋ぎ合わせた床材ユニットに設けられたリニアモータの固定子を通電させない又は同リニアモータの固定子を逆相通電させることによって搬送車を停止させるようにしたことを特徴とする搬送システムの制御方法。
8. 請求項１又は２に記載の搬送システムにおいて、
   前記リニアモータの固定子は、同リニアモータの二次側であって、その二次側固定子には、貫通孔を設けたことを特徴とする搬送システム。
9. 搬送車を案内する案内溝を設けた床材ユニットを複数繋ぎ合わせて床の上に走行経路を形成し、その走行経路に沿って搬送車を走行させるようにした搬送システムにおいて、
   前記床材ユニットにはリニアモータの固定子を案内溝に沿って埋設し、前記搬送車にはリニアモータの可動子を取り付け、このリニアモータにより搬送車を駆動させることによって同搬送車を走行経路に沿って走行させるようにし、
   前記リニアモータはリニア誘導モータであって、同リニアモータの二次側固定子は、該二次側固定子に設けられたスリットから構成されているラダー構造にて形成され、
   前記スリットは、前記二次側固定子を貫通するように形成されていることを特徴とする搬送システム。
10. 請求項９に記載の搬送システムにおいて、
    前記繋ぎ合わせる床材ユニットの繋ぎ合わせ端面には、導電部を設けたことを特徴とする搬送システム。

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