JP3928865B2 - 冷凍機用サーマルダンパ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷凍機用サーマルダンパに係り、特に、ヘリウムガスを冷媒とする極低温冷凍機に用いるのに好適な、該冷凍機の温度変動を低減することが可能なサーマルダンパ、該サーマルダンパを備えた冷凍機、及び、該サーマルダンパの調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ヘリウムガスを冷媒とした極低温冷凍機において、被冷却体として、例えばジョセフソン素子センサ等を冷却する場合、冷凍機の冷却ステージに素子を固定することは、冷凍機の温度振幅が大きいため、センサの性能を著しく阻害する。
【0003】
即ち、従来のように構成された極低温冷凍機の冷却ステージは、一般に銅で作られているが、20K以下の温度において銅の比熱が小さくなるため、冷凍機の膨張室に高圧のヘリウムガスが入る温度と、低圧に膨張して寒冷が発生して降下した温度とが、熱交換授受され、冷却ステージ外表面に極めて抵抗のない形で温度振幅として現われてくる。
【0004】
この冷凍機の温度振幅を小さくするために、冷却ステージと被冷却体の間に、ナイロン、フッ素樹脂、FRP樹脂等の熱伝導の悪い材料を介装して冷却する方法があるが、熱伝達損失が大きい等の欠点がある。
【0005】
又、前記温度振幅を小さくする他の方法として、特許文献1、特許文献2、特許文献3に、図1に示す如く、被冷却体8と冷凍機ユニット20の最終段(図1では2段)冷却ステージ28の間にサーマルダンパ(ヘリウムポットとも称する)16を設けることが提案されている。図において、10は圧縮機ユニット、12は高圧側配管、14は低圧側配管、17はサーマルダンパ用配管、18は該サーマルダンパ用配管17を閉じるためのバルブ、22は1段シリンダ、24は1段冷却ステージ、26は2段シリンダである。
【0006】
【特許文献1】
特公平3−16592号公報
【特許文献2】
特許第2773797号公報
【特許文献3】
特開平7−146020号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のサーマルダンパには、次のような問題点があった。即ち、サーマルダンパは、冷却ステージ28に取り付けられた容器16内に20K以下で銅よりも熱容量の大きなヘリウムガスを密封又は導入させ、温度変動を吸収しているが、容器内はヘリウムガスとの熱交換のため、フィンを設ける等複雑な形状を採らなければならず、容器製作のコストがかかってしまう。又、容器内には20K以下で数気圧程度のヘリウムガスが入っていなければ、温度振幅低減効果が得られないが、この状態から常温に戻すと容器内の圧力が急上昇し、容器が膨張してしまう。又、サーマルダンパは温度振幅を低減させることはできるが、冷却ステージ28とサーマルダンパ16間の熱伝導損失により、サーマルダンパの冷凍能力が冷却ステージの冷凍能力に比べて低くなるという問題がある。
【0008】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、低コストで製作でき、膨張対策、冷凍能力確保と温度振幅低減を同時に達成することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、冷却ステージの温度振幅を低減させるための、サーマルダンパ用配管が接続される冷凍機用サーマルダンパにおいて、前記冷却ステージと一体化された上部と、該上部に固定された下部と、前記上部から下部へ熱伝達する部分と、該上部から下部へ熱伝達する部分に上下方向に形成された、低温ガス流入用の多数の穴と、前記上部又は下部の少なくとも一方の外周をカバーする締めリングと、を有するようにして、前記課題を解決したものである。
【0012】
本発明は、又、前記のサーマルダンパを備えたことを特徴とする冷凍機を提供するものである。
【0013】
又、前記のサーマルダンパを用いる際に、該サーマルダンパの上部から下部へ熱伝達する断面積や距離を変更するようにして、冷凍能力を確保しつつ温度振幅を低減させることができるようにしたものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0015】
本発明の第1実施形態に係るサーマルダンパ30は、図2(サーマルダンパ部分の縦断面図)及び図3(同じく横断面図)に示す如く、2段シリンダ26の下に配設された最終段(ここでは2段)冷却ステージ(28)と一体化された上部32と、該上部32に、例えば蝋付けにより固定された、低温ガス流入用の多数の穴34Hが形成された円柱状の下部34と、前記上部32及び下部34の外周をカバーする、例えばステンレス製の締めリング36とを用いて構成されている。
【0016】
前記冷却ステージ(28)とサーマルダンパ30との温度差を無くすために、サーマルダンパ30を上部32と下部34に分け、上部32を冷却ステージ28と一体構造とし、下部34を蝋付け(半田付けやねじ止めも可)によって取り付けるようにしている。このように一体構造とすることによって、冷却ステージ28の温度振幅の抑制効果は弱まるが、サーマルダンパの上部32から下部34へ伝熱する断面積A及び距離Lを変更することにより、熱の侵入を調節して、冷凍能力を確保しつつ、温度振幅を低減させることができる。又、熱伝導率を高めるためにインジウムを挟んで冷却ステージにサーマルダンパを固定する場合の温度のばらつきや冷凍能力の低下も無い。
【0017】
前記締めリング36は、サーマルダンパ30の膨張を防ぐためのもので、サーマルダンパの外壁に例えば蝋付けされる。
【0018】
前記下部34は、例えば銅製とされ、多くの穴34Hを開けた多孔型構造とされている。これにより、コンパクトで、伝熱面積を広くとることができ、高い冷凍能力を確保しつつ、製作が容易で、強度も上り、低コストで耐圧強度を保つことができる。
【0019】
前記サーマルダンパ下部34を、図4に示す第2実施形態のように、上部32と下部34にねじ33を切って締結したり、冷却シリンダ26等で使われている蝋材よりも融点の低い蝋材で蝋付けや半田付けを行なうことにより、下部34をいつでも取り外し可能な形状とすれば、伝熱面積、伝熱距離や穴数等、形状変更を容易に行なうことができる。
【0020】
次に、本発明の第3実施形態を図5に示す。本実施形態は、サーマルダンパ上部32の高さを第1実施形態よりも高くして、該上部32にも穴32Hを開け、上部32と下部34のほぼ中間に配管17からヘリウムガスを供給するようにしたものである。
【0021】
他の点については第1実施形態と同様であるので、説明は省略する。
【0022】
なお、前記実施形態においては、サーマルダンパが銅製、締めリングがステンレス製とされていたが、サーマルダンパや締めリングの材質はこれに限定されない。又、穴の形状や配置も図3に示したものに限定されず、三角形や四角形状の穴を任意の位置に配置することができる。
【0023】
【発明の効果】
本発明によれば、サーマルダンパ内の構造を多孔型とすることで、製作が容易になり、強度も上がる。又、サーマルダンパ上部を冷却ステージと一体構造とし、下部を例えば蝋付けによって取り付け、上部と下部の断面積や距離を変更できるようにして、サーマルダンパはコンパクトで且つ高い冷凍能力を確保しつつ、温度振幅を抑制することができる。
【0024】
更に、例えばステンレス材による締めリングを用いることで、安全性が格段に上がる。
【0025】
極低温冷凍機の場合、冷凍機内のガスが膨張と圧縮を繰り返しており、これにより冷却ステージ温度が±100mK以上で振幅するが、このサーマルダンパを用いることにより、冷却ステージと同程度の冷凍能力を確保しつつ、温度振幅を±30mK以下に保つことができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のサーマルダンパが配設された冷凍機を示す構成図
【図2】本発明に係るサーマルダンパの第1実施形態の形状を示す縦断面図
【図3】図2のIII−III線に沿う横断面図
【図4】本発明の第2実施形態の構成を示す縦断面図
【図5】同じく第3実施形態の構成を示す縦断面図
【符号の説明】
30…サーマルダンパ
32…上部
34…下部
32A、34B…ねじ部
32H、34H…穴
36…締めリング
Claims (3)
- 冷却ステージの温度振幅を低減させるための、サーマルダンパ用配管が接続される冷凍機用サーマルダンパにおいて、
前記冷却ステージと一体化された上部と、
該上部に固定された下部と、
前記上部から下部へ熱伝達する部分と、
該上部から下部へ熱伝達する部分に上下方向に形成された、低温ガス流入用の多数の穴と、
前記上部又は下部の少なくとも一方の外周をカバーする締めリングと、
を有することを特徴とする冷凍機用サーマルダンパ。 - 請求項1に記載のサーマルダンパを備えたことを特徴とする冷凍機。
- 請求項1に記載のサーマルダンパを用いる際に、
該サーマルダンパの上部から下部へ熱伝達する断面積や距離を変更することを特徴とする冷凍機用サーマルダンパの調整方法。
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